椭偏仪校准作业指导书
椭偏仪校准作业指导书
2使用范围适用于125、156单、多晶电池片的膜厚、折射率的测试。
3测试要求：3.1标片要求：选取符合技术要求的一级标片（用于校准的标片应在有效使用期限内，且标片上应有唯一编号和制作日期；有效使用期限为3年）。
3.2环境要求：洁净度:100000级湿度:＜80%温度：15-35℃灯源：灯源应在有效使用期内，有效使用期限为30天3.3设备要求：设备正常工作，无明显机械损伤，可正常启动，各数据线和信号线连接正确，显示器等可正常工作3.4操作要求：操作员着洁净服，双手戴乳胶手套或PE手套，佩戴口罩3.5参考测量标准：一级标片相应标定数据4校准内容及方法：4.1校准前准备工作4.1.1每半年进行标片校准；4.1.2取出一级标片准备测试；4.2校准工作4.2.1在桌面上点击测试程序图标（如图一所示），启动程序；图一程序图标4.2.2 程序启动后，会自动初始化（如图二所示），左上方会显示为“Initializing”，待初始化完成后，左上方会显示为“IDLE”，然后需等待30分钟进行预热，预热完成后开始校准。
图二测试程序初始化图4.2.3初始化完成后，点击“F12 Service”图标，进入校准页面（如图三所示），开始校准。
图三校准页面图4.2.3.1由于测试模式分为绒面和抛光片两种方式，下面将分开介绍，首先为绒面厚度折射率校准：4.2.3.1.1在校准界面中上方选择“Textured Mono”模式，如图四所示。
图四校准页面局部图4.2.3.1.2将测试载物平台移至最内部（即刻度为0的位置），将金属标杆移至Textured处，如图五所示首先将测试载物平台移至内部，如图五所示。
图五测试机台图4.2.3.1.3点击校准界面右下方“Dark”按钮，如果R_1和R_2的Dark结果显示为OK的话，则该项校准完成，开始下一项校准；图六校准结果图4.2.3.1.4将测试载物平台移至最外部，同时将下方白色反光板移至中间位置，如图七所示图七测试校准局部图4.2.3.1.5点击校准界面右下方“Reference”按钮，如果R_1和R_2的Reference结果显示为OK的话（如图六所示），则该项校准完成；4.2.3.1.6取出绒面标片进行对比测试，若测试结果满足： Thickness测试（厚度）∈（Thickness 标定-1nm, Thickness标定+1nm），N（折射率）∈（N标定-0.02, N标定+0.02），则此次校准通过，可以进行测量；若结果不在规定范围内，则校准结果不通过，重复4.2.3.1，直至通过为止。
仪器校正管理作业指导书
1 .目的为维持本公司各测量仪器及测试/实验设备之精确度与使用寿命，对测量，检测，实验等仪器设备进行有效管理，以确保其测量精度满足使用要求，确保测量，检测，实验等仪器处于良好的运行状态。
2 .范围适用本公司所有的测量仪器/设备，量具，实验设备。
3 .定义3.1 标准仪器：用作校验测量仪器，仪表，及量具等，标准仪器需经国家计量机构校验合格。
3. 2校验：用标准仪器对量规，测量仪器/设备进行校正和调整。
3. 3免校：测量仪器/设备的使用不直接影响产品品质或仅提供为参考使用。
3. 4外校：凡本公司无法校验的测量仪器或量校所需之标准条件，经由国家认可校验单位，仪器设备之原供应商或者经本公司评估合格的供应商，可提供检验报告书，并可追溯国家或国际标准。
4. 5内校：利用可追溯国家或国际标准之品保部的仪器，校验其它单位的仪器量具。
5. 6报废：无法维修或无维修价值之仪器设备。
6. 7校正周期：外校仪器设备周期一年，内校仪器设备周期为6个月。
4.职责4. 1品保部：4.1.1 负责公司所有量规，仪器/设备，实验设备的统一申购。
4.1.2 统筹量规，仪器/设备校正工作，按照公司年度内外校计划安排校正并保存记录。
4.1.3 负责量规，仪器/设备的会同验收，对量规，仪器/设备保养记录和作业指导书进行编制。
4. 2财务部：4. 2.1负责公司所有量规，仪器/设备，实验设备的资产管制。
7. 3采购部4. 3.1公司所有量规，仪器/设备的采购，外校及相关事项。
4. 4使用单位：4. 4.1仪器/设备采购有关事项的审查，会同验收。
4.4.2按照作业指导书对量规，仪器/设备进行监督，保管，保养，盘点，异动之管理。
4. 4.3保持本部门所用量规，仪器/设备完好及不超过校正周期。
4. 4.4如丢失，损坏，失准应及时报告品保部。
4 . 5. 5要求所有操作员严格按照仪器/设备作业指导书执行。
5 .工作内容5.1 量规，仪器/设备校正作业流程见附件。
仪器校正作业指导书
校正作业指导书文件版本修订章节修订说明A0 --编制部门批准审核编制技术研发中心共页第页一目的：完成自动分BIN机的校正二适用范围：用于大功率自动分BIN机.。
三所用工具：防静电环，标准件，自动分BIN机。
四步骤：1. 选择标准件，根据所测试的产品型号选择相应的标准件。
2. 设置积分时间，根据产品型号即产品的光通量值，当标准件值大于150Lm时积分时间应设置在30~50ms之间，当标准件值小于150Lm时积分时间应设置在40~80ms之间，即光谱卡值应在80%左右。
3. 大功率自动分BIN机，其校正件数至少为2PCS，最多为5PCS。
选择好标准件后，在电压的校正方式选择为 偏置；光通量的校正方式为 增益-偏置；X、y的校正方式为偏置；主波长的校正方式为偏置4. 校正误差即校正完后测试值与标准值之间的误差，其误差范围如下：V F±0.05(V)Flux±5%x、y±0.005λD ±0.5nm5. 在校正页面的标准值框内输入正确的标准件值。
6. 保证在校正测试前，其增益都为“1”偏置都为“0”，依次测试标准件，在校正页面上 会显示《测试值》，《误差值》和《误差百份比》，如有以下情况表明有标准件不符合校正要求。
6.1 光通量不符；当某个标准件光通量的误差值比其他标准件的误差值偏大或偏小5%以上 证明该标准件的光通量已不符合校正要求。
6.2 电压值不符；当某个标准件电压值的误差值比其他标准件的误差值偏大或偏小0.05V以上证明该标准件的电压值已不符合校正要求。
6.3 光色值不符；当某个标准件光色值即x和y值的误差值比其他标准件的误差值偏大或偏小0.005以上证明该标准件光色值已不符校正要求。
6.4 主波长不符；当某个标准件主波长的误差值比其他标准件的误差值偏大或偏小0.5nm以上证明该标准件的主波长已不符合校正要求。
6.5如遇到以上情况，将不符合要求的标准件剔除，当符合的标准件少于3PCS时应更换标准件。
仪器校正作业指导书
度。
5-10量块 5-10-1校正基准件：外校合格的投影仪
5-10-2校正前作业准备：投影仪检测平台及量块需保持表面清洁，量块 必须无缺损、无生锈，外观良好。 5-10-3校正步骤：将量块放置于投影仪检测平台进行检测厚度。 5-10-4 目的：确保所有生产过程中所用之仪器设备达到要求精
5-10-5范围：现场使用的所有仪器设备。 5-10-6校正环境：温度：20+10/-0℃；相对湿度：80%以下。
0.001～ 0.002mm范围内。（千分表精度要求为0.001mm）。
5-13检具 5-13-1校正基准件：投影仪 5-13-2合格判定基准： 单位(mm) 以检具对应工程图纸规格为准。 5-13-3目的：确保所有生产过程中所用之仪器设备达到要求精度。 5-13-4范围：现场使用的所有仪器设备。 5-13-5校正环境：温度：20+10/-0℃；相对湿度：80%以下。 5-13-6校正前作业准备：千分尺/投影机必须在有效校正期限内;铁芯表面不 可有油污及明显腐锈现象。 5-13-7校正步骤：用千分尺按尺寸从小到大逐一测量。 5-13-8以下表之标准进行校正；
校正基准点
0
0 允许误差
最小量程 1/4量程 3/4量程
1g
51～100Kg 101～150Kg
0
±0.1g
±5g
±15g
5-14-5校正记录：由内部计量员检测完毕后，将量测所有结果记相 应量具之《量具仪器管理卡》，同时并判定是否合格;由品保 部主管进行审核。
5-14-6校正周期：以上所有量具校正为内部校正，由内部资格仪校 员进行检测，校正周期为半年（6个月）。
平稳伸缩。
5-7-3校正步骤：取样标准块规（三个）；量测：注意方法及姿势
椭偏仪 报告
1实验内容1.1 仪器调节一、 光路调节： 1、调节载物台水平； 2、游标盘0o 对齐度盘0o ； 3、调节二光管共轴 。
二、 偏振片和41波片的调整 1、检偏器定位：（1）将检偏器套在望远镜筒上，偏振片读数头朝上，起始读数为90o ；（2）将望远镜筒转66o ，在载物台上放置黑色反光镜，此时光线以布儒斯特角入射黑色反光镜；（3）转动检偏器（保持读数头90o 位置不变），使反射光线最暗。
锁紧检偏器的固定螺丝；（4）望远镜筒转回原位，移走黑色反光镜。
2、起偏器定位：（1） 将起偏器套在平行光管上，起偏器读数头朝上，上下起始读数均为0o ； （2） 转动起偏器，使检偏器出射光最暗，锁紧起偏器的固定螺丝； 3、41波片的调整（1） 将41波片套在起偏器上，快轴对准起偏器的0o ，微调波片，使检偏器出射光最暗。
1.2 测量薄膜样品1、将薄膜样品放置在载物台中央；2、望远镜筒转过40o （此时光线以70o 角入射薄膜表面）；3、41波片置+45o 仔细调整起、检偏器角度同时>90o （同时<90o ），使检偏器出射光强最弱，分别读出检、起偏器偏转角度A1、P1（A2、P2）；4、41波片置-45o ，重复上述操作测出A3、P3、A4、P41.3 计算机数据处理1、注意按计算机提示的顺序分别将4组数据输入；2、薄膜厚度计算精度：1nm ；折射率计算精度：0.01。
2 实验数据处理及分析2.1 数据记录理论标准值为d=600，n=2.0702.2 数据计算经过计算机的计算，第一次获得的d=656.2，n=1.96，与理论值标准值相差太多，故不合理，舍去进行第二次测算。
经过计算机的计算，第二次获得的d=646.2，n=2.01，与理论标准值比较接近，取得这一组数，作为后续讨论的结果。
2.3 结果讨论d值偏大，正偏差是7.7%,n值偏小，负偏差是2.9%。
据推算，如果厚度值测算的再小一点，那么n值可以再偏大一点，正好更加的接近理论标准值。
椭偏仪优化校准方法
椭偏仪优化校准方法椭偏仪（ellipsometer）是一种用于测量材料薄膜性质的精密仪器。
它通过测量光的振幅和相位变化来确定薄膜的光学特性，如折射率、厚度和吸收率等。
然而，由于光学测量的复杂性及实验环境的影响，椭偏仪在使用过程中可能存在一定的误差。
因此，优化椭偏仪的校准方法非常重要，能够提高测量精度并减少系统误差。
一、校准步骤1.样品选择：选择具有已知光学特性的标准样品作为参考，如二氧化硅（SiO2）薄膜。
标准样品应具有均匀的薄膜厚度和一致的光学性质。
2.仪器设置：首先确保椭偏仪处于正常工作状态，并按照仪器说明书设置好测量参数，如光源强度、入射角度和波长范围等。
同时，确保系统运行稳定，并保持恒定的环境温度和湿度。
3.初始校准：在校准前进行初始校准，确保仪器读数的准确性。
使用标准样品进行测量，并记录下初始读数。
如果读数与标准值相符，则可继续下一步。
如果读数存在误差，需要调整仪器设置或检查系统故障。
4.零位校准：将椭偏仪调零至初始零位。
通常情况下，椭偏仪在未放置样品时应处于零位位置。
通过调整光源强度或偏振器位置等参数，确保仪器读数为零。
5.参考样品校准：使用标准样品进行校准，以修正椭偏仪的读数差异。
根据标准样品的光学特性，使用仪器软件或调整仪器参数，将标准样品的测量结果与已知值匹配。
通过校准曲线、系数或矩阵等方法，对椭偏仪的读数进行修正。
6.测试样品测量：在完成校准后，使用标准样品进行验证测量，以评估校准结果的准确性。
如果测试结果与标准值相符，则可以继续进行实际样品的测量。
如果存在误差，可以根据误差大小进行微调，并重新进行校准或调整系统设置。
二、误差来源及优化策略1.光源波动：椭偏仪中的光源强度波动可能会影响测量结果的准确性。
为了减少光源引起的误差，可以使用稳定的光源或加入滤光片等方法来降低波动。
2.入射角度误差：椭偏仪中的入射角度偏差可能导致测量结果的不准确。
通过使用精确测量入射角度的装置，如角度测量仪或自动台，可以减小角度误差，并提高测量的重现性。
椭偏仪作业指导书
图1
打开软件，点击桌面上的“SE 40advanced”图标；
调整载物台高度、红外激光发射及接收的角度，确保光源发射后经薄膜物理作用能图2 图3 图4
图4
载物台的选择
测量单晶硅片时选用带有斜面的载物台①；测量多晶硅时选用小的圆形的载台②抛光片时选用大的可调高度的圆形载物台③；
图6
测试过程
6.5.1 从石墨舟上每舟抽取镀膜后的片子，共五片，抽取位置为每个温区正中间； 6.5.2 如下图所示，将镀膜后的片子放在椭偏仪SE4000的载物台上；
2
3
1
图8
点击程序上的Measure键，等待测试结果出现在“th”和“n”栏，“th”栏显示值为n”栏显示值为折射率；。
仪器校正作业指导书
仪器校正作业指导书一、引言仪器校正是一项重要的工作，它保证了仪器的准确性和可靠性。
本指导书旨在为进行仪器校正的人员提供详细的操作指南，以确保校正工作的顺利进行。
二、校正前准备工作1. 校正标准的选择：根据仪器的类型和特点，选择合适的校正标准，确保其准确性和稳定性。
2. 校正设备的准备：检查校正设备是否完好，确保其正常工作。
清洁仪器表面，以确保校正的准确性。
3. 校正环境的准备：选择一个稳定、无干扰的环境进行校正，避免温度、湿度等因素对校正结果的影响。
三、校正步骤1. 校正前的检查：检查仪器的各项功能是否正常，确保仪器没有故障。
2. 校正前的调零：根据仪器的要求，进行零点调整，使仪器显示为零。
3. 校正点的选择：选择校正点，根据实际需要，选择多个点进行校正，以覆盖仪器的工作范围。
4. 校正数据的记录：在进行校正时，及时记录校正数据，包括校正点的数值和仪器的响应值。
5. 校正曲线的绘制：根据校正数据，绘制校正曲线，以便后续的校正计算和数据处理。
6. 校正计算的执行：根据校正曲线和所测量的数据，进行校正计算，得出校正后的结果。
7. 校正结果的评估：对校正结果进行评估，判断校正的有效性和准确性。
8. 校正结果的记录：将校正结果进行记录，包括校正前后的数据、校正曲线和校正计算的过程。
9. 校正后的检查：校正完成后，再次检查仪器的功能是否正常，确保校正的效果。
10. 校正报告的编写：根据校正结果和记录，编写校正报告，包括校正的目的、方法、结果和评估等内容。
四、校正注意事项1. 安全第一：在进行仪器校正时，要注意安全操作，避免发生意外。
2. 严格按照操作规程进行：根据仪器的操作手册和校正标准，按照规定的步骤进行校正，避免操作错误。
3. 注意环境因素的影响：在进行校正时，要注意环境因素对校正结果的影响，如温度、湿度等。
4. 防止误差的产生：在进行校正时，要注意避免误差的产生，如正确操作、准确读数等。
5. 定期进行校正：根据仪器的要求，定期进行校正，确保仪器的准确性和可靠性。
仪器校正作业指导书 副本 (1)
5.4外校规定
5.4.1委外校验测量设备由仪校管理员提出申请,品质部主管核准后送至国家计量单位检验,不便搬动的设备则请国家计量单位来公司进行校验；
5.4.2仪校管理员按照各种量规仪器的校验周期提前把需送外校验的量规仪器统计
收集,包装,写好清单,第二天送国家认可的专业计量部门进行校验；
5.4.3外校量规仪器在搬运过程中,应小心维护,以防损坏,影响其本身精确度；
5.4.4外校回厂量规仪器由仪校管理员按量规仪器外校清单进行清点,以防在搬运途中丢失；
5.4.5对外校回厂量规仪器,仪校管理员必须审查计量部门的校正结果并保存；
5.4.6仪校管理员对外校量规仪器校正结果必须及时通知相关部门,若为报废必须立即申购；
5.3.1.2内部自行培训且具一年以上并经检定合格者；
5.3.2.校验人员按有效期限及时发出校验通知,通知使用者或使用单位,将校验到期的量测设备送仪校室校验；
5.3.3校验人员依“校正作业指导”进行校验判定,校验必须使用经校验合格标准器材校验；
5.3.4校验人员校验完成后将校验结果填写在《内校记录表》；
6.0引用文件清单
6.1《计量器具内部校正方法》
6.2《MSA控制程序》
7.0引用表格清单
7.1《监视和测量装置年度校正计划计表》FR-11-03
7.2《监视和测量装置总表》FR-11-06
7.3《校准证书》FR-11-07
5.9.7每次测量精度允许误差在±1.0mm，超出精度范围则判定不合格.
5.10校正后
5.10.1如有外观不良或须调整转校验单位判定是否暂停使用,需委外校验；
5.10.2如以补正值还不能得到正确尺寸读数值时，应予以暂停使用；
仪器校正作业指导书
目的维持量测设备之准确度,确保产品质量。
2.0范围量规仪器总表内所规定之需校验之量测设备。
3.0职责3.1量测设备使用者: 配合校验联络单按时将必须校验之设备送品质部仪校室校验；3.2仪校室管理员: 确保校验之设备均能及时校验；3.3品质主管负责审核外校量规仪器之校验结果；4.0 作业程序4.1本公司量测设备校验分三类4.1.1免校4.1.1.1凡属参考性质、辅助设备之仪器、量具免校；4.1.1.2非用于生产测试、检验之事务性仪器、量具等免校；4.1.2.外校指凡经国家法定受权单位,校正仪器、量具的行为。
依实际使用频率订制校正周期,外校量具、仪器一般为用来传达量值的标准器或较精密而无法自校的仪器、量具；4.1.3.内校经国家法定受权单位校正的合格仪器、量具(标准器)进行校正本公司其它仪器、量具及测试设备的行为,其校正周期详见『量规仪器总览表』；4.2 标准件管理规定4.2.1 应可追溯国家标准；4.2.2 标准件可由认定合格人员进行校验及检测用；4.2.3 标准件应由仪校室保管；4.3 内校规定4.3.1校验人员资格4.3.1.1曾受过仪器、量具校验课程培训者；。
4.3.1.2内部自行培训且具两年以上并经检定合格者；4.3.2.校验人员依据量测设备内部校验联络单按有效期限及时发出校验通知,通知使用者或使用单位,将校验到期的量测设备送仪校室校验；4.3.3校验人员依“校正作业指导”进行校验判定,校验必须使用经校验合格之标准器材校验；4.3.4校验人员校验完成后将校验结果填写在『量检具校验记录表』上；4.3.5 校验完毕之合格量测设备,由使用者领回使用,限制使用之量测设备由仪校室再做处理；4.4 外校规定4.4.1 委外校验之量测设备由仪校室管理员提出申请,品质部主管核准后送至国家计量单位检验,不便搬动的设备则请国家计量单位来公司进行校验；4.4.2 经作业后,仪校室管理员按照各种量规仪器的校验周期提前一天把需送外校验之量规仪器收集,包装,写好清单,第二天送国家认可的专业计量部门进行校验；4.4.3 外校量规仪器在搬运过程中,应小心维护,以防损坏,影响其本身精确度；4.4.4 外校回厂之量规仪器由仪校室管理员按量规仪器外校清单进行清点,以防在搬运途中丢失；4.4.5 对外校回厂之量规仪器,仪校室管理员必须审查计量部门的校正结果并保存；4.4.6 仪校室管理员对外校之量规仪器校正结果必须及时通知相关部门,若为报废必须立即申购；4.4.7 本公司之量测试验设备,原则上经校验合格后方可使用,但委外校验不合格之量测设备根据各点检定值,能满足本公司之精度要求的经品质主管核准后,在公司内可作校验合格使用；4.5 针规内校作业细则4.5.1 工具:外校合格电子千分尺一把、干净碎布；4.5.2 先将待校验的针规和校验用的电子千分尺各部位用碎布清洁,摆放于工作台面；4.5.3 用电子千分尺检测针规,两端按象限点检测,各测四点,测量值与标准值的误差不可超0.002mm,否则视为不合格；4.5.4 校验合格的针规在针规上刻上规格以作标识；4.5.5 校验不合格的针规不予标识,并报废或改作他用；4.6 游标卡尺内校细则4.6.1校正工具4.6.1.1卡尺专用量块一盒4.6.1.2干净碎布4.6.1.3平台4.6.2 准备工作4.6.2.1 用干净的布条将使用平台清洗干净再将待校件与块规置于平台上准备清洁；4.6.2.2 用干净的布条清洁卡尺；4.6.2.3 清洁完毕之待校件和块规应置放于平台上至少30分钟以上,使其与环境温度同等；4.6.2.4 校正实施前应检视校正环境是否维持在温度20°±5°湿度75%以下；4.6.3校正规程4.6.3.1 将游标卡尺外测测爪密合,将其朝向光源,视其两外测量爪间不得有光线透过,且内测间不得有微光透出,如图:且表针应垂直向上(带表)如图:感其是否平稳顺畅；用游标卡尺的外量爪测一个平放在工作平台上4.6.3.11游标卡尺之外卡,内卡,深度尺标准测定值如下:规格mm 测 定 点 0~150 5.1 41.2 81.5121.8 0~300 5.1 41.2 81.5 121.8 250 0~5005.141.281.5121.8250不透光密合4.7千分尺内校细则4.7.1 校正标准件与相关工具4.7.1.1 千分尺专用量块组一盒4.7.1.2 干净碎布4.7.1.3 平台4.7.2准备工作4.7.2.1用干净布条将使用台台清洗干净,再将待校件与块规置放于平台上准备清洁；4.7.2.2用碎布清洁千分尺各部位和块规,测量面,再用干净碎布擦干净；4.7.2.3 清洁完毕之待校件和块规应置于平台上至少30分钟以上,使其与环境温度同等；4.7.2.3 校正前应检视校正环境温度是否维持在20°±5°湿度75%以下；4.7.3 校正规程4.7.3.1目测千分尺之微分筒上刻度不得磨损不清,顶端调紧螺钉应完好无缺；4.7.3.2将螺杆测量面相互接触,调动调整螺钉,使其能紧密相触,将朝向光源不得有微光透出；4.7.3.3归零后用标准块规进行检测,测量过程中应(如图)把螺杆测量面达缘都测量,其测量结果必须与被测块规大小一致；4.7.3.4 标准块规应定期送国家合格单位校正；4.7.3.5数据及报告,由校正人员校正完成后填写『量检具校验记录表』；4.7.3.6 校正结果如为降级使用或暂停使用,应在『量检具校验记录表』上注明并在被校正件上贴附校验状态标签；4.7.3.7 送修完成之千分尺,应再实施校正,确定合格后方可发放使用；4.7.3.8 千分尺之检测标准值如下:。
仪器校验作业指导书样本
仪器校验作业指导书样本篇一: 测量仪器校准作业指导书1.适用范围用于校准玻璃量器、容量筒、坍落度测定仪、试模、碎(卵)石标准筛、砂浆分层度测定仪、混凝土贯入阻力仪、砂浆稠度测定仪、养护室等试验用仪器设备的校准以及工程施工现场使用的混凝土搅拌机自设加水装置、测深水铊、测深仪等设备的校准。
2.职责2.1.子公司计量管理部门负责对校准计划的实施情况进行检查、监督。
2.2.使用单位计量员负责组织试验人员或测量人员实施校准工作;试验站负责人或测量班班长对校准结果进行审核。
3.校准用测量仪器和用具校准玻璃量器: 架盘天平( 称量1000g, 精度1g) 。
校准容量筒: 台称( 称量50kg或100kg, 感量50g) 、钢直尺( 长500mm, 分度值 1mm) 、玻璃板(尺寸以能盖住容量筒口为宜) 。
校准坍落度测定仪: 钢直尺, 长300～500mm, 分度值0.5～1mm。
校准试模: 游标卡尺( 长200mm或以上, 分度值0.02mm) 、钢直尺( 长 300mm, 分度值0.5mm) 钢角尺。
校准碎(卵)石标准筛: 游标卡尺( 200mm, 分度值不小于0.02mm) 。
校准砂浆分层度测定仪: 游标卡尺( 300mm, 分度值不低于0.02mm) 。
校准混凝土贯入阻力仪: 游标卡尺( 150mm, 分度值不低于0.02mm) 、200×200mm 平板玻璃一块。
校准砂浆稠度仪: 架盘天平( 500g, 精度1g) 、钢直尺( 300mm, 精度1mm) 。
校准混凝土搅拌机加水装置: 台称、秒表( 或带秒针的手表) 、铁桶( 或容器) 。
校准养护室温度、相对湿度: 干、湿温度计和时钟。
校准测深水铊、测深仪: 钢卷尺( 30m) 1把。
校准用测量仪器需经确认合格。
4.玻璃量器校准实施步骤4.1.外观检查: 目测检查玻璃量器有无损坏, 是否干净, 刻度线是否清淅。
4.2.玻璃量器容积的校准:⑴ 记录校准环境温度( 最好控制在20±3℃范围内) 。
椭偏仪的校准方法研究
椭偏仪的校准方法研究作者：赵琳李锁印许晓青韩志国冯亚南梁法国(中国电子科技集团公司第十三研究所计量中心，石家庄，050051)摘要：在微电子行业生产过程中，膜厚测量是非常重要的工艺参数。
本文主要介绍了用于测量膜厚的测量仪器——椭偏仪，并以膜厚标准样片的研制与定标方法为主要研究内容，对椭偏仪的校准方法进行了分析研究，并对其进行了不确定度分析。
关键词：膜厚，膜厚标准，椭偏仪，校准，不确定度0. 引言在微电子制造领域，微纳米尺度膜厚作为其核心参数之一，广泛应用于器件中。
膜厚的精确测量，对器件制造的一致性和可靠性起着决定性作用，也是纳米测量技术中的一个重要内容。
当前，测量膜厚参数主要应用的有椭偏仪、膜厚测量仪和台阶仪。
椭偏仪属非接触测量，利用光的偏振特性测量薄膜的厚度，其分辨率很高;膜厚测量仪是基于光的干涉原理，通过测量光在衬底上的光谱和光经过薄膜后的光谱经过计算得到膜的厚度;台阶仪是触针式测量仪器，接触式测量，要求被测物质形成台阶状，测量时触针滑过台阶，通过系统放大和计算，给出被测量值。
从理论上讲，凡是能形成台阶的物质，仪器都能测量，而且分辨率很高。
经过多年的测试，这些仪器的重复性和稳定性良好，我们要解决的问题是如何确定这些仪器的不确定度，就是仪器的示值误差。
通俗的说就是仪器准不准?换言之是如何来校准这些仪器?本文我们主要针对椭偏仪的校准方法进行分析研究。
国内曾经对该类仪器进行过比对，但是比对结果不是很好，当前我们单位拥有有证的台阶仪和其标准样片，我们可以用台阶仪来定标，制作一套可以用于校准椭偏仪的膜厚样片。
1.膜厚标准的研究解决标准是关键。
经过广泛调研和多年实践，我们认为利用本所现有的半导体技术设备，制造一种适合椭偏仪的标准样片不仅在理论上是成立的，而且在实践上是完全可行的。
我们在硅基(硅圆片)上用热氧化方法制作所需要的物质膜层SiO2，然后把这层膜经过特殊工艺刻饰处理，使其形成适合台阶仪测量的图形。
测量仪器校准作业指导书
松脱，尺框与尺身配合良好无明显间隙。
5.1.6 尺寸精度检测:用4等量块，对0~300mm的卡尺，不少于均布三点；对＞
300mm的不少于均布5点校准，根据实际情況可适当增加受检点位。检测时每一受检点应在量爪的
里端和外端两位置进行，量块工作面的长边和卡尺测量面的长边应垂直。对深度卡尺，校准时按
1目的：
为保证本公司使用测量仪器的准确度,实现量值统一与溯源,规范校准程序,特制定本作业指导书。
2范围：
适用公司所有的测量仪器
3定义：
3.1内校：公司具备校验技术和校验条件的内部校准。
.2外校：公司不具备校验技术及条件的仪器，需送国家法定检测机构的一种校验。
4职责与权限
4.1质检部：负责对公司所有测量仪器的统计登记、内校及外校的申报、年度校验计
受检尺寸依次将两组一尺寸量块平行放在1级平板上，使基准面长边和量块工作面的长边垂直接
触，再移动尺身使测量面和平板接触测量。量块应分别置于基准面的里端和外端两位置校准。校
准时应在螺钉紧固和松开两种状态下进行，各点示值误差以该点的读数值与量块尺寸之差确定。
刀口外量爪检测时量块应处于其中间位置。带测深杆的卡尺，只在20mm一点校准；对千分尺的检
应的检测器具，均应放在校验条件下，衡温1～2小时后开始校准，称量器具应平稳置于水平台上。
5.1.4 外观检验: 各测量器具表面应干净清洁,各读数刻度数字应清晰可见,不应有
锈蚀,碰伤,毛刺,及明显划痕,无目视可见的断线、粗细不均等，影响测量准确性和读数准确性的
外观质量缺陷；量器具上的标识完整：精确度、量程范围、制造商,CMC及序列号等。
(整理)zo测量仪器校准作业指导书
修改记录1 适用范围用于校准玻璃量器、容量筒、坍落度测定仪、试模、碎(卵)石标准筛、砂浆分层度测定仪、混凝土贯入阻力仪、砂浆稠度测定仪、养护室等试验用仪器设备的校准以及工程施工现场使用的混凝土搅拌机自设加水装置、测深水铊、测深仪等设备的校准。
2 职责2.1 公司计量管理部门负责对校准计划的实施情况进行检查、监督。
2.2 使用单位计量员负责组织试验人员或测量人员实施校准工作；试验站负责人或测量班班长对校准结果进行审核。
3 校准用测量仪器和用具校准玻璃量器：架盘天平（称量1000g，精度1g）。
校准容量筒：台称（称量50kg或100kg，感量50g）、钢直尺（长500mm，分度值1mm）、玻璃板(尺寸以能盖住容量筒口为宜）。
校准坍落度测定仪：钢直尺，长300～500mm，分度值0.5～1mm。
校准试模：游标卡尺（长200mm或以上，分度值0.02mm）、钢直尺（长300mm，分度值0.5mm）钢角尺。
校准碎(卵)石标准筛：游标卡尺（200mm，分度值不小于0.02mm）。
校准砂浆分层度测定仪：游标卡尺（300mm，分度值不低于0.02mm）。
校准混凝土贯入阻力仪：游标卡尺（150mm，分度值不低于0.02mm）、200×200mm 平板玻璃一块。
校准砂浆稠度仪：架盘天平（500g，精度1g）、钢直尺（300mm，精度1mm）。
校准混凝土搅拌机加水装置：台称、秒表（或带秒针的手表）、铁桶（或容器）。
校准养护室温度、相对湿度：干、湿温度计和时钟。
校准测深水铊、测深仪：钢卷尺（30m）1把。
校准用测量仪器需经确认合格。
4 玻璃量器校准实施步骤4.1 外观检查：目测检查玻璃量器有无损坏，是否干净，刻度线是否清淅。
4.2 玻璃量器容积的校准：⑴记录校准环境温度（最好控制在20±3℃范围内）。
准备校准用的蒸馏水或食用自来水。
⑵量器称重；⑶将校准用水装入量器内至标称容积的刻线处，称重。
⑷⑵、⑶项操作不少于２次，取其平均值为最终值。
椭偏仪指导书
椭偏仪操作指导书一.目的使用椭偏仪测量经PECVD镀膜后的SiN膜的厚度(d)和折射率(n)。
二.适用范围适用于CENTECH公司的SE 400advanced型号的椭偏仪。
三.设备主要性能及相关参数3.1 设备型号：SE 400advanced3.2 设备构成：A 光学系统部分：由支架、定位显微镜、线偏振光发射器（包括632.8nm激光源）、椭圆偏振光接受和分析器组成。
此部分完成整个光学部分的测试。
B PC机部分。
此部分完成数据的分析和输出。
四.运行前的检查主要检查设备光学仪器部分是否损坏和电脑是否可正常使用。
五. 设备操作1. 启动软件将椭偏仪控制器和PC的电源打开，为了仪器快速可用和延长激光器寿命，推荐将椭偏仪控制器连续运转。
SE 400advanced程序通常被安装在文件夹：C:\program files\SE 400Adv\ApplicationFrame\SiAFrame.exe.使用资源管理器或者直接双击桌面的SE 400advanced图标，启动软件。
Fig. 错误!文档中没有指定样式的文字。
-1: SE 400advanced图标软件打开时会自动进入上次退出时的登陆用户界面。
Fig. 错误!文档中没有指定样式的文字。
-2: SE 400advanced 用户认证通过菜单"Login"，能够添加、更改或删除用户和用户权限。
2. 用户主窗口1342Fig. 错误!文档中没有指定样式的文字。
-3: SE 400advanced主窗口最后一次使用的模式会被自动加载。
通过菜单，工具栏或模式列表，能够选择另外的模式。
在软件界面的右下角，一个图标（2）用来显示椭偏仪控制器的连接状态，它通常显示为绿色。
如果显示不为绿色，请检查椭偏仪和控制器之间的网络连接是否正常，并检查屏幕右下角的任务栏的网络状态。
3. 样品测试1）在recipe下拉菜单中选择08 Si3N4 on silicon 100 nm .2）将样品平放于测试台，并定位3）通过按来开始测量，测量完成后，结果被显示在主结果区（3）和protocol区（4）。
测量仪器校准作业指导书
测量仪器校准作业指导书1000字测量仪器校准作业指导书一、实验目的：1、了解测量仪器的校准方法和校准标准；2、熟悉常用测量仪器的使用方法；3、掌握测量仪器校准的操作技能；4、增强对测量数据准确性和可靠性的认识。
二、实验仪器及器材：1、电子数字万用表；2、示波器；3、频率计；4、信号发生器等。
三、实验原理：1、测量仪器输入输出的模拟电信号经过硬件电路处理后转换成数字信号，由微处理器进行处理分析输出最后得到的数值；2、测量仪器依靠各种精密元器件通过模拟电路构成，往往由多个电路单元组成。
四、实验步骤：前期准备：1、核对所需仪器装置，落实仪器的使用情况；2、确认校准标准和校准方法。
具体操作步骤：1、将待校准的测量仪器用连接线与标准仪器进行相应的连接；2、输出校准信号；3、将标准仪器的输出信号与待校准仪器的输出信号进行比较；4、根据比较的结果，对待校准仪器进行调整，使其相应指标达到标准；5、进行稳定性测试。
五、实验注意事项：1、严格遵循校准方法和校准标准；2、操作前要对仪器进行预热和常规检查；3、进行校准时应避免强磁场和强电场的干扰；4、操作过程中要注意防止电击；5、校准前应进行记录。
六、实验结果及分析：1、通过实际操作，我们了解了测量仪器校准的方法和技能；2、实验中，我们掌握了常见测量仪器的使用方法；3、在校准中，我们强调了数据的准确性和可靠性。
七、实验体会：1、本次实验让我们对测量仪器的组成及其校准有了更加深入的了解；2、在实验操作过程中，我们深切地感受到了数据的重要性和精准性；3、在后续的学习科研中，我们一定要对测量仪器的校准方法和标准进行深入了解和学习，并认真执行，以保证数据的准确性和可靠性。
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2使用范围
适用于125、156单、多晶电池片的膜厚、折射率的测试。
3测试要求：
3.1标片要求：
选取符合技术要求的一级标片（用于校准的标片应在有效使用期限内，且标片上应有唯一编号和制作日期；有效使用期限为3年）。
3.2环境要求：
洁净度:100000级
湿度:＜80%
温度：15-35℃
灯源：灯源应在有效使用期内，有效使用期限为30天
3.3设备要求：
设备正常工作，无明显机械损伤，可正常启动，各数据线和信号线连接正确，显示器等可正常工作3.4操作要求：
操作员着洁净服，双手戴乳胶手套或PE手套，佩戴口罩
3.5参考测量标准：
一级标片相应标定数据
4校准内容及方法：
4.1校准前准备工作
4.1.1每半年进行标片校准；
4.1.2取出一级标片准备测试；
4.2校准工作
4.2.1在桌面上点击测试程序图标（如图一所示），启动程序；
图一程序图标
4.2.2 程序启动后，会自动初始化（如图二所示），左上方会显示为“Initializing”，待初始化完成
后，左上方会显示为“IDLE”，然后需等待30分钟进行预热，预热完成后开始校准。
图二测试程序初始化图
4.2.3初始化完成后，点击“F12 Service”图标，进入校准页面（如图三所示），开始校准。
图三校准页面图
4.2.3.1由于测试模式分为绒面和抛光片两种方式，下面将分开介绍，首先为绒面厚度折射率校准：
4.2.3.1.1在校准界面中上方选择“Textured Mono”模式，如图四所示。
图四校准页面局部图
4.2.3.1.2将测试载物平台移至最内部（即刻度为0的位置），将金属标杆移至Textured处，
如图五所示首先将测试载物平台移至内部，如图五所示。
图五测试机台图
4.2.3.1.3点击校准界面右下方“Dark”按钮，如果R_1和R_2的Dark结果显示为OK的话，则该项校准完成，开始下一项校准；
图六校准结果图
4.2.3.1.4将测试载物平台移至最外部，同时将下方白色反光板移至中间位置，如图七所示
图七测试校准局部图
4.2.3.1.5点击校准界面右下方“Reference”按钮，如果R_1和R_2的Reference结果显示为OK的话（如图六所示），则该项校准完成；
4.2.3.1.6取出绒面标片进行对比测试，若测试结果满足： Thickness测试（厚度）∈（Thickness 标定-1nm, Thickness标定+1nm），N（折射率）∈（N标定-0.02, N标定+0.02），则此次校准通过，可以进行测量；若结果不在规定范围内，则校准结果不通过，重复4.2.3.1，直至通过为止。
图八校准页面局部图
4.2.3.2.2将测试平台改为抛光片测试模式，步骤如下
4.2.3.2.2.1按照下图所示，打开两边的卡锁
解锁
上锁
解锁
上锁
图九卡锁图
4.2.3.2.2.2打开卡锁后，将测试光源部分倾斜，具体见图十，并按照图九所示将卡锁重
新锁好
图十抛光测试平台倾斜图
4.2.3.2.3将测试载物平台移至最内部（即刻度为0的位置），将金属标杆移至Polished处，如图十一所示，然后将测试载物平台移至内部，准备进行Dark模式校准。
图十一测试校准局部图
4.2.3.2.4点击校准界面右下方“Dark”按钮，如果R_1和R_2的Dark结果显示为OK的话（如图六所示），则该项校准完成，开始下一项Reference校准；
4.2.3.2.5将测试载物平台移至最外部，同时将下方镜面反光板移至中间位置，如图十二所示
图十二测试校准局部图
4.2.3.2.5点击校准界面右下方“Reference”按钮，如果R_1和R_2的Reference结果显示
为OK的话（如图六所示），则该项校准完成；
4.2.3.2.6取出抛光片面标片进行对比测试，若测试结果满足： Thickness测试（厚度）∈
（Thickness标定-1.2nm, Thickness标定+1.2nm），N（折射率）∈（N标定-0.01, N标定+0.01），则
此次校准通过，可以进行测量；若结果不在规定范围内，则校准结果不通过，通知设备供应
商维修确认，直至通过为止。
5 校准后检查项目：
5.1仪器恢复正常测试状态。
5.2相关记录是否完整。
6 异常校准要求：
下列情况之一需要启动校准程序：
6.1由于其他原因，停止测试四小时以上或者由于意外导致灯源停电；
6.2表面状态更改：例如由抛光片改为绒面片；
6.3更换灯后及发生其他异常时需要重新校准。
※异常处理：通知技术部、设备部处理。
7 使用标片注意事项：
·由于标片的对产线测试有着异常重要的意义，因此整个操作过程中，标片需要轻拿轻放，切勿人为损伤标片；
·该标片测量、记录完毕后，正确且妥善保管标片。
在设备校准并且一级标片测试正常后，选PECVD镀膜后半成品电池片10pcs（尽可能涵盖各个颜色及折射率控制范围），对各片电池片进行编号，编号格式为日期单晶/多晶-01如20130917M-02，并在电池背面用铅笔标记，分别测试各片电池片膜厚及折射率并记录
8.2稳定性监控
选其中5pcs标片用作监控标片其余电池片作为备用，每周1测试，将测试值与标定比较，合格范围T测试∈（T标定±2nm），n测试∈（n标定±0.01），如出现异常则取另外一组电池片进行测试，如测试结果仍不正常则通知技术人员解决，如测试合则停用使用的5pcs标片，使用备用的5pcs标片，并另外标定5pcs标片作为备用
9 相关表单：
9.1标片校准数据记录：《膜厚仪厚度校准记录表》
9.2标片校准数据记录：《膜厚仪折射率校准记录表》
9.3稳定性测试记录：《膜厚折射率测试仪稳定性测试监控》
10 职责与权限
10.1文件编制
编制部门：技术部
10.2文件审批
本文件由以下部门/人员审批：技术部负责人、生产部负责人、设备部负责人、相关质量经理/总监、分管生产副总
10.3文件分配
设备部、技术部、生产部、质量部。