200扫描电镜实验室安全操作规程

200扫描电镜实验室安全操作规程

1、开机前的检查

1、1 室温：18℃～25℃；

1、2 湿度：<80％；

1、3 Quanta200 真空泵PVP1和PVP2的油面指示应在规定位置，油要干净，无色透明，无污染，每月检查一次；

2、试样制备

2、1 微细和超细粉体（粒度<10mm）样品，取少量样品直接放在烧杯中，用无水乙醇做溶剂，超声分散，用干净滴管吸取少量液滴置于铜托上，并用红外灯照射干燥；

2、2 粗颗粒样品，取少量粘在铜托上的导电胶带上，用无毛纸轻压，使样品颗粒牢牢粘住，并清楚粘在铜托侧面上的粉样；

2、3 块状样品，高度应在15mm以下，要用无水乙醇浸泡，清洗干净，放在超声波水槽中处理，以除去油脂、灰尘、赃物和水分；

2、4 试样一定要无水、无油，观察前要用红外灯照射干燥。

3、开机严格按开机顺序操作，开机抽真空5分钟内，系统真空应达到要求（<

1、010-4Torr），如果系统真空不能达到要求，应检查样品室门是否关好、样品室密封圈垫圈及密封平面是否干净或其它连

接处是否有漏气现象。如果不能解决应及时报告，并与厂商联系。

4、试样观察

4、1 按仪器说明步骤操作，选择合适工作参数；

4、2 注意样品高度，样品的高度要小于卡尺的长度，千万不要使样品观察面碰触物镜下方的背散射电子探测器；

4、3 更换样品时，一定要先切断灯丝高压，待灯丝冷却5分钟以后再放气。开关样品室门，手扶住门下侧的拉杆，轻轻地向外或向里推。勿抓X、Y、Z、R调节杆来开关门，门要拉到合适的位置，才能更换试样。要带手套取放样品架，手千万不要伸到样品室内，以防止碰伤各种探测器；

4、4 更换样品时，开关门动作要轻，不使镜筒产生过大振动。更换样品后要及时关门，样品室放大气的时间不宜过长，一般不得超过20分钟；

4、5 样品室内如果脏了，用无尘纸（布）擦拭，注意不要碰触探测器；

4、6 仪器观察过程中，若暂时停止观察，应立即切断灯丝高压；

4、7 仪器观察过程中，若突然发生断电事故，应立即切断计算机电源开关再切断服务器电源开关，最后切断总电源开关。

5、关机关机顺序：1)

切断灯丝高压；2)

将SEM放大倍数调至最小3)

等待灯丝冷却5分钟后，放大气；4)

关SEM程序，退出XT server；5)

关闭计算机；6)

关闭服务器电源；7)

关闭房间内总电源。

6、维护

6、1 粉体样品易污染样品室和镜筒，制样时使用量尽量少，样品托上样品层厚度要非常薄，不要“起皮”；

6、2 更换试样时，开关门动作要轻，防止造成粉末样的飞溅，污染样品室；

6、3 SEM系统从安装起就应一直保持真空，所以在长期不用或放假时，要求每隔五天抽真空一次；

6、4 更换样品过程中，要等软件控制面板上的VENT键变成黑色后才可以打开样品室的门，SEM样品室通大气的时间不宜过长，一般不超过20分钟；

6、5 样品室内的探头，千万不要用气球吹，尤其是二次电子的闪烁体；

6、6 每季度检查一次涡轮分子泵油的颜色和液位，及时更换或补充专用真空油；

6、7 保持实验室的清洁，擦拭仪器时，要切断整个仪器的电源，用柔软的湿布擦，切忌用溶剂擦拭；

6、8 系统真空达不到要求时，重点检SEM样品室门和电子枪的密封垫圈，密封平面是否干净，若有灰尘或粉体样颗粒，用无尘纸擦拭干净，并涂少量真空密封油脂；

6、9 更换灯丝时，揭开电子枪，取下灯丝后，马上将电子枪还原盖好，以防止脏物进入镜筒；

6、10 仪器工作时，尤其在进行高倍数（>10，000X时）照相时，禁止手扶或靠压在电镜系统上；

6、11 仪器通电时，禁止电子枪的高压电缆线，以防发生危险。Q uanta200 扫描电镜实验室2021、1、17