精确测量薄膜厚度的方法
测量薄膜厚度的方法
测量薄膜厚度的方法一、引言薄膜广泛应用于电子、光学、材料等领域，因此准确测量薄膜的厚度对于质量控制和产品性能评估至关重要。
本文将介绍几种常用的测量薄膜厚度的方法。
二、显微镜法显微镜法是一种常见的测量薄膜厚度的方法。
通过显微镜观察薄膜表面的颜色变化，利用颜色与厚度之间的关系确定薄膜的厚度。
这种方法非常简单易行，但对于颜色辨识的要求较高，且只适用于透明的薄膜。
三、椭偏仪法椭偏仪法是一种基于光学原理的测量方法。
通过测量薄膜对光的旋光性质，可以推算出薄膜的厚度。
椭偏仪法具有高精度和较大的测量范围，在光学薄膜领域得到广泛应用。
四、干涉法干涉法是一种基于光学干涉原理的测量方法。
利用光的干涉现象，通过测量干涉条纹的特征，可以推断薄膜的厚度。
常见的干涉法有菲涅尔反射干涉法、Michelson干涉法等。
干涉法具有高精度和无损测量的特点，被广泛应用于光学薄膜的测量。
五、X射线衍射法X射线衍射法是一种非常常用的测量薄膜厚度的方法。
通过将X射线照射到薄膜上，根据衍射光的特征，可以计算出薄膜的厚度。
X 射线衍射法具有非常高的精度和广泛的适用范围，被广泛应用于材料科学和工程领域。
六、扫描电子显微镜法扫描电子显微镜法是一种通过扫描电子束与样品的相互作用来测量薄膜厚度的方法。
通过扫描电子显微镜观察样品表面的形貌变化，可以推算出薄膜的厚度。
这种方法具有高分辨率和较大的测量范围，被广泛应用于材料科学和纳米技术领域。
七、原子力显微镜法原子力显微镜法是一种通过探针与样品表面的相互作用来测量薄膜厚度的方法。
通过原子力显微镜观察样品表面的拓扑特征，可以计算出薄膜的厚度。
原子力显微镜法具有非常高的分辨率和较大的测量范围，广泛应用于纳米技术和表面科学领域。
八、总结本文介绍了几种常用的测量薄膜厚度的方法，包括显微镜法、椭偏仪法、干涉法、X射线衍射法、扫描电子显微镜法和原子力显微镜法。
这些方法各有优劣，应根据实际需求选择合适的方法进行测量。
在实际操作中，还需注意操作规范和仪器校准，以确保测量结果的准确性和可靠性。
塑料薄膜和薄片厚度测定 机械测量法 pdf
塑料薄膜和薄片厚度测定机械测量法pdf一、引言塑料薄膜和薄片的厚度是决定其物理和机械性能的关键参数，对于产品的质量控制和使用性能至关重要。
因此，精确测量其厚度是生产过程中的重要环节。
本篇文章将介绍一种测量方法，即机械测量法。
二、机械测量法概述机械测量法是一种通过物理接触来测量物体厚度的方法。
在此方法中，测量工具与被测物体表面接触，从而测量出物体的厚度。
对于塑料薄膜和薄片的厚度测量，机械测量法具有较高的精度和可靠性。
三、测量设备1. 测厚仪：测厚仪是专为测量薄膜和薄片厚度设计的设备。
其工作原理是通过测量探头与被测物体表面接触，从而得出厚度数据。
2. 清洁布：用于清洁测量设备和被测物体的表面，确保测量结果的准确性。
3. 电子天平：用于精确测量薄膜和薄片的重量，以便将厚度转换为重量。
四、测量步骤1. 清洁测厚仪的探头和被测物体的表面，确保没有杂质或污染物影响测量结果。
2. 将待测薄膜或薄片放置在电子天平上，记录其重量（W）。
3. 将测厚仪的探头接触到被测物体的表面，保持压力恒定，等待仪器显示厚度读数（T）。
4. 记录读数，并重复步骤3几次，以获得更精确的平均厚度。
5. 通过公式“厚度（μm）= 重量（mg）/长度（cm）/宽度（cm）/密度（g/cm ³）”计算厚度，其中长度、宽度和密度是已知的。
五、结论机械测量法是一种简单、快速且可靠的测量塑料薄膜和薄片厚度的方法。
通过使用精确的测量设备和标准的操作流程，可以获得准确的测量结果，从而帮助生产商控制产品质量并满足客户需求。
然而，需要注意的是，操作过程中应避免过度施加压力，以免对被测物体造成损害。
此外，定期对测量设备进行校准和维护也是保证测量准确性的关键因素。
膜厚测试方法
膜厚测试方法膜厚测试是一种常见的测试方法，用于测量材料或物体表面上薄膜的厚度。
它在各种工业领域中得到广泛应用，如电子、光学、化学等领域。
本文将介绍膜厚测试的原理、常用的测试方法以及测试过程中需要注意的事项。
一、原理膜厚测试的原理是根据不同的测试方法来确定薄膜的厚度。
常见的测试方法包括光学测量、电子显微镜测量和X射线衍射测量等。
光学测量是利用光的干涉或散射原理来测量薄膜厚度的方法。
通过测量入射光和反射光之间的相位差或强度变化，可以计算出薄膜的厚度。
电子显微镜测量是利用电子束与膜样品相互作用的原理来测量薄膜厚度的方法。
通过测量电子束穿过薄膜样品的衰减情况，可以计算出薄膜的厚度。
X射线衍射测量是利用X射线与薄膜样品相互作用的原理来测量薄膜厚度的方法。
通过测量入射X射线经过薄膜样品后的衍射图案，可以计算出薄膜的厚度。
二、常用的测试方法1. 厚度计测量法：使用厚度计直接测量薄膜的厚度。
这种方法适用于较厚的薄膜，但对于较薄的薄膜则不太适用。
2. 交流阻抗测量法：通过测量薄膜表面的电阻和电容来计算薄膜的厚度。
这种方法适用于导电性较好的薄膜。
3. 透射电镜测量法：使用透射电镜观察薄膜的厚度。
这种方法适用于较薄的薄膜，可以达到亚纳米级的测量精度。
4. 扫描电子显微镜测量法：使用扫描电子显微镜观察薄膜的厚度。
这种方法适用于较薄的薄膜，可以达到纳米级的测量精度。
三、测试过程中的注意事项1. 根据薄膜的性质选择合适的测试方法，以获得准确的测量结果。
2. 在进行测量之前，需要对测试仪器进行校准，以确保测量结果的准确性。
3. 在进行测量时，需要保持薄膜样品的表面清洁，以避免污染对测量结果的影响。
4. 测量过程中需要注意避免外界干扰，如振动、温度变化等因素可能影响测量结果的准确性。
5. 测量结束后，需要对测量结果进行分析和处理，以获得薄膜的厚度值。
四、总结膜厚测试是一种常见的测试方法，可以用于测量材料或物体表面上薄膜的厚度。
膜厚测试标准方法与标准
膜厚测试标准方法与标准
膜厚测试是一种用于测量薄膜材料厚度的方法，通常用于质量控
制和研发过程中。
以下是膜厚测试的标准方法和标准：
1. ASTM D1003-13：薄膜透明度测试标准方法。
该标准规定了使
用透射法测量薄膜的透明度的测试程序和仪器要求。
2. ASTM E252-19：金属和金属薄膜厚度测量的标准试验方法。
该标准规定了使用X射线荧光光谱法测量金属和金属薄膜厚度的测试
程序和仪器要求。
3. ISO 4593：塑料薄膜和薄片测量厚度的标准方法。
该标准规
定了使用压缩机测量塑料薄膜和薄片厚度的测试程序和仪器要求。
4. ISO 1667：涂层薄膜测量厚度的标准方法。
该标准规定了使
用磁感测厚仪测量涂层薄膜厚度的测试程序和仪器要求。
这些标准方法和标准确保了膜厚测试的准确性和可重复性，以便
正确评估薄膜材料的质量和性能。
根据具体的应用需求和膜材料类型，可以选择适合的标准方法进行膜厚测试。
等厚干涉法测量薄膜厚度的两种方法
中图分类号 :O43 文献标识码 :A文章编号 :1001 - 2443 (2012) 01 - 0032 - 03薄膜材料具有不同于体材料的特殊性质 ,因而在集成电路工艺中有着广泛的应用. 各种薄膜材料 ,包括 半导体 、金属和绝缘体薄膜可以作为器件的功能层1 ,或作为电极2 ,或者作为钝化层保护器件免受环境的影响等等. 薄膜的质量对器件的性能和成品率有着重要的影响 ,因此需要对薄膜质量进行必要的检查 ,厚度 测量是薄膜质量检查的重要内容之一3 .干涉法测量薄膜厚度是实验和生产中较普遍采用的测量方法 ,其优点是设备简单 ,操作方便 ,无需复杂 的计算. 除了常规的空气膜劈尖干涉法外4 ,本文就等厚干涉法的另外两种形式测量薄膜厚度的原理分别 进行了探讨.空气劈尖取一小片硅片部分地覆盖衬底 , 放入反应腔内生长薄膜 , 生长完成后取下硅片即形成台阶. 将薄玻璃片与带有薄膜台阶的样品沿平行于台阶方向对合 , 一端轻轻压紧 , 另一端用纸片分隔 , 形成空气劈尖 ( 如图 1 所示) . 在读数显微镜下便可观察到干涉条纹. 衬底的一半沉积有厚度为 D 的不透明薄膜 , 它改变了空气膜的厚度 , 即改变了光程差 , 从而使直条纹发生弯折[ 5 ]. 为形成条纹的突然弯折 , 薄膜台阶应尽量陡直.第 k 级暗纹位置 e k 由 ( 1) 式确定 ,1 λλ δ = 2 e k += ( 2 k + 1)暗纹k = 0 , 1 , 2 , 3( 1)22干涉条纹为平行于劈尖棱边的直线条纹 , 每一条纹与空气劈尖的一定厚度 e k 对应. 任意两相邻的暗条纹之间的距离 l 由 ( 2) 式决定 ,λ 1 1l s in θ = e k = 2( k + 1)λ - 2k λ = e k +1 - ( 2) 2式中θ为劈尖的夹角. 可见 , 干涉条纹是等间距的 , 而且θ越小 , l 越大 , 即干涉条纹愈疏 , 反之亦然. 沉积了薄膜的一侧的第 k 级暗纹位置 e ′由( 3) 式确定 λ λ 2 e ′k + = ( 2 k + 1)( 3) 2条纹移动的距离 a 满足a sin θ = e ′k - e k = D结合( 2) 、( 4) 两式可以得到 2( 4)λ a D = ·l( 5)2收稿日期 :2011 - 08 - 15基金项目 :国家自然科学基金( 61106011) 作者简介 :左则文( 1978 - ) , 男 , 安徽郎溪人 , 讲师 , 博士 , 主要从事硅基低维材料与器件方面的研究.透明薄膜劈尖很多薄膜材料在可见光范围内是透明的. 这 里 ,我们以 SiO 2 为例来阐述另一种等厚干涉法测 量透明薄膜厚度的原理.在单晶硅( Si ) 衬底上用化学气相沉积的方法 沉积一层 SiO 2 ,切取一小片用于厚度测量. 将待测 样品切面沿某一方向 ( 以一定角度) 轻磨即可形成 如图 2 所示的 SiO 2 劈尖.2 图 1 弯折干涉条纹示意图Figure 1 Schematic diagram of kinked 2f ringes当用单色光垂直照射 SiO 表面时 , 由于 SiO 2 2 是透明介质 ,入射光将分别在 SiO 2 表面和 SiO 22Si界面处反射 ,反射光相干叠加产生干涉条纹. 由于整个 SiO 2 台阶的厚度是连续变化的 ,因此 ,在 SiO 2 台阶上 将出现明暗相间的干涉条纹.在此系统中 ,空气 、SiO 2 、Si 的折射率分别为 1 ,1 . 5 和 3 . 5 ,因此在两个界面上的反射光都存在“半波损失”,其作用相互抵消 ,对光程差不产生影响 ,由此δ = 2 n e k = k λ 明纹k = 0 , 1 , 2 , 3 ( 5)λ δ = 2 ne k = ( 2 k + 1)暗纹k = 0 , 1 , 2 , 32式中 n 为 SiO 2 的折射率 , e k 为条纹处 SiO 2 层的厚度. 在 SiO 2 台阶楔尖处 e k = 0 , 所以为亮条纹.由 ( 5) 式 , 可以得到两相邻明纹之间的 SiO 2 层的厚度差为( k + 1) λ k λ λ ( 6)e k +1 - e k =- 2 n = 2 n2 n 同样 , 两相邻暗纹之间的 SiO 2 层的厚度差也 为 λ . 2 n由此可见 , 如果从 SiO 2 台阶楔尖算起至台阶顶端共有 m + 1 个亮条纹 ( 或暗条纹) , 则 SiO 2 层的厚度应为λ m2 n( 7)D = 图 2 SiO 2 劈尖形成的干涉示意图Schematic diagram of int erference o n SiO 2 wedge因此 , 已知 SiO 2 的折射率 n ( ≈ 1 . 5 , 与生长条Figure 2 件有关) , 通过读数显微镜观察条纹数即可由( 7) 式得到透明薄膜的厚度. 实验结果与分析以单晶硅作为衬底 ,采用化学气相沉积的方法生长非晶硅薄膜 ,沉积过程中用小片硅片部分遮盖以形成台阶. 作为参考 ,首先用扫描电子显微镜( SE M ) 对 其剖面进行测量 ,得到薄膜的厚度约为 755 n m. 再用 空气劈尖法对薄膜的厚度进行测量 ,得到如下的数据 :3l ( mm )a ( mm )D ( nm )1 230 . 135 0 . 136 0 . 1340 . 353 0 . 352 0 . 354770 . 455 762 . 624 778 . 404实验所用钠双线的波长为分别为 589 . 0 n m 和 589 . 6 nm ,取其平均值 589 . 3 nm 作为入射波长. 计算得到的薄膜平均厚度为 770 . 5 nm ,与扫描电子显微镜测量的结果非常接近 ,表明空气劈尖法可以比较精确地测量薄膜的厚度.利用化学气相沉积法在硅片上生长 SiO 2 薄膜 ,并采用如前所述的方法形成 SiO 2 的劈尖 ,并用读数显微 镜测量劈尖上的干涉条纹. 读数显微镜观察到 SiO 2 劈尖上共有 5 条完整的亮纹 ,即 m = 4 . 取 SiO 2 的折射率为 1 . 5 ,利用公式 ( 7) 计算得到薄膜的厚度约为 785 . 7 n m ,而用扫描电子显微镜测量的剖面厚度约为 853参考文献 :周之斌 ,张亚增 ,张立昆 ,杜先智. 光电器件用铟锡氧化物 I T O 薄膜的制备及特性研究J . 安徽师范大学学报 :自然科学版 ,1995 ,18 ( 2) :66 - 69 . 万新军 ,褚道葆 ,陈声培 ,黄桃 ,侯晓雯 ,孙世刚. 不锈钢表面修饰纳米合金膜电极的电催化活性研究J . 安徽师范大学学报 : 自然科学版 , 2007 ,30 ( 5) :567 - 569 .高雁. 真空蒸发镀膜膜厚的测量J . 大学物理实验 ,2008 ,21 ( 4) :17 - 19 .方正华. 大学物理实验教程M . 合肥 :中国科学技术大学出版社 ,2010 :123 - 129 . 单慧波. 牛顿环实验的拓展J . 物理实验 ,1996 ,16 ( 6) :290 .1 2 3 4 5Two Methods f or Mea s uring the Thickness of Fil m s B a s ed on EqualThickness I nterf e renceZU O Ze 2wen( College of Physics and Elect ro nics Inf o r matio n , Anhui No r m al U niversit y , Wuhu 241000 , China )Abstract : Equal t h ickness interference met h o d is widely applied in p r o d ucti o n due to it s sim ple equip m ent ,co nvenient operati o n , and unco m plicated analysis p rocess. In t his paper , t he p rinciple of t wo met ho d s fo rmeasuring t he t hickness of films based o n equal t hickness interference was discussed. In t hese met ho d s ,m o nochro matic light ref lect s at top and bot to m interf aces of t he wedge 2shaped air o r t ransparent material f ilm s ,w hich is fo r med by utilizing t he step of films , and fo r ms t he interference f ringes. By measuring t he parameters of f ringes , t he t hickness of t he film can be o btained. C o m pared to film 2wedged met ho d , air 2wedged met h o d ism o re appliable due to it s sim pleness and p r ecisi o n .K ey w ords : equal t h ickness interference ; films ; measurement of t h e t h ickness。
薄膜厚度及其折射率的测量
V-棱镜中所装为复合材料的溶液，由于其折射率nso不同
于V-棱镜的折射率np，折射光将以角度θ偏离入射光方向。θ可
由角度计测量得到，给定波长下的nso值可由Snell’s law 确定，
❖
薄膜技术是当前材料科技的研究热点，特别是纳米级
薄膜技术的迅速发展,精确测量薄膜厚度及其折射率等光学参
数受到人们的高度重视。由于薄膜和基底材料的性质和形态不
同，如何选择符合测量要求的测量方法和仪器，是一个值得认
真考虑的问题。每一种测量方法和仪器都有各自的使用要求、
测量范围、精确度、特点及局限性。在此主要介绍测量薄膜厚
薄膜厚度和折射率的。根据光干涉条纹方程，
对于不透明膜：
对于透明膜：
在(4)和(5)式中，q为条纹错位条纹数，c为条纹错位量，
e为条纹间隔。因此，若测得q，c，e就可求出薄膜厚度d 或折射
率nf。
精品课件
7
干涉法主要分双光束干涉和多光束干涉，后者又有多
光束等厚干涉和等色序干涉。双光束干涉仪主‘要由迈克尔逊
高些。
棱镜耦合法存在测量薄膜厚度的下限。测量光需在
膜层内形成两个或两个以上波导模，膜厚一般应大于300-
480nm(如硅基底)；若膜折射率已知，需形成一个波导模，
膜厚应大于100～200nm；测量范围依赖于待测薄膜和基底的
性质，与所选用的棱镜折射率有关。但测量的薄膜厚度没有
周期性，是真实厚度。膜厚测量范围在0.3～15 um，折射率
式两种结构，如图4(a)和4(b)所示。等色序干涉仪也有类似两
种结构形式。
干涉法不但可以测量透明薄膜、弱吸收薄膜和非透明
薄膜，而且适用于双折射薄膜。一般来说，不能同时确定薄膜
薄膜厚度测试方法
薄膜厚度测试方法一、引言薄膜厚度是在很多工业领域中需要进行测量的重要参数，例如电子行业、光学行业、塑料行业等。
正确测量薄膜厚度对于产品质量控制和工艺优化具有重要意义。
本文将介绍几种常见的薄膜厚度测试方法。
二、传统测量方法1.光学显微镜法光学显微镜法是最为直接常用的一种测量方法，通过观察薄膜在显微镜下的影像变化来确定厚度。
这种方法需要专业的显微镜设备和经验丰富的操作人员，能够达到较高的测量精度。
2.激光扫描干涉法激光扫描干涉法是一种非接触式的测量方法，通过激光的干涉现象来测量薄膜的厚度。
该方法可以实现高精度的测量，但需要专门的设备，并对测试环境要求较高。
3.电子显微镜法电子显微镜法是一种基于电子束的测量方法，通过电子束在薄膜上的散射情况来确定厚度。
这种方法具有较高的分辨率和测量精度，适用于测量较薄的膜。
三、先进测量方法1.原子力显微镜法原子力显微镜法利用微小探针与薄膜表面之间的相互作用来测量厚度。
该方法可以实现纳米级的测量精度，并且不受薄膜光学特性的影响。
2.拉曼光谱法拉曼光谱法是一种基于光散射的测量方法，通过测量薄膜散射光的频率变化来确定厚度。
这种方法具有非接触、快速、高精度等特点，在光学材料领域得到广泛应用。
3.X射线衍射法X射线衍射法利用X射线的衍射现象来测量薄膜的厚度。
这种方法需要专业的设备和操作技巧，但可以实现非常高的测量精度。
四、测量注意事项1.样品准备：在进行薄膜厚度测量之前，需要对样品进行处理，确保样品表面平整、无杂质等。
2.测试环境：测量薄膜厚度时，需要在恒温、恒湿的环境中进行，以避免环境因素对测量结果的影响。
3.仪器校准：使用任何一种测量方法进行薄膜厚度测量之前，都需要对仪器进行校准，以确保测量结果的准确性和可靠性。
4.重复性测试：为了提高测量结果的可信度，建议进行多次重复测量，并取平均值作为最终的测量结果。
五、结论本文介绍了几种常见的薄膜厚度测试方法，包括光学显微镜法、激光扫描干涉法、电子显微镜法、原子力显微镜法、拉曼光谱法和X 射线衍射法。
薄膜厚度测试方法
薄膜厚度测试方法一、引言薄膜厚度是薄膜材料的重要物理参数之一，对于许多应用领域来说都非常关键。
因此，准确地测试薄膜厚度是非常重要的。
本文将介绍几种常用的薄膜厚度测试方法，包括光学法、电子显微镜法和原子力显微镜法。
二、光学法光学法是一种常用的非接触式薄膜厚度测试方法。
它利用光的反射和透射特性来测量薄膜的厚度。
一种常见的光学法是自动反射光谱法。
该方法通过测量光在薄膜表面的反射特性来确定薄膜的厚度。
具体步骤为：首先，将待测薄膜放置在反射镜上，然后使用光源照射薄膜表面，并测量反射光谱。
最后，根据反射光谱的特征，利用相关的数学模型计算出薄膜的厚度。
三、电子显微镜法电子显微镜法是一种高分辨率的薄膜厚度测试方法。
它利用电子束与薄膜相互作用的原理来测量薄膜的厚度。
常见的电子显微镜法包括扫描电子显微镜（SEM）和透射电子显微镜（TEM）。
在SEM中，电子束与薄膜表面相互作用，产生的二次电子或背散射电子被探测器接收并转化为图像。
通过观察图像，可以确定薄膜的厚度。
而在TEM中，电子束穿过薄膜，通过对透射电子的衍射图案进行分析，可以计算出薄膜的厚度。
四、原子力显微镜法原子力显微镜法是一种基于力的薄膜厚度测试方法。
它利用探针与薄膜表面之间的相互作用力来测量薄膜的厚度。
原子力显微镜通过探针的运动来感知薄膜表面的形貌，然后根据探针与薄膜的相互作用力变化，可以计算出薄膜的厚度。
由于原子力显微镜具有非常高的分辨率，所以可以对纳米尺度的薄膜进行精确的厚度测量。
五、其他方法除了上述三种常用的薄膜厚度测试方法外，还有一些其他方法也可以用于薄膜厚度的测量。
例如，X射线衍射法、拉曼光谱法、交流阻抗法等。
这些方法都有各自的优缺点，可以根据具体的应用需求选择合适的方法进行薄膜厚度测试。
六、总结薄膜厚度测试是薄膜材料研究和应用中的重要环节。
本文介绍了几种常用的薄膜厚度测试方法，包括光学法、电子显微镜法和原子力显微镜法。
这些方法各有优劣，可以根据实际需求选择合适的方法。
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境 。薄 膜 厚 度 测 量 计 属 于 精 密 仪 器 ， 它 能 检 测 到 灰 尘 的 存 在 ， 同时 能 得 到 不 相 同 的结 果 。操 作 人 员 常 常 使 用 在
同一 点 测 量 两 次 或 三 次 的方 法 ，即一
机 械 式 薄 膜 测 厚 计 上 安 装 了 固 定 砧 台 和 活 动 触 脚 。 如 果 用 于 薄 膜 测 厚 ． 么 活 动 那
０ ２ ～０．０毫 米 ．５ ５
（． １ ． ２英 寸 ） ０ ０ ～０ ０
定要 降低 。 圃
模 具 的诊 断与维护经验琐谈
Ｄ ｎ．ｕｔ ｅａ Ｒ ｐａ ｅ ｏ ｊｓｂ ｅ ｌｃ ｒ ｝
●治 明 编 译
模 具 维 修 技术 员来 到 存放 价 值 数 万 美 元 的 注 塑 模 具 存 储 柜 前 ， 其 中 的
精 确 测量 薄膜厚度 的方法
Ｕｆ ａｔ ｉ ．ｍ ｅｒ Ｗａｓｅ ｗｉ ａｌ ｔ ｔ ａｃｃｕ ａｔ ｈ ｒ ｅ
Ｉ Ｉ ‘
喜 量言 量 ： 柔
力 在 砧 台和 触 脚之 间施 加 正 确 的 接 触 压 力 。更先 进 的 系 统使 用 气压 完 成 相 同的 工 作 。 接触 压 力 过 大 ，作 用 在 薄 膜 上 ，得 到 的 薄 膜厚 度 要 比实 际 的薄 膜 厚 度 薄 。操 作 人 员 常 常 在 触 脚 还 停 留在 薄 膜 表 面 时 ，将 薄 膜 拉 到 下 一 个
承 杆 ，使 之 粘 在 引导 辊 内 。这 会 产 生
接 触 压 力 不 足 ，使 厚 度 读 数 比 实 际 读
数 要 大 。极 端 情 况 下 ，触 脚 不 能 在 其 降低 到测 量 位 置 时 正确 压 住 薄 膜 。
清洁 与重新校 准
挤 出 与 加 工 设 备 为 有 灰 尘 的 环
张 的厚 度 。慢 慢 将 纸 张 拉 出约 ５厘 米 （ ２英 寸 ） 同 时 让 触 脚 位 于 测 量 位 ， 置 。升 高 触 脚 取 出纸 张 。让 触 脚 接 触 砧 台 ，重 新 校 准 测 厚 计 直 到 显 示 厚 度
为 零 。 通 过 升 高 并 降 低 触 脚 的 方 法 测
有 些 薄膜 测 厚 计 带 有 可 以精 确 再 定位 的砧 台 。另 一 种方 法 是 使 用 非常
细 的砂 纸 平 行 于 砧 台加 工触 脚 的平 行 表 面 可 维 修 ，必 须 更 换 。
一
并 行 测 试 与调 整
２所 示 ， 对 比 全 部 四 个 位 置 的 测 量
个 观 点认 为 ：由于 计 量 器 变 化
无法 消 除 ，只 能 接 受 ，因此 精 确 测 量 薄膜 厚 度 变 化 并 不 重要 。接 受 这 一 观
点 的 公 司放 弃 了原 材料 ，因此 利 润注
值 。如 果相 对 两侧 的差 异 （ 后 相 对 、 前 左 右 相 对 ） 过 １毫 米 （． ４密 耳 ） 超 ００ ， 必 须调 节 薄 膜 测厚 计 。
３０ ０ ０～４ ０ ０ ０美 元 模 具 后 ， 技 术 员 转
和 擦 痕 等）， 到 模 具 架 上 找 到 需 要
触脚一般带有平整表面 。
种 被 称 为 “ 压 ”的 技 术 ，来 获 得 具 冲 有 一 致 性 的厚 度 读 数 。这 种 方 法 的 缺 点是增 加测量 时间并且 使薄 膜受压 ， 造 成 比实 际读 数 要 小 的 测量 读 数 。
ｏ 豢
一
为 了清 洁 测 量 表 面 ，在 测 量 砧 台 和触 脚 之 间插 入 一 张 纸 。然 后 让 触 脚 对 着 砧 台压 向纸 面 ，就 如 同在 测 量 纸
９ 一 。
砧 台 与 触 脚 平 台 表 面 必 须 保 持 平 行 ， 差 误 在 １微 米 （ ０ ０． ４密 耳 ） 围 内 ， 才 能 保 持 范 这
大多数机械式 测微计所需要 的测量 精度 。
本 测 试 需 要 在 触 脚 和 砧 台 之 间 使 用 并 行 线 规 。如 图所 示 ． 触 脚 外 侧 到 线 规 地 最 从
解 经 常 用 于 确 定模 具 到什 么 程 度 需 要
更 换 或 不 更换 这 一 决 定过 程 。
在 区域 的模 具 。
（） 果 均 不 明 显 ４如
（ 缺 、切 口 碎
大 多 数 箱 柜 用 数 字 标 注上 相 应 的 备 件 号 ，边 上 挂 着 记 录 模 具 进 出 的 核 对 表 。 技 术 员 迅 速 找 到 所 需 要 的 价 值
砧 台与 触 脚 平 台表 面 必 须 保 持 平 行 ， 误 差 在 １微 米 （ ．４密 耳 ） 围 ００ 范 内 ，这 才 能保 持 大 多 数 机 械 式 测 微 计 所 需 要 的 测 量 精 度 。本 测 试 需 要
将 线 规 放 在砧 台 上 ，并 使 用 标 准 压 力 降 低触 脚 。触 脚 外 侧 到 线 规 的距 离 不 应 超 过 ３毫 米 （／ １ ８英 寸 ） 。如 图
量 其 精 度 ，重 复 三 到 四次 。 测 量 结 果 应 该 在 ０到 ± １微 米 （ ．４密 耳 ） 之 间 。 如 果 结 果 超 过 士０ ０ 该 值 ，那 么 尝 试 使用 沾 有 酒 精 的棉 签 清 洁 测 量 表 面 ，并 重复 校 准 程 序 。如
≤ 薹
测 量 点 。如 果 这 么 做 ，那 么 会 弄 弯 支
大 距 离 不 可 超 过 ３毫 米 （／８英 寸 ） １ 。
果 测 量 错 误 还 存 在 ，执 行 下 文 介 绍 的
并行 程 序 。
直 径 的 并行 线 规 。如 果 仪器 带 有 数 字
显 示 ，那么 打 开 它 ，在 开 始 测 量 之 前 等待 ３ ０分 钟 以 上 的 时 间 让 它 升 温 。