精确测量薄膜厚度的方法

境 。薄 膜 厚 度 测 量 计 属 于 精 密 仪 器 ， 它 能 检 测 到 灰 尘 的 存 在 ， 同时 能 得 到 不 相 同 的结 果 。操 作 人 员 常 常 使 用 在
同一 点 测 量 两 次 或 三 次 的方 法 ，即一
机 械 式 薄 膜 测 厚 计 上 安 装 了 固 定 砧 台 和 活 动 触 脚 。 如 果 用 于 薄 膜 测 厚 ． 么 活 动 那
０ ２ ～０．０毫 米 ．５ ５
（． １ ． ２英 寸 ） ０ ０ ～０ ０
定要 降低 。 圃
模 具 的诊 断与维护经验琐谈
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●治 明 编 译
模 具 维 修 技术 员来 到 存放 价 值 数 万 美 元 的 注 塑 模 具 存 储 柜 前 ， 其 中 的
精 确 测量 薄膜厚度 的方法
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喜 量言 量 ： 柔
力 在 砧 台和 触 脚之 间施 加 正 确 的 接 触 压 力 。更先 进 的 系 统使 用 气压 完 成 相 同的 工 作 。 接触 压 力 过 大 ，作 用 在 薄 膜 上 ，得 到 的 薄 膜厚 度 要 比实 际 的薄 膜 厚 度 薄 。操 作 人 员 常 常 在 触 脚 还 停 留在 薄 膜 表 面 时 ，将 薄 膜 拉 到 下 一 个
承 杆 ，使 之 粘 在 引导 辊 内 。这 会 产 生
接 触 压 力 不 足 ，使 厚 度 读 数 比 实 际 读
数 要 大 。极 端 情 况 下 ，触 脚 不 能 在 其 降低 到测 量 位 置 时 正确 压 住 薄 膜 。
清洁 与重新校 准
挤 出 与 加 工 设 备 为 有 灰 尘 的 环
张 的厚 度 。慢 慢 将 纸 张 拉 出约 ５厘 米 （ ２英 寸 ） 同 时 让 触 脚 位 于 测 量 位 ， 置 。升 高 触 脚 取 出纸 张 。让 触 脚 接 触 砧 台 ，重 新 校 准 测 厚 计 直 到 显 示 厚 度
为 零 。 通 过 升 高 并 降 低 触 脚 的 方 法 测
有 些 薄膜 测 厚 计 带 有 可 以精 确 再 定位 的砧 台 。另 一 种方 法 是 使 用 非常
细 的砂 纸 平 行 于 砧 台加 工触 脚 的平 行 表 面 可 维 修 ，必 须 更 换 。
一
并 行 测 试 与调 整
２所 示 ， 对 比 全 部 四 个 位 置 的 测 量
个 观 点认 为 ：由于 计 量 器 变 化
无法 消 除 ，只 能 接 受 ，因此 精 确 测 量 薄膜 厚 度 变 化 并 不 重要 。接 受 这 一 观
点 的 公 司放 弃 了原 材料 ，因此 利 润注
值 。如 果相 对 两侧 的差 异 （ 后 相 对 、 前 左 右 相 对 ） 过 １毫 米 （． ４密 耳 ） 超 ００ ， 必 须调 节 薄 膜 测厚 计 。
３０ ０ ０～４ ０ ０ ０美 元 模 具 后 ， 技 术 员 转
和 擦 痕 等）， 到 模 具 架 上 找 到 需 要
触脚一般带有平整表面 。
种 被 称 为 “ 压 ”的 技 术 ，来 获 得 具 冲 有 一 致 性 的厚 度 读 数 。这 种 方 法 的 缺 点是增 加测量 时间并且 使薄 膜受压 ， 造 成 比实 际读 数 要 小 的 测量 读 数 。
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一
为 了清 洁 测 量 表 面 ，在 测 量 砧 台 和触 脚 之 间插 入 一 张 纸 。然 后 让 触 脚 对 着 砧 台压 向纸 面 ，就 如 同在 测 量 纸
９ 一 。
砧 台 与 触 脚 平 台 表 面 必 须 保 持 平 行 ， 差 误 在 １微 米 （ ０ ０． ４密 耳 ） 围 内 ， 才 能 保 持 范 这
大多数机械式 测微计所需要 的测量 精度 。
本 测 试 需 要 在 触 脚 和 砧 台 之 间 使 用 并 行 线 规 。如 图所 示 ． 触 脚 外 侧 到 线 规 地 最 从
解 经 常 用 于 确 定模 具 到什 么 程 度 需 要
更 换 或 不 更换 这 一 决 定过 程 。
在 区域 的模 具 。
（） 果 均 不 明 显 ４如
（ 缺 、切 口 碎
大 多 数 箱 柜 用 数 字 标 注上 相 应 的 备 件 号 ，边 上 挂 着 记 录 模 具 进 出 的 核 对 表 。 技 术 员 迅 速 找 到 所 需 要 的 价 值
砧 台与 触 脚 平 台表 面 必 须 保 持 平 行 ， 误 差 在 １微 米 （ ．４密 耳 ） 围 ００ 范 内 ，这 才 能保 持 大 多 数 机 械 式 测 微 计 所 需 要 的 测 量 精 度 。本 测 试 需 要
将 线 规 放 在砧 台 上 ，并 使 用 标 准 压 力 降 低触 脚 。触 脚 外 侧 到 线 规 的距 离 不 应 超 过 ３毫 米 （／ １ ８英 寸 ） 。如 图
量 其 精 度 ，重 复 三 到 四次 。 测 量 结 果 应 该 在 ０到 ± １微 米 （ ．４密 耳 ） 之 间 。 如 果 结 果 超 过 士０ ０ 该 值 ，那 么 尝 试 使用 沾 有 酒 精 的棉 签 清 洁 测 量 表 面 ，并 重复 校 准 程 序 。如
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测 量 点 。如 果 这 么 做 ，那 么 会 弄 弯 支
大 距 离 不 可 超 过 ３毫 米 （／８英 寸 ） １ 。
果 测 量 错 误 还 存 在 ，执 行 下 文 介 绍 的
并行 程 序 。
直 径 的 并行 线 规 。如 果 仪器 带 有 数 字
显 示 ，那么 打 开 它 ，在 开 始 测 量 之 前 等待 ３ ０分 钟 以 上 的 时 间 让 它 升 温 。