等离子刻蚀机的活化作用

何谓等离子刻蚀机？

等离子刻蚀机又称等离子清洗机，英文名：plasma cleaner是一种全新的高新科技技术，也叫等离子表面处理仪，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现改性、清洁、涂覆、光刻胶灰化等目的。

等离子刻蚀机通过对样品表面进行改性（亲水性），同时除掉表面有机物，使多种材料之间能够进行贴合、涂覆、镀膜等工艺操作。从研究开发到工艺生产使用，

从表面微细加工到表面处理改质效果都非常好，应用广泛。

什么是等离子体？

等离子体又名电浆，是由带正电的正粒子、负粒子（其中包括正离子、负离子、电子、自由基和各和活性基团等）组成的集合体，其中正电荷和负电荷相等故称等离子体，是除固态、液态、气态之外物质存在的第四态—等离子态。

如果连续为物质提供能量，其温度会相应升高，物质状态会从固态变为液态，然后过渡为气态。如果继续提供能量，当前原子壳层会发生分裂，并产生带电粒子（带负电荷的电子和带正电荷的离子）。这种混合物被称作等离子体或

者“物质的第四态”。

简而言之：在提供能量的情况下发生了物质状态的变化：

固态⇒液态⇒气态⇒等离子态

在自然界中存在着等离子体，例如在闪电、极光、火焰和太阳中。此外，氖管、焊接的时候，以及闪光灯均会产生人造等离子体。

等离子清洗机的原理：

用空气或氧气等离子体中进行活化，塑料聚合物的非极性氢键被氧键替代，为表面提供自由价电子与液体分子结合，从而提高“非粘合性”塑料具有很好的粘合性和可喷涂性。在真空等离子体中，除了空气和氧气之外还可以使用其他气体，这些气体能够在氧气的位置吸附氮气、胺类或者羰基作为反应性基团。

等离子刻蚀机处理后表面的活性在几周和几个月之后仍然有效。但是，应该尽快进行后续加工，因为随着不断老化，会吸附新的脏污，活性丧失

◆等离子刻蚀机广泛用于：

1．等离子表面活化/清洗； 2.等离子处理后粘合； 3. 等离子蚀刻/活

化； 4. 等离子去胶； 5. 等离子涂镀(亲水,疏水)； 6. 增强邦定性；7.等离子涂覆；8.等离子灰化和表面改性等场合。

通过其处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。

◆等离子刻蚀机能处理的产品有：

金属、PE、PP、PVF2、PVC、PT、LDPE、铁氟龙等材料、连接器、线材、玻璃镜片、汽车百叶窗和氖灯、卤天灯的反光镜处理等等

◆等离子刻蚀机应用领域：

金属---去除金属表面的油脂,油污等有机物及氧化层

汽车制造---用于汽车制造过程中的塑料和喷漆前处理

纺织品生产---用于纺织品,滤网和薄膜的亲水性,疏水性和表面改性处理

生物医疗---培养皿提高活性，血管支架，注射器，导管和各种材料的亲润，交合涂覆前处理。

航空航天---绝缘材料，电子元件等表面涂覆前处理

电子---线路板的清洗和蚀刻。胶片，PP等材料的无氧化和活化处理，改进可焊性

半导体行业---晶圆加工及处理去除光刻胶，封装前预处理

LED---支架清洗封装前预处理

塑料橡胶---提高PS，PE，PTFE，TPE，POM，AS和PP等材料表面活性，使其利于粘接，印刷。

◆灰化表面有机层

-表面会受到物理击和化学处理

等离子清洗机，英文叫（Plasma Cleaner）又叫等离子蚀刻机、等离子平面清洗机、等离子体清洗机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子处理机/等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、等离去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子处理和等离子表面处理等场合。通过其等离子表面处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。等离子清洗，是干法清洗中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲，等离子清洗实质

上是等离子体清洗的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体清洗工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。近期的发展是在反应室的内部安装成搁架形式，这种设计的是富有弹性的，用户可以移去架子来配置合适的等离子体的蚀刻方法：反应性等离子体（RIE），顺流等离子体（downstream），直接等离子体（direction plasma）。

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理 GDR-PLASMA 是专业从事真空及大气等离子清洗机、等离子处理机、等离子清洗机、等离子去胶机、等离子灰化机、等离子表面处理机、等离子表面处理设备，射频及微波等离子体技术研发、推广、销售于一体的高新技术企业，隶属于戈德尔等离子科技（香港）控股有限公司，总部设于香港。