薄膜技术及应用

合集下载

薄膜技术与应用(共13张PPT)

薄膜技术与应用(共13张PPT)
第十一页,共13页。
市场应用前景
❖ 太阳能作为一种取之不尽用之不竭的清洁能源正 在得到迅速的发展与应用。太阳能发电站、太阳 能卫星供电、太阳能汽车充电等等。而作为太阳 能能源转换媒介的太阳能电池扮演了重要的角色 ,其中作为第三代太阳能
❖ 电池:CIS系薄膜太阳能电 ❖ 池,它具有优良的抗干扰、 ❖ 耐辐射、使用寿命长转换 ❖ 效率高等特点,注定了它 ❖ 必然在未来的太阳能产业 ❖ 链中大放异彩。
第十二页,共13页。
第十三页,共13页。
H2Se是最好的硒源,但具有 毒性且 容易挥发;固态 Se作为硒源,Se难以压制, 在热处理过程中会导致In、 Ga等元素的损失。
第九页,共13页。
真空硒化退火装置示意图
氩气
辉光 放电
Ar+
靶材
Cu、In、Ga
基底
磁控溅射制备预置层
磁控溅射系统示意图
CIG预置 层
第十页,共13页。
铜铟镓硒(CIGS)薄膜产品与应用
据薄膜沉积过程,共蒸发可分为一步法、两步法
和三步法。
共蒸发法实验设备示意图
第五页,共-Se预置层 表面富Cu的CIGS薄膜
等化学计量比的CIGS
稍微贫铜的P型CIGS
第六页,共13页。
❖ 基底温度较低的情况下(400°C)蒸发In、Ga、 Se形成一层In-Ga-Se预置层。控制原子比例 In:Ga=0.7 : 0.3, In+Ga/Se=2:3
❖组成材料:Mo、ZnO、AI、ZnS、MgO以及
Cu、In、Ga、Se等材料。
Ø多源共蒸发法!
真空工艺
•制备工艺
Ø溅射后硒化法! Ø分子束外延法
Ø化学气相沉淀法
Ø电化学沉积法

薄膜技术的发展和应用

薄膜技术的发展和应用

薄膜技术的发展和应用随着科技的不断进步,薄膜技术也得到了广泛应用和发展。

本文将就薄膜技术的发展和应用进行介绍。

一、薄膜技术的定义和分类薄膜技术是指将材料以极薄的层数覆盖在基材表面上的技术。

薄膜技术因其独特的性质,在电子、医疗、能源、光电和材料领域都有广泛的应用。

薄膜技术按照制备工艺可分为物理气相沉积法、化学气相沉积法、溅射法、离子束沉积法和溶液法等。

其中,物理气相沉积法和化学气相沉积法是基于气相反应制备薄膜,而溅射法和离子束沉积法则是基于固态反应制备薄膜。

二、薄膜技术的应用1、电子领域薄膜技术在电子领域有着广泛的应用,如显示器件中的膜电极和透光薄膜,硅上集成电路中的金属线薄膜和凸点薄膜,以及太阳能电池中的透明导电膜等。

通过不同种类的薄膜组合,可以制造出光电显示器件、光二极管、半导体器件等。

2、医疗领域薄膜技术在医疗领域也有广泛的应用,如人造器官表面的生物相容性薄膜、药物释放薄膜、医用传感器薄膜、隔离膜和过滤膜等。

这些薄膜可以帮助医学界实现更好的医学检测和治疗。

3、能源领域薄膜技术在能源领域也发挥了重要的作用,如太阳能电池和燃料电池中的薄膜。

通过合适的制备工艺可以制造出透明导电膜、锂离子电池隔膜、固体氧化物燃料电池氧离子传输膜等薄膜材料。

4、光电领域光电领域是薄膜技术应用较早的领域之一,尤其是光学涂层和抗反射膜方面的应用。

薄膜技术不仅可以增强光学元件的透过率和强度,还可以制造仿生光学器件等。

5、材料领域薄膜技术还可以制造出纳米微观结构,实现材料性质的精细控制,如金属膜的纳米微结构、高分子复合薄膜、磁性薄膜等,这些材料在生产制造、传感器等领域有广泛的应用。

三、薄膜技术未来的发展趋势随着技术的不断更新,薄膜技术也在不断地发展和创新。

未来薄膜技术的发展趋势将主要集中在以下几个方面:1、多层薄膜技术的发展多层薄膜技术是目前的一个研究热点,它可以实现对于薄膜性质的控制和变化。

通过不同比例的堆叠和改变各种材料的结构和性质,可以制备出更加精细的薄膜材料。

《薄膜技术及应用》课件

《薄膜技术及应用》课件

2 未来几年
薄膜技术有望获得持续健康发展,特别是在 光伏、新能源车等领域有着更加广阔的应用 前景。
薄膜技术与现代产业
未来汽车
薄膜技术和新能源汽车实现无 缝对接,开拓先进光伏材料、 电池材料、排放净化材料等领 域。
智慧建筑
薄膜技术的突破将逐步推动我 们的建筑前沿技术的发展,不 断提升建筑性能。
人工智能
应用价值
薄膜技术已经广泛应用于光电子、信息技术、太阳 能、新能源、生物医学等领域。
薄膜技术的分类
磁性材料薄膜技术
磁性材料薄膜技术主要应用于光信息存储材料、 记录材料、传感器等。
金属材料薄膜技术
金属材料薄膜技术主要应用为电阻器、电容器、 电化学传感器、防腐材料等。
半导体薄膜技术
半导体薄膜技术应用于太阳能电池、TFT-LCD、 半导体激光等。
碳基薄膜技术
碳基薄膜技术应用于涂覆材料、涂层材料、防 腐材料、石墨涂层等。
薄膜技术的应用
薄膜技术是当今最先进的材料技术之一。它的应用范围极为广泛。
太阳能行业
薄膜电池比晶体硅太阳电池更轻 薄,更灵活适应市场需求。
信息技术行业
薄膜技术在信息技术领域的应用 包括TFT-LCD、LED显示器、半导 体激光等。
《薄膜技术及应用》PPT 课件
本课程旨在探索薄膜技术的应用及未来展望。从光电子、信息技术、太阳能、 新能源、生物医学、材料科学六大行业入手,深入学习薄膜技术相关知识。
Hale Waihona Puke 么是薄膜技术?薄膜技术是指将材料制备成很薄的薄膜(通常小于1微米),然后进行加工和利用的技术。
制备工艺
薄膜技术的制备工艺包括溅射、化学气相沉积等多 种方法。
4
新能源领域

薄膜材料及其在光电领域中的应用

薄膜材料及其在光电领域中的应用

薄膜材料及其在光电领域中的应用引言:随着科技的飞速发展,光电领域在各个领域中扮演着至关重要的角色。

薄膜材料是光电领域中的重要组成部分,具有广泛的应用前景。

本文将深入探讨薄膜材料的特性以及在光电领域中的应用,并探究其未来发展的趋势。

1. 薄膜材料的特性薄膜材料是一种厚度在纳米到微米的材料,具有以下特性:1.1 良好的光学性能:薄膜材料具有独特的光学性质,如高透射率、低反射率和高折射率。

这些性能使其成为制备高效光电器件的理想选择。

1.2 高比表面积:薄膜材料具有大比表面积,这使得其在吸附分子、电化学催化和光催化反应中具有显著的优势。

同时,高比表面积也提高了薄膜材料的光敏度,使其在光电器件中具有更高的效率。

1.3 可控的化学性质:薄膜材料的制备过程可以通过控制反应条件来精确调控其化学性质。

这种可控性使得薄膜材料能够适应不同的应用需求,并提供定制化的解决方案。

2. 薄膜材料在太阳能电池中的应用由于其出色的光学性能和可控的化学性质,薄膜材料在太阳能电池中有着广泛的应用。

2.1 透明导电膜:透明导电膜是太阳能电池中的关键组件之一,用于实现电荷的收集和传输。

氧化铟锡(ITO)薄膜是目前最常用的透明导电膜,但其成本较高且含有稀有金属。

近年来,氧化铟锌(IZO)薄膜和导电聚合物薄膜逐渐成为替代品,具有更好的导电性能和成本效益。

2.2 光吸收层:在太阳能电池中,薄膜材料可以用作光吸收层,用于吸收太阳能并转化为电能。

硒化镉(CdTe)和硫化铜铟镓(CIGS)是常用的光吸收层材料,具有较高的光电转换效率和较低的制造成本。

2.3 保护层:薄膜材料还可以作为太阳能电池的保护层,用于保护光吸收层免受外界环境的损害,如氧化、湿氧化和光热等。

二氧化硅(SiO2)和聚合物薄膜是常用的保护层材料,具有良好的化学稳定性和机械强度。

3. 薄膜材料在光电显示器件中的应用薄膜材料在光电显示器件中具有广泛的应用,其中最具代表性的是液晶显示器(LCD)和有机发光二极管显示器(OLED)。

薄膜材料的应用及进展

薄膜材料的应用及进展

薄膜材料的应用及进展薄膜材料是在一定的加工工艺下制成的厚度小于1毫米的材料。

随着科学技术的不断发展,薄膜材料已经被广泛应用于各个领域。

本文将从应用和进展两个方面介绍薄膜材料的发展现状。

一、应用:1、太阳能电池板:薄膜材料的应用最为突出的便是太阳能电池板。

通过采用热蒸发、电子束蒸发、溅射等技术,在底片上制成彩色薄膜太阳能电池板。

此外,薄膜太阳能电池板具有高效率、轻质化以及柔性等优点,成为新一代太阳能电池板的主要研究方向。

2、面板显示技术:另外,薄膜材料在面板显示技术中也有着广泛的应用,包括LED电视机、手机屏幕等。

甚至在手机屏幕领域,柔性薄膜技术也已经被开发出来,为顾客的应用带来更舒适的体验。

3、储能电池:在储能电池方面,薄膜材料也起到了重要的作用。

采用薄膜材料制成的锂离子电池,相比传统电池,具有更高的能量密度、更佳的稳定性和安全性,因此在大型储能设备、节能照明灯具、电动汽车等领域具有可观的市场前景。

4、靶材和涂层材料:此外,薄膜材料还在很多高科技领域中被用到。

比如在半导体行业,薄膜材料作为靶材和涂层材料,被广泛应用于制作金属薄膜、光学薄膜等,以满足集成电路和显示器等领域的制造需求。

二、进展:1、制备工艺的发展:为了应对不同的应用需求,薄膜材料的制备工艺也在不断优化和改进。

例如,采用热蒸发法制备太阳能电池板,可以提高太阳能电池板的转化效率;采用电镀法和溶胶凝胶法制备锂离子电池,可以提高锂离子电池的功率密度和循环寿命等。

2、薄膜材料的多元化:当前,一些新型薄膜材料正在被研究和开发,以满足更多领域的需求,比如大规模、高功率电池。

石墨烯和二硫化钼等材料的薄膜化制备技术也正在逐渐成熟。

3、柔性薄膜的研究与应用:柔性薄膜技术是近年来比较热门的研究方向,柔性薄膜的应用具有颠覆性的革新意义。

柔性薄膜材料在可穿戴电子设备、可折叠电视,以及挤压式传感器等领域具有广泛的应用前景。

总之,薄膜材料的应用和研究进展表明了其在很多领域中的重要作用。

薄膜材料制备原理、技术及应用

薄膜材料制备原理、技术及应用

薄膜材料制备原理、技术及应用薄膜材料是在基材上形成的一层薄膜状的材料,通常厚度在几纳米到几十微米之间。

它具有重量轻、柔韧性好、透明度高等特点,广泛应用于电子、光学、能源、医疗等领域。

薄膜材料制备的原理主要涉及物理蒸发、溅射、化学气相沉积等方法。

其中,物理蒸发是指将所需材料制成块状或颗粒状,利用高温或电子束加热,使材料从固态直接转变为蒸汽态,并在基材上沉积形成薄膜。

溅射是将材料制成靶材,用惰性气体或者稀释气体作为工作气体,在高电压的作用下进行放电,将靶材表面的原子或分子溅射到基材上形成薄膜。

化学气相沉积是指在一定条件下,将气态前体分子引入反应室,通过化学反应沉积到基材上,形成薄膜。

薄膜材料制备技术不仅包括上述原理所述的基本制备方法,还涉及到不同材料、薄膜厚度、表面质量等方面的特定要求。

例如,为了提高薄膜的品质和厚度均匀性,可采用多台蒸发源同时蒸发的方法,或者通过旋涂、喷涂等方法使得所需薄膜材料均匀地覆盖在基材上。

此外,为了实现特定功能,还可以通过控制制备条件、改变材料组成等手段来改变薄膜的特性。

薄膜材料具有多种应用领域。

在电子领域,薄膜材料可以用于制作集成电路的介质层、金属电极与基板之间的隔离层等。

在光学领域,薄膜材料可以用于制作光学滤波器、反射镜、透明导电膜等。

在能源领域,薄膜材料在太阳能电池、锂离子电池等器件中扮演重要角色。

在医疗领域,薄膜材料可以用于制作人工器官、医用伽马射线屏蔽材料等。

此外,薄膜材料还应用于防腐蚀涂料、食品包装、气体分离等领域。

虽然薄膜材料制备技术已经相对成熟,但是其制备过程中仍然存在一些挑战。

例如,薄膜厚度均匀性、结晶性能、粘附性能等方面的要求十分严格,制备过程中需要控制温度、压力、物质流动等多个参数的影响,以确保薄膜的质量。

此外,部分薄膜材料的制备成本相对较高,制约了其在大规模应用中的推广。

总的来说,薄膜材料制备原理、技术及其应用具有重要的实际意义。

通过不断改进制备技术,提高薄膜材料的制备效率和质量,将有助于推动薄膜材料在各个领域的更广泛应用。

薄膜技术及应用

薄膜技术及应用
物理气相沉积技术逐渐成 熟,广泛应用于电子、光 学和机械等领域。
20世纪末至今
随着新材料和制备技术的 不断发展,新型薄膜材料 不断涌现,薄膜技术应用 领域不断扩大。
02
薄膜制备技术
物理气相沉积(PVD)
真空蒸发沉积
利用加热蒸发材料,使其 原子或分子从固态表面升 华进入气态,然后在基底 表面凝结形成薄膜。
导体薄膜
功能薄膜
用于制造集成电路、微电子器件和薄 膜晶体管等,具有高导电性能和稳定 性。
如光电转换薄膜、磁性薄膜、传感器 用敏感薄膜等,在电子器件中具有特 定功能。
绝缘薄膜
用作电子器件的介质层和绝缘材料, 具有低介电常数和损耗、高击穿场强 等特点。
光学领域
反射和滤光薄膜
用于控制光的反射、透射、干涉和偏振等特性, 在光学仪器、摄影、照明等领域有广泛应用。
多功能化薄膜
通过材料复合和结构设计,制备具有多功能特性的薄膜,如光学、热学、电学、磁学等多重性能的集 成。
THANKS FOR WATCHING
感谢您的观看
薄膜的分类
01
按材料分类
金属薄膜、制备方法分类
功能薄膜(如导电薄膜、光学薄 膜、磁性薄膜等)、结构薄膜等。
物理气相沉积、化学气相沉积、 溶胶-凝胶法等。
薄膜技术的发展历程
01
02
03
19世纪末
真空蒸发镀膜技术出现, 主要用于制造光学仪器和 装饰品。
20世纪中期
薄膜技术及应用
目录
• 薄膜技术简介 • 薄膜制备技术 • 薄膜的应用领域 • 薄膜的未来发展与挑战
01
薄膜技术简介
薄膜的定义与特性
定义
薄膜是一种厚度在微米到纳米级别的 材料,覆盖在基底上,具有特定的物 理、化学和机械性能。

薄膜张力的原理及应用

薄膜张力的原理及应用

薄膜张力的原理及应用薄膜张力的原理薄膜张力是指薄膜表面的分子间相互吸引力所产生的力量,表现为薄膜表面有一个尽可能小的面积的倾向。

薄膜张力是由表面张力和内部张力相互作用而产生的。

表面张力表面张力是指液体表面分子受到内部引力的影响,在表面产生的张力。

液体分子之间的相互作用力会使得液体在表面形成一个膜状结构,这种结构使得液面上的分子尽可能地靠近彼此,从而产生表面张力。

内部张力内部张力是指液体中各个分子之间的相互作用,也称为体内张力。

液体分子之间的内部相互作用力会使得液体内部形成一个紧密的结构,从而产生内部张力。

薄膜张力的应用薄膜张力具有广泛的应用领域,以下是一些典型应用:1.薄膜涂覆技术:薄膜张力可以帮助实现高质量的薄膜涂覆。

薄膜材料在涂覆时,由于薄膜张力的作用,可以更好地附着在被涂覆的物体表面,保证涂层的均匀性和稳定性。

2.液体包装:薄膜张力可以用于液体包装中的密封功能。

在包装过程中,通过调整薄膜的张力大小和分布,可以实现液体包装的密封性能,确保包装内液体不泄漏。

3.薄膜印刷:薄膜张力可以调节印刷过程中的薄膜张紧度,确保印刷质量。

薄膜在印刷过程中需要紧贴印刷板或印刷轴,薄膜张力的控制可以使薄膜保持适当的张紧度,避免印刷时薄膜产生起皱或变形。

4.涂布工艺:薄膜张力可以用于涂布工艺中的薄膜张紧。

在涂布过程中,薄膜需要张紧在涂布辊上,通过控制薄膜的张力,可以确保薄膜的平整度和涂布的均匀性。

5.薄膜过滤:薄膜张力可以用于薄膜过滤中的滤除物的选择和滤过速度的控制。

薄膜可以通过调整张力,选择滤除特定大小的杂质,并控制液体的滤过速度,实现高效的薄膜过滤。

总结薄膜张力是由表面张力和内部张力相互作用而产生的,它在多个领域都有重要的应用。

薄膜张力可以通过调整张力大小和分布来控制涂覆、包装、印刷、涂布和过滤等工艺过程中的薄膜性能和质量,为工业生产和科学研究提供了重要的基础。

薄膜技术的应用研究

薄膜技术的应用研究

薄膜技术的应用研究随着科技的发展,人们对于材料的要求越来越高。

薄膜技术作为一项先进的新型材料处理技术,不仅能够有效地改良材料的性质,还能满足人们对于新型材料的不断追求。

薄膜技术的应用研究,关乎着材料科学的未来发展。

本文将探究薄膜技术的应用研究。

一、什么是薄膜技术?薄膜技术是指利用各种物理化学的手段、尤其是利用化学气相沉积、溅射、离子注入、电化学沉积、溶液浸涂等方式制备的具有一定形貌和一定功能的高分子、金属、半导体、非晶体、单质及复合材料的薄膜。

薄膜一般可以分成单层薄膜、多层薄膜和复合薄膜三大类。

薄膜技术具有制备方法简单、无污染、成本低、制备速度快、制备膜层具有良好的压电、防腐蚀性、能吸附有害气体、有光电功能等特点。

这使得薄膜技术在电子、光电、光学、生物医学、信息存储、能源等领域得到了广泛的应用。

二、薄膜技术在电子领域的应用电子设备需求微小成分和高效性能,这使得薄膜技术成为电子领域的重要技术。

薄膜技术可以用于制造电容器、电阻器、电感器、磁性材料、半导体器件、微处理器等电子材料。

在显示技术中,薄膜技术制备的ITO透明电极不仅具备良好的电传导性能,而且还具有很好的光透过性能,使得其在OLED、太阳能电池和触控屏等电子显示器件中广泛应用。

在半导体器件中,薄膜技术可以用于制造半导体材料的原材料、累积生长多晶硅、微处理器的加工等。

同时,薄膜技术制备的硅质薄膜保证了晶体管及集成电路的良好工作性能,还可以防止杂散电压的产生,保证电路设计的稳定运行。

三、薄膜技术在生物医学领域的应用薄膜技术在生物医学领域的应用主要包括生物传感器、药物控释及组织工程领域等。

在生物传感器中,薄膜技术可以制备敏感度高、选择性好、反应快速的传感材料薄膜,实现生物分子的检测。

例如,用薄膜技术制备的氨气传感器、NO2气体传感器、生物传感器可以准确地用于检测空气质量和水质污染情况。

在药物控释中,薄膜技术可以通过制备具有特殊性质的材料薄膜来实现药物的缓慢释放,延长药效持续时间。

薄膜材料制备原理、技术及应用

薄膜材料制备原理、技术及应用

薄膜材料制备原理、技术及应用1. 引言1.1 概述薄膜材料是一类具有微米级、甚至纳米级厚度的材料,其独特的性质和广泛的应用领域使其成为现代科学和工程中不可或缺的一部分。

薄膜材料制备原理、技术及应用是一个重要且广泛研究的领域,对于探索新材料、开发新技术以及满足社会需求具有重要意义。

本文将着重介绍薄膜材料制备的原理、常见的制备技术以及不同领域中的应用。

首先,将详细讨论涂布法、旋涂法和离子束溅射法等不同的制备原理,分析各自适用的场景和优缺点。

然后,将介绍物理气相沉积技术、化学气相沉积技术以及溶液法制备技术等常见的薄膜制备技术,并比较它们在不同实际应用中的优劣之处。

最后,将探讨光电子器件、传感器和生物医药领域等各个领域中对于薄膜材料的需求和应用,阐述薄膜材料在这些领域中的重要作用。

1.2 文章结构本文将按照以下顺序进行介绍:首先,在第二部分将详细介绍薄膜材料制备的原理,包括涂布法、旋涂法以及离子束溅射法等。

接着,在第三部分将探讨物理气相沉积技术、化学气相沉积技术以及溶液法制备技术等常见的制备技术。

然后,在第四部分将介绍薄膜材料在光电子器件、传感器和生物医药领域中的应用,包括各个领域需求和现有应用案例。

最后,在结论部分对整篇文章进行总结,并提出未来研究方向和展望。

1.3 目的本文旨在全面系统地介绍薄膜材料制备原理、技术及应用,为读者了解该领域提供一个基本知识框架。

通过本文的阐述,读者可以充分了解不同的制备原理和方法,并了解到不同领域中对于特定功能或性质的薄膜材料的需求与应用。

同时,本文还将重点突出薄膜材料在光电子器件、传感器和生物医药领域中的重要作用,以期为相关研究提供参考和启发。

以上为“1. 引言”部分内容的详细清晰撰写,请根据需要进行修改补充完善。

2. 薄膜材料制备原理:2.1 涂布法制备薄膜:涂布法是一种常见的制备薄膜的方法,它适用于各种材料的制备。

首先,将所需材料以溶解或悬浮态形式制成液体,然后利用刷子、喷雾或浸渍等方式将液体均匀地涂敷在基板上。

材料物理学中的薄膜制备技术及应用

材料物理学中的薄膜制备技术及应用

材料物理学中的薄膜制备技术及应用材料物理学是关于材料物理特性和结构的研究。

薄膜制备技术是材料物理学中的一个重要分支,它涉及对特定材料进行薄膜制备和表面改性的过程研究。

薄膜制备技术有很多种,如溅射沉积、物理气相沉积、化学汽相沉积、分子束外延、电子束物理气相沉积等。

薄膜制备技术的应用范围十分广泛,如电子学、纳米科技、光学、医疗等领域,可制备出各种材料的薄膜,如金属、半导体、氧化物、非晶态材料等。

例如,随着光学陀螺等高性能惯性导航设备的发展,利用化学气相沉积技术制备的氧化铂之类的高质量惯性器件薄膜在这方面应用得越来越广泛。

利用薄膜制备技术,制备纳米级薄膜在新型量子器件、合成材料、生物传感器、太阳电池、微电子机械系统(MEMS)等领域中具有重要的应用潜力。

与纳米颗粒相比,薄膜在二维空间上比较方便进行微结构、微纳加工和表面修饰,可以制备出各种二维异质结构和纳米结构,具有很高的晶体质量和化学稳定性,因此更受到人们的青睐。

薄膜制备技术还可以用于研究材料表面的物理和化学特性,如表面电子状态、导电和磁性等特性。

这些特性对材料本身的性能具有重要影响,因此对材料表面特性的研究和理解也是材料物理学研究的重要方向之一。

其中,溅射沉积技术是制备化合物薄膜的重要方法之一,其主要作用是将材料靶上的原子通过溅射在衬底表面上形成薄膜。

溅射沉积技术具有制备多种薄膜的优秀性能,可用于制备氧化物、氮化物、碳化物及其复合材料等不同种类的薄膜。

物理气相沉积是另一种常用的薄膜制备技术。

其制备原理是将可挥发的材料在高真空条件下被蒸发成气态分子,然后在衬底表面冷凝出薄膜。

这种技术制备薄膜具有优秀的质量、晶结构和良好的复杂化学成分控制能力。

化学汽相沉积技术是利用化学反应来生成所需材料分子,然后将其输送到衬底表面进行沉积的技术。

这种技术可以制备很多种复杂结构的材料,如金属氧化物、非晶态材料等,而且可以控制材料的形貌和晶体结构等性质。

不能不提的是,电子束物理气相沉积技术,是一种专门用于生产微电子器件的技术,可以生成尺寸只有微米的精密结构,同时,这种技术的高严密性、高分辨率和高可重复性也是它的重要优势。

新型薄膜技术的研究与应用

新型薄膜技术的研究与应用

新型薄膜技术的研究与应用随着科学技术的不断发展,新型薄膜技术逐渐成为各个领域研究的热点之一。

新型薄膜技术是指采用一系列先进的工艺和材料,将各种不同性质的薄膜制备在不同的基板上,用于实现各种复杂的功能。

随着各行各业对新型薄膜技术的不断探索和创新,新型薄膜技术的应用范围也逐渐扩大。

一、新型薄膜技术的研究背景新型薄膜技术的研究起源于20世纪70年代。

随着微电子技术、信息技术、材料科学技术的飞速发展,薄膜技术的应用领域不断扩大,包括电子器件、太阳能电池、触摸屏、显示器、生物医学、纳米材料、涂层、防护等众多领域。

不同领域对新型薄膜技术的要求也不尽相同,随着应用领域的不断扩大,对新型薄膜技术的研究和发展也越来越重要。

二、新型薄膜技术的种类新型薄膜技术包括很多种类,如化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、磁控溅射( magnetron sputtering)等。

其中,磁控溅射技术作为一种重要的物理气相沉积方法,具有高质量、高可控性、高稳定性等诸多优点,被广泛应用于薄膜制备领域。

三、新型薄膜技术的应用1. 光伏领域新型薄膜技术在光伏领域的应用可追溯到20世纪80年代,主要应用在太阳能电池中。

在光伏领域,新型薄膜技术主要应用于表面改性、电池分层及透明化的薄膜谐振层等方面,可大幅度提高光伏电池的转换效率。

2. 触摸屏领域随着智能手机的普及,触摸屏技术逐渐成为一种主流操作方式。

而新型薄膜技术在触摸屏领域的应用也逐渐增多。

例如,采用PVD(物理气相沉积)技术和磁控溅射技术制备的ITO(氧化铟锡)薄膜在触摸屏技术中应用广泛。

3. 生物医学领域新型薄膜技术在生物医学领域中的应用主要是通过薄膜的化学特性改变细胞的生长环境、控制细胞分化和制备生物传感器等。

国内外有很多研究团队利用新型薄膜技术研制可以控制细胞分化、支架等以及可生物分解陶瓷等。

4. 纳米材料领域新型薄膜技术中的纳米材料具有优异的性能,吸收光线强度高、可重复利用等特点,在光电器件、传感器、能源存储领域有着广泛的应用前景。

薄膜的制备技术原理及应用

薄膜的制备技术原理及应用

薄膜的制备技术原理及应用1. 简介薄膜是指在厚度较薄的材料表面形成一层均匀的覆盖物。

在许多领域,薄膜制备技术被广泛应用,如电子器件、光学器件、能源存储等。

本文将介绍薄膜的制备技术原理及其在不同领域的应用。

2. 薄膜制备技术原理2.1 物理气相沉积 (Physical Vapor Deposition, PVD)物理气相沉积是一种将材料从固态直接转变为薄膜状态的制备方法。

其基本原理是在真空环境中,通过蒸发或溅射,将源材料沉积到基底上。

2.1.1 蒸发法 (Evaporation)蒸发法在物理气相沉积中被广泛应用。

源材料首先被加热至其沸点,然后分子经过蒸发,成为气态粒子,最终在基底表面沉积。

2.1.2 溅射法 (Sputtering)溅射法通过将高能量粒子轰击源材料,使其表面原子迅速离开,然后在基底上形成薄膜。

溅射法制备的薄膜通常具有较好的质量和均匀性。

2.2 化学气相沉积 (Chemical Vapor Deposition, CVD)化学气相沉积是一种基于化学反应形成薄膜的制备方法。

其基本原理是在高温和高压条件下,将气态前驱体分解产生反应物,在基底上沉积形成薄膜。

2.2.1 热CVD (Thermal CVD)热CVD是一种常见的化学气相沉积方法,其反应物通常是气态前驱体。

通过调节温度和气体流量,控制反应物在基底上的沉积。

2.2.2 低压CVD (Low Pressure CVD)低压CVD是在低压条件下进行的化学气相沉积方法。

通过控制气体压力和底座温度,可以精确控制反应物的沉积速率和组成。

2.3 溶液法 (Solution Process)溶液法是在液相中形成溶液,然后将溶液沉积到基底上形成薄膜的制备方法。

溶液法制备薄膜成本低、工艺简单,因此在某些领域具有广泛的应用。

2.3.1 染料敏化太阳能电池 (Dye Sensitized Solar Cells, DSSCs)染料敏化太阳能电池是一种利用染料分子吸收光能并将其转化为电能的光电转换装置。

薄膜技术及其应用研究

薄膜技术及其应用研究

薄膜技术及其应用研究一、前言薄膜技术是一种应用广泛的制备技术,具有制备简易、成本低廉、结构稳定、性能优越等优点。

本文将围绕薄膜技术的原理、制备方法、性能表征及应用研究展开探讨。

二、薄膜技术概述薄膜技术(Thin film technology)是指在支持基底表面上,通过物理或化学方法将材料分子沉积组成的薄层。

薄膜技术的发展,始于20世纪50年代,随着微电子、光电子、信息技术、新材料等领域的持续深入,薄膜技术逐渐成为材料科学和工程技术领域的重要组成部分。

三、薄膜技术原理薄膜技术的基本原理是通过物理或化学方法将材料分子沉积于支持基底表面形成薄膜。

薄膜技术的物理沉积方法主要包括溅射、热蒸发、电子束蒸发、离子束沉积等;而化学沉积方法主要包括溶胶凝胶、化学气相沉积、分子束外延等。

其中,物理气相沉积和化学气相沉积是使用最为广泛,常用的制备技术有磁控溅射制备、化学气相沉积法、离子束沉积等。

四、薄膜技术制备方法1.物理气相沉积制备物理气相沉积制备技术主要包括热蒸发、电子束蒸发、溅射等。

常用的溅射制备是指通过离子轰击或电子束激发的方式,在目标材料表面产生高能量粒子向背景气体和基底表面发射离子,从而沉积形成薄膜。

2.化学气相沉积制备化学气相沉积制备的主要方法包括化学气相淀积法、原子层沉积法、分子束外延法等。

其中,化学气相淀积法是常用的制备方法,其基本原理是通过化学反应,将含有沉积物原子组成的气体分子在基底表面形成纳米级薄膜。

3.溶胶凝胶制备溶胶凝胶制备是将金属粉末溶解于有机溶剂中,加入胶体形成溶胶,并经过加热和干燥过程形成凝胶。

凝胶经过流化床炉或者煅烧等处理,去除有机质,从而得到目标薄膜材料。

五、薄膜技术性能表征薄膜技术制备的材料可以通过多种表征手段进行性能评估,如:X射线衍射、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、拉曼光谱等。

其中,扫描电子显微镜是最常见的薄膜表征手段之一,它可以对表面形貌、晶体形态、结构缺陷、组成变化等进行直观表征和分析。

薄膜技术在光电器件制备中的应用研究

薄膜技术在光电器件制备中的应用研究

薄膜技术在光电器件制备中的应用研究在光电器件制备中,薄膜技术被广泛应用,并且逐渐成为光电器件制备的主要方法之一。

薄膜技术可以通过在基片表面制备各种不同材料的薄膜,从而实现对光电器件性能的调控和优化。

本文将探讨薄膜技术在光电器件制备中的应用研究,并重点介绍薄膜技术在太阳能电池、光电二极管和薄膜晶体管等器件中的应用。

太阳能电池是当前可再生能源领域的热点研究方向之一。

薄膜技术在太阳能电池的制备中具有重要作用。

其中,薄膜光伏技术可以通过制备不同材料的薄膜层,提高光电转换效率。

例如,硅薄膜太阳能电池利用非晶硅或微晶硅薄膜作为光电转换层,以提高太阳能电池的光吸收能力和电池效率。

此外,新型的薄膜太阳能电池如染料敏化太阳能电池和钙钛矿太阳能电池,也在薄膜技术的支持下取得了显著进展。

另一个光电器件中广泛应用薄膜技术的领域是光电二极管。

光电二极管可以通过控制材料和薄膜层的制备以及结构的设计,实现不同波长的光电转换。

例如,有机光电二极管利用有机分子材料制备薄膜层,具有低成本、柔性可弯曲等优点。

同时,使用不同的有机材料可以实现对光电二极管的光电性能进行调控。

此外,利用非晶硅或其他半导体材料制备的光电二极管也被广泛应用于显示技术、光通信等领域。

除此之外,薄膜技术在薄膜晶体管的制备中也发挥着重要的作用。

薄膜晶体管具有高场效应迁移率和快速开关速度等优点,可以应用于平面显示、光电传感器等领域。

其中,低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS TFT)是一种非常有前景的技术。

其利用薄膜技术制备出高度晶化的低温多晶硅薄膜,从而实现了高效的电子输运性能和较快的晶体管开关速度。

光电器件制备中的薄膜技术不仅可以改善器件的光学性能和电学性能,还可以提高器件的热稳定性和可靠性。

此外,薄膜技术还可以实现对光电器件的结构和形态的调控,比如制备纳米级别的薄膜,实现对光学和电学性能的进一步优化。

例如,通过调控薄膜的厚度、材料、晶格结构等参数,可以实现对材料带隙、折射率和导电性等特性的调整。

薄膜技术在制备中的应用

薄膜技术在制备中的应用

薄膜技术在制备中的应用随着科技的不断发展,薄膜技术在现代制造领域中的应用越来越广泛。

薄膜技术是一种在基底上制备而成的非常薄的膜状物质,包括多种不同形式的膜材料,如金属薄膜、硅薄膜、氧化物薄膜、聚合物薄膜等。

这些膜材料不仅可以用于电子元器件的制造,还可以应用于生物医学领域和太阳能电池等领域。

在下文中,将会详细介绍薄膜技术的应用及其优势。

一、薄膜技术在电子元器件中的应用薄膜技术在电子元器件的制造中扮演着至关重要的角色。

电子元器件需要非常高精度的加工,而薄膜技术可以提供非常细腻的制备方法。

金属薄膜在微电子领域中广泛应用。

例如,制造光学镜片、光学过滤器、红外探测器、激光等需要用到金属薄膜制备。

其它材料的薄膜技术也被应用在电子元器件的制备上,如谷歌眼镜、传感器等。

薄膜技术在制造这些电子元器件中有着非常广泛的应用。

二、生物医学领域中的薄膜技术应用随着医学技术的不断进步,薄膜技术在生物医学领域中的应用越来越广泛。

通过薄膜技术制备的薄膜具有良好的可控性和可重复性,可以制备出符合要求的生物材料。

薄膜技术可以用于制备人造血管、骨组织工程、细胞载体等方面。

例如,在人造血管的制造中,薄膜技术可以帮助制造出很薄的血管壁,使得血液能够顺畅地流动。

生物医学领域中的一些新兴技术,例如人工组织、生物纳米机械等,都需要薄膜技术的支持。

三、太阳能电池板制造中的薄膜技术应用太阳能电池板制造中的薄膜技术应用在转变了太阳能电池板的性能和效率以及成本。

薄膜技术可以帮助制造出轻薄而高效的太阳能电池板。

通过薄膜技术的应用,可以制造出多种材料的薄膜,如硅薄膜、氮化硅薄膜、CdTe 薄膜等。

太阳能电池板的制备中所用的薄膜通常都很薄,可能只有几微米到几十微米不等。

制备出这种高品质、高效的电池板对于太阳能电池产业的发展非常重要。

总之,薄膜技术在现代制造领域中有着广泛的应用,其应用范围包括电子元器件制造、生物医学领域以及太阳能电池板制造等方面。

通过薄膜技术的应用,制备出的材料不仅具有高效性、高可靠性以及较低的成本,同时也可以实现制造出高端的电子元器件和生物材料。

光学薄膜技术在光学仪器及电子器件中的应用

光学薄膜技术在光学仪器及电子器件中的应用

光学薄膜技术在光学仪器及电子器件中的应用光学薄膜技术是一种通过在材料表面沉积极薄的多层膜来改变材料的光学性质的技术。

它常被应用于多种领域,例如光学仪器、电子器件和太阳能电池板等领域。

在本文中,我们将重点探讨光学薄膜技术在光学仪器及电子器件中的应用。

一、光学薄膜技术在光学仪器中的应用1. 镀膜镜片光学仪器如望远镜、显微镜、摄影机、激光器等都需要使用镀膜镜片。

这些镜片通过在玻璃表面沉积一层或多层的薄膜来改变其反射和透射性质。

例如,将镜片上面的薄膜设置为防反射膜,可以减少光的反射,使图像更加清晰。

2. 光学滤波器光学滤波器是一种通过选择性地传透或反射不同波长的光线来改变图像颜色和亮度的装置。

利用光学薄膜技术可以制备出各种类型的滤波器,例如彩色滤镜、中性密度滤镜等。

3. 光学透镜光学透镜是一种通过折射和反射光线来聚焦或分散光线的装置。

光学薄膜技术可以用于制备具有特殊折射率和色散性质的薄膜透镜。

这些透镜可以被应用于一些非常精密的光学器件中,例如激光束成型器。

二、光学薄膜技术在电子器件中的应用1. 太阳能电池板光学薄膜技术可以用于制备太阳能电池板中的反射层和透明电极。

反射层可以将太阳光反射回电池板,提高电池板的发电效率。

透明电极则可用于收集光能,使其能够被电池板利用。

2. 显示器液晶显示器和有机发光二极管(OLED)显示器需要使用多层薄膜制成的透明电极。

这些透明电极为显示器提供能量和信号,并且需要具备高透过率和电导率。

3. 激光二极管激光二极管通过在pn结构中注入电子和空穴实现电流注入来产生激光。

在激光二极管中,金属膜的反射率很高,会导致很大的反射损失。

因此,将多层薄膜沉积在金属层上,可以减小反射损失,提高激光二极管的效率。

总结光学薄膜技术的应用非常广泛,尤其是在光学仪器和电子器件中。

通过利用光学薄膜技术,可以制备出各种具有特殊性质的薄膜,以实现不同的光学功能。

未来,光学薄膜技术将会继续得到广泛的应用,并且在不断推动着科学技术的发展。

薄膜技术在光伏电池中的应用研究

薄膜技术在光伏电池中的应用研究

薄膜技术在光伏电池中的应用研究随着能源危机的不断加剧和环保意识的不断增强,光伏电池作为一种新型的清洁能源逐渐成为人们关注的焦点。

而光伏电池中薄膜技术的应用也成为了当前研究的重点之一。

本文将对薄膜技术在光伏电池中的应用进行研究,并探讨其在提高光伏电池性能、降低成本、延长使用寿命等方面所起到的作用。

一、薄膜技术在光伏电池中的应用现状薄膜技术是指在基板表面沉积或生长出一层厚度为纳米或微米级别的薄膜。

在光伏电池中,薄膜技术主要应用于提高太阳能电池的光电转换效率,提高电池的稳定性和耐用性,降低生产成本等方面。

1、提高太阳能电池的光电转换效率在现有的光伏电池中,半导体材料的光吸收能力非常重要。

过厚的半导体材料会让太阳能光子经过多层反射才能被吸收,从而导致能量流失。

而采用薄膜技术可以制备更薄的太阳能材料,这些材料可以更快速地吸收太阳光,从而提高光电转换效率。

2、提高电池的稳定性和耐用性光伏电池材料在长时间的自然环境下容易受到氧化、腐蚀、热膨胀和温度变化等影响,从而降低电池的效率甚至导致电池损坏。

而通过控制薄膜的成分和结构可以使光伏电池获得更好的抗氧化、抗腐蚀、耐热和理想的温度适应性等特性,增强电池长期稳定性。

3、降低生产成本生产成本一直是制约光伏电池市场化的重要因素之一。

不过薄膜技术的应用可以直接降低光伏电池的生产成本。

因为薄膜技术可以制备更薄的太阳能材料,这些材料可以更节省原材料,并且可以通过离子注入、蒸发法和溅射法等工艺制备,从而减少生产过程中的能源和材料消耗,进一步优化生产成本。

二、薄膜技术在光伏电池中的应用实践1、透明导电薄膜技术透明导电薄膜技术在光伏电池中广泛应用于透明导电膜和透明导电玻璃、以及导电聚合物的开发制备。

利用这种技术,可以在光伏电池表面制备出优异的透明导电层,以加强电池的可靠性、性能和寿命。

同时,这种技术还可以为光伏电池的生产过程提供更高效和环保的制备方法。

2、薄膜太阳能电池薄膜太阳能电池是采用薄膜技术制备出的一种新型太阳能电池。

新型薄膜制备技术及其应用

新型薄膜制备技术及其应用

新型薄膜制备技术及其应用随着现代科技的不断进步和发展,新型薄膜制备技术已经成为当今世界上最前沿的技术之一。

薄膜是一种薄而均匀的材料,其厚度通常在1微米以下,具有很好的光学、电子、磁性和力学性能,因此广泛应用于光学、电子、信息存储、太阳能电池、导电材料、生物传感器、防护材料、微电子器件等领域。

本文将介绍一些新型薄膜制备技术及其应用,以及相关的研究进展。

一、原子层沉积技术原子层沉积技术(ALD)是一种高分辨率、高重复性、高控制性的薄膜制备技术。

原子层沉积技术是一种将薄膜逐层生长的技术,其基本原理是在基片上依次沉积化学气相沉积(CVD)或物理气相沉积(PVD)等技术所无法达到的单层膜。

通过选择合适的前驱体,可以使薄膜在各个方面都具有头尾兼顾的优异性能,具有非常广阔的应用前景。

原子层沉积技术的应用非常广泛,包括高分辨率显示、氧化物薄膜、生物传感器、电池电极、材料保护等。

原子层沉积技术已成为深入研究薄膜的重要的工具。

二、溅射技术溅射技术也是一种重要的制备薄膜的技术,其基本原理是通过在高真空条件下将靶材置于低压等离子体电场中使其受到离子撞击,从而得到靶材表面精细结构的薄膜。

溅射薄膜的微观结构可以得到精细控制,具有非常广泛的应用前景。

溅射薄膜技术的应用非常广泛,包括信息技术、光学、医疗、环保等领域。

溅射薄膜技术已成为深入研究薄膜的重要的工具。

三、化学气相沉积技术化学气相沉积技术是通过在一定的温度和气氛条件下用一种优化的化学气相反应控制薄膜的生长。

该技术可以制备出可重复的、良好特性的薄膜,具有比较强的控制特性,常用于高分子薄膜和化学薄膜的生长,具有可扩展性、大面积化的特点。

化学气相沉积技术的应用非常广泛,主要包括光电材料、微电子、太阳能电池和化学传感器等领域,是制备高性能薄膜的重要手段之一。

四、薄膜在生物医学领域的应用薄膜不仅在纳米电子学、光学和能源等领域中具有广泛的应用前景,同时,薄膜技术在生物医学领域也有很多应用。

  1. 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
  2. 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
  3. 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
薄膜材料往往具有特殊的材料性能或性能组合。
薄膜材料科学成为材料科学中发展最迅速分支 的原因:
(1)现代科学技术的发展,特别是微电子技 术的发展,过去需要众多材料组合才能实现的 功能,现在仅仅需要少数几个器件或一块集成 电路板就可以完成。薄膜技术正是实现器件和 系统微型化的最有效的技术手段。
薄膜材料科学成为材料科学中发展最迅速分支 的原因:
刀具表面氮化物、氧化物、碳化物镀膜
薄膜材料学涉及的内容: (1)薄膜材料的制备手段; (2)薄膜材料的形核与生长理论; (3)薄膜材料的表征技术; (4)薄膜材料的体系、性能及应用。
• High performance Nano-FETs • Nano-Optoelectronic Devices • Photodetectors • Nano LEDs • Sensors • Solar cell
参考书
《薄膜材料制备原理、技术及应用》 唐伟忠,冶金工业出版社
《薄膜物理与技术》 杨邦朝,电子科技大学出版社
《薄膜物理与技术》 陈国平,东南大学出版社
在材料科学的各分支中,薄膜材料科学发展的 地位极为重要。
薄膜材料是采用特殊的方法,在体材料的表面沉 积或制备的一层性质与体材料性质完全不同的物质 层。
SiGe:H、a-SiC:H、a-SiN:H、a-Si/a-SiC等一 系列晶态与非晶态超晶格薄膜。
C-V Characteristics of GaAs/AlGaAs Superlattice Structure showing capacitance Oscillations Associated with charge accumulation due to the sequential tunneling of electrons.
(2)器件的微小型化不仅可以保持器件原有 的功能并使之更加强化,而且随着器件的尺寸或其器件将显示出许多全新 的物理现象。薄膜技术作为器件微型化的关键 技术,是制备这类具有新型功能器件的有效手 段。
薄膜材料科学成为材料科学中发展最迅速分支 的原因:
第一章 薄膜制备的真空技术基础
1.1 气体分子运动论的基本概念 1.1.1气体分子的运动速度及其分布 气体分子运动论:
气体分子一直处无规热运动; 平均运动速度取决于温度; 分子之间和分子与器壁之间相互碰撞。 结果:气体分子的速度服从一定统计分
布,气体本身对外显压力。
理想气体气体模型:
气体分子之间除相互碰撞的瞬间之外,不 存在相互作用,可看作是相互独立运动硬 球,且硬球的半径远小于球与球之间的距 离。
⑤薄膜电阻、薄膜电容、薄膜阻容网络与混合集成电路
Hybrid IC
⑥ 薄膜太阳能电池 非晶硅、CuInSe2和CdSe薄膜太阳电池。
Copper-indium-diselenide (CuInSe2, or CIS) Thin-film material with efficiency of up to 17%. The material is promising, yet not widely used due to production specific procedures.
⑧ 用ZnO、AlN等薄膜制成的声表面波滤波器。 ⑨ 磁记录薄膜与薄膜磁头
高质量和录象的磁性材料薄膜录音带与录象带; 计算机数据存储的CoCrTa、CoCrNi等的薄膜软盘 和 硬盘; 垂直磁记录中FeSiAl薄膜磁头等。 ⑩ 静电复印鼓用Se-Te、SeTeAs合金薄膜及非晶硅薄 膜。
铁电存储器
④ 薄膜敏感元件与固态传感器 薄膜可燃气体传感器、薄膜氧敏传感器、薄膜应变
电阻与压力传感器、薄膜热敏电阻和薄膜离子敏传感 器等。
Thin Film Pressure Sensor
Diamond Thin Film UV sensor
Schematic of fiber optic cable with chemochromic hydrogen sensor deposited on end.
⑵光学薄膜 减反射膜、反射膜、分光镜、滤光片; 照明光源所用的反热镜与冷光镜薄膜; 建筑物、汽车等交通工具所用的镀膜玻璃; 激光唱片与光盘中的光存储薄膜; 集成光学元件所用的介质薄膜与半导体薄膜。
ANTI-REFLECTION CHART
three layers
⑶硬质膜、耐蚀膜、润滑膜 ⑷有机分子薄膜 ⑸装饰膜 ⑹包装膜
⑦ 平板显示器件 液晶显示、等离子体显示和电致发光显示三大类平
板显示器件所用的透明导电电极(ITO薄膜)。 电致发光多层薄膜(包括ITO膜,ZnS:Mn等发
光膜,Al电极膜等)组成的全固态平板显示器件及 OLED显示器件。
OLED Displays: Better Than Plasma Or LCD
Al、Cr、Pt、Au、多晶硅、硅化物薄膜; SiO2、Si3N4、Ta2O5、SiOF薄膜。
② 超导薄膜 YbaCuO系高温超导薄膜; BiSrCaCuO系高温超导薄膜; TiBaCuO系高温超导薄膜。
YBa2Cu3O7-x Film
③ 光电子器件中使用的功能薄膜 GaAs/GaAlAs、HgTe/CdTe、a-Si:H、A-
(3) 薄膜技术作为材料制备的有效手段,可 以将各种不同材料灵活地复合在一起,构成具 有优异特性的复杂材料体系,发挥每种材料各 自的优势,避免单一材料的局限性.薄膜材料 学在科学技术以及国民经济的各个领域发挥着 越来越大的作用。
薄膜分类(按功能及其应用领域): ⑴ 电学薄膜 ① 半导体器件与集成电路中使用的导电材料与 介质薄膜材料
在一般的温度和压力条件下,所有气体可 看作理想气体。
In a solid, a metal for example, the particles are atoms, arranged in an orderly array. The atoms are relatively close to one another, and the motion of each atom is restricted by its interaction with other atoms.
相关文档
最新文档