质量流量控制器技术说明书
AMF 系列 科里奥利质量流量计 用户手册说明书
AMF系列科里奥利质量流量计用户手册加拿大处弗洛有限公司TRUFLOW CANADA INC.目录0前言 (1)设备检查 (1)公司信息 (1)1安全说明 (1)1.1法律和指令 (1)1.2危险区域安装 (1)2原理及应用 (2)2.1测量原理 (2)2.2应用 (2)2.3设计 (2)3AMF系列技术规格 (3)3.1技术参数 (5)4安装 (6)4.1安全预防措施 (6)4.2安装简介 (6)4.3安装形式 (7)4.4变送器电气连接 (11)4.4.1电源线连接 (11)4.4.2脉冲输出接线 (11)4.4.3RS-485通讯口接线 (11)4.4.4电流环/HART输出接线 (11)5调试 (12)5.1电源 (12)5.2调零 (12)6服务/维护..............................................................126.1维护 (12)6.2运输/存储 (12)6.3维修 (12)6.4技术支持 (12)7.订购信息 (13)附录A故障分析 (16)附录B质量流量计变送器MODBUS协议使用手册17 B.1常规技术数据 (17)B.2电气连接 (17)B.2.1RS-485连接 (17)B.2.2通信设置 (17)B.3MODBUS协议 (17)B.3.1Modbus RTU (17)B.3.2数据类型 (17)B.3.3常用寄存器 (18)B.3.3.1过程测量寄存器 (18)B.3.3.2通信配置寄存器 (18)B.3.3.3过程控制寄存器 (20)B.3.3.4传感器参数寄存器 (22)附录C显示器操作手册 (23)C.1基本信息 (23)C.1.1显示单元 (23)C.1.2按键定义 (23)C.2功能表介绍 (23)C.2.1主界面详解 (23)C.2.2设置和查看界面 (24)变送器配置和产品定制信息 (26)0前言1)手册内容包含使用本设备所需的全部信息。
堀场汇博隆(C)S48 300HMT流量计、流量控制器说明书
气体质量流量控制器（流量计）S48 300/HMT使用说明书(Ver.2.0)北京堀场汇博隆精密仪器有限公司目录1、概述 (1)2、术语符号 (2)3、工作原理 (5)4、技术指标 (7)5、产品安装 (8)6、使用方法和操作步骤 (16)7、数字通讯功能使用方法和操作 (18)8、通讯协议编码格式 (20)9、警告和注意 (25)10、故障判断和处理 (28)附录一：通信指令集 (31)附录二：标定和不同气体的换算 (34)1、概述本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。
不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。
由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
1.1 使用范围质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。
1.2 质量流量控制器和质量流量计质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC)，具备流量测量和流量控制两种功能。
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM)，只有流量测量功能，不具备气流控制功能。
1.3 S48 300/HMT质量流量控制器的特点☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上，结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品，采用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。
具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。
☆RS232/485串口， Modbus（RTU）开放协议。
协议简单可靠，兼容性强，易于组网。
配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。
气体流量不因温度、压力的变化而变化。
气阻较小，工作压力范围宽。
☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。
E+H质量流量计中文说明书
BA057D/06/zh/06.0550098468PROline promass80科氏力质量流量测量系统操作指南简明操作指南该操作指南指导您对测量仪表进行快速简便的设定安全指南第页7安装第页31接线第页13第页23显示和操作单元使用“快速设定”进行调试QUICK SETUP ()第页50您可使用“快速设定”菜单对测量仪表进行快速、方便的调试，使用现场显示设置基本功能，如显示语种、测量变量、变量单位、信号种类等以下功能可单独实现（如需要）：－零点校正－密度校正－电流输出设置（有源无源）QUICK SETUP()/用户专用设置复杂测量操作需要某些附加功能，您可以借助于功能矩阵进行设置，并将其用户化以满足您的测量过程需要提示：所有功能的详细描述，请查阅“”手册功能描述提示：如在调试后或操作过程中出现故障，请启动故障诊断，见第页诊断清单，找出故障原因以及相应的排障措施。
61第页52主显示页快速设定初始化质量流量E E语言预设定体积流量标准体积流量密度温度退出质量流量单位体积流量单位密度单位温度单位累积器单位累积器单位参考密度单位参考密度值设定其他单位？选择系统单位是否测量模式选择输出模式电流输出1电流输出2频率/脉冲输出退出操作模式频率脉冲电流对应变量电流对应变量电流范围电流范围0/4mA 对应值20mA 对应值时间常数失效模式0/4mA 对应值20mA 对应值时间常数频率对应变量频率上限频率下限频率上限值输出信号时间常数脉冲对应变量脉冲当量脉冲宽度输出信号失效模式失效模式设定其他输出？是否自动设定显示是否自动设定显示参数失效模式标准体积流量单位快速设定提示：快速设定菜单的详细信息，尤其是不带现场显示仪表的操作，请查阅第页。
50·在参数输入过程中按ES C 键，返回QU I CK S ET U P CO MM I SS I O N ，所设定的参数值有效·在进行以下快速设定前必须启动“快速设定”功能·①对当前设定中未设置的单位进行选择，在相应的流量单位中选择质量流量、体积流量、标准体积流量单位·②保持“Y E S ”选项，直到所有单位设置完成“N O ”选项表示没有需要设置的单位·③只对当前设定中未设置的输出进行选择·④保持“Y E S ”选项，直到所有输出设置完成“N O ”选项表示没有需要设置的输出·⑤“参数化显示”包含下列基本设定/出厂设定：YE S :第一行＝质量流量；第二行＝累积量1；NO :保持现有的设定提示：正确使用安装、调试和操作操作安全返修安全规范和图标名称变送器铭牌传感器铭牌标志，一致性声明注册商标收货确认、运输和储存收货确认运输储存安装条件尺寸安装位置安装方向伴热保温进出口直管段振动限流安装指南旋转变送器外壳墙挂式变送器安装旋转现场显示模块安装后的检查分离型仪表的连接传感器的连接电缆规格测量单元的连接变送器的连接端子分配连接防护等级接线后的检查显示和操作单元功能矩阵简明操作指南注意事项激活编程模式禁止编程模式错误信息通信操作选项仪表和过程变量1．安全指南．标识．．．7....................................................2 (9)1.1...............................................................71.2..........................................71.3...............................................................71.4.....................................................................81.5. (8)2.1 (9)2.1.1...................................................92.1.2.................................................102.2CE ....................................102.3.............................................................113.1.. (13)3.1.1....................................................133.1.2............................................................133.1.3............................................................143.2. (14)3.2.1.............................................................143.2.2....................................................143.2.3....................................................163.2.4............................................................183.2.5............................................................193.2.6.............................................193.2.7............................................................193.2.8............................................................193.3 (20)3.3.1.........................................203.3.2......................................213.3.3.......................................223.4......................................................224.1. (23)4.1.1..............................................234.1.2....................................................244.2. (25)4.2.1.............................................254.2.2....................................................274.2.3HART .................................................284.3......................................................294.4....................................................305.1.............................................315.2.. (32)5.2.1......................................................335.2.2............................................335.2.3............................................335.3.......................................................345.4. (35)5.4.1....................................................355.4.2 (36)仪表3.................................................................134...................................................................235...................................................................31安装接线操作目录5.4.3/HART .................375.4.4/..................................436.1...................................................496.2. (49)6.2.1..........................................496.2.2....................................506.2.3.................................................526.2.4.................................................546.2.51/.............................556.2.62/............................566.2.7..............................579.1............................................619.2............................................629.3............................................679.4.............................699.5..............................................709.6........................................................729.7.............................739.8....................................779.9...................................................78.........................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................通用型普通应用型指令仪表状态错误信息功能检测调试测量仪表上电快速设定“调试”零点校正密度校正电流输出：有源无源电流输出：有源无源吹扫和压力监测连接故障诊断指南系统错误信息过程错误信息无显示信息的过程错误输出响应错误备品备件更换和安装印刷线路板仪表保险丝的更换软件版本6.................................................................497................................................................588................................................................599.......................................................6110.....................................................调试维护附件故障诊断技术参数一览应用功能和系统设计输入输出供电性能特性操作条件机械结构用户接口认证订货信息附件相关文件尺寸；墙挂式变送器尺寸：不锈钢现场变送器技术参数8110.18110.1.18110.1.28110.1.38110.1.48310.1.58310.1.68410.1.78810.1.89710.1.910010.1.1010010.1.1110010.1.1210110.1.1310110.210210.310210.4（P r om a s s F ,M ,A,H ,I ）....10310.5尺寸：分离型（P r om a s s E ）10310.6尺寸：分离伴热型10310.7尺寸：高温型（一体化型）10410.8尺寸：高温型（分离型）10410.9尺寸：Pr o ma ss F 10510.10尺寸：Pr o ma ss M 11510.11尺寸：Pr o ma ss E 12910.12尺寸：Pr o ma ss A 13810.13尺寸：Pr o ma ss H 14410.14尺寸：Pr o ma ss I 146尺寸：分离型.....................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................1安全指南1.1正确使用PR Ol in e P ro ma s s 8系列流量计用于测量液体和气体的质量流量，同时也可测量流体密度和温度。
AST10-DX使用说明书(1)
目录1.产品介绍 (2)1.1用途与特点 (2)1.2主要技术指标 (3)1.3 工作原理 (3)2.快速安装指导 (4)2.1外形及安装尺寸 (4)2.2气路接头形式 (5)2.3电缆连接插头 (5)3.功能操作详解 (6)3.1综述 (6)3.2常用操作 (6)界面说明 (6)按键操作说明 (8)功能表树形结构 (9)3.3功能操作详解 (10)3.3.1 流量设定 (10)3.3.2 启动/停止流量累积 (10)3.3.3 流量累积值清零 (11)3.3.4 流量小信号切除 (12)3.3.5 流量系数 (13)3.3.6 流量零点设置 (15)3.3.7 设备轮询地址设置 (16)3.3.8 环路输出测试 (17)3.3.9 控制模式转换 (18)3.3.10 设置输出阻尼值 (19)4.注意事项 (21)4.1 加装过滤器 (21)4.2 使用腐蚀性气体和有机溶剂气体问题 (21)4.3 安装位置问题 (21)4.4阀口密封问题 (21)4.5标定与不同气体的换算................................................................... ..215.一般异常情况判断和处理 (21)6. 保证、保修与服务 (22)6.1 产品保证和保修 (22)6.2 保修对使用的要求 (22)6.3 服务 (23)附录：气体流量转换系数表 (23)附录：通讯协议 (25)注：说明书内部的所有图片仅供参考，请以实物为准。
1.产品介绍1.1用途与特点质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。
其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
E+H 质量流量计80F 80M技术说明书
TI067D/06/en 50108972Technical InformationProline Promass 84F, 84MCoriolis Mass Flow Measuring SystemThe universal and multivariable flowmeter for liquids and gasesfor custody transferApplicationsThe Coriolis measuring principle operates independently of the physical fluid properties, such as viscosity and density.•Extremely accurate, verified measurement of liquids (other than water) and for gases under high pressure (> 100 bar)•Fluid temperatures up to +200 °C •Process pressures up to 350 bar•Mass flow measurement up to 2200 t/h Approvals for custody transfer:•PTB, NMiApprovals for hazardous area:•ATEX, FM, CSA, TIISApprovals in the food industry/hygiene sector:•3A, FDAConnection to process control system:•HARTRelevant safety aspects:•Secondary containment (up to 100 bar), Pressure Equipment DirectiveFeatures and benefitsThe Promass measuring devices make it possible to simultaneously record several process variables (mass/density/temperature) for various process conditions during measuring operation.The Proline transmitter concept comprises:•Modular device and operating concept resulting in a higher degree of efficiency•Diagnostic ability and data back-up for increased process qualityThe Promass sensors, tried and tested in over 100000 applications, offer:•Multivariable flow measurement in compact design •Insensitivity to vibrations thanks to balanced two-tube measuring system•Efficient protection against forces from piping thanks to robust construction•Easy installation without taking inlet and outlet runs into accountProline Promass 84F, 84M2Endress+HauserTable of contentsFunction and system design. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3Measuring principle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3Measuring system . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4Input . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5Measured variable . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5Measuring range in non-custody transfer mode . . . . . . . . . . . . . . . 5Measuring range in custody transfer mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6Operable flow range . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6Input signal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6Output. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7Output signal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7Signal on alarm . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7Load . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7Low flow cut off . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7Galvanic isolation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7Power supply. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8Electrical connection Measuring unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8Electrical connection, terminal assignment . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9Electrical connection Remote version . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9Supply voltage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9Switching on the power supply in custody transfer mode . . . 9Cable entry . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9Cable specifications,remote version . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9Power consumption . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10Power supply failure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10Potential equalisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10Performance characteristics. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10Reference operating conditions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10Maximum measured error . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10Repeatability . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12Influence of medium temperature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12Influence of medium pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13Operating conditions: Installation . . . . . . . . . . . . . . .13Installation instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13Inlet and outlet runs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17Length of connecting cable . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17System pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17Operating conditions: Environment. . . . . . . . . . . . . .18Ambient temperature range . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18Storage temperature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18Degree of protection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18Shock resistance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18Vibration resistance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18Electromagnetic compatibility (EMC) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18Operating conditions: Process. . . . . . . . . . . . . . . . . .18Medium temperature range . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18Medium pressure range (nominal pressure) . . . . . . . . . . . . . . . . 18Limiting flow . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19Pressure loss . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20Custody transfer measurement . . . . . . . . . . . . . . . . .22Custody transfer variables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22 Suitability for custody transfer measurement, approval by the Standards Authorities, repeated calibration due to legal metrology controls . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22Definition of terms . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22 Verification process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23Stamp points . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24Mechanical construction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .25Design / dimensions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25Weight . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53Material . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53Material load curves . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55Process connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60Human interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .61Display elements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61Unified control concept for both types of transmitter: . . . . . . . . . 61Language groups . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61Remote operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61Certificates and approvals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .61CE mark . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61Ex approval . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61Sanitary compatibility . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61Other standards and guidelines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61Pressure device approval . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61Approval for custody transfer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62Suitability for custody transfer measurement . . . . . . . . . . . . . . . . 62Ordering information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .63Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .63Documentation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .63Registered trademarks. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .63Proline Promass 84F, 84MEndress+Hauser 3Function and system designMeasuring principleThe measuring principle is based on the controlled generation of Coriolis forces. These forces are always present when both translational and rotational movements are superimposed.F C = 2 · ∆m (v · ω)F C = Coriolis force ∆m = moving mass ω = rotational velocityv = radial velocity in rotating or oscillating systemThe amplitude of the Coriolis force depends on the moving mass ∆m, its velocity v in the system, and thus on the mass flow. Instead of a constant angular velocity ω, the Promass sensor uses oscillation.In the Promass F and M sensors, two parallel measuring tubes containing flowing fluid oscillate in antiphase, acting like a tuning fork. The Coriolis forces produced at the measuring tubes cause a phase shift in the tube oscillations (see illustration):•At zero flow, in other words when the fluid is at a standstill, the two tubes oscillate in phase (1).The phase difference (A-B) increases with increasing mass flow. Electrodynamic sensors register the tube oscillations at the inlet and outlet.System balance is ensured by the antiphase oscillation of the two measuring tubes. The measuring principle operates independently of temperature, pressure, viscosity, conductivity and flow profile.Density measurementThe measuring tubes are continuously excited at their resonance frequency. A change in the mass and thus the density of the oscillating system (comprising measuring tubes and fluid) results in a corresponding, automatic adjustment in the oscillation frequency. Resonance frequency is thus a function of fluid density. The microprocessor utilises this relationship to obtain a density signal.Temperature measurementThe temperature of the measuring tubes is determined in order to calculate the compensation factor due to temperature effects. This signal corresponds to the process temperature and is also available as an output.The temperature measurement cannot be used to generate data for invoicing in applications subject to legal metrology controls.Proline Promass 84F, 84M Measuring system The measuring system consists of a transmitter and a sensor. Two versions are available:•Compact version: transmitter and sensor form a single mechanical unit.•Remote version: transmitter and sensor are installed separately.4Endress+HauserProline Promass 84F, 84MEndress+Hauser 5InputMeasured variable•Mass flow (proportional to the phase difference between two sensors mounted on the measuring tube to register a phase shift in the oscillation)•Fluid density (proportional to resonance frequency of the measuring tube)•Fluid temperature (measured with temperature sensors)Measuring range in non-custody transfer modeMeasuring ranges for liquids (Promass F, M):Measuring ranges for gasesThe full scale values depend on the density of the gas. Use the formula below to calculate the full scale values:g max(G) = g max(F) ⋅ ρ(G) / x [kg/m 3]g max(G) = Max. full scale value for gas [kg/h]g max(F) = Max. full scale value for liquid [kg/h]ρ(G) = Gas density in [kg/m 3] for process conditionsx = 160 (Promass F DN 8...100, M); x = 250 (Promass F DN 150...250)Here, g max(G) can never be greater than g max(F)Calculation example for gas:•Sensor type: Promass F, DN 50•Gas: air with a density of 60.3 kg/m 3 (at 20 °C and 50 bar)•Measuring range: 70000 kg/h •x = 160 (for Promass F DN 50)Max. possible full scale value:g max(G) = g max(F) ⋅ ρ(G) / x [kg/m 3] = 70000 kg/h ⋅60.3 kg/m 3 ÷ 160 kg/m 3 = 26400 kg/h Recommended full scale values See →Page 19ff. (“Limiting flow”)DN Range for full scale values (liquids) g min(F)...g max(F)80...2000 kg/h 150...6500 kg/h 250...18000 kg/h 400...45000 kg/h 500...70000 kg/h 800...180000 kg/h 100 (only Promass F)0...350000 kg/h 150 (only Promass F)0...800000 kg/h 250 (only Promass F)0...2200000 kg/hProline Promass 84F, 84M6Endress+HauserMeasuring range in custody transfer modeMeasuring ranges for liquids in mass flow (Promass F, M):Measuring ranges for liquids in volume flow (also LPG) (Promass F, M):Measuring ranges for high pressure fuel gases CNG (Promass M):Operable flow range Over 20 : 1 for verified device Input signalStatus input (auxiliary input):U = 3...30 V DC, R i = 5 k Ω, galvanically isolated.Configurable for: totalizer reset, positive zero return, error message reset, start zero point adjustmentDN Range for mass flow (liquids) Q min [kg/min]...Q max [kg/min]Smallest measured quantity[kg]8 1.5...300.515 5...10022515...30054035...700205050 (10005080)150...3000100100 (only Promass F)200...4500200150 (only Promass F)350...12000500250 (only Promass F)1500 (35000)1000DN Promass FDN Promass MRange for volume flow (liquids)(with P = 1 kg/dm 3)Q min [l/min]...Q max [l/min]Smallest measured quantity[l]88* 1.5...300.51515* 5...10022525*15...30054040*35...700205050*50 (1000508080)150...3000100100200...4500200150350 (12000500250)1500 (35000)1000* NMi approval onlyDNRange for mass flow (liquids)Q min [kg/min]...Q max [kg/min]Smallest measuredquantity [kg]Maximum pressure[bar]80.1...100.2160 / 350*150.3...400.5160 / 350*251.0 (100)2.0160 / 350** High pressure versionProline Promass 84F, 84MEndress+Hauser 7OutputOutput signalCurrent output:Active/passive selectable, galvanically isolated, time constant selectable (0.05...100 s), full scale value selectable, temperature coefficient: typically 0.005% o.r./°C, resolution: 0.5 µA •Active: 0/4...20 mA, R L < 700 Ω (for HART: R L ≥ 250 Ω)•Passive: 4...20 mA; supply voltage V S 18...30 V DC; R i ≥ 150 ΩPulse / frequency output:For custody transfer measurement, two pulse outputs can be operated, phase-shifted 90°.Passive, galvanically isolated, open collector, 30 V DC, 250 mA•Frequency output: full scale frequency 2...10000 Hz (f max = 12500 Hz), on/off ratio 1:1, pulse width max. 2 s. For phase-shifted double pulse max. 5000 Hz.•Pulse output: pulse value and pulse polarity selectable, pulse width configurable (0.05…2000 ms)Signal on alarmCurrent output:Failsafe mode selectable (for example, according to NAMUR recommendation NE 43)Pulse / frequency output:Failsafe mode selectableStatus output:De-energised by fault or power supply failureLoadSee “Output signal”Low flow cut offSwitch points for low flow cut off are selectable.Galvanic isolation All circuits for inputs, outputs, and power supply are galvanically isolated from each other.Nominal diameter Low flow cutoff / factory settings (v ∼ 0.04 m/s)[mm]SI units [kg/h]US units [lb/min]88.000.3001526.00 1.0002572.00 2.60040180.00 6.60050300.0011.00080720.0026.0001001200.0044.0001502600.0095.0002507200.00260.000Proline Promass 84F, 84M8Endress+HauserPower supplyElectrical connection Measuring unitConnecting the transmitter, cable cross-section: max. 2.5 mm2A View A (field housing)B View B (stainless steel field housing)C View C (wall-mount housing)aCable for power supply: 85...260 V AC, 20...55 V AC,16...62 V DC Terminal No. 1: L1 for AC, L+ for DC Terminal No. 2: N for AC, L- for DCb Signal cable: Terminals No. 20–27 →Page 9c Ground terminal for protective earth d Ground terminal for signal cable shielde Service connector for connecting service interface FXA 193 (FieldCheck, FieldTool)fCover of the connection compartmentProline Promass 84F, 84MEndress+Hauser9Electrical connection, terminal assignmentPromass 84Replacements for modules which are defective or which have to be replaced can be ordered as accessories.Electrical connection Remote versionSupply voltage85...260 V AC, 45...65 Hz 20...55 V AC, 45...65 Hz 16...62 V DCSwitching on the power supply in custody transfer modeIf the device is started in custody transfer mode, for example also after a power outage, system error No. 271 “POWER BRK. DOWN” flashes on the local display. The fault message can be acknowledged or reset using the "Enter" key or by means of the status input configured accordingly.!Note!For correct measuring operation, it is not mandatory to reset the fault message.Cable entryPower supply and signal cables (inputs/outputs):•Cable entry M20 x 1.5 (8...12 mm)•Threads for cable entries, 1/2" NPT, G 1/2"Connecting cable for remote version:•Cable entry M20 x 1.5 (8...12 mm)•Threads for cable entries, 1/2" NPT, G 1/2"Cable specifications,remote version•6 x 0.38 mm 2 PVC cable with common shield and individually shielded cores •Conductor resistance: ≤ 50 Ω/km •Capacitance core/shield: ≤ 420 pF/m •Cable length: max. 20 m•Permanent operating temperature: max. +105 °COperation in zones of severe electrical interference:The measuring device complies with the general safety requirements in accordance with EN 61010, the EMC requirements of EN 61326/A1, and NAMUR recommendation NE 21/43.Terminal No. (inputs/outputs)Order variant 20 (+) / 21 (-)22 (+) / 23 (-)24 (+) / 25 (-)26 (+) / 27 (-)84***-***********MStatus inputFrequency output 2Frequency output 1Current output HARTProline Promass 84F, 84M10Endress+HauserPower consumptionAC: <15 VA (including sensor)DC: <15 W (including sensor)Switch-on current•max. 13.5 A (< 50 ms) at 24 V DC •max. 3 A (< 5 ms) at 260 V ACPower supply failureLasting min. 1 power cycle:•EEPROM or HistoROM T-DAT saves measuring system data if power supply fails.•HistoROM/S-DAT: exchangeable data storage chip which stores the data of the sensor (nominal diameter, serial number, calibration factor, zero point, etc.)•See Note on Page 9 (switching on the power supply in custody transfer mode)Potential equalisationNo measures necessary.Exception: explosion protected equipment must be included in the potential equalization.Performance characteristics!Note!The accuracy solely refers to the measuring device suitable for custody transfer measurement and not to the measuring system.Reference operating conditionsError limits following ISO/DIS 11631:•20...30 °C; 2...4 bar•Calibration systems as per national norms•Zero point calibrated under operating conditions•Field density calibrated (or special density calibration)Maximum measured errorThe following values refer to the pulse/frequency output. Deviation at the current output is typically ±5 µA.Mass flow (liquid):±0.10% ± [(zero point stability / measured value) x 100]% o.r.Mass flow (gas):Promass F:±0.35% ± [(zero point stability / measured value) x 100]% o.r.Promass M:±0.50% ± [(zero point stability / measured value) x 100]% o.r.Volume flow (liquid)Promass F:±0.15% ± [(zero point stability / measured value) x 100]% o.r.Promass M:±0.25% ± [(zero point stability / measured value) x 100]% o.r.o.r. = of readingZero point stability (Promass F, M):Sample calculationMaximum measured error in % of reading (example: Promass 84 F / DN 25)Calculation example (mass flow, liquid):Given: Promass 84 F / DN 25, measured value flow = 8000 kg/hMax. measured error: ±0.10% ± [(zero point stability / measured value) x 100]% o.r.Maximum measured error → ±0.10% ±0.54 kg/h ÷ 8000 kg/h ⋅ 100% = ±0.107%Density (liquid)Standard calibration (1g/cc = 1 kg/l):Promass F ±0.01 g/cc Promass M ±0.02 g/ccDNMax. full scale value [kg/h] or [l/h]Zero point stabilityPromass F [kg/h] or [l/h]Promass M [kg/h] or [l/h]820000.0600.1001565000.2000.32525180000.5400.904045000 2.25 2.255070000 3.50 3.50801800009.009.0010035000014.00−150********.00−250220000088.00−Special density calibration (optional), not for high temperature versionPromass F±0.001 g/ccPromass M±0.002 g/ccAfter field density calibration or under reference conditions:Promass F±0.0005 g/ccPromass M±0.0010 g/ccTemperaturePromass F, M:±0.5 °C ±0.005 x T (T = fluid temperature in °C)Repeatability Mass flow (liquid):±0.05% ± [1/2 x (zero point stability / measured value) x 100]% o.r.Mass flow (gas):±0.25% ± [1/2 x (zero point stability / measured value) x 100]% o.r.Volume flow (liquid):Promass F:±0.05% ± [1/2 x (zero point stability / measured value) x 100]% o.r.Promass M:±0.10% ± [1/2 x (zero point stability / measured value) x 100]% o.r.o.r. = of readingZero point stability: see “Max. measured error”Calculation example (mass flow, liquid):Given: Promass 84 F / DN 25, measured value flow = 8000 kg/hRepeatability: ±0.05% ± [(1/2 x zero point stability / measured value) x 100]% o.r.Repeatability → ±0.05% ±1/2 ⋅ 0.54 kg/h ÷ 8000 kg/h ⋅ 100% = ±0.053%Density measurement (liquid)Promass F:±0.00025 g/cc (1 g/cc = 1 kg/l)Promass M:±0.0005 g/ccTemperature measurement±0.25 °C ±0.0025 x T (T = fluid temperature in °C)Influence of medium temperature When there is a difference between the temperature for zero point adjustment and the process temperature, the typical measured error of the Promass sensor is ±0.0002% of the full scale value / °C.Influence of medium pressureThe table below shows the effect on accuracy of mass flow due to a difference between calibration pressure and process pressure.Operating conditions: InstallationInstallation instructionsNote the following points:•No special measures such as supports are necessary. External forces are absorbed by the construction of the instrument, for example the secondary containment.•The high oscillation frequency of the measuring tubes ensures that the correct operation of the measuring system is not influenced by pipe vibrations.•No special precautions need to be taken for fittings which create turbulence (valves, elbows, T-pieces, etc.), as long as no cavitation occurs.•For mechanical reasons and in order to protect the pipe, it is advisable to support heavy sensors.•Please refer to the verification ordinances for the installation conditions of the approval for custody transfer in question.!Note!The necessary steps for creating a measuring system and obtaining approval from the Standards Authorities must be clarified with the authority for legal metrology controls responsible.Mounting locationEntrained air or gas bubbles in the measuring tube can result in an increase in measuring errors Avoid the following locations:•Highest point of a pipeline. Risk of air accumulating.•Directly upstream of a free pipe outlet in a vertical pipeline.Mounting locationDN Promass F [% o.r./bar]Promass M [% o.r./bar]Promass M / (high pressure)[% o.r./bar]8No influence 0.0090.00615No influence 0.0080.00525No influence 0.0090.00340-0.0030.005-50-0.008No influence -80-0.009No influence−100-0.012−−150-0.009−−250-0.009−−o.r. = of readingThe proposed configuration in the following diagram, however, permits installation in a vertical pipeline. Pipe restrictors or the use of an orifice plate with a smaller cross-section than the nominal diameter prevent the sensor from running empty during measurement.Installation in a vertical pipe (e.g. for batching applications)1Supply tank2Sensor3Orifice plate, pipe restrictions (see Table)4Valve5Batching tankDN815254*********)1501)2501)∅ Orifice plate, pipe6 mm10 mm14 mm22 mm28 mm50 mm65 mm90 mm150 mm restriction1) only Promass FOrientationMake sure that the direction of the arrow on the nameplate of the sensor matches the direction of flow (direction in which the fluid flows through the pipe).VerticalRecommended orientation with upward direction of flow (View V). When fluid is not flowing, entrained solids will sink down and gases will rise away from the measuring tube. The measuring tubes can be completely drained and protected against solids build-up.HorizontalThe measuring tubes must be horizontal and beside each other. When installation is correct the transmitter housing is above or below the pipe (View H1/H2). Always avoid having the transmitter housing in the same horizontal plane as the pipe.Please note the special installation instructions! see Page16In order to ensure that the maximum permissible ambient temperature for the transmitter (–20...+60 °C, optional –40...+60 °C) is not exceeded, we recommend the following orientations:m = For fluids with low temperatures, we recommend the horizontal orientation with the transmitter head pointing upwards (Fig. H1) or the vertical orientation (Fig. V).n = For fluids with high temperatures, we recommend the horizontal orientation with the transmitter head pointing downwards (Fig. H2) or the vertical orientation (Fig. V).Special installation instructions for Promass F"Caution!The two measuring tubes for Promass F are slightly curved. The position of the sensor, therefore, has to be matched to the fluid properties when the sensor is installed horizontally .Promass F, installed horizontally1Not suitable for fluids with entrained solids. Risk of solids accumulating.2Not suitable for outgassing fluids. Risk of air accumulating.HeatingSome fluids require suitable measures to avoid loss of heat at the sensor. Heating can be electric, e.g. with heated elements, or by means of hot water or steam pipes made of copper. "Caution!•Risk of electronics overheating! Consequently, make sure that the adapter between the sensor andtransmitter and the connection housing of the remote version always remain free of insulating material. Note that a certain orientation might be required, depending on the fluid temperature see Page15.•When using electrical heat tracing whose heat is regulated using phase control or by pulse packs, it cannot be ruled out that the measured values are influenced by magnetic fields which may occur, (i.e. at valuesgreater than those permitted by the EC standard (Sinus 30 A/m)). In such cases, the sensor must bemagnetically screened (except for Promass M).The secondary containment can be shielded with tin plates or electric sheets without privileged direction(e.g. V330-35A) with the following properties:–Relative magnetic permeability µr≥ 300–Plate thickness d ≥ 0.35 mm•Information on permissible temperature ranges →Page18Special heating jackets which can be ordered as accessories from Endress+Hauser are available for the sensors.Thermal insulationSome fluids require suitable measures to avoid loss of heat at the sensor. A wide range of materials can be used to provide the required thermal insulation.Zero point adjustmentAll Promass measuring devices are calibrated with state-of-the-art technology. The zero point determined inthis way is imprinted on the nameplate. Calibration takes place under reference operating conditions.→Page10ff.Consequently, the zero point adjustment is generally not necessary for Promass!Experience shows that the zero point adjustment is advisable only in special cases:•To achieve highest measuring accuracy also with very small flow rates.•Under extreme process or operating conditions (e.g. very high process temperatures or very high viscosityfluids).Note the following before you perform a zero point adjustment:•A zero point adjustment can be performed only with fluids that contain no gas or solid contents.•Zero point adjustment is performed with the measuring tubes completely filled and at zero flow(v = 0 m/s). This can be achieved, for example, with shut-off valves upstream and/or downstream of thesensor or by using existing valves and gates.–Normal operation → valves 1 and 2 open–Zero point adjustment with pump pressure → Valve 1 open / valve 2 closed–Zero point adjustment without pump pressure → Valve 1 closed / valve 2 openZero point adjustment and shut-off valvesInlet and outlet runs There are no installation requirements regarding inlet and outlet runs.Length of connecting cable Max. 20 meters (remote version)System pressure It is important to ensure that cavitation does not occur, because it would influence the oscillation of themeasuring tube. No special measures need to be taken for fluids which have properties similar to water undernormal conditions.In the case of liquids with a low boiling point (hydrocarbons, solvents, liquefied gases) or in suction lines, it isimportant to ensure that pressure does not drop below the vapour pressure and that the liquid does not startto boil. It is also important to ensure that the gases that occur naturally in many liquids do not outgas. Sucheffects can be prevented when system pressure is sufficiently high.Consequently, it is generally best to install the sensor:•downstream from pumps (no danger of vacuum),•at the lowest point in a vertical pipe.。
瑞士福特林 red-y 质量流量控制器 产品手册说明书
瑞士福特林Red-y多用途的质量流量控制器瑞士的Vogtlin Red-y系列多用途质量流量控制器可以在各种应用行业中用于测量和控制气体的流量，提供了全量程从5sccm到450slm,最低可至0.2sccm提供了快速的、可重复流量控制的解决方案，可提供（Analog，Profibus DP,RS485/Modbus）等多种通讯方式。
Red-y 系列精巧型的外形和尺寸，可以使气体供应系统更精巧，在同样的条件下提供更高的性能，+24VDC或±15VDC都可以提供供电。
Red-y 利用了高精度的CMOS传感器用于流量测量，以及快速响应的流量比例阀和控制电路。
Red-y是由铝合金或316L不锈钢构成和提供了多种橡胶密封材料用于各种气体。
产品特点：●专利技术的CMOS传感器设计，杜绝了零点漂移的问题。
●小于150ms的超快速的响应时间。
●5sccm到450slm的量程范围内确保了精确和可重复的流量测量和控制●高精度的测量精度（读数值的0.5%+0.3%的全量程）●独特的内部抗紊流设计，可以消除因上游的压力变化而导致下游气体流量的变化。
●多达6个点的流量校准点，比很多其他品牌流量计5个点的校准点，意味着更好的线性度；特别是在0-20%的流量控制范围。
●只有1秒的热机时间,减少因MFC预热时间而影响生产●全量程1%-100%的超宽量程比控制，为用户提供更广的应用选择●不锈钢的表面处理、洁净室要求的处理，和最少的橡胶密封件使用保证了在清洁工艺中的使用要求。
●可以显示流量设定值，实际测量值，气体类型以及累积气体消耗量等信息。
●可提供Analog(0-5VDC,4-20mA)，Profibus DP,RS485/Modbus等控制方式，●可提供16种气体的多气体/多量程的设置●3年超长的质量保证●符合欧洲CE，EMC标志软件控制：每一个Vogtlin的质量流量计/质量流量控制器/压力控制器，都可以通过“get red-y”软件来编辑参数和进行故障分析，例如：查看流量/气体温度，设置设定值，选择气体类型，调节控制参数等等。
MFC-UT系列 气体质量流量计说明书
MFC-UT 系列气体质量流量计HP1:132****2805|HP2:186****5969|********************GAS MASS FLOW METER中国·山东·青岛产品规格书SPECIFICATION安装及使用前请先仔细阅读本规格书规格书中包含《产品保修卡》请保管好请遵守产品规格书里标记的警告和注意事项Datasheet MFC-UT |AUG.17 2021 | Version 1.3产品概述DescriptionM F C -U T 系列质量流量控制器（M a s s Flow Controller）是基于业内先进流量传感器芯片，结合高速数字处理技术和智能补偿算法，所开发的一款紧凑型的气体质量流量控制器产品。
该产品配备有高端电磁比例阀、航空级铝合金气路座、高精度微机电流量芯片等，对比传统的气体流量控制器，本产品采用集成化设计，使得该产品的体积大幅度缩小，可以在小体积、便携式设备中发挥更大优势，更好的适用于空间要求严格的安装场景。
产品应用Applications良好的重复性和再现性配气仪燃烧控制器质谱仪表面处理食品和制药过程控制气体分析仪产品规格Specification尺寸图DimensionDatasheet MFC-UT |AUG.17 2021 | Version 1.3参数说明环境条件电气参数通信接口（RS485）机械参数单位：mm67G 1/8OR G1/87.52618302M446安装尺寸洁净干燥无腐蚀性气体空气、氮气、氩气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氧气等(0～20, 50, 100, 200, 500) SCCM (0～1, 2, 3, 5) SLM读数误差的1%或满量程误差的0.8%，二者取最大值最低0.01SCCM ≤0.7S ±0.2%F .S ±0.5%F .S1×10 Pa·m /sec He -11310bar0~50℃10%~90%RH （无结冰，无凝露）0~1MPa -20~85℃介质要求介质种类量 程精 度分辨率响应时间重复精度线 性漏 率最大耐压工作温度工作湿度工作压力储存温度协 议设备地址最大节点数接头类型主体材质密封材质重 量供电电压功 耗启动时间预热时间接口类型通信速率RS485（默认Modbus-RTU ，可定制私有协议）1(默认)-250(可通过指令或者上位机修改)250卡套：8mm、12mm、 3/8 inch ，快插：6mm ，8mm ，其它可选底座：航空铝合金，外壳：碳钢FKM氟橡胶0.35kgDC24V ， 纹波 ≤50mV ＜2.4W ＜1s ＜10ms RJ45接口4800, 9600(默认), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200,128000,230400, 256000, 460800, 500000（可通过指令或者上位机修改）Datasheet MFC-UT |AUG.17 2021 | Version 1.3产品选型Product choosing安全及保修Safety And Warranty产品用于有害气体或爆炸性气体时，须严格按照产品使用说明或咨询公司技术人员。
D07-7B 7BM 质量流量控制器使用手册说明书
D07 - 7B 型质量流量控制器D07-7BM 型质量流量计使 用 手 册目录1. 使用须知...................................1 6.2.1 开机预热 .. (15)2. 用途和特点..............................1 6.2.2 检查和调整零点 (15)3. 主要技术指标...........................3 6.2.3 通气工作 (15)4. 结构和工作原理........................4 6.2.4 关机 (15)4.1 结构.......................................47. 注意事项 (15)4.2 工作原理.................................57.1 禁用流量介质 (15)5. 安装和接线 ...........................77.2 使用腐蚀性气体问题 (15)5.1 外形及安装尺寸........................77.3 阀口密封问题 (16)5.2 气路接头形式...........................87.4 阀控操作注意 (16)5.3 连接电缆插头...........................97.5 安装位置问题 (16)5.4 与计算机或外部信号的连接.........117.6 注意工作压差 (16)5.5调零和外调零...........................127.7 标定和不同气体的换算 (17)6. 使用方法和操作步骤..................137.8 D07-7B,7BM标准订单填写格式 (18)6.1 质量流量控制器的操作...............138. 故障判断和处理 (21)6.1.1 开机操作..............................139. 保证、保修与服务 (23)6.1.2 清洗功能..............................149.1 产品保证和保修.. (23)6.1.3 显示仪与计算机连接的操作......149.2 保修对使用的要求.. (23)6.1.4 直接与计算机连接的操作.........149.3 服务.. (23)6.1.5 阀控功能..............................1510. 附录 (24)6.1.6 关机操作..............................1510.1气体质量流量转换系数 (24)6.2 质量流量计的操作 ...................1510.2转换系数使用说明 (26)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER第 1 页 共 26 页质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册1. 使用须知尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的D07系列质量流量控制器/质量流量计产品。
气体质量流量控制器 MFC 流量传感器说明书
气体质量流量控制器 MFC 流量传感器产品名称气体质量流量控制器 MFC 流量传感器公司名称北京堀场汇博隆精密仪器有限公司价格8000.00/个规格参数建议零售价:¥8000.00加工定制:否品牌:HORIBAMETRON/堀场汇博隆公司地址北京市朝阳区北苑路40号23号、25号联系电话010-******** 130********产品详情提示：以下模板中任意文字及图片均可执行修改、复制、删除的操作，添加更多的图片和文字描述有助于增加产品对买家的吸引力。
产品介绍产品信息重量： 2.8kg毛重： 2.8kg 产地： 北京堀场汇博隆精密仪器有限公司流量规格流量规格： （100,150,200)l/min 调节阀类型：电磁调节阀 调节阀静止状态： 常闭 准确度： ± 1.0%f.s. 线性： ±0.5%f.s.重复性精度： ±0.2%f.s.响应时间：2s（t98）产品性能简介企业介绍北京堀场汇博隆精密仪器有限公司是一支由中方经营管理，中日双方共同协作的国际化团队，是由全球顶级热式质量流量控制器（mfc）制造商——horiba stec与中国知名热式质量流量控制器(mfc)制造商——北京汇博隆仪器有限公司共同出资成立，是以研发、生产、销售热式质量流量控制器为主业的高新技术企业。
公司经营层和整个国际化团队坚持"群策群力，持续发展，立足国内，走向世界"的企业总体发展方向。
力循"中外结合，品质为本"的经营理念，努力在人才、技术、生产、工艺、质量、市场、服务等各个方面引入和完善现代企业经营管理机制，以适应全球经济一体化的市场竞争，为加速我国相关产业的不断发展贡献一份力量。
企业证书购买须知1、货源说明厂家一手货源，公司生产周期短、产品品质有保证2、关于尺码与使用手册里尺寸一致，以收到实物为准3、关于颜色本店产品均为实物拍摄， 与实物平铺图最为接近，收到实物与图片颜色不一致的，可能与电脑显示器的色彩对比度和色温等因素有关4、关于客服如您的提问未能及时回复，可能是因为咨询量过大或系统故障5、关于售后6、关于发货合作快递 中通、德邦本产品的建议零售价是¥8000.00，加工定制是否，品牌是HORIBAMETRON/堀场汇博隆，型号是S4828，类型是质量流量计，测量范围是12（m3/h），精度等级是1.0%，适用介质是气体，工作压力是3（MPa ），工作温度是5~45（℃），产品属性是仪器仪表。
堀场汇博隆S49 32MT流量计,流量控制器说明书
的差值信号去驱动控制调节阀门，通过闭环，去控制流过通道的流量使之与设定 的流量相等。
分流器在主通道和毛细管间产生层流，控制输出的流量检测电压与流过通道 的流量成比例。
与之配套使用的 MT-50 系列流量显示仪备有±15V 直流电源，3 位半数字电 压表，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关，调零等。为质量流量计或 控制器提供工作电源，设定控制和显示等功能。控制器的设定输入、流量输出信 号均为电压形式，量程范围为 0～+5V。质量流量控制器(流量计)与 MT-50 流量显 示仪连接后的工作原理如图 1 所示。
控制器一般与 MT-50，MT-51 或与之相兼容的流量显示仪连接。 如与 MT-51 数字式流量显示仪连接，则构成数字式流量显示控制。该数字式 流量显示仪提供 RS-232C 接口，或 RS-485 接口，Modbus 协议，无需附加 A/D,D/A 转换卡，而实现与计算机网络电气连接、以及与组态软件的连接。 如 S49 32/MT 流量控制器直接与计算机连接,则需要用户自行提供电源和 A/D,D/A 转换卡等。 控制操作一般在流量显示仪上进行。当设定与“内”设相连时，由流量显示 仪上的设定电位器控制流量。当与“外”设相连时，由用户另外提供的外部（0～ +5）V 电压控制流量。 在流量显示仪的显示面板上设置有三位阀门控制开关，当置“关闭”位时， 阀门关闭；当置“清洗”位时，阀门开到最大，以便气路清洗，或临时作为流量 计使用；当置于“阀控”时，则按设定电位器的数值自动控制流量。（参考流量 显示仪的使用说明书）
量。 S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)主要应用领域： 半导体制造行业的气体流量控制； 分析仪器设备的气体计量与控制； 各种形式的真空镀膜设备； 环境检测与分析设备； 化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制； 特种材料表面处理装置与燃烧控制； 混气配气系统和泄露探测系统等。
E+H质量流量计中文说明书
BA057D/06/zh/06.0550098468PROline promass80科氏力质量流量测量系统操作指南简明操作指南该操作指南指导您对测量仪表进行快速简便的设定安全指南第页7安装第页31接线第页13第页23显示和操作单元使用“快速设定”进行调试QUICK SETUP ()第页50您可使用“快速设定”菜单对测量仪表进行快速、方便的调试，使用现场显示设置基本功能，如显示语种、测量变量、变量单位、信号种类等以下功能可单独实现（如需要）：－零点校正－密度校正－电流输出设置（有源无源）QUICK SETUP()/用户专用设置复杂测量操作需要某些附加功能，您可以借助于功能矩阵进行设置，并将其用户化以满足您的测量过程需要提示：所有功能的详细描述，请查阅“”手册功能描述提示：如在调试后或操作过程中出现故障，请启动故障诊断，见第页诊断清单，找出故障原因以及相应的排障措施。
61第页52主显示页快速设定初始化质量流量E E语言预设定体积流量标准体积流量密度温度退出质量流量单位体积流量单位密度单位温度单位累积器单位累积器单位参考密度单位参考密度值设定其他单位？选择系统单位是否测量模式选择输出模式电流输出1电流输出2频率/脉冲输出退出操作模式频率脉冲电流对应变量电流对应变量电流范围电流范围0/4mA 对应值20mA 对应值时间常数失效模式0/4mA 对应值20mA 对应值时间常数频率对应变量频率上限频率下限频率上限值输出信号时间常数脉冲对应变量脉冲当量脉冲宽度输出信号失效模式失效模式设定其他输出？是否自动设定显示是否自动设定显示参数失效模式标准体积流量单位快速设定提示：快速设定菜单的详细信息，尤其是不带现场显示仪表的操作，请查阅第页。
50·在参数输入过程中按ES C 键，返回QU I CK S ET U P CO MM I SS I O N ，所设定的参数值有效·在进行以下快速设定前必须启动“快速设定”功能·①对当前设定中未设置的单位进行选择，在相应的流量单位中选择质量流量、体积流量、标准体积流量单位·②保持“Y E S ”选项，直到所有单位设置完成“N O ”选项表示没有需要设置的单位·③只对当前设定中未设置的输出进行选择·④保持“Y E S ”选项，直到所有输出设置完成“N O ”选项表示没有需要设置的输出·⑤“参数化显示”包含下列基本设定/出厂设定：YE S :第一行＝质量流量；第二行＝累积量1；NO :保持现有的设定提示：正确使用安装、调试和操作操作安全返修安全规范和图标名称变送器铭牌传感器铭牌标志，一致性声明注册商标收货确认、运输和储存收货确认运输储存安装条件尺寸安装位置安装方向伴热保温进出口直管段振动限流安装指南旋转变送器外壳墙挂式变送器安装旋转现场显示模块安装后的检查分离型仪表的连接传感器的连接电缆规格测量单元的连接变送器的连接端子分配连接防护等级接线后的检查显示和操作单元功能矩阵简明操作指南注意事项激活编程模式禁止编程模式错误信息通信操作选项仪表和过程变量1．安全指南．标识．．．7....................................................2 (9)1.1...............................................................71.2..........................................71.3...............................................................71.4.....................................................................81.5. (8)2.1 (9)2.1.1...................................................92.1.2.................................................102.2CE ....................................102.3.............................................................113.1.. (13)3.1.1....................................................133.1.2............................................................133.1.3............................................................143.2. (14)3.2.1.............................................................143.2.2....................................................143.2.3....................................................163.2.4............................................................183.2.5............................................................193.2.6.............................................193.2.7............................................................193.2.8............................................................193.3 (20)3.3.1.........................................203.3.2......................................213.3.3.......................................223.4......................................................224.1. (23)4.1.1..............................................234.1.2....................................................244.2. (25)4.2.1.............................................254.2.2....................................................274.2.3HART .................................................284.3......................................................294.4....................................................305.1.............................................315.2.. (32)5.2.1......................................................335.2.2............................................335.2.3............................................335.3.......................................................345.4. (35)5.4.1....................................................355.4.2 (36)仪表3.................................................................134...................................................................235...................................................................31安装接线操作目录5.4.3/HART .................375.4.4/..................................436.1...................................................496.2. (49)6.2.1..........................................496.2.2....................................506.2.3.................................................526.2.4.................................................546.2.51/.............................556.2.62/............................566.2.7..............................579.1............................................619.2............................................629.3............................................679.4.............................699.5..............................................709.6........................................................729.7.............................739.8....................................779.9...................................................78.........................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................通用型普通应用型指令仪表状态错误信息功能检测调试测量仪表上电快速设定“调试”零点校正密度校正电流输出：有源无源电流输出：有源无源吹扫和压力监测连接故障诊断指南系统错误信息过程错误信息无显示信息的过程错误输出响应错误备品备件更换和安装印刷线路板仪表保险丝的更换软件版本6.................................................................497................................................................588................................................................599.......................................................6110.....................................................调试维护附件故障诊断技术参数一览应用功能和系统设计输入输出供电性能特性操作条件机械结构用户接口认证订货信息附件相关文件尺寸；墙挂式变送器尺寸：不锈钢现场变送器技术参数8110.18110.1.18110.1.28110.1.38110.1.48310.1.58310.1.68410.1.78810.1.89710.1.910010.1.1010010.1.1110010.1.1210110.1.1310110.210210.310210.4（P r om a s s F ,M ,A,H ,I ）....10310.5尺寸：分离型（P r om a s s E ）10310.6尺寸：分离伴热型10310.7尺寸：高温型（一体化型）10410.8尺寸：高温型（分离型）10410.9尺寸：Pr o ma ss F 10510.10尺寸：Pr o ma ss M 11510.11尺寸：Pr o ma ss E 12910.12尺寸：Pr o ma ss A 13810.13尺寸：Pr o ma ss H 14410.14尺寸：Pr o ma ss I 146尺寸：分离型.....................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................1安全指南1.1正确使用PR Ol in e P ro ma s s 8系列流量计用于测量液体和气体的质量流量，同时也可测量流体密度和温度。
质量流量计使用说明书
-60℃～+200℃ ±1℃ 4mA～20mA 0Hz～10kHz 24V/0.1A 常开（用户订货时说明，可改为常闭）
3.2 基本参数
工作环境参数表（表二） 名 称 -40℃～+200℃ 0℃～+40℃ ≤90% RH，非冷凝 86kPa～106kPa 本安型电源电压: 复合型电源电压: 整机功率 ＜ 15W AC(220±10%)V， （50±5%）Hz (24±10%)V 参 数
3776651 电话： 0592-7160574 传真： 05920592-3776651 地址：厦门市湖里区双利工业园 5 号楼
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C 系列科里奥利质量流量计使用说明书 HK HKC
3. 产品技术参数
3.1 技术指标
技术指标参数表（表一） 指标名称 质量流量测量准确度 质量流量测量重复性 密度测量范围 密度测量准确度 温度测量范围 温度测量准确度 电流输出 频率输出 批控继电器触点容量 批控继电器触点形式 技术参数 ±[0.2% + （零点稳定度/瞬时质量流量×100%）] ±（ 1/2 ）×[0.2% + （ 零点稳定度/瞬时质量流量×100%） ] 0.2 g/cm3～3.5g/cm3 ±0.002g/cm
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C 系列科里奥利质量流量计使用说明书 HK HKC
1. 概
述
科里奥利力质量流量计是一种先进的高精度质量流量测量仪表。 由于其优异的性能， 使其测量 准确度高，对流体状态要求低，压力损失小。多种规格的仪表都可以直接获得被测量液体或浆液的 质量流量、体积流量、密度、温度，无需人工计算或估算。 即使在恶劣的工作环境下也能表现出优异的性能。其内部没有活动部件，不需复杂的安装， 对 工况条件也没有苛刻的要求。 每台传感器都由不锈钢材料制造， 变送器的多种输出能满足您的各种 需要。 本公司仪表已在中国获得了............................................................................................................................ 3
SC200气体质量流量控制器使用说明书
使用说明书instruction manual陕西易度智能科技有限公司Shaanxi Yidu Intelligence Technology Co., Ltd.地址：陕西省西安市经济技术开发区草滩十路1787微信公众号公司网站基于哈根-泊肃叶定律（Hagen-Poiesuille Law ）设计，该定律描述了在温度、管径等参数一定的情况下，圆管内的不可压缩流体是层流运动状态时，体积流量与压降线性相关。
通过读取层流元件两端的压差信号，计算出体积流量，再对该体积流量进行压力和温度修正，从而获得标准体积流量和质量流量。
微型计算机将测量值与设定值进行对比，根据差值自动调一、工作原理图:产品外观图1 图产品外观图2:图快插接头示意图:卡套接头：卡套接头的安装方法如下图所示，将公头螺母拧到控制器进出口处，将管子接上前卡套、后卡套和螺母，再用扳手拧紧，以保证不漏气。
注意：拧螺母时使用双扳手，一只卡住接头不动，另一只旋转螺母，否则容易引起接头松动，影响密封。
图卡套接头示意图:）VCR 接头：控制器上不直接配备VCR 接头，VCR 即可。
内容1818（０－５）Ｖ／（４－２０）ｍＡ输出＋（０－５）Ｖ／（４－２０）ｍＡ输入＋２４ＶＤＣ－２４ＶＤＣ＋空图卡套—VCR 转接图:（０－５）Ｖ／（４－２０）ｍＡ输入图:控制器显示界面（L）图:控制器显示界面（ml）其中，显示界面具体定义如下：温度：被测工质温度；压力：被测工质绝对压力，支持压力单位切换Ｋｐａ、Ｍｐａ、ＰＳＩ依次切换点击压力区域可切换压力单位；量程：控制器所测最大流量。
图:详细操作界面执行“自动校准”操作时，应确保无气体流动。
长时间在超压力或温度测量上（下）限的工况下工作，会对控制器造成不可逆损伤，导致较大测量误差。
图:高级菜单界面界面图:单一工质选择界面图:详细操作界面图:详细操作界面对洁净，必要时，须在气路中加装过滤器等。
如拆卸，需确保管路内无气体残留。
图:产品主界面图:流量设定界面图:设定方式选择界面若选择屏幕控制，在数字键盘上输入需要控制的目标流量，产品主界面“设定流量”区域显示当前设定的目标流量。
西仪CS系列200-A,C,D型气体质量流量控制器 质量流量计使用手册说明书
REV. 2.7CS系列200-A,C,D型气体质量流量控制器/质量流量计使 用 手 册2015.12目录控制方式 (20)第一部分产品说明 3.21.1 声明 ................................................... 1 3.3 调零 (20)1.2使用须知 ............................................ 2 3.4 软启动 .. (20)1.3安全注意事项 .................................... 2 3.5 延迟 (21)1.4 概述 ................................................... 3 3.6 阀控制 .. (21)1.5 技术指标 ........................................... 4 3.7 阀类型 .. (21)1.6 标定 ................................................... 5 3.8 多气体多量程 .. (21)1.6.1 标准状况 ........................................ 5 3.9 累积流量 . (21)1.6.2 制造环境 ........................................ 5 3.10 报警 . (22)1.6.3 精度调节 ........................................ 5 3.11 LED指示灯 . (22)第二部分安装第四部分维护2.1 概述 ................................................... 6 4.1 概述 (23)2.2 打开包装 ........................................... 6 4.2 注意事项 . (23)2.3 机械安装 ........................................... 6 4.2.1介质使用要求 (23)2.3.1 概述 ................................................ 6 4.2.2 阀口密封问题 .. (23)2.3.2 安装 ................................................ 13第五部分故障诊断2.3.2.1 1/4″VCR接头安装方法............ 13 5.1 初步检查 . (24)2.3.2.2 双卡套接头的安装方法 ............. 14 5.2 故障检查 . (24)2.4 电气安装 ........................................... 14第六部分保证和服务2.4.1 概述 ................................................ 14 6.1 七星电子有限保证 (25)2.4.2 连接 ................................................ 15 6.2 产品保证 . (25)2.4.3 电缆线选型表以及连接示例 ........ 17 6.3 服务 (26)2.5 工作检查 ........................................... 20 6.4 免责声明 . (27)第三部分功能介绍附录Ⅰ (28)3.1 概述 ................................................... 20附录Ⅱ (31)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER第1页 共30页气体质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册第一部分 产品说明1.1声明《气体质量流量控制器和质量流量计使用手册》版权属于北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)专有。
DMF-1 系列 U 型质量流量计说明书
DMF-1系列U型质量流量计说明书目录第一章概述 (3)1.1工作原理： (4)1.2仪表参数和选型说明 (6)1.3流量计结构 (9)14精度曲线图 (13)第二章质量流量计的安装与调试 (15)2.1传感器的安装 (15)2.2接线说明 (18)2.3仪表的通电和检查 (20)2.4常见故障的排除 (20)2.5维修与保养 (21)第三章变送器的设置 (21)3.1功能设置 (21)3.2仪表面板操作 (22)3.3零点校准 (28)第四章防爆 (29)第五章MODBUS(RTU)相关说明 (30)第六章选型指南 (33)第一章 概述DMF-1系列质量流量计是根据科里奥利（Coriolis Force）原理，实现流体质量流量的直接精密测量，而无需任何压力、温度、粘度、密度等换算或修正。
其结构是由传感器单元和变送器单元两部分组成。
仪表按本质安全防爆型的国家标准设计与制造，防爆标志为EX d ib II C T5 Gb科里奥利质量流量计能够直接测量流体的质量，具有高精度（0.1%~0.2%），应用范围广(可测量各种非牛顿流体、各种浆液、悬浮液、高粘度流体等)，安装要求低（对仪表的前后直管段要求不高），运行可靠、稳定，维修率低等特点。
我公司对说明书的全部内容拥有最终的解释权，并有权对说明书的内容进行修改。
警告危险场合的不正确安装和操作可能产生危险关于危险场合的技术参数，请参考防爆部分说明341.1工作原理 ：当一个位于以P 点为旋转中心做旋转运动的管子内的质点做朝向或远离旋转中心的运动时，将产生一贯性力，原理如图1:图1图中质量为δm的质点以匀速v 围绕一个固定点P 并以角速度ω旋转的管道内移动时，这个质点将获得两个加速度分量：1. 法向加速度αr （向心加速度），其量值值等于ω2r，方向朝向P 点； 2. 切向加速度αt （科里奥利加速度），其量值等于2ωv，方向与αr 垂直。
根据牛顿第二运动定律（力=质量X 加速度），产生科里奥利加速度αt ，必定在αt 的方向上施加一个相应的力，其大小等于2ωvδm，这个力来自向上转动的管道。
CS 系列200型质量流量控制器 质量流量计 说明书
CS系列200型质量流量控制器/质量流量计使 用 手 册目录调零 (12)第一部分产品说明 3.31.1 概述......................................1 3.4 软启动 (12)1.2 技术指标..................................1 3.5 延迟 (13)1.3 标定........................................3 3.6 阀控制 (13)1.3.1 标准状况...............................3 3.7 阀类型.. (13)1.3.2 制造环境................................3 3.8 多气体多量程.. (13)1.3.3 精度调节................................3 3.9 累积流量.. (14)第二部分安装 3.10 报警 (14)2.1 概述.......................................4 3.11 LED指示灯 (14)2.2 打开包装……………………………4第四部分维护2.3 机械安装.................................4 4.1 概述.. (14)2.3.1 概述 ....................................4 4.2 注意事项.. (15)2.3.2 安装.....................................7 4.2.1介质使用要求 (15)2.3.2.1 1/4″VCR接头安装方法..........8 4.2.2 阀口密封问题 (15)2.3.2.2 双卡套接头的安装方法………..8第五部分故障诊断2.4 电气安装.................................9 5.1 初步检查.. (15)2.4.1 概述.....................................9 5.2 故障检查.. (15)2.4.2 连接……………………………….9第六部分保证和服务2.5 工作检查.................................11 6.1 产品保证.. (17)第三部分功能介绍 6.2 服务 (18)3.1 概述 ......................................12附录Ⅰ. (19)3.2 控制方式.................................12附录Ⅱ. (21)第1页 共22页 MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册第一部分 产品说明1.1概述质量流量控制器（MFC ）和质量流量计（MFM ）用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。
质量流量控制器技术说明书
质量流量控制器和质量流量计使用说明书1、特点及应用领域质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。
S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、*适用于各种腐蚀性气体*气体流量不因温度、压力的变化而失准*高精度 *重复性好*响应速度快、软启动、稳定可靠*低压降*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安装*便于与计算机连接实现自动控制。
S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：*半导体制造行业的气体流量控制*分析仪器设备的气体计量与控制*各种形式的真空镀膜设备*环境检测与分析设备*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制*特种材料表面处理装置与燃烧控制*混气配气系统和泄漏探测系统等2．S49系列质量流量控制器和质量流量计型号本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件及命名方法。
其中：S49-33/MT型为高精度质量流量控制器S49-33A/MT型高精度质量流量计。
S49-33M/MT型为普通型质量流量控制器S49-33BM/MT型普通型质量流量计。
质量流量计主要精确测量气体流量，质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还具备自动控制气体流量的功能。
执行Q/XCHBY001-2003企业标准3．主要技术指标质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N）标定。
2质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);SLM (标准升/分)标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );气压— 101325 Pa (760mm Hg)F.S (Full Scale): 表示满量程值表1 S49-33/MT型﹑S49-33M/MT型质量流量控制器技术指标表2. S49-33A/MT﹑ S49-33BM/MT型质量流量计技术指标注意： S49系列质量流量控制器，质量流量计分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。
一诺质量流量计说明书 (3)
一诺质量流量计说明书1. 引言本说明书旨在提供一诺质量流量计的详细信息和使用指南，以帮助用户正确地使用和维护一诺质量流量计。
2. 产品概述一诺质量流量计是一种用于测量液体或气体的质量流量的仪器。
它采用先进的传感技术和精密的测量算法，能够准确地测量各种流体的质量流量。
一诺质量流量计具备以下特点：•高精度：采用精密的传感器和测量算法，能够实现高精度的质量流量测量。
•强大的适应性：适用于各种液体或气体的质量流量测量。
•稳定可靠：经过严格的质量控制和测试，保证了一诺质量流量计的稳定性和可靠性。
•易于安装和操作：一诺质量流量计采用简单直观的界面，方便用户进行安装和操作。
3. 技术规格以下是一诺质量流量计的主要技术规格：•测量范围：0-1000 kg/h•测量精度：±0.5% FS•工作温度范围：-40°C至70°C•工作压力范围：0-10 MPa•连接方式：法兰连接或螺纹连接•电源电压：24V DC•输出信号：4-20mA或RS485 MODBUS 4. 安装与操作4.1 安装一诺质量流量计的安装步骤如下：1.确保安装环境符合要求，避免阳光直射、有腐蚀性物质和电磁干扰的环境。
2.根据流量计的连接方式选择合适的法兰或螺纹连接接口。
3.使用适当的工具将流量计固定在安装位置上，确保其稳固连接。
4.连接电源线。
5.进行通电测试，检查流量计是否正常工作。
4.2 操作一诺质量流量计的操作步骤如下：1.打开电源开关，确保流量计正常供电。
2.使用控制界面上的按钮或旋钮设置相关参数，如单位、量程范围等。
3.确保流体进入流量计的流道，并确保流体的温度和压力处于正常范围内。
4.监测流量计的读数，确保质量流量测量的准确性。
5.定期进行校准和维护，保持流量计的正常运行。
5. 注意事项•在安装和操作过程中，请遵循相关的安全操作规程，并使用适当的防护设备。
•请勿将流量计暴露在高温或低温环境中，以免影响其正常工作。
重庆川仪科里奥利质量流量计使用说明书
致流量仪表分公司用户的公开信尊敬的用户：感谢您长期以来对重庆川仪的支持!重庆川仪已全面贯彻并实施GB/T24001标准，我们期望所采取的旨在保护环境的活动得到您的支持与配合。
建议您：1．在仪表使用前一定要对安装使用说明书进行了解。
并严格按照安装说明书的要求进行安装使用。
避免安全事故发生。
2．对仪表的安装、运输、使用、贮存、返修以及报废处置一定要符合法律法规环保的相关要求。
3．妥善保管易燃、易爆或有毒有危害的危险物品，采取相应防范措施，防止在储运过程中发生火灾，爆炸或溅漏事故。
造成对环境的污染。
4．在施工过程中。
优先考虑采用无污染或少污染的施工设备、先进的施工方法等，不得采用国家或地方已禁止使用的施工设备、施工方法；在施工过程中，采取必要的措施降低噪音污染。
并对施工现场的废弃物妥善处置。
5．我公司服务人员将严格遵守公司的规章制度，并按照相关要求进行规范操作，可能就环境保护方面会对责方施加影响，希望得到您的积极配合。
让我们一起努力，保护环境，保护我们生存的地球。
重庆川仪自动化股份有限公司流量仪表分公司本说明书详细介绍我公司科里奥利质量流量计的外形结构、设计原理、产品规格、产品安装等内容。
在安装操作前，请务必仔细阅读此说明书。
产品依据以下标准：GB3836.1-2010爆炸性环境第1部分：设备通用要求GB3836.2-2010爆炸性环境第2部分：隔爆型“d”GB3836.4-2010爆炸性环境第4部分：由本质安全型“i”保护的设备GB/T17626.2-2006电磁兼容试验和测量技术静电放电抗扰度试验GB/T17626.4-2006电磁兼容试验和测量技术电快速瞬变脉冲群抗扰度试验GB4208-2008外壳防护等级（IP代码）产品符合GB/T31130-2014科里奥利质量流量计国家标准，均已通过相关防爆认证。
未经允许不得擅自更换相关零部件，防止功能受损。
且传感器与转换器必须配套使用。
在安装前，必须要先切断主电源。
bronkhorst 气体数字质量流量 压力控制器 IQ+FLOW 系列 说明书
使用说明书IQ+FLOW®系列数字质量流量/压力控制器对于气体文档号：9.17.045版本号：W日期：2022年7月19日注意事项安装使用本产品前，请仔细阅读本文档。
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同时应向Bronkhorst代表出具相应报告。
请小心拆开包装箱。
确认包装内产品运输期间是否损坏。
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•检查装箱单，确认收到交货范围所有物品•请妥善保存相应零备件，丢弃包材时，务必仔细检查退货运输相关事宜参见拆除和退货说明。
设备仓储•设备应用原包装包装后，储存在气候受控的环境中。
•注意！不得将设备储存在温度过高或过低的环境中。
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质量流量控制器和质量流量计使用说明书1、特点及应用领域质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。
S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、*适用于各种腐蚀性气体*气体流量不因温度、压力的变化而失准*高精度 *重复性好*响应速度快、软启动、稳定可靠*低压降*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安装*便于与计算机连接实现自动控制。
S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：*半导体制造行业的气体流量控制*分析仪器设备的气体计量与控制*各种形式的真空镀膜设备*环境检测与分析设备*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制*特种材料表面处理装置与燃烧控制*混气配气系统和泄漏探测系统等2．S49系列质量流量控制器和质量流量计型号本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件及命名方法。
其中：S49-33/MT型为高精度质量流量控制器S49-33A/MT型高精度质量流量计。
S49-33M/MT型为普通型质量流量控制器S49-33BM/MT型普通型质量流量计。
质量流量计主要精确测量气体流量，质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还具备自动控制气体流量的功能。
执行Q/XCHBY001-2003企业标准3．主要技术指标）标定。
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);SLM (标准升/分)标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );气压— 101325 Pa (760mm Hg)F.S (Full Scale): 表示满量程值表1 S49-33/MT型﹑S49-33M/MT型质量流量控制器技术指标表2. S49-33A/MT﹑ S49-33BM/MT型质量流量计技术指标注意： S49系列质量流量控制器，质量流量计分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。
4. 工作原理图一热式质量流量计的工作原理图质量流量计由流量传感器, 分流器通道和流量放大电路等部件组成；在质量流量计的基础上，再加上调节阀门和PID控制电路就构成了质量流量控制器。
流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，即热分布式流量计（Thermal Profile Flowmeter）。
采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度和压力的影响。
将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
分流器在主通道和毛细管间产生层流，控制器输出的流量检测电压与流过通道的质量流量成正比, 满量程(F.S)流量检测输出电压为+5V。
质量流量控制器的流量控制范围是(5～100)%F.S（量程比为50:1）, 流量分辨率是0.1%F.S。
控制操作一般在MT-50系列流量显示仪上进行。
当设定与“内”设相连时，由流量显示仪上的设定电位器控制流量。
当与“外”设相连时，由用户提供的外部0~+5V电压控制流量。
在流量显示仪的显示面板上设置有三位阀门控制开关，当置于“阀控”时，则按设定电位器的数值自动控制流量，当置“关闭”位时，阀门关闭；当置“清洗”位时，阀门开到最大，以便气路清洗，或作为流量计使用。
在做流量计使用时，流量检测电压的输出值最大可能达到+10V以上，不过要注意，当流量超过满量程（+5V）后，流量检测电压与通过的实际流量不成线性对应关系。
清洗时，流量显示不准确，还可能出现流量增大显示反而减小的异常现象，但不会对流量计本身造成损伤。
（参考流量显示仪的使用说明书）5.安装和接线5.1 S49系列质量流量控制器外形及安装尺寸如图二所示图二 S49系列质量流量控制器外形及安装尺寸5.2入口和出口气路接头形式可以根据用户的不同需求，选用两种类型：1. 双卡套（Swagelok）；a.Φ6mm；b. Φ3；c. Φ1/4″；d.或其他2.VCRa. Φ1/4″；b. Φ3/8″连接方法如图三，图四所示图三双卡套接头的连接方法注意：按上图所示安装接管时，在装上前卡套、后卡套、螺母后，先用手将螺母与接头拧紧，再用板手拧紧，以保证不漏气。
注意应使用双扳手操作，用一只扳手卡住接头不动，用另一只扳手旋转螺母。
特别是在拆卸时必须使用双扳手操作，否则会引起接头松动，影响密封。
图四 VCR 接头的连接方法5.3质量流量控制器连接电缆接口S49系列质量流量控制器的电缆接线插头，主要采用DB-15-pin针型接口和DB-15-hole孔型接口两种。
其接线方法见图所示。
设定(0~+5.00V)空脚-15V+15V清洗+15V-15V关闭阀控空脚大地（Earth）空脚空脚图五 DB-15-pin 针型接口配线图815 714 6 13 5 12 4 11 3 10 2 9 119 2 10 3 11 4 12 513 6 147图六DB-15- hole孔型接口配线图注意：S49系列质量流量计接线与上述接线只是少了“阀控”和“设定”两根线其它完全相同。
5.4 与计算机的连接方法a. 通过流量显示仪与计算机(或其它外部信号)的连接方法, 见图7。
图七通过流量显示仪与计算机的连接若要检测流量输出信号(0V～+5V)时, 将线引至显示仪外控信号插座的“流量检测”和“0电平”线上即可，也可直接与计算机的模数(A/D)转换器连接，+5.00V输出电压对应MFC满量程额定流量值。
流量检测输出电流≤3mA。
b.图八直接与计算机连接的接线方法MFC/MFM直接与计算机连接，需要用户自己提供±15V电源（如用于复杂电气环境，要求电源抗干扰能力要强）；具体连接方法：* 将“设定流量”线与D/A端子相连* 将“流量输出”线与A/D端子相连* 将“信号零线”与A/D，D/A卡中的信号地相连* 地（GND），0V(E0)分别引线，与±15V电源的地相连* ±15V线分别连接到电源的+15V，-15V端子上* 阀开关接到控制阀门开继电器的一端，控制阀门开的继电器另一端接到电源的+15V上；* 阀开关接到控制阀门关继电器的一端，控制阀门关的继电器另一端接到电源的-15V上注意：如采用特殊接线，两个继电器同时动作时，可能导致电源短路，损坏设备，因此，要注意不能两个继电器同时动作。
5.5 零点的调节用户在使用的过程当中，有可能发生零点偏移，可进行零点偏移的调节。
零点的调节可以两种方式进行调节。
**。
当与我公司生产的显示仪配套使用时，可通过显示仪面板上的调零电位器调零,叫做外调零。
但要注意外调零的调节范围比较小。
** 一种可以从流量控制器上的调零孔进行调节，叫做内调零。
调零孔、调零电位器的位置如图九所示内调零线性增益调零图九调零电位器位置示意图注意： ** 调零时流量控制器中不得通气。
** 调零必须在开机预热15分钟以后进行，以待流量计零点的稳定，方可进行。
** 除调零电位器外，不得轻易调整其它电位器。
** 若遇到较大的零点偏移，必需用内调零，才能解决。
6.使用方法和操作步骤S49-33/MT质量流量控制器的使用方法和操作步骤（结合MT-50系列流量显示仪）6.1 开机前的准备工作6.1.1 用我公司提供的电缆线将质量流量控制器(计)和流量显示仪连接。
6.1.2选择设定信号的来源，信号的来源可选择内部和外部，选择设定信号来源的接口设在流量显示仪的后面板上，如果将设定端子与内设相连时，从流量显示仪上获得设定信号。
如果从其他设备上得到设定信号，则由外部信号设定流量。
6.2开机操作接通电源后，先预热15分钟，待零点稳定后再通气工作。
最佳操作方法：通电后，将阀开关置“关闭”位并将设定电位器调到零，再开气。
待零点稳定后，将阀开关转置“阀控”位，然后再将设定流量调到您需要的值，实际流量跟踪设定值而改变。
6.3清洗与关闭功能欲用气体吹洗管路，可将阀开关置为“清洗”位，清洗时的流量可达该控制器额定满量程流量的几倍至几十倍。
如果不通气，也可根据需要抽真空以排除MFC内部及其上游残存气体。
然后将阀关闭，再开气，并转到“阀控”位工作。
注意“清洗”后，不得直接转置“阀控”位。
6.4流量检测和与计算机A/D转换器的连接若用户检测流量输出信号（0～+5V）时，将线引至外控信号插座的“流量检测”和“0电平”线上即可，也可直接与计算机的模数转换器连接，+5.00V输出电压对应MFC满量程额定流量值。
参考图8，9。
注意，流量检测输出电流不大于3mA。
6.5 阀控功能当阀开关置于阀控位时，用户也可通过外控信号插座上的“阀控制”线控制阀门，，当阀控线接+15V时，阀门关闭；当阀控线接-15V时，处于清洗状态；当阀控线悬空时，阀门处于自动控制状态。
参见MT-50流量显示仪的使用说明书。
6.6关机断电源后，流量自动载止。
推荐先关气，后断电源。
7 注意事项7.1 使用气体必须净化，无尘液体和油污。
必要时须在气路中加装过滤器、干燥器等。
7.2 使用腐蚀性气体问题控制器通道采用的材料为：SUS 316L(00Cr17Ni14Mo2),Viton,氟橡胶等耐蚀材料。
在用户系统无水汽、无尘、勤清洗、使用得当的条件下，可以用于控制一般的腐蚀性气体。
使用强腐蚀性气体和有机溶剂气体时（如NH3，BBr3）等，应在定货时声明，所有密封材料都要作相应改变。
7.3 安装位置问题本控制器安装时最好保持安装面水平，但对位置并不特别敏感，可以任意位置安装，非水平位安装时若发现零点偏移，可调整零点后再工作。
如果用户订货时注明安装位置，我厂也可根据用户的安装位置进行标定后出厂。
7.4 注意工作压差要特别注意工作介质的气压，应注意使控制器进出气口两端的工作压差保持在指标范围之内。
特别是在高压下工作时，气压差过大，流量将无法关闭或调小。
在使用大流量的质量流量控制器时，要注意适当加粗管道和减小气源内阻，若工作压差小于要求值，有可能流量达不到满量程值。
7.5阀口密封问题质量流量控制器的电磁阀是调节阀，不是截止阀，不能当截止阀用，用户应另配截止阀。
特别是用户如果使用的是腐蚀性气体，通常应该在质量流量控制器进出气口各加装一个截止阀，以保证安全。
7.6标定和不同气体的换算本控制器出厂用氮气(N2)标定，用户使用其它气体时，需在订货时特别申明或也可以通过附录一的转换系数进行换算，将质量控制器显示出的流量读数，与某使用气体的转换系数相乘，即得该被测气体在标准状态下的质量流量。