MSE-2000R检漏仪中文说明书

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SHIMADZU 氦质谱检漏仪 MSE-2000R 型
目录
MSE-2000R
1.前言....................................................................................................................................... 9
此外，如您使用其他电源电压，请和本公司联系。
[ 注 释]
切断装置的电源时
在切断装置的电源时，请务必先按下红色的[SAVE]键，然后再关闭 [POWER]开关。直接切断电源时，虽不会造成故障，但部分数据（累计运行 时间等）将不被保存，敬请注意。
此外，如停止本装置，测试端口部可能会返回到空气中。特别是在测试 端口上装有被检件，在真空密封状态下只将本装置停止时，请充分注意。
请勿分解、改造 请勿采用非指定的使用方法 请在充分理解安全事项及警告内容的基础上使用本产品。 如不按照本使 用说明书进行操作，会影响安全性。以下安全事项十分重要，请阅读正文了 解详细内容。
[ 注 意]
关于开包及搬运 主机重量略大于45 kg，此外，在装箱状态下其重量约大于58 kg。开包及 搬运时，请务必由2人以上进行操作，并请注意不要扭伤腰等。
[ 警 告]
装置翻倒时 立即将装置扶回原状态，并确认油旋转泵的泵油有无溢出。确认油位计， 如泵油正在减少，则代表较多的泵油已溢出，倘若在泵油散布于电气系统四 周时直接运转，可能会起火，非常危险，因此请绝对不要运转。请立即与本 公司联系后退回工厂进行修理。
[ 注 释]
关于油旋转真空泵泵油的废油•废容器的处理 处理方法已由法律作出规定。请遵照法律妥善处理。如有疑问，请咨询 本公司。
11.条件设定 ........................................................................................................................... 57 11.1.条件设定菜单 ........................................................................................................ 57 11.2.条件设定项目([System]) ....................................................................................... 58
发生该警报时，请确认装置设置环境温度是否过高（规格值为38 ℃以 下）、装置背面的风机过滤器是否脏污从而降低了冷却效果。如在高温状态 下继续运转，可能会导致所搭载的MDP的轴承破损等。
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[ 注 意]
MSE-2000R
关于使用电压
本装置的输入电源电压在客户订购时已预先从单相 AC100/110/115/120/200/220/230/240 V的8种电源电压中任选了一个，在出厂前 已由工厂设定完毕。设定的电压值记载于装置背面的产品铭牌上，请务必确 认后再使用。
2.概要....................................................................................................................................... 9
3.保修..................................................................................................................................... 10
MSE-2000R
M073-0682 January 7, 2011
氦质谱检漏仪 MSE-2000R 型
使用说明书 第1版
SHIMADZU 氦质谱检漏仪 MSE-2000R 型
（株）岛津制作所 半导体机器事业部 邮编 259-1304 日本神奈川县秦野市堀山下 380-1
请仔细阅读本说明书，正确使用本产品。请妥善保管本说明书以备今后使用。 MSE-2000R System ver.3.10A6 对应版 [M73682.DOC]
再者，在本装置的AC插口部设有联锁用的罩盖，如不拔掉电源线便无法 卸下顶盖。此外，在运转时请务必先安装好顶盖。
顶盖
联锁用罩盖
如不拔下电源线便无法卸下顶盖。
[拔下电源线的状态]
[连接电源线的状态]
[ 注 释]
关于装置内部温度警报
本装置会监视装置内部温度，如超出上限温度50 ℃，便会发出警报，装 置将无法运转。
8.操作方法 ............................................................................................................................. 22 8.1.启动 .......................................................................................................................... 23 8.2.灵敏度校正 .............................................................................................................. 29 8.3.测试 .......................................................................................................................... 34 8.4.数据处理功能 .......................................................................................................... 44 8.5.停止 .......................................................................................................................... 45
-1-ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
MSE-2000R
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MSE-2000R
[注释]
在本使用说明书中，将警告内容规定如下。
[
警 告 ]具有潜在危险，操作不当可能导致人员死亡或重伤。
[
注 意 ]具有潜在危险，操作不当可能导致人身轻微或中度损害以及
设备损坏。
[
注 释 ]正确使用本产品的附加说明。
声
明
1)本说明书版权归株式会社岛津制作所所有。未经本公司许可不得转载、复制部分 或全部内容。
9.输入输出系统 ..................................................................................................................... 47 9.1.记录仪输出 .............................................................................................................. 47 9.2.打印机（选购件） .................................................................................................. 49 9.3.RS-232C ................................................................................................................... 50 9.4.EXT-UNIT................................................................................................................ 55
请由二人从前后分 别用手抓住“※”标记的
位置进行搬运。
搬运时，请勿将手置于前盖的下方。
[ 注 意]
请勿在主机上方放置重物或坐于主机上方 如在主机上方放置重物或坐于主机上方，会导致主机罩盖变形•破损，影 响安全性，敬请注意。
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[ 警 告]
MSE-2000R
保养•检查本装置时
本装置内部存在高压电(450 V)部分。为防止触电，在保养•检查本装置时， 请务必先关闭[POWER]开关并拔掉电源线，然后再卸下顶盖。
6.运转之前 ............................................................................................................................. 17
7.各部分名称 ......................................................................................................................... 19
4.规格•性能 ........................................................................................................................... 12
5.开包和数量确认 ................................................................................................................. 15
12.功能菜单([Utility Menu]) ................................................................................................. 68 12.1.功能菜单([Utility Menu]) ...................................................................................... 68 12.2.时钟设置([Set Date & Timer])............................................................................... 68 12.3.省电([Power-saving Mode])................................................................................... 69 12.4.灯丝切换([Filament])............................................................................................. 70
10.密码的设定和解除 ........................................................................................................... 56 10.1.操作方法 ................................................................................................................ 56
2)本说明书内容如有改动恕不另行通知。 3)本说明书内容力求准确，如有错误或遗漏敬请谅解。 4)本产品和维修零部件的供应期限为制造结束后 10 年。超出此供应期限之后，可
能无法供应维修零部件，敬请谅解。但是，非本公司原装的零部件，其供应期限 由该零部件的生产厂商规定。
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[ 注 意]