检漏仪维修操作说明-SmartTest
SmartTest 使用手册
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第一章SmartTest简介
一. 前言
SmartTest程序组根据不同的程序模块,适用于不同类型的材料试验机,如微机控制电液伺服万能试验机、微机屏显万能试验机、微机控制电子万能试验机以及微机屏显压力试验机等。
二. 特点
(1)利用不同配置文件可以使一台主机配多个传感器。
(2)开放式的程序接口,可为用户定制特殊的试验方法,快速、便捷、可靠,缺
省执行国标GB228-2002、GB7314-87试验方法,;
(3)分档数码显示拉试验力和压试验力及峰值,精度为每档量程20%开始示值的
±1%,可自动标定;
(4)分4档数码显示变形,精度为每档量程20%开始±0.5%FS,可自动标定;
(5)同时记录力-时间,变形-时间,力-变形和力-位移试验曲线,可随时切换观
察,高速采样;
(6)准确、完善的数据分析功能,采用人机交互方式分析计算测试材料的机械性
能指标,可自动计算弹性模量、屈服强度、非比例伸长应力等,也可人工干预分析过程,提高分析的准确度;
(7)试验数据采用数据库管理方式,自动保存所有试验数据和曲线。
(8)功能强大的报表编辑器,利用该报表编辑器,用户可以在极短的时间内做出
自己想要的任何格式的报表,做报表不再是一件痛苦的事。
第二章SmartTest的安装和启动
一、SmartTest的安装
1、微机硬件配置
◆PII C300/64M内存以上PC机,SVGA彩色显示器(支持800*600或以上显示
分辨率),鼠标
SmartTest电子万能试验机软件说明书
SmartTest 使用手册
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第一章SmartTest简介
一. 前言
SmartTest程序组根据不同的程序模块,适用于不同类型的材料试验机,如微机控制电液伺服万能试验机、微机屏显万能试验机、微机控制电子万能试验机以及微机屏显压力试验机等。
二. 特点
(1)利用不同配置文件可以使一台主机配多个传感器。
(2)开放式的程序接口,可为用户定制特殊的试验方法,快速、便捷、可靠,缺
省执行国标GB228-2002、GB7314-87试验方法,;
(3)分档数码显示拉试验力和压试验力及峰值,精度为每档量程20%开始示值的
±1%,可自动标定;
(4)分4档数码显示变形,精度为每档量程20%开始±0.5%FS,可自动标定;
(5)同时记录力-时间,变形-时间,力-变形和力-位移试验曲线,可随时切换观
察,高速采样;
(6)准确、完善的数据分析功能,采用人机交互方式分析计算测试材料的机械性
能指标,可自动计算弹性模量、屈服强度、非比例伸长应力等,也可人工干预分析过程,提高分析的准确度;
(7)试验数据采用数据库管理方式,自动保存所有试验数据和曲线。
(8)功能强大的报表编辑器,利用该报表编辑器,用户可以在极短的时间内做出
自己想要的任何格式的报表,做报表不再是一件痛苦的事。
第二章SmartTest的安装和启动
一、SmartTest的安装
1、微机硬件配置
◆PII C300/64M内存以上PC机,SVGA彩色显示器(支持800*600或以上显示
分辨率),鼠标
检漏仪操作指引
机器启动后,防止检漏仪抖动,严禁移动检漏仪,以防损坏检漏仪的分子泵。
3.5. 进入准备启动状态后如要调整设置漏率值按下面操作进行按下Setup
按软键setpoint在按右侧+/- 符号更改数值更改完后按下Save 键存储,按Escape回到主画面
3.6. 回到主画面,按下开始键开始测量,此时慢慢打开手动阀,观察漏率值变化,如果变
化太大就要确认是否有破大气现象,如没问题,则全部打开手动阀门,后按Zero键归零
3.7.在测试过程中如发现有漏,并且漏点比较大时要停止喷氦气,等待测试值稳定后在进
行测试。
3.8. 测试中测试出漏点后要注意及时归零
3.9. 测试完毕后先将手动阀关掉,然后按停止键停止检漏,在关掉检漏仪的
电源。在停止检漏仪后不能马上移动检漏仪,必须等待5分钟后才可移动。
检漏仪器的正确使用和保养方法课件
02
保持仪器清洁
使用检漏仪器时,需要保持仪器 清洁,避免灰尘、污垢等进入仪
器内部,影响检测结果。
04
正确存储
使用完检漏仪器后,需要将其存 储在干燥、通风的地方,避免阳
光直射和高温环境。
常见问题解答
01
如何判断检漏仪器是否工作正常?
在使用前需要进行自检,观察仪器是否显示正常。使用过程中,如果发
防火措施
禁止在易燃、易爆场所使 用检漏仪器,确保工作区 域的安全。
电气安全
使用符合规定的电源插座 和电缆线,避免电气火灾 和触电事故。
应急处理措施
泄漏处理
一旦发生泄漏事故,应立即关闭检漏 仪器,切断电源,采取相应措施进行 泄漏处理。
伤害处理
如使用过程中发生伤害事故,应立即 停止操作,寻求医疗救助,并对伤口 进行清洗、包扎等处理。
浪费。
检漏仪器类型:超声波检漏仪 检漏原理:利用超声波检测泄漏产生的声音信号
CHAPTER 06
检漏仪器选购与使用建议
选购建议
选择知名品牌
知名品牌的产品质量更有保障,售后服务更完善,使用起来更加放 心。
考虑检测精度
检漏仪器的检测精度直接影响到检测结果的准确性,因此在选购时 需要注意其检测精度是否符合要求。
注意事项
保持仪器干燥
避免在潮湿、高温等环境下 使用仪器,以免影响传感器
ASM D T + +检漏仪控制面板的使用 自带手册
ASM 142/142D/182T/182TD+/192 检漏仪控制面板的使用1. 检漏仪控制面板示意图
1 – 进气口压力模拟量显示
2 – 控制和菜单选择显示灯(功能激活时灯亮)
3 – Auto-Cal: 自动校准开始/停止控制键
4 – Sniffer : 吸枪模式开始/停止控制键
5 – Zero: 清零(忽略本底)功能开始/停止控制键
6 – Cycle: 测试开始/停止控制键
7 – 控制键(共4个)
8 – Standby: 待机状态开/关显示灯
9 – Evac: 初抽状态开/关显示灯
10 – Test : 测试状态开/管显示灯
11 – 氦信号模拟量显示
12 – 氦信号模拟量显示状态开/管显示灯
13 – 氦信号清零(忽略本底)显示状态开/关显示灯
14 – 修正系数”COR”显示灯(适合数字显示栏)
15 – 选择单位开/关显示灯
16 – 氦信号数字显示
17 – 文字数字显示栏(4行 x 20个字节)
18 – 参数功能键F1,F2,F3,F4(每行1个键)
19 – 修正键(共4个键)
20 – Next : 下一个显示/参数功能键
21/22 - +/-: 数值调节(加或减),参数选择,音量调节键
23 – Reset: 之前显示的数值复位(取消暂时的输入值)
24 – 菜单选择键(4个键)
25 – Set Points: “设置点”菜单选择键
26 – Spectro: “校准和质谱室设置”菜单选择键
27 – Maintenance: “维护”菜单选择键
28 – Other: “其他”菜单选择键(测试模式选择,进气口放气选择,日期/时间)
检漏仪操作规程
检漏仪操作规程
1、每班员工工作前,必须检查对仪器进行检查,确认检漏仪工作是否正常;
2、确保电源开关已拨至“OFF”时装入电池,并将灵敏度调节旋钮逆时针旋到底;
3、将仪器置于无易燃气体和有机溶剂挥发体的环境中,将电源开关拨至“ON“,
电源指示灯亮。当指示灯直亮(指示电池电量充足)时,仪器方可正常检测;
4、开机后,不能立即用于检测,仪器需要在洁净的空气中开一段时间进行预热
(≤110秒),预热完成后,喇叭会发出嘀哒声;
5、听到滴嗒声后,调节灵敏度旋钮至仅有第一个漏率指示灯亮,滴嗒声加快;
6、将探头置于已知泄漏处,即可听到滴嗒声更快,此外能看到更多漏率指示灯
变亮。此时可确认该机漏检功能正常,可进行下一步操作。若仪器在已知漏点检测时无反应(滴嗒声和指示灯状态不变),而电池电量又充足,则不要使用该机,并立即送修;
7、被点亮的漏率指示灯越多(伴随滴嗒声越快),表明该处泄漏量越大,易燃气
体浓度越高;
8、现场充装完成后,将探头置于需检测的车载气瓶及管路,当仪器滴嗒声加快,
更多泄漏率指示灯被点亮时,说明改点有易燃气体泄漏;
9、若要寻找漏率较大的泄漏源,必须在洁净的空气中调节灵敏度旋钮,使灵敏
度降低(漏率指示灯均不亮)即可;
10、不得在高浓度易燃气体环境中使用本检漏仪,以防发生危险;
11、检测状态下如果电源指示灯为闪亮状态,表明电压过低,应立即对电池进行
充电(具体按设备说明书要求操作)。
检漏仪安全操作规程范文(二篇)
检漏仪安全操作规程范文
一、引言
检漏仪是一种用于检测气体或液体泄漏的仪器设备,广泛应用于工业、石油化工、环保等领域。为了确保使用检漏仪的安全性,保护人员和设备的安全,制定并严格遵守检漏仪安全操作规程是非常重要的。
二、检漏仪安全操作规程
1.操作前准备
1.1 检查检漏仪的外观是否完好,电源是否正常,传感器是否正常。如有损坏或异常情况,禁止使用,并及时向维修人员报告。
1.2 确保使用的环境符合检漏仪的规定工作条件,如温度、湿度等。
1.3 合理规划检漏仪的布局,确保人员的安全和便捷操作。
2.操作时的注意事项
2.1 操作人员必须佩戴符合安全要求的劳保用品,包括防护眼镜、手套、耳塞等。
2.2 操作人员必须进行必要的培训和学习,熟悉检漏仪的工作原理、操作方法和常见故障处理。
2.3 操作人员必须严格按照操作步骤进行操作,不得随意更改或跳过任何步骤。
2.4 操作人员在使用检漏仪进行检测时,应保持专注,避免分心造成操作不当而导致事故发生。
2.5 在操作过程中,不得使用外接电源以外的其他设备或器材。
2.6 操作人员应加强对检漏仪周围环境的观察,确保无明火、易燃物等危险物质存在。
3.操作后的处理
3.1 操作结束后,及时将检漏仪关闭,并拔掉电源插头。
3.2 对检漏仪进行基本的清洁和维护,保持其外观整洁,避免灰尘和污垢积累。
3.3 检漏仪暂时不使用时,应放置在干燥、通风的地方,避免阳光直射和高温环境。
3.4 对于发现的问题或故障,应及时向维修人员报告,并按照其指示进行后续处理。
3.5 操作人员应及时记录操作过程和结果,以便日后参考和分析。
检漏仪操作保养规程
检漏仪操作保养规程
一、使用前准备
1.查阅操作手册:在使用检漏仪前,务必仔细阅读操作手册,了解设
备的使用方法、注意事项和安全警示。
2.检查设备完整性:检查检漏仪的外观是否完好,无损坏、碰撞等情况,是否有明显的漏气迹象。
3.充电或更换电池:根据使用手册中的要求,进行适当的充电或更换
电池,确保设备有足够的电量。
二、操作步骤
1.清洁工作区域:在进行检漏操作之前,需要确保工作区域干净整洁,避免干扰和误操作。
2.校验仪器:接通电源后,按照操作手册中的要求,进行仪器的校验
和自检。
3.设置参数:根据检测需求,设置仪器的参数,如灵敏度、背景气体等。
4.预热时间:根据设备的要求,预热一定时间,以确保仪器的稳定性。
5.检测操作:将气体检测探头置于待检区域,按下检测按钮,观察显
示屏上的数值变化。根据设备要求进行操作,如移动或固定待检区域等。
6.记录数据:在操作过程中,记录重要的数据,如检测时间、检测位置、检测数值等,以备后续分析使用。
7.分析结果:根据仪器显示的数值或报警情况,判断待检区域是否存
在气体泄漏,并根据情况采取相应的措施。
三、保养维护
1.使用环境保持干燥:检漏仪对使用环境要求较高,一般要求环境温
度在0℃-40℃,相对湿度在10%-95%RH。使用后应存放在干燥通风的地方,以免设备受潮。
2.定期校验仪器:根据设备要求,定期对检漏仪进行校验,确保仪器
的准确性和稳定性。
3.保持仪器清洁:使用过程中注意保持仪器的清洁,避免灰尘和污染
物进入设备内部,影响仪器的性能。
4.定期更换滤芯:检漏仪多数采用滤芯来过滤气体,如果发现滤芯堵
检漏仪维修操作说明-SmartTest
PV_2005-04_E.ppt
分子泵 / Turbo pump
独特的 PFEIFFER TMH 071 Split-flow turbo pump 之设计可承受更高之进气压 力,并且保持最佳之抽气效 率,同时可大幅度降低因进 气压力突然增大而对 turbo pump 所造成的损坏。
PV_2005-04_E.ppt
产品设计优点
模块化设计便于维护和维修
操作简单,一个按钮启动,3分钟内进入工作状态 专利型的双流设计,高灵敏度能对检漏仪及被检 件提供保护 灯丝寿命长(铱/钇材质、两组切换使用设计) 产生
PV_2005-04_E.ppt
灵敏度高,侦测到漏气 0.5 秒钟内即会有警报
售后服务
维修保养能力:工程师受德国原厂技术训练且认 证,并且设备最重要组件 turbo pump 亦为 Pfeiffer 生产,所以对设备的保养及维修具备丰 富的经验及效率之保障。
真空阀组 / Valve block
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱValve block 与 Split-Turbo pump 之搭配设计,在于最大工作 压力可达 18 mbar(业界最高), 提升待测之时效性。
对于使用者之误操作(破大气), 提供保护功能,避免 turbo pump 造成损坏及氦气测漏仪内部严重 污染。
PV_2005-04_E.ppt
smartTest 中文资料
Pfeiffer 氦质谱检漏仪——检漏领域新标准
操作简单,性能一流
工业自动化
SmartTest 氦气检漏仪因其模块化设计,操作简单,外观现代等优势在真空检漏仪领域建立了新标准。
该款产品最重要的特点是结构坚固耐用,可靠性高,维修费用低 。检漏仪的多种接口可供系统方便集成。
SmartTest 氦气检漏仪性能出众,安全可靠,以其快速可靠的检测结果,最小的可显示漏率以及较短的恢复周期而著称。
半导体制造 照明行业 制冷行业 光学镀膜
模块化设计
操作简便
- 标准操作仅需启动/停止和置零 - 菜单驱动
- 操作单元和远程控制在同一台设备中
检漏仪能够实现动态跟踪,本底清零, 检测灵敏度高, 检测时间短 ;氦气检漏仪内置标准漏孔,自动校准;检漏仪器的氦清除时间短
Pfeiffer 氦质谱检漏仪采用标准化组件配置,操作简易,性能出色,创建了真空领域检漏的新标准。
多样化的配置为不同的适用领域量身定做: 1. 配有旋片泵做前级泵的
氦质谱检漏仪,适合于大多数检漏
2. 配有干泵做前级泵的氦
质谱检漏仪,适合无油检漏
3. 无前级泵,应用于检漏
系统 当被检腔体较大或含污染物时,可选择旁路。
此时,Pfeiffer 为您提供的远程控制器、小推车和吸枪等相关设备将有效发挥作用。
氦质谱检漏仪
推车
前级泵
置零
启动/停止
吸枪模式真空模式
可检测最小漏率< 5. 10-8 mbar l/s 可检测最小漏率< 5. 10-12 mbar l/s 检漏仪优点:
1. 操作简单, 3 分钟即进入工作状态;
2. 进气口起动压力高达 25 mbar, 缩短检测周期;
正确的电火花检漏仪操作步骤【完整版】
正确的电火花检漏仪操作步骤:
1、操作前,先要熟悉各部件名称功能,具体名称见设备结构图部分。
(1) 高压液晶显示:其数值直接指示输出的高压(KV)
(2) 电压调节旋钮:调节电压输出的强弱,以适应不同防腐层检测需要(3)开关机键:用于打开或关闭主机
(5)高压枪连接插座:用于连接高压探头及主机部分
(6)工作指示灯:按开机键即亮
(7)欠压指示灯:此灯高时请充电
(8)保险座:电源保险丝此处为2A
(9)接地座:用于连接接地长线
(10)充电插座:接入充电器
(11)探极连接端子:用于连接各种探极
(12)高压枪
(13)手柄:检测时用手握住此柄
(14)高压开关:打开此开关,才能产生高压
(15)连接电缆
(16)多芯插头:此插头与(9)插座连接
2、使用方法:
(1)、高压探头连接电缆(16)与多芯插头(17)插入主机高压枪插座(9)。
(2)、根据不同的探测需要选择适当的探极。
(3)、检查机器工作情况;
a、按开机键工作指示灯应点亮。
b、按下高压枪上的高压开关(15),调节高压调节旋钮至检测所需要的电压。
c、将接地长线的裸点与探极接近,应有火花产生,并伴有声光报警,徐徐调节输出电压,火花产生的距离越来越大,说明仪器工作正常,即可开始检测。检测时接地线夹,应在被测工件金属基体上。
(4) 根据防腐层厚度选择合适的检测电压(详见附表)。
其高压调整过程如下:先按(3)中a、b两项进行,使高压输出,调整高压输出旋钮,使其指示在适当的数值,便可进行测试。
(5) 检测时因不同的防腐材料和厚度,选择较佳每分钟测试的前进速度,以保持更好的检测质量。
检漏仪操作规程
检漏仪操作规程
1、开电源:启动排风扇,打开检漏仪电源,仪器进行自检进入测量模式。
2、校准:用校准漏孔校准,如达不到要求,按本机的使用手册(或说明书)调整或通知计量人员检修。
3、检漏操作:按要求设置参数,手持探头通常以2厘米/秒速度沿焊封、接头密封部位缓慢移动,其吸管端离被测面1~3毫米。对于压缩机冰箱,需进行两次检漏:不通电时,先检测低压侧焊接点,再将冰箱电源插头插入电源,待其稳定运行约3~6秒后检测高压侧的焊接点,每个焊接头检漏时间大于2秒。
4、当发现漏孔时将探头迅速离开漏源,反复几次检查进行确认。若有漏孔发现,应在质量流转卡上注明,若不漏则盖检定章。
5、在测试结束、下班之前,应关闭检漏仪、排风扇及灯的
电源,并关好门窗。
6、在日常的测试过程中,要注意以下事项:
6.1、当仪器长期(>1小时)不用时,应先进入睡眠模式再关闭仪器。
6.2、当探头吸入气体时,检漏仪显示数字或表头指针移动变化时,要将探头移离被测物,吸些新鲜空气,然后再次检漏。
6.3、如果在测试过程中,检漏仪失去灵敏度(中毒)时,应将探头放在新鲜空气中1分钟左右,再进行测试。
6.4、传感器工作在高温下,严禁在易燃、易爆的场合使用,对于卤素检漏仪在开机时或关机后30分钟内不要用手摸仪器后面的传感器的保护罩,以防烫伤。
6.5、仪器若有故障,请及时报告专职计量员。
检漏仪操作保养规程
检漏仪操作保养规程
1、目的
正确使用检漏仪,延长检漏仪的寿命,削减零部件的损坏频率,确保镀膜主机顺当检漏。
2、范围
适用于镀膜主机箱体的检漏
3、职责
设备维护人员按本作业指导书规定的内容作业,保证检漏仪的正确使用和维护。
4、内容
4.2.1 开机
4.2.1.1 接上被检件,将调整阀关至最小闭;
4.2.1.2 三位阀的操作手柄指向预抽,总电源开关为关闭;
4.2.1.3 将仪器接上220V 电源;
4.2.1.4 接通总电源开关;
4.2.1.5 当真空度低于10Pa 后顺时针旋转操作杆到检漏位Z,灵敏度高-低开关Z 高,
约5 分钟后,面板上正常绿灯亮;
4.2.1.6 将灯丝触发开关向开触发一下,灯丝工作指示绿灯亮。
4.2.2 漏率校准〔每月或换灯丝后效准1次〕
4.2.2.1Z 量程选择开关在10,量程波段开关在10-8(Pa.m3/S);
4.2.2.2灵敏度高-低开关在高;
4.2.2.3校准旋钮顺时针到头;
4.2.2.4顺时针旋钮操作杆由检漏到放气;
4.2.2.5卸下检漏口上的堵头,装上标准漏孔并锁紧,翻开标
准漏孔上的阀门;
4.2.2.6顺时针旋转操作杆到预抽位Z,进展预抽。当检漏口压力低于5Pa 时,顺时针
旋转操作杆到检漏位Z;
4.2.2.7观看漏率显示。数据有可能低于标准漏孔的标定值。转变量程使漏率发光显示
占满标1/3 以上。关闭标准漏孔阀门,漏率显示应马上下降,
说明此时仪器已对氦有响应;
4.2.2.8重翻开标准漏孔阀,待漏率显示稳定后,分别调整加
速和聚焦旋钮(先松开锁
紧钮)使漏率显示最大。还可以略微旋转一下质谱管上离子源两侧的磁极,使漏率显示最大(此举对第一次投入使用的离子源或换灯丝有必要);
检漏仪操作规程
操作说明
A 初始操作
1、仪器接电源;
2、打开ON/OFF;
3、打开阀门4(盖下面);
4、扩散泵预热大约20分钟,绿灯‘MP’和发光二极管“DIFF-190℃”亮起来;
5、把液氮充入冷却箱;
6、打开阀门V5(盖下面);
7、顺时针调节挡FB控制器10-10;
8、用“ZERO”potentiometer在仪表上调“0”;
9、调节挡调节器到“PII”,直到压力读数是小于5*10-3mbar;
10、摁住按钮“I”打开“EMISSION”;
11、调节挡调节器到“PIII”,直到压力读数是小于10-4mbar;
12、摁“RP”开关;
13、打开“VENT开关”。
B 漏气检查
1、把漏气检测物连接到漏气探测器端;
2、调节挡调节器到要测的漏气率(比如说10-8mbar ltr/sec);
3、按下“PUMP”按钮;
4、等到“READY”指示灯开始闪烁时可以开始测量(低灵敏度);
5、重点提示:只有指示灯稳定发亮才能达到高灵敏度;
6、用氦喷射测量物并读出漏率(如果没有仪表);
7、测试结束后按下“VENT”按钮,断开测试连接物。
C 关机
1、按下“EMISSION”的“0”按钮;
2、关闭阀门V5;
3、关闭阀门V4;
4、关闭总开关“ON/OFF”;
当扩散泵冷却后Unit会自动关闭。
D 准备操作
系统自我净化(当冷凝管除霜)
1、关闭“EMISSION”,按下“0”按钮;
2、关闭阀门V5;
3、按下“RP”按钮关闭辅助泵;
4、让其余的泵工作一段时间(例如一晚上)。
检漏仪使用方法
检漏仪使用方法
《检漏仪使用方法》
一、安装
1、在检漏仪的底座上安装检漏仪,并将检漏仪的电源插头插入插座,打开电源开关,让检漏仪处于工作状态。
2、然后,将检漏仪的检测头和检测管接上,并将检测头的接头接入检漏仪的接口上。
3、检漏仪安装完毕后,请按照检漏仪说明书的要求进行设置。
二、操作
1、检测前,先将检漏仪的模式调节好,确定检测头吸尘器的型号。
2、将检测头插入检漏仪的接口上,将检测管插入待检测的介质中,检时移动检测管插口,以确保检测全方位。
3、启动检漏仪,调整检漏仪的压力,注意检漏仪的介质温度和湿度,确保介质温度和湿度处于正常范围。
4、检测过程中,注意检漏仪的屏幕和指示灯的变化,当出现泄漏,检漏仪会发出报警声,即可停止检测。
三、检漏后处理
1、检测完毕后,将检测头刮洗干净,将检测记录数据进行归档保存。
2、将检测头安装在检漏仪的底座上,将检漏仪收好,放置在通风良好的干燥环境下,以备下次使用。
SmartTest-检漏仪
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leak rates and short recovery time are what characterize the SmartTest and make it such
a powerful and dependable product.
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测试方式介绍 (Vacuum & Sniff)
正压测试 (Sniffer mode) 将待测物体利用示踪气体 (4He,3He,H2) 施加内压, 并利用 Sniffer probe 于待测物体外侧检漏可能之漏点。 负压测试 (Vacuum mode) 将待测之腔体连接上氦气测漏仪之 test port,以真空 装置或氦气检漏仪 (本身为 vacuum sysytem) 对待测 系统做抽真空,使其压力低于25 mbar,再于可能的泄 漏点喷少许示踪气体检漏。
Helium Leak Detector
产品规格介绍 产品结构及功能介绍 测试方式介绍 产品设计优点
售后服务
HLT 拆解 参考客户
PV_2005-04_E.ppt
产品规格介绍
HLT 560
最小测漏率(mabr l/s)
分子泵型式 前级抽速(m3/h)
HLT 565
5.10-12
分流式 30
HLT 570(Dry)
5.10-12
分流式 2
HLT 572 (Dry)
5.10-12
分流式 7.5
5.10-12
分流式 5
启动时间(min)
反应时间(s) 最大进口压力(mbar) 内部校准泄露 自动校准功能 附小车
3
<0.5 25 标准 有 无
3
<0.5 25 标准 有 有
3
<0.5 25 标准 有 无
3
<0.5 25 标准 有 有
• 绵阳九院、兰州物理所、航天部、等离子研究 所 • 成都无极真空、兰州真空、沈阳科仪
PV_2005-04_E.ppt
希望我们能够合作成功!
PV_2005-04_E.ppt
PV_2005-04_E.ppt
离子源 / Ion source
材质为 iridium / yttrium 使用寿命长。 (其他品牌材质为 wolfram) 2 cathodes 设计,若其 中一组损毁机台会自动 切换至第二组。
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质谱管 / Mass spectrometer
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分子泵 / Turbo pump
独特的 PFEIFFER TMH 071 Split-flow turbo pump 之设计可承受更高之进气压 力,并且保持最佳之抽气效 率,同时可大幅度降低因进 气压力突然增大而对 turbo pump 所造成的损坏。
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产品设计优点
业界最高的入口压力 25 mbar,即可进入检漏状态 独一无二的外接真空计功能,可直接在检漏仪面板 上显示系统真空度 Roughing pump 选择性高 Vacuum + Sniff 为标准配备 内置标准漏率棒,可自动校准
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产品结构及功能介绍
RC260:显示屏幕 Mass spectrometer:质谱仪 Oil mist filter:油雾分离器 Test port:测试口 Valve block:阀组模块 Test leak:标准漏率棒 EVV:讯号放大器 V1~V6:valve block 阀组
分子泵、阀组分解图
turbo pump
valve block
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TMH 071 拆解图
buttom, coil turbo drag spacing ring housing rotor mag bearing
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stators
参考客户
• 深圳南玻、优利讯、中芯国际、台积电、3 M
维修保养时效性:全产品均由 Pfeiffer 生产组装, 上海伯东作为德国原厂设立的产品维修服务中心, 能够及时提供备件的支持及快速反应能力。
技术支持能力:因产品应用广泛,上海伯东可依 据客户实际使用状况,提供相应的教育培训及应 用建议。
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氦检漏仪拆解图
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DUO 5A: 机械泵
TMH 071: 分子泵
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检漏仪显示面板
此控制面板包含了controller、 display,对于使用者而言,操作 简单(one touch) 。 Controller:Start、Stop、 Zero、 Setup…. Display:漏率显示、状态显示 、操作显示、参数显示….
产品设计优点
模块化设计便于维护和维修
操作简单,一个按钮启动,3分钟内进入工作状态 专利型的双流设计,高灵敏度能对检漏仪及被检 件提供保护 灯丝寿命长(铱/钇材质、两组切换使用设计) 产生
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灵敏百度文库高,侦测到漏气 0.5 秒钟内即会有警报
售后服务
维修保养能力:工程师受德国原厂技术训练且认 证,并且设备最重要组件 turbo pump 亦为 Pfeiffer 生产,所以对设备的保养及维修具备丰 富的经验及效率之保障。
真空阀组 / Valve block
Valve block 与 Split-Turbo pump 之搭配设计,在于最大工作 压力可达 18 mbar(业界最高), 提升待测之时效性。
对于使用者之误操作(破大气), 提供保护功能,避免 turbo pump 造成损坏及氦气测漏仪内部严重 污染。
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Mass spectrometer 180° 离子轨域及 filter 设计,不 但提高对于侦测气体之灵 敏性,更加强了漏率之准 确性。
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油雾分离器 / Oil mist filter
在前级搭配油式机械泵(Rotary vane pump),氦气测漏仪之型号 中 (HLT 260 、HLT 265) ,配置 油雾分离器(oil mist filter) 可以 分离油气,避免造成工作环境之污 染。