AR(抗反射)膜介绍

大面积多层膜沉积技术

一、大面积薄膜沉积设备介绍及工艺流程

1、溅射原理

定义：溅射镀膜是一个极其复杂的过程，溅射沉积过程中，一般把受到离子轰击的表面看作供应材料，作为生长薄膜的源。

1.电离工作气体，Ar等；

2.使工作粒子获得足够的能量，并轰击源物质的固体表面；

3.与源物质分子或者原子交换能量，使源物质从固体表面溅射出来；

4.固体分子或者原子溅射出来后，向基片方向输运；

5.薄膜的形成

2、连续溅射镀膜线配置

靶材的结构和尺寸

Si靶或者Ti靶

110mm×1150mm

中频交流反应磁控溅射

3、基架回件与抽气系统

2、需有高低折射率材料形成交替的叠层，产生对特定波长光的干涉效应；

3、各层材料需由真空蒸发、溅射或者溶胶－凝胶法（Sol－Gel）等方法形成膜层，高低折射率层形成干涉界面；

4、同一层必须保证为各向同性（保证膜层厚度一致，折射率一致）；

5、各层膜层在工作波长内区域内吸收很小或者没有吸收。

3、抗反射（AR）增透膜

定义：减反射增透膜（ Anti－Refletance简称AR膜）是在玻璃基片上镀多层复合光学膜，采用低折射率（L）和高折射率（H）材料交替形成膜堆，通过精心的膜层设计和膜厚严格控制，利用干涉效应减少基片表面反射。

抗反射增透膜的应用领域。

AR Coating的LCD显示屏

1、减小反射光强度，表面反射降低到%以下，防止产生眩光；

2、表面为光滑的镀膜面，减少图像失真；

3、增加LCD的出射光强度，增加图像的对比度；

4、可以产生更宽的视角；

5、LCD显示色彩更鲜明。

6、抗反射膜的膜结构设计

AR（Anti-Reflective Glass）光学技术与护眼涂层的结合，不仅可以有效防眩防反光，同时具备最高达%的超高的透光率及超亮彩性能。

抗反射膜的膜结构设计:

应用领域：汽车玻璃、太能电池等；

抗反射特点：

1、可见光透过率最高峰值99%

可见光平均透过率超过95％，大幅提高LCD、PDP原有亮度。

2、平均反射率低于4%，最低谷值%

有效削弱因背后强光导致画面变白之缺憾，享受更清晰的影像画质。

3、色彩更艳丽、对比更强

使图像色彩对比更强烈，景物更清晰。

4、抗紫外线，有效保护眼睛

紫外线光谱区透过率大幅降低，可有效阻绝紫外线对眼睛之伤害。

5、良好的导热性

良好的导热性能，克服了目前使用的镀膜压克力不易导热的弱势，从而防止PANEL过热，延长了LCD寿命。

6、膜层附着能力强

"新济达“AR玻璃使用是磁控溅射沉积膜层，通过光学折射原理，提高玻璃透光度。

7、耐高温

AR玻璃耐温>500度(一般压克力只能耐温80度)

8、防刮耐磨性最佳

AR玻璃膜层硬度与玻璃相当,大于7H，（一般PC板硬度约为2H至3H）。

9、可耐各种清洁剂清洗

耐酸、碱清洗剂之擦拭，膜层不受损坏。

10、抗冲击性强

3mm厚度玻璃的冲击性能相当于6mm压克力。

11、保持视角

一般压克力在安装后，视角会边小；而AR玻璃装上后，视角不会变小。

12、外观

AR玻璃表面平整度远远优于镀膜压克力，并且尺寸越大，相差越明显。

13、AR玻璃冷热变形几乎可以省略不计，适用于各类环境；同时，AR玻璃具有琉璃感，外观更漂亮。

7、技术难点

§1、多层膜连续反应溅射气路设计；

§2、多层膜连续反应溅射靶材布置；

§3、多层膜大面积镀膜均匀控制；

§4、多层膜光学设计与厚度控制。