【CN110205590A】一种超高纯铝溅射靶材及其轧制方法【专利】

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910379953.6

(22)申请日 2019.05.08

(71)申请人 东莞市欧莱溅射靶材有限公司

地址 523000 广东省东莞市厚街镇汀山村

汀山路121号

(72)发明人 吴本明　文宏福　

(74)专利代理机构 广州骏思知识产权代理有限

公司 44425

代理人 程毅

(51)Int.Cl.

C23C 14/34(2006.01)

C23C 14/14(2006.01)

(54)发明名称

一种超高纯铝溅射靶材及其轧制方法

(57)摘要

本发明公开了一种超高纯铝溅射靶材及其

轧制方法。轧制中先将轧机辊缝设为单道次压下

量一半对超高纯铝铸锭进行轧制，咬入后倒回并

将辊缝设定为单道次压下量再次对超高纯铝铸

锭进行轧制，通过该方法能够避免在轧制过程中

出现咬入打滑现象，实现大压下量轧制。另外，本

发明还通过对咬入条件进行改善，通过对润滑剂

使用、轧制温度进行控制，设定严格工艺，使轧制

顺利进行同时实现大压下量轧制、提高生产率，

制得的超高纯铝溅射靶材，其晶粒细小，均匀性

良好，控制在150微米内，

满足客户需求。权利要求书1页 说明书4页 附图2页CN 110205590 A 2019.09.06

C N 110205590

A

权　利　要　求　书1/1页CN 110205590 A

1.一种超高纯铝溅射靶材的轧制方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将超高纯铝铸锭进行表面铣削，去除表面的氧化层；

2)将铸锭放入加热炉加热至230-270℃；

3)轧制：将加热后的铸锭在可逆式热轧机上进行轧制，单道次压下量为20mm，轧制时使用乳液进行润滑；首先可逆式热轧机辊缝设为单道次压下量的一半，铸锭头部咬入后停止轧制，轧辊翻转，铸锭回退至入口侧；随后调整可逆式热轧机辊缝至单道次压下量进行轧制，多次轧制得到厚度为50mm的靶坯；

4)将步骤3)所得靶坯头尾铸口咬合部分切除，随后根据所需长度对靶坯进行等分，自然冷却；

5)将步骤4)所得的靶坯再次加热至230-270℃，保温；

6)随后进行二次轧制，控制单道次压下量为10-30mm，经单道次或多道次轧制将靶坯厚度轧制至成品厚度；终轧后立即将轧件迅速均匀冷却至室温；

7)对步骤6)所制得的靶材进行热处理,热处理温度为250-270℃，保温1h，退火；

8)对退火后的靶材矫平后进行铣削加工，制得超高纯铝溅射靶材。

2.根据权利要求1所述的超高纯铝溅射靶材的轧制方法，其特征在于：步骤2)中所述加热炉为推进式加热炉。

3.根据权利要求1所述的超高纯铝溅射靶材的轧制方法，其特征在于：步骤3)中首次咬入前关闭热轧乳液开关，咬入后重新开启。

4.根据权利要求1所述的超高纯铝溅射靶材的轧制方法，其特征在于：步骤5)中保温时间为1h。

5.根据权利要求1所述的超高纯铝溅射靶材的轧制方法，其特征在于：步骤7)中热处理的升温速度为3.5-4.5℃/min。

6.一种超高纯铝溅射靶材，其特征在于：使用权利要求1-5任一所述的方法轧制所得。

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