什么是无油涡旋真空泵

什么是无油涡旋真空泵

由于普通旋片油泵的漏油、噪声、返油污染、高能耗以及振动等问题给用户造成不良影响，如生物制品行业与半导体行业的油蒸汽污染与工艺系统返油问题。真空镀膜设备的镀膜工艺中，在20～40Pa真空条件下镀膜时，如果应用普通旋片机械真空泵作为前级真空泵将对镀膜工艺设备造成污染，影响成膜质量。

半导体晶片制造工艺当中使用油泵与使用于泵相比，成品率存在明显的差距，并且排出的油雾蒸汽对环境也有污染.科学仪器行业尤其是在分析测试仪器行业，采用油泵对测试结果将造成不良影响。大型同步辐射光束线上采用无油涡旋真空泵作为前级真空泵的作用也相当明显。另外无油涡旋真空泵消除了普通油泵的漏油给用户带来的环境污染与烦恼。现有无油涡旋真空泵用户的使用情况也证明了这种泵的优越性和可*性。

为防止普通旋片油真空泵对真空系统的返油污染,需要在抽气系统中加冷阱捕获油分子;系统运行过程当中还需要定期清洗除油;有的需要定期更换真空泵油.采用无油涡旋真空泵第一部需要加冷阱之类捕油机构、第二不需要更换真空泵油、第三振动更小、运行更平稳、第四能耗降低、第五重量更轻、第六突破了油泵使用范围的限制。这些优点使无油涡旋真空泵成为普通旋片油真空泵的更新换代产品。

无油涡旋真空泵主要部件为涡旋盘付\曲轴和密封垫.该泵的抽气——压缩——排气机理是在动、静涡旋盘相互不接触的情况下，依*动、静涡旋盘相对转动形成吸气腔和压缩腔，将被抽气体排出，连续完成吸气、压缩和排气过程。在充分考虑抽气过程中发生热交换的情况下，尽量减少动、静涡盘问的径向和轴向间隙,可以提高抽速和极限真空度。针对无油涡旋真空泵结构上存在着的运转过程中水分和杂质易积聚和轴承易磨损的弱点,加气镇阀是必要的选择。

结构上的改进主要有两点：

①.加气镇阀使极限真空度保持要求值——进气压力O.03MPa(G)以下，流量lOL/min以下;

②.轴承端面加双侧密封圈密封，有效防止轴承磨损。

在无油涡旋真空泵的设计过程中，需要解决的问题包括：

①.涡旋泵的CAD设计一一型线方程的确定及修正，初始角修正，运动模拟;

②.涡旋盘的加工一一加工精度、加工工艺间隙的大小：

抽速、极限真空度;

③.涡旋盘的表面处理一一耐腐蚀、润滑、硬度、处理工艺、表面均匀性;

④.密封垫材料的选择与加工——密封垫要求有弹性、耐磨、不产生微粒。

使用前与使用过程中应当注意的安全事项包括：

无油涡旋真空泵的抽气范围(用于抽洁净气体。不能抽有毒、易燃、易爆、腐蚀性气体、化学品、溶剂及粉末等)。安装要求(安装在没有易燃、易爆物品、避雨、无蒸汽的安全场所)。安装在水平面上(倾角小于5。)。周围无灰尘、无铁屑、石块或木块。一定要安全接地。一定要安装紧急制动开关。接线要由合格的电工完成)。在合适的工作环境温度(5～40℃)内工作。正确安装使用(接线或检查时必须切断电源，不能将手指或其他物品放人泵的气孔或冷却翅片的间隙中)。正确维修检验(根据本说明书要求定期检查，泵彻底冷却后再进行维护与检验工作;由专业人士维修，不能改造此泵)。

安装前要认真检查下述各项：

①.检查确认包装放置方向正确。

②.检查确认产品为订购的型号。③.检查确认无破损。

④.泵运转时拆掉进气口与排气口法兰。如果连续带法兰工作，会对泵引起损害。

安装时应注意：

①.安装在避雨、无蒸汽的场所，避免电击危险;

②.安装在通风良好、隔绝爆炸物、无腐蚀性和易燃气体及其他有关物体处。

③.安装在坚实、平整面上(倾角小于5。)，阳光不能直射处。

④.在规定环境温度范围(5—40℃)内工作。

要在真空室和进气口连线上安装截止阀和排气阀。这些阀用于开关无油涡旋真空泵时阻止泵中积存的碎屑被抽回真空室中。开关泵时要先关闭截止阀。连接管路一定要洁净。建议使用软管连接，这样泵的振动不会传到真空室。连接排气管时要注意管的长度和尺寸。建议排气管长不超过15米，内径25mm。注意泵工作时排气管不能堵塞。注意排气压力不能超过大气压。连线时必须首先断开电源，由合格的电工连线。泵必须提供外部保护，如8L/s泵最小电路容量为单相、18A，最大分路电流断路器容量为15A。一定要安装推荐容量的电流断路器以避免电机烧毁，电线和地线截面积一定要超过2mm2。否则会引起损害或火灾。

与电机接线端子连接的电线要配适当的圆圈形接头。一定要接地。否则可能引起电击或人身伤害。交货时连线电压为单相，220伏。

无油涡旋真空泵在初次启动或者长期不用时达到极限真空需要较长时间。应在关闭进气阀状态下连续抽气6—8小时，每小时打开进气阀2～3次，每次3～5秒。如果泵抽水或者高湿度气体(相对湿度>60%)，水汽可能残留在泵中降低泵的性能。这时关闭泵与系统之间的截止阀，启动泵，运转时打开进气阀进大气几次，每次3—5秒，可以将泵中的水汽排出。泵工作时要拆去进气口法兰和排气口法兰，否则会对泵有损害。泵启动和关闭时要关闭截止阀，否则开关泵时泵中积存的碎屑会被抽回真空室中。重新启动泵时，启动前要开启进气阀进大气3—5秒，否则会造成泵中温度不平衡，导致泵失效。

无油涡旋真空泵的启动步骤包括：

①.关闭截止阀(以免泵中积存的碎屑会被抽回真空室中(带漏气阀开寸耍开启漏气阀));

②.打开泵开关;

③.开启截止阀(检查确认真空泵已开启，使用漏气阀时要关闭漏气阀，抽真空室)。

停泵步骤包括：

(1)关闭截止阀(避免泵中积存的碎屑被抽回真空室);

(2)关闭泵开关。

(3)无油涡旋真空泵的操作——抽水汽