耐湿性二硫化钼固体润滑膜及其制造方法
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分 类 号证 书 号类型申请国家申 请 日专 利 期 限C23C01816189442
发明中华民国89/06/3092/09/21～109/06/29适于高湿度之环境中使用。其镀膜组织较致密化，使二硫化钼固体润滑膜具有良好之机械性质，例如硬度由HV150左右提高到HV500以上，并仍保持其摩擦系数在0.05以下而继续发挥其固体润滑效果；金属中间层介于二硫化钼镀膜与工件间，以增强二硫化钼镀膜与工件间之附着力，使镀膜不易自工件脱落。
特 色 及 优 点
耐湿性二硫化钼固体润滑膜及其制造方法
发 明 人
李新中、杨玉森、卓廷彬应 用 面
固体润滑剂
摘 要
一种耐湿性二硫化钼固体润滑膜，系于二硫化钼镀膜中，掺入适量(约2－50at％)之金属，该金属之氧化电位须大于钼之氧化电位，如钛或铬等金属。因此，所掺入之金属得优先与潮湿空气中之氧气及水气反应，防止二硫化钼固体润滑膜之二硫化钼与潮湿空气中之氧气及水气反应，其在高湿度(相对湿度80％以上)的环境下仍保可持其良好之固体润滑性，亦即其摩擦系数不会随湿度和时间而急遽上升。此外，所掺入之金属可使二硫化钼固体润滑膜组织较致密化，使其具有良好之机械性质，例如硬度由HV150左右提高到HV500以上，并仍保持其摩擦系数在0.05以下而继续发挥其固体润滑效果。
1.一种涂层耐湿性二硫化钼固体润滑膜于一工
件之制造方法，其包含下列步骤：
清洗该工件表面，
将清洗后工件置放于一蒸镀设备中，
将挡板遮住二硫化钼靶，
通入Ar气，启动靶电流，将一钛或铬金属靶
之钛或铬原子击出，镀于工件表面以形成一
金属中间层，及
将二硫化钼靶之挡板移开，将二硫化钼靶及
钛或铬金属靶之钛或铬原子击出，镀于工件
表面以形成一二硫化钼与钛或铬原子镀膜。申请专利范围图 式 首 页