电源频率应用及真空镀膜机RF加热原理知识

交流电源频率应用说明

1.世界各地基础电源类别

使用者不仅可以模拟世界各地电压和频率（40～70Hz）作测试应用；

典型成熟应用：（1）中国：3相380V，单相220V，50Hz；

（2）日本：3相220V，单相110V，50(东)/60(西)Hz

（3）台湾：3相220V，单相110V，60Hz；

2.航空及军工行业

中国： 400Hz,1000HZ频率的国防军事侦测、航空电子及航海、通讯等应用设备.

3.中频电源领域（开始有较大辐射）

(1) 中频冶炼：0.2k~0.5kHz

(2) 一般感应加热：0.5k~25kHz，我司2010年调试一台频率2k~3kHz的中频感应加热电源；

(3) MO机进口机感应（RF）加热:3k~100kHz

（4）真空镀膜领域：中频磁控溅射电源一般为40KHz

4.射频电源(RF generator)

是用来产生射频电功率的电源。它的输出一般是正弦波或脉冲，频率有2MHz、13.56MHz、27.12MHz、60MHz等规格，输出功率从几十瓦到几十千瓦，输出阻抗一般是50欧。它可以用于等离子体发生、感应加热、医疗等多种领域。射频电源可以用于加热，一般用射频电源进行感应加热需要以下装置: 射频电源、匹配器、感应线圈和加热容器射频电源根据需要的频率和功率而定，感应线圈一般由镀银铜管制成，绕在加热容器外，匹配器将射频电源的50欧输出阻抗和感应线圈的阻抗向匹配。从上面可以看出，射频和感应加热的原理是一样，感应加热我们又叫全固态高频感应加热，

典型成熟应用：（1）真空镀膜领域RF电源一般采用13.56MHz；