光学FMCW干涉量干涉技术

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光学干涉技术的应用及未来发展趋势

光学干涉技术的应用及未来发展趋势光学干涉技术是一种高精度测量技术，利用光波的干涉现象测量物体的形状、表面误差、扭曲等参数。

随着科技的进步和应用领域的扩展，光学干涉技术的应用范围越来越广泛，未来发展潜力也很大。

一、光学干涉技术的基本原理和分类光学干涉技术的基本原理是通过比较光的干涉效应来实现测量目标的形状和表面状态。

其中，常用的干涉现象有菲涅尔、杨氏、薄膜干涉等。

按照干涉光路的配置可以将光学干涉技术分类为两类：点干涉和面干涉。

点干涉技术又称为单点干涉技术，主要包括：激光干涉仪、石英晶体干涉仪、法布里-珀罗干涉仪等。

这些工具可以实现非常高精度的目标测量，例如，通过激光干涉仪可以测定销轴和端面的径向和切向距离误差、平面和圆度误差等。

面干涉技术又称为全息干涉技术或者纹影干涉技术，常见的应用包括：纳米位移量测量、三维形状重建、表面形态分析、微观结构测量等。

这种技术通常需要复杂的光源和干涉仪器装置，但是测量实现起来非常快速和精准，价值巨大。

二、光学干涉技术的应用光学干涉技术的应用领域非常广泛，涉及机械工程、光学、化工、生物医学、建筑等多个领域。

以下分别讨论不同的应用场景。

1.精度制造业在航天航空、电子硬件、汽车制造等领域中，光学干涉技术是必不可少的。

在航天航空领域，通常需要使用高精度制造机器部件，因此，需要使用光学干涉测量技术确保高精度加工结果。

在汽车制造领域中，光学干涉技术可以帮助厂商确保汽车零件的尺寸和质量。

2.生物医学科研在生物医学研究中，光学干涉技术可以用于检测细胞、组织和体积的形态结构及拓扑性质。

例如，可以应用红外干涉技术测量角膜厚度，提高白内障手术的成功率。

3.电子工业在电子工业中，光学干涉技术可以帮助测试和测定微型器件的误差和半导体材料的缺陷。

三、光学干涉技术未来的发展趋势由于光学干涉技术在现有领域中的应用广泛，我们可以预见到未来它在更多领域中得到开发使用。

以下列举几个未来发展趋势。

1. 3D打印3D打印技术是在早期阶段已经得到了应用，但是未来可能会基于光学干涉技术取得更大的成功。

光学实验中的干涉与衍射技术详解

光学实验中的干涉与衍射技术详解光学实验是物理学中重要的一部分，干涉与衍射技术作为其中的重要内容，在科研和实践中发挥着重要作用。

本文将详解光学实验中的干涉与衍射技术，旨在帮助读者深入理解其原理与应用。

干涉是光学实验中常见的现象，它是指两个或多个光波在空间中相遇所产生的波动现象。

干涉现象的产生源于光波的性质，当两束光波相遇时，它们会叠加形成新的波动模式。

干涉实验常用的装置有杨氏双缝装置和麦克斯韦干涉仪等。

在干涉实验中，干涉条纹是观察干涉现象的主要依据。

干涉条纹的形成是由光波的相位差决定的。

相位差是指波的起始位置的相对差异，它可以通过光程差来表示。

光程差是指从光源到观察点所经过的光路的长度差，它直接影响到干涉条纹的明暗程度和位置。

当两束光的相位差为奇数倍的半波长时，它们将相互抵消，产生暗条纹；当相位差为偶数倍的半波长时，它们将相互加强，产生亮条纹。

干涉实验还可以用来测量波长和光度等物理量。

例如，在杨氏双缝实验中，根据光程差和光波频率的关系，可以通过测量干涉条纹的间距来计算出光波的波长。

这种基于干涉的测量方法在科研和工程中有着广泛的应用，如测量微小位移、材料的折射率和厚度等。

衍射现象是光学实验中另一重要的现象，它是指光波遇到障碍物或孔径时发生的波动现象。

衍射现象的产生源于光波的波动性质，当光波通过一个孔径或物体边缘时，它将弯曲并向周围辐射。

常见的衍射实验装置有菲涅耳双圆孔干涉仪和多缝衍射实验装置。

衍射实验中，衍射图样是研究衍射现象的重要依据。

衍射图样的形状和大小与孔径或物体边缘的形状和大小有关。

例如，在菲涅耳双圆孔干涉仪中，当光波通过两个小圆孔时，会出现一系列明暗相间的衍射环。

这些衍射环的直径和亮度分布可以用来研究孔径的大小和光波的衍射特性。

衍射实验在科研和应用中有着广泛的用途。

其中，衍射成像是衍射技术的重要应用之一。

由于衍射的波动性质，当光波通过一个孔径时，它会弯曲和辐射，从而形成衍射图样。

这种衍射图样可以用来实现不同的成像效果，如狭缝成像、衍射光栅成像和霍洛图等。

第4章光学干涉测量技术

武汉大学电子信息学院
25
§4.1 干涉测量基础
（二）干涉条纹的处理方法 1、数字波面的获取干涉仪检测光学元件面形，对获得的干涉图进行数字化转换，并由计算机替代人眼进行判读，即为数字干涉法。在对模拟干涉图像进行数字化转换后，需要提取干涉图上的条纹信息，即确定干涉条纹的中心点坐标及干涉级次。一般处理过程需要如下几个步骤： (1)背景滤除：对原始图像进行预处理； (2)二值化：使干涉图变为二值化图像； (3)细化：保留条纹中心曲线，从而提取出条纹上点的坐标； (4)修像：去除细化图像中的干扰信息，修改间断点； (5)标记：对干涉条纹进行跟踪、标记不同条纹的干涉级次； (6)采样：用等间距采样现贯穿干涉图像区间，均匀设置采样点。采样结束后即完成了对数字化干涉图像的图像处理过程，获得了离散的、采样点基本均布的波面数据集合（x,y,p）。在经过后续的波面拟合计算等可以得到波面数字分布。
光学测试技术
第四章光学干涉测量技术
2013年5月26日
干涉技术和干涉仪在光学测量中占有重要地位。近年来，随着数字图像处理技术的不断发展，使干涉测量这种以光波长作为测量尺度和测量基准的技术得到更为广泛的应用。在光学材料特性参数测试方面，用干涉法测量材料折射率精度可达10-6；对材料光学均匀性的测量精度则可达10-7；用干涉法可测量光学元件特征参数，用球面干涉仪测量球面曲率半径精度达1μm，测量球面面形精度为1/100λ；用干涉法测量平面面形精度为1/1000λ；用干涉法测量角度时测量精度可达 0.05″以上；在光学薄膜厚度测试方面，用干涉法测厚的精度可达0.1nm；在光学系统成像质量检验方面，利用干涉法可测定光学系统的波像差，精度可达1/20λ，并可利用干涉图的数字化及后续处理解算出成像系统的点扩散函数、中心点亮度、光学传递函数以及各种单色像差。

光学干涉测量和激光技术

光学干涉测量和激光技术光学干涉测量和激光技术是现代科学技术中的两个重要方面。

它们在工业、医学、物理学、地质学、生物学等领域都有着广泛的应用。

本文将从这两个方面进行分析，探讨它们的原理、特点以及应用。

一、光学干涉测量光学干涉测量是一种利用光波的干涉现象来测量物体表面形貌和变形的技术。

它主要分为两种形式：一种是利用干涉条纹反映物体表面形貌的形态；另一种是利用干涉条纹反映物体表面的变形情况。

光学干涉测量是一种高精度的测量技术，它具有无损、非接触、高精度等优点。

它可以在表面形貌测量、薄膜厚度测量、应力分布测量、光学元件测试、机械变形测量、振动测试、声场测试、光学比色法等方面应用。

二、激光技术激光技术（Laser）是一种利用激光器产生的高能量、单色性和相干性激光光束进行物理、化学、医学和工业等领域的技术。

它的发明是一项划时代的成就，它不仅解决了公共频发的弱激光强度问题，而且还开创了许多新的扩展领域和应用方向。

激光技术的应用非常广泛，其中有机固体激光器可以用于眼科手术、制造高质量的集成电路、制造导弹和飞船、制造高速计算机操作系统；半导体激光器被用于制造高清晰度的电视及电影、制作光盘及DVD等；气体激光器可以用于航空航天、军事通讯、激光雷达等。

三、光学干涉测量与激光技术的结合应用光学干涉测量与激光技术的结合应用是一种新型的测量手段。

它充分利用了两种技术各自的优点，可以在测量精度、测量速度、测量范围等方面都具有较高的性能表现。

光学干涉测量与激光技术的结合主要应用于精密机械的研究、生物医学的研究、光学元器件的测试等领域。

例如，在生物医学领域中，通过利用干涉镜测量激光光束在组织中的动态分布情况，可以研究组织构造、组织代谢、血液流速、神经调节等问题；在机械制造领域中，通过利用激光器进行激光干涉测量，可以实现对精密零件的尺寸、形状、表面质量、粗糙度以及微小变形等进行测量和分析，提高了机械制造的精度和品质等等。

综上所述，光学干涉测量和激光技术是两种不同的技术方向，它们分别具有自己的独特优势。

光学干涉技术及其应用

光学干涉技术及其应用光学干涉技术是指利用光波干涉的原理，通过对干涉条纹的观察或记录来研究物体形状、位置、大小、折射率、厚度、表面形貌等问题的一种技术。

其应用非常广泛，尤其在制造、天文、地质、物理等领域中都有着非常重要的作用。

光学干涉技术的基本原理是，利用两束相干光束在空间进行干涉，可以形成干涉图样，通过干涉图样的变化可以获得物体的形状和表面高度等信息。

其中，相干光束是指具有相同频率、固定相位关系的光束。

在光学干涉技术中，通常使用激光，因为激光具有很强的相干性。

在实际应用中，光学干涉技术主要可以分为两类，即点干涉和面干涉。

点干涉是指只能对物体的某一个点进行干涉测量，由此获得该点的形状和表面高度信息。

点干涉技术有位移干涉、同心圆干涉和透镜干涉等。

面干涉是指对物体的整个表面进行干涉测量，由此可以获得整个物体的形状和表面高度信息。

面干涉技术有光栅投影干涉、光栅拍摄干涉、多束干涉等。

光学干涉技术广泛应用于制造领域中，比如机床检测、光学元件检测、薄膜厚度测量等。

其中，机床检测是光学干涉技术的主要应用领域之一。

由于机床的精度要求非常高，因此需要对其进行良好的检测，以保证加工的精度。

同时，光学干涉技术还可以用于光学元件的检测，比如镜片、透镜等光学元件，需要非常高的光学精度才能保证其成像效果。

薄膜厚度测量也是光学干涉技术的应用之一，比如在涂层工艺中，需要对涂层的厚度进行准确测量，以保证涂层的质量和应用效果。

除了制造领域，光学干涉技术还有广泛的应用领域，在天文、地质、物理等领域都有着非常重要的作用。

在天文领域中，光学干涉技术可以用来研究星系的大小和形状，以及星系中的恒星的位置和性质等。

在地质领域中，光学干涉技术可以用来研究地壳的形态和地震活动，以及地下水、气体等地下资源的分布情况。

在物理领域中，光学干涉技术可以用来研究材料表面的形貌和热膨胀系数等物理性质，以及研究光子晶体的特性等。

总之，光学干涉技术是一种非常重要的技术，其应用领域非常广泛，可以解决许多关于物体形状、位置、大小、折射率、厚度、表面形貌等方面的问题。

《光学干涉测量技术》课件

单缝衍射
经过狭缝或者孔径时，光的波动性质会表现出来，形成的干涉条纹与缝孔大小、波长和距离有关。
光学干涉测量的应用
1 压力测量
2 位移测量
3 曲率测量
通过测量物体在力的作用下的附加形变，计算得到物体所受的压力大小。
测量物体的位移，用于判断物体的形变和运动状态等。
通过测量物体曲面光程差的变化，得到曲率大小。
全息术的出现和发展
全息术的出现使得光学干涉测量技术可以更加直观的获取信号，可以把干涉条纹能量全部记录在一张全息图上。
激光技术的广泛应用
激光技术是现代光学干涉测量技术中最为重要的技术之一，提高了干涉信号的质量和稳定性。
光学干涉测量技术的局限性和展望
环境因素的影响
干扰会随着环境的变化而变化，例如温度、湿度、振动等环境因素都可以影响信号的稳定性和精度。
光学干涉测量技术
光学干涉测量技术是一种测量物体各种物理量(例如热涨缩、重量、位移、形变等)的高精度非接触式方法，广泛应用于机械制造、光学制造、航空航天、军工、半导体等领域。
光干涉仪的原理
1
光程差
光束沿不同路径传播，光程差会改变光的相
等厚线干涉
2
位，形成干涉条纹。
当光在具有一定曲率的光学元件(例如透镜)
4 表面质量检测
5 光学材料的折射率测量
检测制件表面的平整度、波纹度、径向误差、椭圆度等指标。
通过测量光在材料中的传播速度等参数，计算得到其折射率。
光学干涉测量技术的发展
数字化技术的应用
数字化技术的出现，对光学干涉测量技术的发展起到了重要的推动作用，大量传感数据的分析、存储、处理和可视化等随之而来。

傅里叶红外激光干涉仪的基本原理

深入了解傅里叶红外激光干涉仪傅里叶红外激光干涉仪是一种应用广泛的精密测量设备，可用于
表面形貌、薄膜厚度、折射率等参数的测量。

下面我们来了解一下傅
里叶红外激光干涉仪的基本原理。

首先，傅里叶红外激光干涉仪的核心部件是光学干涉仪。

当光线
经过干涉仪后，会发生干涉现象。

干涉现象可以用来测量物体表面的
形貌、光学常数等参数。

傅里叶红外激光干涉仪使用的是红外激光，
其波长约为10.6微米，能够穿透物体表面的绝大部分薄层。

傅里叶红外激光干涉仪的测量原理是将被测物与参考物进行比较。

被测物和参考物经过分束器后，光线被分成两束，一束经过被测物体，另一束则经过参考物体。

两束光线再次汇聚成一束，产生干涉。

被测
物体和参考物体的光程差会影响干涉条纹的形态和数量，从而反映了
被测物体表面的形貌和光学特性。

傅里叶红外激光干涉仪的高精度测量受到了一系列因素的影响，
如大气颤动、机械振动等。

为了消除这些影响，傅里叶红外激光干涉
仪通常会设置参考光路，通过参考光路中的反射镜或振荡器引入一定
的相位差，使得干涉条纹能够在加入相位差后重合。

同时，傅里叶变
换技术也被广泛应用于干涉图像的处理和分析，可以进一步提高测量
精度。

总的来说，傅里叶红外激光干涉仪是一种高精度、可靠性高的测
量工具，已经广泛应用于航空航天、汽车制造、电子技术等领域。

通
过深入了解傅里叶红外激光干涉仪的基本原理，可以更好地理解其功能和应用。

光学干涉技术在精密测量中的应用

光学干涉技术在精密测量中的应用随着工业自动化和数字化的快速发展，精密测量技术的要求日益增高。

在这个领域中，光学干涉技术正逐渐成为一种越来越重要的测量手段。

光学干涉技术不仅应用广泛，而且精度高、可重复性好、量程范围大等优点，使得它在各种领域中都可以找到应用。

光学干涉技术的基本原理光学干涉是由同一机械波源发射的两束光相遇时，产生的波间干涉现象。

简单来说，就是两束光会干涉在一起，产生干涉条纹的图案。

通过对干涉图案的解读和分析，可以得到被测量物体的各种信息。

常见的光学干涉技术包括激光干涉、激光干涉条纹投影、激光干涉条纹拉伸等。

光学干涉技术在机械工业中的应用在机械工业中，光学干涉技术的应用非常广泛。

例如，利用激光干涉技术可以实现精确测量零件的形状和尺寸。

激光干涉技术还可以用于测量各种形式的陀螺仪，如机器人和飞行器。

通过将陀螺仪固定在旋转台上，可以得到准确的旋转角度和速度测量结果。

此外，光学干涉技术还可以应用于机器人和自动化设备的控制系统。

通过将干涉仪放置在旋转台上，可以准确地测量机器人的位移和角度，从而实现机器人和自动化设备的精确定位。

光学干涉技术在医疗领域中的应用光学干涉技术在医疗领域中也有广泛的应用。

例如，激光干涉技术可以用于眼科手术中，可以实现对眼球长度的测量和对角膜厚度的测量。

光学干涉技术可以用于测量人们的视力和眼轴长度，帮助医生更好地了解病人的视力和眼健康状况。

此外，光学干涉技术可以用于人体血压的非侵入性测量。

在光学干涉技术的帮助下，医生可以精密地测量病人的脉搏波形和血压变化，以便更好地了解病情并采取更好的治疗方法。

光学干涉技术在材料科学领域中的应用材料科学领域是光学干涉技术的重要应用领域之一。

例如，在制造行业中，激光干涉技术可以用于检测零件和产品的平面度，辨别其表面的几何形状是否符合要求。

此外，光学干涉技术还可以用于研究材料科学领域的光学和电学性质。

通过测量光学干涉图案的变化，可以确定研究对象内部的组织结构和物理性质等。

光学干涉测量原理及应用

光学干涉测量原理及应用光学干涉测量是利用光学干涉的原理进行精确测量的一种方法。

光学干涉测量最初是由法国物理学家弗朗索瓦·阿拉戈于19世纪初提出的。

经过几十年的发展，现今光学干涉测量已广泛应用于各个领域，如工业制造业、生物医学、地球物理学等。

本文将从光学干涉测量的原理、技术架构、应用等方面进行剖析。

一、光学干涉测量的原理光学干涉测量的原理是利用光的波动特性进行非接触式的测量。

当光线通过介质时，由于介质的折射率发生改变，导致光线产生弯曲，从而出现干涉现象。

光的干涉是波动现象，干涉程度的大小取决于光波的相位差。

若两束光的相位差为0，即两束光的相位完全一致，则会形成明纹条。

若两束光的相位差为π，即两束光相位相反，则会形成暗纹条。

基于这种原理，可以利用光干涉现象进行精确测量。

二、光学干涉测量的技术架构光学干涉测量一般由相干光源、被测物、参考平面反射镜、干涉仪和检测系统等组成，通常需要在实验室等准确的环境中进行。

1. 相干光源相干光源是光学干涉测量的基础，必须保证相干性高，波长稳定，才能得出准确的结果。

常用的相干光源为氦氖激光器、半导体激光器、二极管激光器等。

2. 被测物被测物是光学干涉测量的关键之一，需要对被测物进行纳米级、亚微米级的测量。

常用的被测物有平面、球面、圆柱面等，涵盖了许多领域，如表面形貌测量、运动量测量等。

3. 参考平面反射镜参考平面反射镜是用来将被测物和反射镜所反射的光线合并，使光线趋向于同一平面。

一般采用长凳反射镜。

反射镜的平整度和厚度都会对实验结果造成影响，所以对反射镜的选择和制造都有较高的要求。

4. 干涉仪干涉仪是光学干涉测量中最基础的仪器之一。

干涉仪的作用是将参考光和反射光合并，通过相位差的变化来测量被测物的厚度、形态等。

常用的干涉仪有迈克尔逊干涉仪、弗拉门戈干涉仪等。

5. 检测系统检测系统是光学干涉测量的数据处理模块，负责信号采集和处理，以及测量结果的分析和处理。

检测系统的设计极其重要，因为它是决定实验结果准确性的关键要素。

迈克尔逊干涉原理的应用

迈克尔逊干涉原理的应用概述迈克尔逊干涉原理是一种基于干涉现象的测量方法，由美国物理学家阿尔伯特·迈克尔逊于1887年提出。

它利用干涉的原理，通过比较两束光的相位差来测量光的波长、光速、折射率等物理量。

迈克尔逊干涉原理被广泛应用于光学测量、激光技术、天文学等领域。

应用领域迈克尔逊干涉原理的应用非常广泛，下面将介绍其中几个常见的领域。

光学测量迈克尔逊干涉原理在光学测量中扮演着重要的角色。

通过利用迈克尔逊干涉仪测量光的干涉现象，可以精确测量光的波长、相速度和折射率等参数。

对于光学元件的质量控制、光学材料的研究等领域有着重要的应用。

激光技术激光技术是迈克尔逊干涉原理的重要应用之一。

利用迈克尔逊干涉仪可以精确测量激光器输出的波长和功率稳定性。

这对于激光器的设计、优化和校准都有着重要的意义。

激光干涉仪也被广泛应用于激光干涉测量、激光干涉光栅的制造等领域。

天文学迈克尔逊干涉仪是天文学研究中常用的仪器之一。

利用迈克尔逊干涉原理可以观测天体的形态、温度和速度分布等信息。

通过观测星际物体的干涉图案变化，可以推测出天体的性质和结构。

天文学家们通过迈克尔逊干涉仪的观测结果，得到了一系列重要的天文学发现。

光纤传感迈克尔逊干涉原理广泛应用于光纤传感系统中。

在光纤传感系统中，迈克尔逊干涉仪可以用来测量光纤的长度、应力、温度等物理量。

通过监测干涉图案的变化，可以获得被测物理量的信息。

光纤传感在工业监测、航天航空、油气开采等领域有着广泛的应用。

优势和局限性迈克尔逊干涉原理作为一种测量方法，具有一些优势和局限性需要注意。

优势迈克尔逊干涉原理具有以下几个优点： - 高测量精度：利用干涉的原理，迈克尔逊干涉仪可以实现非常高的测量精度。

这使得它成为精密测量以及科学研究中不可或缺的工具。

- 高温、高压条件下的测量：迈克尔逊干涉仪可以适应高温、高压等恶劣条件下的测量需求，同时保持较高的稳定性和精度。

- 非接触测量：迈克尔逊干涉仪可以实现非接触式测量，对被测物体不会产生损伤，适用于对材料的非破坏性检测。

光学干涉测量重点技术

光学干涉测量技术——干涉原理及双频激光干涉1、干涉测量技术干涉测量技术和干涉仪在光学测量中占有重要地位。

干涉测量技术是以光波干涉原理为基本进行测量旳一门技术。

相干光波在干涉场中产生亮、暗交替旳干涉条纹，通过度析解决干涉条纹获取被测量旳有关信息。

当两束光亮度满足频率相似，振动方向相似以及相位差恒定旳条件，两束光就会产生干涉现象，在干涉场中任一点旳合成光强为：122I I I πλ=++式中△是两束光达到某点旳光程差。

明暗干涉条纹浮现旳条件如下。

相长干涉（明）：min 12I I I I ==+，（m λ=）相消干涉（暗）：min 12I I I I ==+-，（12m λ⎛⎫=+ ⎪⎝⎭）当把被测量引入干涉仪旳一支光路中，干涉仪旳光程差则发生变化。

通过测量干涉条纹旳变化量，即可以获得与介质折射率和几何路程有关旳多种物理量和几何量。

按光波分光旳措施，干涉仪有分振幅式和分波阵面式两类。

按相干光束传播途径，干涉仪可分为共程干涉和非共程干涉两种。

按用途又可将干涉仪分为两类，一类是通过测量被测面与参照原则波面产生旳干涉条纹分布及其变形量，进而求得试样表面微观几何形状、场密度分布和光学系统波像差等，即所谓静态干涉；另一类是通过测量干涉场上指定点干涉条纹旳移动或光程差旳变化量，进而求得试样旳尺寸大小、位移量等，即所谓动态干涉。

下图是通过度波面法和分振幅法获得相干光旳途径示意图。

光学测量常用旳是分振幅式等厚测量技术。

图一一般光源获得相干光旳途径与一般光学成像测量技术相比，干涉测量具有大量程、高敏捷度、高精度等特点。

干涉测量应用范畴十分广泛，可用于位移、长度、角度、面形、介质折射率旳变化及振动等方面旳测量。

在测量技术中，常用旳干涉仪有迈克尔逊干涉仪（图二）、马赫-泽德干涉仪、菲索干涉仪、泰曼-格林干涉仪等；随着激光技术旳浮现及其在干涉测量领域中应用，使干涉测量技术在量程、辨别率、抗干涉能力、测量精度等方面有了明显旳进步。

光学干涉测量法

光学干涉测量法
光学干涉测量法是一种利用光的干涉现象进行长度、表面形貌、折射率等物理量测量的方法。

其基本原理是当两束或多束相干光波在空间某一点叠加时，它们的光程差将引起光强的变化，形成干涉现象。

通过测量干涉条纹的移动和变化，可以精确地计算出相关物理量的变化。

在光学干涉测量法中，通常需要使用到一些特殊的干涉仪，如迈克尔逊干涉仪、马赫-曾德尔干涉仪等。

这些干涉仪能够将待测光束分成两束或多束相干光波，并在特定的反射或透射路径上传播，最终再次相遇并形成干涉。

通过调整干涉仪的参数，如反射镜或透镜的位置，可以改变相干光波的相对光程，从而产生不同的干涉条纹。

当待测物理量发生变化时，干涉条纹也会随之移动或变化。

通过精确测量干涉条纹的位置或移动距离，可以计算出待测物理量的变化。

光学干涉测量法具有高精度、高分辨率和高灵敏度的优点，因此在科学研究、工业生产和计量测试等领域得到了广泛的应用。

例如，在光学薄膜厚度测量、表面粗糙度检测、折射率测量等方面，光学干涉测量法都发挥着重要的作用。

总的来说，光学干涉测量法是一种基于光的干涉现象进
行测量的方法，具有高精度、高分辨率和高灵敏度的优点，广泛应用于各个领域。

FMCW雷达快速高精度测距算法

k) ,
回波经混频后等于 | H ( j
k)
| cos ( arg ( H ( j
k)
),
k
是 FMCW 波的频率 , 而 arg ( H
k ) 就是回波信号延迟
( 单目标 ) 。将其做 Fourier 反变换 ,
变换为在时间轴上的平移。为了
消除镜像干扰, 文中提出加 Hanning 或 Hamming 窗。该方法的好处是 FMCW 信号不需要很大的扫频带宽就能实现高精度。 ( 3) 改进 FFT 方法
电子测量与仪器学报 JOURNAL OF ELECTRONIC MEASUREMENT AND INSTRUMENT
Vol 15
No 3 41
FMCW 雷达快速高精度测距算法
刘宝刘军民
( 大连理工大学电子系 , 大连 116024) 摘要在 FMCW 雷达测距系统中 , 单纯采用 FFT 方法通过峰值点确定单频信号频率时 , 要想提高精度就必须增加采样点数 , 结果使得提高测量精度和降低计算量成为矛盾 , 限制了 FMCW 雷达在高精度实时测距方面的应用。本文提出一种将 FFT 与 Chirp z 相结合提高 FMCW 雷达测距精度的新算法。理论计算和在 Matlab 下仿真表明 , 此算法可显著提高计算效率和精度。关键词 : FMCW 雷达 FFT Chirp z 相位模糊性
fmcw雷达快速高精度测距算法刘宝刘军民大连理工大学电子系大连116024摘要在fmcw雷达测距系统中单纯采用fft方法通过峰值点确定单频信号频率时要想提高精度就必须增加采样点数结果使得提高测量精度和降低计算量成为矛盾限制了fmcw雷达在高精度实时测距方面的应用
第 15 卷

干涉测量技术

干涉测量技术（冶金与能源工程学院）摘要：干涉测量技术已经得到相当广泛的应用。

一方面因为微电子、微机械、微光学和现代工业提出了愈来愈高的精度和更大的量程，其它方法难以胜任；另一方面因为当代干涉测量技术本身具有灵敏度高、量程大、可以适应恶劣环境、光波和米定义联系而容易溯源等特点，因而在现代工业中应用非常广泛。

本论文阐述了干涉测量技术的光学原理，测试条件，并以迈克尔逊干涉仪为典型，阐明干涉测量技术的应用，迈克尔逊干涉仪是一种利用分割光波振幅的方法实现干涉的精密光学仪器关键词：干涉测量光学原理迈克尔逊干涉仪PSInSARSUN Ya Juan(Metallurgy and energy engineering institute,Kunming university of science and technology)Abstract：Interference measuring technology has been quite a wide range of applications，On the one hand for microelectronics, micro mechanical, diffractive and modern industry and put forward high precision and greater range, other methods are hard to do the job，On the other hand because contemporary interference measuring technology itself has a high sensitivity, range, and can adapt to bad environment, light and meters contact and easy to trace the definition, etc, thus in the modern industry is widely used.This paper expounds the interference of measuring technology of optical principle, test conditions, and with Michelson interferometer is typical, expounds the application of interference measuring technology, Michelson interferometer is a use of segmentation method of realization of light amplitude precision optical instrument interferenceKey words: Interferometry Principles of Optics Michelson interferometer0 、引言光的干涉现象是光的波动性的一种表现。