基于WykoNT1100表面轮廓仪的光纤端面检测
基于机器视觉的高精度新型光纤端面检测装置的研究
基于机器视觉的高精度新型光纤端面检测装置的研究随着光纤通信技术的不断发展，光纤端面的质量检测变得越来越重要。
光纤端面的质量直接影响着光纤通信的传输性能，因此如何快速、准确地检测光纤端面成为了光纤通信领域的一个重要研究课题。
传统的光纤端面检测方法主要依赖于人工目测和显微镜检测，这些方法存在着检测效率低、检测结果主观等问题。
基于机器视觉技术的高精度新型光纤端面检测装置成为了当前研究的热点之一。
机器视觉是一种利用摄像机和计算机对视觉信息进行处理和分析的技术。
通过机器视觉技术，可以实现对光纤端面的自动检测和分析，大大提高检测的效率和准确性。
为了研究基于机器视觉的高精度新型光纤端面检测装置，我们将结合光学成像、图像处理和模式识别等相关技术，设计一种高效、准确的光纤端面检测装置，为光纤通信的发展提供技术保障。
一、光纤端面表面缺陷检测技术光纤端面的质量主要包括平整度、划伤、打磨痕迹和残留污垢等方面。
而目前最为关注的是光纤端面表面缺陷的检测。
由于光纤端面的尺寸较小、形状不规则，传统的检测方法往往难以满足要求。
利用机器视觉技术实现对光纤端面表面缺陷的快速、高精度检测成为了重要的技术目标。
机器视觉检测技术主要包括图像获取、图像处理和模式识别三个步骤。
首先通过摄像头对光纤端面进行图像获取，然后对获取的图像进行预处理，例如去噪、边缘检测等操作，最后利用模式识别算法对图像进行分析和判断，实现光纤端面表面缺陷的检测。
图像处理是基于机器视觉的光纤端面检测的重要环节之一。
通过对获取的光纤端面图像进行处理，可以提取出光纤端面的特征信息，实现对表面缺陷的快速、准确检测。
在光纤端面表面缺陷的图像处理技术中，主要涉及到图像去噪、边缘检测、图像分割、特征提取等方面的技术。
通过这些处理步骤，可以有效地减弱图像中的噪声干扰，突出光纤端面的边缘特征，提取出表面缺陷的特征信息，为后续的模式识别提供有效的数据支撑。
在光纤端面表面缺陷的模式识别技术中，主要涉及到特征提取、特征匹配、分类识别等方面的技术。
基于机器视觉的高精度新型光纤端面检测装置的研究
基于机器视觉的高精度新型光纤端面检测装置的研究
随着科技的不断发展，光纤技术逐渐成为各种通讯和数据处理领域的主流技术之一。
在光纤通信领域中，光纤端面的质量是一个非常重要的问题。
光纤端面缺陷和污染会降低
光纤的透光率，从而影响光纤信号的传输质量。
因此，光纤端面的检测和清洗工作至关重要。
传统的光纤端面检测装置主要通过人工目视来进行，这种做法效率低、质量难以保证。
在此基础上，研究人员借鉴了机器视觉技术的思想，将光学成像技术和计算机图像处理技
术相结合，开发出一种基于机器视觉的高精度新型光纤端面检测装置。
该光纤端面检测装置主要由光学成像模组和图像处理模组两部分组成。
光学成像模组
可通过纳米级的传动机械结构，对光纤端面进行高分辨率的成像。
图像处理模组则基于深
度学习和图像处理算法，对光纤端面图像进行分析、处理和检测。
在具体应用中，光纤端面先通过光学成像模组获取高清晰度图像。
图像处理模组通过
先进的机器学习算法，对获取的光纤端面图像进行分析和处理。
算法能够识别出光纤端面
的各种缺陷和污染，如划痕、裂纹、粘着物等。
同时，算法还能够对缺陷的形态、大小进
行定性、定量的描述，并给出相应的预警信息，帮助运维人员及时发现和处理光纤端面问题，以便更好地保障光纤信号的质量。
总的来说，这种基于机器视觉的高精度新型光纤端面检测装置能够大大提高光纤端面
检测的效率和精度，给光纤通信领域的运维人员提供了更好的帮助。
随着人工智能技术的
不断发展，该装置还将有很大的提升空间，有望成为未来光纤端面检测的主要手段之一。
碳化硅晶片减薄工艺试验研究
碳化硅晶片减薄工艺试验研究梁津;赵岁花;高岳【摘要】研究了用减薄磨削的方式代替碳化硅晶片制片过程中的研磨工序,对线切割后的碳化硅晶片进行磨削试验;对比了减薄和研磨磨削的加工效率,分析了晶片表面粗糙度和晶片厚度变化量.【期刊名称】《电子工业专用设备》【年(卷),期】2018(047)001【总页数】5页(P3-6,24)【关键词】碳化硅;研磨;减薄;试验研究【作者】梁津;赵岁花;高岳【作者单位】中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京 100176;中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京 100176;中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京 100176【正文语种】中文【中图分类】TN305随着半导体行业的飞速发展，半导体材料也在更新换代。
第一代半导体材料以硅为主导，技术成熟，广泛应用于集成电路行业；第二代半导体材料以砷化镓和磷化铟为主导，主要应用于信息、光纤通信以及半导体激光器等领域[1]；碳化硅材料作为第三代半导体代表性材料，具有高禁带宽度，较高的击穿场强，高热导率等诸多优点，可应用于照明、显示等多个领域。
表1对3代半导体材料的物理特性进行了对比。
SiC晶锭经过切割、研磨、抛光和CMP抛光几个工序后加工成碳化硅晶片[1，2]。
其中的研磨工序是用高硬度的磨料对线切割后的碳化硅圆片表面进行研磨，从而去除上一道工序在圆片表面留下的切痕和损伤层。
为了提高研磨效率，研磨又分成粗研和精研两道工序。
粗研使用粒径较大的磨粒进行研磨，主要是用于去除切片工序给碳化硅圆片表面造成的切痕以及损伤层[3]。
精研是用粒径较小的磨粒进行研磨，主要去除粗研留下的损伤层，以及保证研磨后晶片的面型精度，为下一步的抛光做准备。
表1 3代半导体材料物理特性对比参数禁带宽度/eV介电常数击穿场强/（106V·cm-1）热传导率/[W·（m·℃）-1]Si 1.1 11.8 0.6 130 GaAs 1.4 12.8 0.7 46 GaN 3.4 9.0 3.5 170 SiC 3.2 9.7 2.5 370现有粗研效率在3～10 μm/min，表面粗糙度可达0.2 μm左右，精研效率在5～40 μm/h，精研后表面粗糙度在0.1 μm左右，精研后碳化硅晶片TTV在3～6μm。
基于机器视觉的高精度新型光纤端面检测装置的研究
基于机器视觉的高精度新型光纤端面检测装置的研究1. 引言1.1 背景介绍传统的光纤端面检测方法主要依赖于人工目测，存在着主观性强、效率低、一致性差等问题。
随着机器视觉技术的发展和普及，基于机器视觉的光纤端面检测装置应运而生，逐渐成为当前研究的热点之一。
基于机器视觉的光纤端面检测装置通过图像采集、图像处理、特征提取等步骤，可以实现对光纤端面的快速、准确的检测，大大提高了端面检测的精度和效率。
与传统人工检测相比，基于机器视觉的检测装置具有无接触、自动化、高精度等优点，具有广阔的应用前景。
本文将针对基于机器视觉的高精度新型光纤端面检测装置进行研究，探讨其原理、设计与实现、实验结果分析等内容，旨在提高光纤端面检测的精度和效率，推动光纤技术的发展。
1.2 研究意义光纤端面作为光纤传感器和通信的关键部件，其质量直接影响着光纤器件的性能。
目前，光纤端面检测技术已经广泛应用于光纤通信、医疗领域以及光纤传感器等领域。
传统的光纤端面检测方法存在着检测精度低、效率低、依赖性强等问题，为了解决这些问题，需要引入机器视觉技术。
基于机器视觉的光纤端面检测装置可以通过图像采集、处理和分析，实现对光纤端面质量的快速、准确、无损检测。
这种新型检测装置不仅能够提高光纤端面检测的精度和效率，同时也可以减少人工干预，降低人为误差，提高生产效率和产品质量。
研究基于机器视觉的高精度新型光纤端面检测装置具有重要的理论意义和实用价值。
通过本项研究，不仅可以推动光纤端面检测技术的发展，提高光纤器件的质量和性能，还可以推动传感器技术和通信领域的进步。
这对于推动我国光通信产业的发展和提高国际竞争力具有重要意义。
1.3 研究方法研究方法是完成一项科学研究的关键环节，对于本研究而言同样如此。
为了研究基于机器视觉的高精度新型光纤端面检测装置，我们首先搜集了相关文献，了解了光纤端面检测技术的发展现状和研究热点。
接着，我们进行了理论分析，从基于机器视觉的光纤端面检测原理出发，构建了研究思路和方法。
表面轮廓仪WykoNT1100操作说明书.doc
光电子微纳制造工艺平台应用培训讲义--WYKO NT1100光学轮廓仪NT1100可对表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量，测量范围可从亚纳米级粗糙度到毫米级的台阶高度。
NT1100给MEMS、厚膜、光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个精确的、价格合理的计量方案。
一、检测原理：该设备是一台利用干涉相位差与检偏器方位角成线性关系的微分干涉显微镜•应用相移干涉技术，实现对表面轮廓的高精度测量。
在一般场合下测量精度Z向可优于1nm.基于此原理，对试样的要求：1•该设备所测量的试样,要求表面一定要光滑，粗糙度很低.2•并且横向（即X-Y面）,几何尺寸必须大于13微米以上的区域，信息才能够被设备识别3•测试金属样品，会带来波长量级的测试误差•二、操作步骤：1. 开机顺序（1）将气浮隔震台的气路打开。
（2）打开光学轮廓仪的电源开关（在设备后面的右下方）（3）打开光学轮廓仪前面的显示屏。
（4）打开电脑主机，打开软件，进入软件界面如图 1 所示图12. 调节设备Z 轴，在设备的前部显示屏中出现清晰的试样图像为止。
再微调Z轴使之出现衍射波纹。
3•点击软件工具栏的二I图标，出现图2的界面。
图24•此型号光学轮廓仪可以测量两种类型的试样，分别为镜面光洁度的试样采用PSI模式测量，而具有台阶深度在10微米及以上的试样采用VSI模式测量。
本次就以VSI模式测量为例介绍具体的操作步骤。
5. 首先将设备的配件调制VSI模式。
6. 在软件界面中选中Measurement Options,将Measurement Type 设为VSI(Infinite Scan)如图3所示。
图3和深度。
图48•点击软件工具栏的—图标，在电脑中显示衍射波纹，同时进一步调节Z轴的调节器, 调节直至图象上红颜色部位刚刚消失为止。
9•点击软件工具栏的丄一图标，得出图5所示的图象。
图510.将图形调水平步骤，在图5界面中单击右键出现一个下拉菜单，在菜单中选击An alysisOptions选项，如图6所示。
基于机器视觉的高精度新型光纤端面检测装置的研究
基于机器视觉的高精度新型光纤端面检测装置的研究近年来，随着光纤通信技术的广泛应用，对光纤端面的质量要求也越来越高。
光纤端面的质量直接影响到光信号的传输质量和通信的稳定性。
研究一种高精度的光纤端面检测装置具有重要的意义。
传统的光纤端面检测方法通常采用人工目测的方式，主观性强，且速度慢，不适用于大批量生产环境。
研究一种基于机器视觉的光纤端面检测装置势在必行。
本文提出了一种新型的光纤端面检测装置，基于机器视觉技术，能够实现高精度的光纤端面检测。
该装置基于数字图像处理和模式识别技术，能够自动识别光纤端面的质量，并进行分类和评估。
整个光纤端面检测装置主要由以下几个部分组成：光源模块、图像采集模块、图像处理模块和控制模块。
光源模块提供均匀的光源，保证图像的高质量；图像采集模块通过CCD摄像头实时采集光纤端面的图像；图像处理模块对采集到的图像进行处理，包括降噪、增强和边缘检测等；控制模块对整个装置进行控制，包括图像采集的触发和图像处理的参数设置。
在光纤端面的检测过程中，首先将光纤放置在检测装置的位置，并触发图像采集模块进行图像采集。
然后，图像处理模块对采集到的图像进行处理，并提取出光纤端面的特征信息。
通过比较特征信息和事先设定的标准，可以判断光纤端面的质量，并给出相应的评估结果。
为了验证该光纤端面检测装置的性能，实验进行了大量的测试。
结果表明，该装置能够实现高精度的光纤端面检测，具有较高的准确性和稳定性。
本文研究了一种基于机器视觉的光纤端面检测装置，该装置能够实现高精度的光纤端面检测，并具有较高的准确性和稳定性。
该装置在光纤通信领域具有重要的应用前景。
未来，可以进一步优化该装置的算法和硬件设计，提高检测的速度和准确性。
基于机器视觉的高精度新型光纤端面检测装置的研究
基于机器视觉的高精度新型光纤端面检测装置的研究【摘要】本文研究了基于机器视觉的高精度新型光纤端面检测装置，旨在提高光纤端面检测的精度和效率。
引言部分介绍了研究背景、研究意义和研究目的。
正文包括光纤端面检测技术概述、现有研究现状、基于机器视觉的检测原理、新型装置的设计与实现以及实验结果与分析。
结论部分总结了本研究的成果，并展望了未来研究方向。
通过本研究，提出了一种高精度的光纤端面检测装置，为光纤通信领域的质量控制提供了有力支持，具有广阔的应用前景。
【关键词】基于机器视觉、光纤端面检测、高精度、新型装置、研究、技术、设计、实现、实验结果、分析、结论、展望、未来研究方向1. 引言1.1 研究背景光纤技术作为现代通信领域中的重要技术之一，在通信、医疗、工业等领域的应用日益广泛。
光纤端面的质量直接影响到光纤传输的效果，因此光纤端面检测成为了一项重要任务。
目前，传统的光纤端面检测方法主要依赖于人工目测或显微镜检测，存在人力成本高、检测效率低、检测精度不高等问题。
在这样的背景下，基于机器视觉的光纤端面检测技术应运而生。
机器视觉技术具有高精度、高效率、无疲劳等优点，可以有效地解决传统检测方法存在的问题。
通过引入机器视觉技术，可以实现对光纤端面的自动化检测，提高检测效率和准确性。
针对光纤端面检测领域的现状和需求，本文致力于研究基于机器视觉的高精度新型光纤端面检测装置，旨在提高光纤端面检测的精度和效率，推动光纤技术的发展和应用。
通过本研究，将为光纤端面检测装置的优化和改进提供新思路和方法，为光纤通信等领域的发展做出贡献。
1.2 研究意义光纤端面作为光通信系统中不可或缺的组件，其质量直接影响到光通信系统的性能和稳定性。
目前市场上存在着许多光纤端面检测装置，然而由于其精度不高、稳定性差等问题，无法满足实际生产需求。
研究基于机器视觉的高精度新型光纤端面检测装置具有重要的意义。
通过引入先进的图像处理技术和人工智能算法，可以提高光纤端面检测的精度和稳定性，大大提升光通信系统的性能和可靠性。
如何检查和清洁光纤端面
如何检查和清洁光纤端面
尹岗
【期刊名称】《智能建筑与城市信息》
【年(卷),期】2010(000)012
【摘要】一个直径10μm办公室灰尘就能将9μm的单模光纤挡住,严重影响光信号的传输效率甚至中断数据信号的传输。
光纤端面检查和清洁是光纤接入前的一个必要步骤。
另一方面,由于短距离低速光纤链路对光纤端面破损和脏污等现象并不是很敏感,这类潜在问题多数是在更换高速光模块或设备时才凸显出来,因为高速光纤链路对连接器的端面连接质量更敏感一些（损耗/回波/色散）。
随着高速光纤在机房和数据中心的普及应用,对光纤清洁的重视程度日益受到用户关注。
本文介绍检查光纤端面质量及清洁端面的各种常用方法。
【总页数】3页(P52-54)
【作者】尹岗
【作者单位】美国福禄克公司
【正文语种】中文
【中图分类】TN253
【相关文献】
1.光纤球端面直径与光纤数值孔径关系的实验研究
2.光纤端面污染的清洁
3.深圳亿天龙EDV-135光纤端面电动清洁器
4.谈谈光纤跳线端面的检查和清洁
5.光纤端面反射率对光纤光栅外腔半导体激光器的输出影响
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利用 Ｗ ｙ ｋ ０ 公司 Ｎ Ｔ １ １ ０ ０光学轮廓仪测 量光纤端面
的具体 操作 如下 ：
首先将光纤利用专 门光纤夹具固定在轮廓仪载物台
上， 并 调整其位 置使 得光 斑 聚 焦在 光 纤 端 面 。光纤 夹 具
２ 轮 廓 仪基本 操作 利用 Ｗｙ ｋ ｏ 光 学轮廓 仪 检ｉ 贝 ０ 样 品粗 糙 度 的基本 操 作
徐 兵
（ 陕西理工学院物电学院 ， 陕西 汉中 ７ ２ ３ ０ ０ ０ ）
摘
要： 采用表面轮廓仪测定 了光纤和湿法刻蚀加工的单模与多模 光纤端面粗糙度 ， 并与光学显微镜检测的结果进行 了对 比。结 果表明 ： 表面轮廓仪
表适合检测光纤端面及刻蚀加工后的三维特征 ， 反映湿法刻蚀加工光纤端面的刻蚀深度和微腔形貌。 关键词 ： 光学轮廓仪 ； 光纤端面 ； 粗糙度 ； 湿法刻蚀
高度 、 轮廓的算术平均偏差 、 轮廓的均方根差 。
如无 特 别 说 明 ， 本 文 粗 糙 度 均 指 轮 廓 的算 术 平 均 偏 差 亿 。光 纤 在切 割或加 工后 端 面 的粗糙 度 ， 不 仅影 响 其表
物镜 目镜设置好放大倍率。根据不同的表面选择测量模
式（ 光 滑 的表 面选择 Ｐ Ｓ Ｉ 模式 ， 比较 粗糙 的表 面选 择 Ｖ Ｓ Ｉ
调节好 载 物 台位 置使 得光 斑照射 （ 最好是 垂直 照射 ） 到样 品表 面 。
清晰的光纤端面等厚干涉条纹 。再调节 轮廓仪光源强 度， 使得反射回轮廓仪的光刚好不饱和（ 由于光纤端面反
射率较 低 ， 轮廓 仪光源 测量光纤 表 面时光强 较大 ） 。
打开 Ｖ ｉ ｓ ｉ ｏ ｎ 程序设置好测试选项文件 ， 光纤端面较
徐兵 ： 基 ｆ Ｗ ｙ ｋ ｏＮ Ｔ ｌ ｌ Ｏ ０表 面轮廓仪 的竞纤端面捡铡。
基 于 Ｗｙ ｋ ｏ Ｎ Ｔ １ １ ０ ０表 面轮 廓 仪 的光 纤端 面检 测
Ｔ ｅ ｓ ｔ ｉ ｎ ｇ ｔ ｈ ｅ Ｅ ｎ ｄ ｓ ｏ ｆ Ｏ ｐ ｔ ｉ ｃ ａ ｌ Ｆ ｉ ｂ ｅ ｒ ｓ Ｓ ｕ ｒ ｆ ａ ｃ ｅ Ｐ ｒ ｏ ｉｌ ｆ ｅ ｒ ｂ ｙ Ｗ ｙ ｋ ｏ ＮＴ１ １ ０ ０
有亚 纳 米级 （ ０ ． １ 啪） 的垂直 分辨率 。
仪静止 ， 通过 Ｖ ｉ ｓ ｉ ｏ ｎ 程序完成测试 ， 并保存测试结果。
（ ６ ） 查 看测试 结果 ， 如 有 测试 结 果 出现 错 误 （ 例 如 得
到一个 全黑 的 图 片 ） 或不完整 ， 修 改 测 试 参 数 后 重 新 测 试， 直 至得到 完整清 晰的样 品表 面粗 糙度 数据 。 ２ 轮廓 仪检测 光纤端 面的实验 结果
成测试并对测试结果进行分析处理和保存 。如果根据分
表 面粗糙 度反 映 了表 面 轮 廓 的微 观不 平 ， 精 确测 量 表 面形 貌 ， 不 仅是 研究其 与使 用性 能关 系 的基础 ， 也 是正
确识 别 、 监控 其形 成工 艺过程 的依 据 。依据 Ｇ Ｂ ／ Ｔ ３ ５ ０ ５— ２ ｏ ｏ ｏ ＜ ＜ 产 品几何 技 术 规范 表 面 结构 轮 廓法 表 面 结 构 的术
面反射率 ， 而且决定光纤熔接或制作非本征型光纤法 一
珀干涉 仪 的性能 。
模式） ， 并设置好扫描长度等其他参数。（ 如果需要重复
相 同材 料 的测 量 ， 保存 ｉ 见 ４ 试选 项 文 件 。 ） 保 持样 品与 轮 廓
１ 轮廓 仪简 介
轮廓仪分为光学轮廓仪和机械轮廓仪两大类。本文 的讨论是基于美国 Ｖ ｅ ｅ ｃ ｏ 公司 Ｗｙ ｋ ０ Ｎ Ｔ １ １ ０ ０ 型表面轮廓 仪（ Ｓ ｕ ｒ ｆ ａ ｃ ｅ Ｐ ｒ ｏ ｉ ｆ ｌ ｅ ｒ ） 。该高精度轮廓仪是利用非接触式光
作过程中切勿使物镜与样品接触， 以免损坏物镜镜头和
样品， 最好在调 焦前 根据 样 品与 镜 头最 近 距 离 调节 好 调
焦 限位 螺丝 ， 在 手动调 焦 过程 中物镜 远 离 而 非接 近 样 品
表 面。
语、 定义 及参 数》 的规定 ， 轮廓 参数 主要有调节 轮 廓仪 光 源 强 度 ， 使得 Ｖ ｉ ｓ ｉ ｏ ｎ程 序 Ｉ ｎ ｔ ｅ ｎ ｓ ｉ ｔ ｙ 菜单 窗 口中亮 度 刚好 不饱 和（ 饱 和时显示 为红色 ） 。 （ ５ ） 在Ｖ ｉ ｓ ｉ ｏ ｎ程 序 设 置好 测 试 选 项 文 件 ，根 据 所 选
学 干涉法 测量 工件 表 面 ， 可 对表 面 进行 快 速 、 重 复性 高 、 高分 辨率 的三维 测 量 ， 测量 范 围可从 亚 纳 米级 粗糙 度 到 毫米 级 的 台阶高 度 。小 尺 寸 的 Ｎ Ｔ Ｉ １ ０ ０可 提供 工 业标 准 的 Ｗｙ ｋ ｏ 光 学轮廓 仪所 有 的优 点 ， 包 括完 整 的 Ｖ ｉ ｓ ｉ ｏ ｎ ３ ２分 析软 件包 。先进 的光学元 件可确 保在所 有放 大倍数 上具
如下 ：
选择必须使得光纤端面与轮廓仪物镜主轴方 向垂直， 但
又不能使 光纤 在载物 台上弯 曲的 曲率 半 径过 小 ， 使 得 光 纤受损 甚至折 断 。 接 下来再调 节轮 廓仪 调 焦旋 钮 ， 使 得 轮廓 仪 上 显 示
（ １ ） 打开表面轮廓仪本身及配套 电脑电源 ， 打开轮廓 仪测试程序“ Ｖ ｉ ｓ ｉ ｏ ｎ ” 。 （ ２ ） 将待测样 品固定后放置到轮廓仪的载物台上， 并
为选择 Ｐ Ｓ Ｉ 模式 ， 设 置扫 描长 度为 ｌ 微米（ 如 果 为刻 蚀 加
（ ３ ） 调节轮廓仪调焦旋钮 ， 使得轮廓仪单色 Ｌ Ｃ Ｄ显 示器上显示 （ Ｖ ｉ ｓ ｉ ｏ ｎ同样显示） 样品表面清晰图像 （ 若表 面粗糙度较大） 或等厚干涉条纹（ 表面较为光滑） 。该操
工后的光纤端面， 扫描长度根据刻蚀深度相应增加 ） ， 完