硅片接收和检验

原硅片接收检验标准

1．目的：规定本公司的硅片检验流程，保证和持续提高产品质量2．范围：用于本公司硅片的来料检验过程

3．职责：质量部门负责按照本标准严格执行硅片的来料检验工作。

4.内容

4.1硅片中金属杂质和碳氧含量标准，见表1

表一硅片中金属杂质和碳氧含量

杂志种类

基体总金属杂

质含量（fe cr ni

cu）ppba

表面总金属杂质含

量（fe zn na）ppba

氧

（at0ms/cm3）

碳

（atoms/cm3）

杂质含量

（单晶N-type）≤50 ≤70 ≤9×1017≤5×1016

杂质含量

（单晶P-type）≤50 ≤70 ≤9×1017≤5×1016

杂质含量

（多晶P-type）≤50 ≤70 ≤3×1017≤5×1017

4.2硅片检验方法：

Ltem检验项目Level检验水平AQL%

Conductive type导电类型

H 1

Resistivity电阻率 1 Thickness tolerance厚度 1 TTV厚度变化量 1 Bow弯曲度 1

Appearance

外观Lndents凹坑 1 Chips崩边 1 Saw Marks切痕 1 Craters应力 1 Cracks裂纹 1 Else其他 1

4.2 P型单晶硅片检验标准见表2

检验项目合格标准检验方法说明导电类型P型冷热探针测试仪器

电阻率（∩.cm）1-3/3-6 四探针测试仪器

径向电阻率不均匀

度

RRV<25% 四探针测试仪器

对边宽(mm) 125±0.5 165±0.5数显游标卡尺

对角钱(mm) 150±1 165±1

200±1 205±1

数显游标卡尺

圆弧长(mm) 27.77-32.20/10.4-14.11

19.93-23.80/14.43-18.16

模具

方片角度90°±0.3°角尺

厚度(ｕm)200±20设备1.硅片的平均厚度为200微米;

2.硅片表面所有厚度要在规定范围内,最薄处不低于180微米;

3.同批硅片的厚度要呈正态分布,即测量数据的均值±3，＆应在厚度规定的范围

内

厚度不均匀度TT V≦30设备在保证硅片表面厚度情况,对硅片表面取五点测试(中心点以及距四周边缘6ｍｍ各取一点)来换算厚度变化量

位错密度(个/cm²) ＜1000 供方保证项

有效载流子寿命＞1.35ｕｓ，且＞1.4ｕ

ｓ占90%以上

WT-1000少子寿命测试仪

体少子寿命＞15ｕｓSINTON少子寿命测试仪扩散后测试

光致衰减LI D≤3%预投流程验证

硅片中心低响应（黑

心片）

比例＜0.05% 预投流程验证

弯曲度≦40 塞尺

切痕无明显切痕手持式粗糙度测试仪允许的切痕深度≤10ｕｍ凹坑无凹坑目视硅片表面平整,无硅落现象穿孔无穿孔目视

沾污无沾污目视不允许有肉眼可见的油污,硅

粉,清洗剂,水痕崩边无崩边目视

应力无应力手感当硅片拿在手上轻微晃动时

不能有嘣咚嘣咚的响声孪晶无孪晶目视从外观看,出现两个及以上的

晶体划伤无划伤目视只要在硅片表面有明显肉眼

可见异物划过的痕迹,不论长

度和面积大小都不合格

氧化膜末磨无氧化膜末磨目视

缺口无缺口目视

缺角无缺角目视

裂纹/隐裂无裂纹/隐裂目视

偏心偏离度＜0.5ｍｍ模具

4.3 P型多晶硅片检验标准见表3

检验项目合格标准检验方法说明

导电类型P型冷热探针测试仪

电阻率（∩.cm）1-3/3-6 四探针测试仪

径向电阻率不均匀RRV<25% 四探针测试仪

对边宽（mm）125±0.5

156±0.5

数显游标卡尺

对角线(mm) 175±1

219±1

数显游标卡尺

倒角(mm) 1×45°模具

方片角度90°±30°角尺

厚度200±20数显千分表或硅片检

片机1.硅片的平均厚度为200微米;

2.硅片表面所有厚度要在规定范围内,最薄处不低于180微米;

3.同批硅片的厚度要呈正态分布,即测量数据的均值±3，＆应在厚度规定的范围内

厚度不均匀度TT V≦30数显千分表在保证硅片表面厚度情况,对硅片

表面取五点测试(中心点以及距四

周边缘6ｍｍ各取一点)来换算厚度

变化量

有效载流子寿命＞1.35ｕｓ，且＞

1.4ｕｓ占90%以

上WT-1000少子寿命测

试仪

体少子寿命＞2ｕｓSINTON少子寿命测

试仪

扩散后测试

光致衰减LI D≦2%预投流程验证

弯曲度≦40 塞尺

微晶1厘米长度内≦5

个晶粒

目视硅片表面任一方向

明显切痕无明显切痕手持式粗糙度测试仪允许的切痕深度≤10ｕｍ

凹坑无目视硅片表面平整,无硅落现象

穿孔无目视

粘污无目视不允许有肉眼可见的油污,硅粉,清

洗剂,水痕

崩边无目视

应力无当硅片拿在手上轻微晃动时不能有

嘣咚嘣咚的响声