InN半导体材料及器件研究进展
氮化铟禁带宽度 -回复

氮化铟禁带宽度-回复氮化铟(InN)是一种重要的半导体材料,具有广泛的应用前景。
禁带宽度是一个关键的物理参数,对半导体材料的电子能带结构和电学性质有着重要影响。
本文将逐步回答关于氮化铟禁带宽度的问题。
第一步,我们先了解什么是禁带宽度。
禁带宽度是指固体材料中价带与导带之间的能隙宽度,用来描述材料的电子行为。
在禁带宽度之内,电子几乎不存在,因此不能在此处发生电子传导。
而在禁带宽度之外,电子处于激发状态,可以导致电子传导。
第二步,我们来讨论氮化铟的禁带宽度。
氮化铟具有较宽的禁带宽度,通常在0.7eV到0.9eV之间。
这是因为在氮化铟的晶体结构中,铟原子和氮原子形成了共价键,并形成了具有三维结构的晶体。
这种共价键的形成导致氮化铟的价带和导带之间形成较大的能隙,从而使其具有较宽的禁带宽度。
第三步,我们探讨氮化铟禁带宽度的影响因素。
氮化铟禁带宽度受到多种因素的影响。
首先,晶格缺陷和杂质的存在会影响禁带宽度。
例如,一些杂质能够引入能级,从而改变禁带宽度。
此外,晶格缺陷也会改变晶体结构,从而影响禁带宽度。
其次,应力和应变也会对禁带宽度产生影响。
应力和应变可以改变晶体结构,从而导致禁带宽度的变化。
另外,材料的合成方法和处理工艺也会影响禁带宽度。
通过调控合成方法和处理工艺,可以改变材料的晶粒尺寸和缺陷浓度,进而调节禁带宽度。
第四步,我们介绍一些氮化铟禁带宽度的研究进展。
随着对氮化铟材料的深入研究,科学家们已经取得了很多关于禁带宽度的重要发现。
例如,一些研究表明,在低温下,禁带宽度会随着温度的下降而增加。
此外,一些研究还发现,禁带宽度对压力和应变的响应也非常敏感。
通过施加外部压力或应变,禁带宽度可以显著改变。
这些研究结果为氮化铟材料的应用提供了新的思路。
第五步,我们展望氮化铟禁带宽度的未来研究方向。
在氮化铟禁带宽度的研究中,仍然存在一些未解决的问题和挑战。
例如,尽管氮化铟的禁带宽度相对较大,但仍然无法满足一些特定应用的需求。
InN基材料的MOCVD生长及特性研究的开题报告

InN基材料的MOCVD生长及特性研究的开题报告一、研究背景及意义InN材料因其具有优异的光电性能和独特的物理化学性质,近年来在光电子领域和器件应用中备受关注。
其中,MOCVD技术是InN材料制备的主要方法之一,其优势在于可以制备高品质、大尺寸、均匀厚度的InN薄膜。
目前,对于InN材料在MOCVD 生长过程中的物理化学机制和生长条件的优化等问题还需进一步探究。
因此,本研究旨在通过对InN基材料的MOCVD生长及其特性的研究,探索InN 材料的生长机理和优化生长参数,为其进一步的光电子器件应用提供支撑。
二、研究内容1. InN材料的物理化学性质及其在光电子器件中的应用;2. InN基材料的MOCVD生长机制及影响生长质量的因素;3. 通过实验设计及分析,优化InN材料的MOCVD生长条件;4. 对InN薄膜样品进行表征,包括光电性能、表面形貌等。
三、研究方法1. 对InN材料的前期研究进行文献综述,整理相关理论基础和应用现状;2. 利用MOCVD技术,制备InN薄膜样品;3. 通过SEM、XRD、PL、AFM等表征手段,对InN薄膜样品进行表征;4. 对实验结果进行数据分析、处理,寻找InN薄膜生长机制、寻优生长参数。
四、研究进度及计划目前,对InN材料的前期研究和文献综述已经完成。
接下来,本研究将逐步开始利用MOCVD技术制备InN薄膜样品,并对样品进行表征。
同时,结合实验结果,进一步分析InN材料的生长机制,并对生长条件进行优化。
预计研究周期为1年。
五、预期成果通过对InN基材料的MOCVD生长及其特性的研究,预期可以得到InN材料生长机理和生长优化方案,为其在光电子领域的应用提供基础支撑。
同时,本研究还将为相关领域的研究者提供有价值的参考。
新型半导体材料的研究进展及其应用
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新型半导体材料的研究进展及其应用随着科学技术的不断发展,新型半导体材料的研究和应用也越来越受到关注。
半导体材料是电子技术和计算机技术的基础,具有广泛的应用前景。
本文将就新型半导体材料的研究进展及其应用进行探讨。
一、新型半导体材料的研究进展1、碳化硅材料碳化硅是一种优异的半导体材料,它的电学性质和热学性质都比硅好。
碳化硅材料既能够承受高温、高压环境,也能够实现高功率、高速、高频应用。
目前已有一些碳化硅材料被广泛应用在电源变换器、汽车电源、航空器电子设备等领域。
2、氮化硅材料氮化硅是一种新型的宽能隙半导体材料,具有优越的物理和化学性质。
它的电子迁移率高,能够实现高功率、高速、高频率应用,特别适用于射频电子设备的制造。
目前,氮化硅材料被广泛应用于5G通讯、高亮度LED、蓝色激光器等领域。
3、氧化锌材料氧化锌是一种新型的半导体材料,具有良好的光学、电学、磁学等性质。
它的能隙较宽,透明性好,可应用于薄膜电晶体管、太阳能电池等领域。
此外,氧化锌具有优异的生物相容性,可应用于生物医学器械等领域。
二、新型半导体材料的应用1、汽车电子随着汽车产业的不断发展,汽车电子产品也得到了极大的推广和应用。
新型半导体材料的应用为汽车电子开发提供了新的解决方案。
现在的汽车电子产品采用了许多半导体材料,如碳化硅材料的应用可以提高电源变换器的效率,氮化硅材料的应用可以提高电力转换效率,氧化锌材料的应用可以提高太阳能电池的效率。
2、LED照明LED照明是一种新型的环保、节能的照明技术,其应用范围越来越广泛。
新型半导体材料的应用可以提高LED照明产品的效率和品质。
如氮化硅材料的应用可以提高LED芯片的发光效率和亮度,碳化硅材料的应用可以提高LED器件的寿命和稳定性。
3、5G通讯5G通讯是一项颠覆性的技术革新,它将会给互联网、智能制造、智慧城市等领域带来巨大的变化。
新型半导体材料的应用对5G通讯的发展也有着重要的促进作用。
如氮化硅材料的应用可以提高5G收发信机的效率和速度,碳化硅材料的应用可以提高5G 通讯的频率和功率。
半导体氮化铟(InN)的电学性质
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第24卷 第2期物 理 学 进 展Vol.24,No.2 2004年6月PRO GRESS IN PHYSICS J un.,2004文章编号:1000Ο0542(2004)02Ο0195Ο21半导体氮化铟(InN)的电学性质潘 葳,沈文忠3(上海交通大学物理系,凝聚态光谱与光电子物理实验室上海市华山路1954号,上海 200030)小川博司,郭其新(佐贺大学理工学部电气与电子工程系,佐贺840Ο8502,日本)摘 要: 本文总结了近年来半导体InN薄膜材料(主要是六方纤锌矿结构的InN及异质结构)的电学性质研究进展,重点内容为InN的载流子浓度和迁移率,造成InN中高电子浓度现象的施主分析、载流子输运特性及表面、界面特性等。
同时也涉及了部分立方闪锌矿结构InN的电学特性和InN在器件(主要是高电子迁移率晶体管器件)上的潜在应用。
关键词: 氮化铟(InN);电学性质;综述;载流子浓度;迁移率;输运中图分类号: O47 文献标识码: A0 引 言近年来,Ⅲ族氮化物半导体如G aN、AlN和InN以及它们的合金由于在光电子和微电子器件上的广阔应用前景,引起了人们极大的兴趣[1,2]。
InN被认为是低损耗高效电池、光学掩膜及多种传感器的优选材料[1]。
InN、G aN和AlN的合金带隙对应于可见-近紫外光波段,因而使制造In G aAlN基的半导体短波激光二极管成为可能[3,4]。
最近的研究表明,InN在太赫兹(THz)辐射中有很好的应用前景[5~7],在热光伏系统中则可作为等离子体滤波器材料[8]等。
理论计算表明,相对于G aAs、AlN和G aN,InN具有优越的稳态和瞬态电子输运特性,其迁移率、峰值速率、饱和漂移速率和尖峰(overshoot)速率较高,其中低场迁移率可以达到3200cm2/V·s,峰值漂移速率可达4.3×107cm/s[9,10],且这些电子输运特性不受温度改变的影响,可以预计InN场效应晶体管(FET)的截止频率可高于400GHz[9],这些特性使InN在高频厘米和毫米波器件应用上具有独特的优势[9,10]。
半导体材料研究的新进展
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半导体材料研究的新进展近年来,半导体材料的研究取得了许多新的进展。
这些进展涵盖了材料的制备方法、性能调控以及应用领域的拓展等多个方面。
在本文中,我们将介绍一些半导体材料研究的新进展。
首先,研究人员在半导体材料的制备方法方面取得了重要突破。
传统的半导体材料制备方法包括溶液法、气相沉积法和物理蒸镀法等,但这些方法通常具有成本高、工艺复杂等缺点。
然而,随着纳米技术的发展,一些新的制备方法被提出,如溶胶-凝胶法和电化学法等。
这些新的制备方法可以实现高效、低成本的制备,并且可以控制材料的尺寸和形状,从而提高材料的性能和稳定性。
其次,研究人员在半导体材料的性能调控方面取得了重要进展。
随着科技的发展,人们发现了一些新的半导体材料,如二维材料、量子点和有机半导体等。
这些材料具有独特的电子结构和光学性质,可以用于制备高性能的电子器件。
同时,研究人员还通过改变半导体材料的组分和结构,调控了材料的导电性、光电性以及热性能等,从而实现了半导体材料性能的优化。
另外,半导体材料的应用领域也在不断拓展。
传统的半导体材料主要应用于电子器件领域,如晶体管和集成电路等。
然而,近年来,随着人们对新材料和新能源的追求,半导体材料在光电子、能源存储和传感器等领域也得到了广泛应用。
例如,一些新的半导体材料被用于制备高效的光伏材料,用于太阳能电池的制备。
此外,半导体材料还被应用于制备高性能的光电器件、柔性电子器件和化学传感器等。
总结起来,半导体材料研究的新进展包括制备方法、性能调控和应用领域的拓展等多个方面。
这些进展使得半导体材料具有了更广阔的应用前景,为科技的发展带来了潜在的机会和挑战。
随着对半导体材料的深入研究,相信在不久的将来,我们将能够看到更多创新的半导体材料和应用领域的突破。
in原子量
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in原子量
IN原子量是指氮元素原子在纳米级别下与铟元素原子结合形成的化合物,其化学式为InN。
该化合物具有许多特殊的性质,如高热导率、高折射率、高电阻率等,因此在电子学、光电学、磁学等领域具有广
泛的应用前景。
下面我们来详细了解IN原子量的一些特性和应用。
1. 组成和结构
InN的组成为铟和氮的比例为1:1,其晶体结构为菱形晶体,含
有三个基本的空间分子,其分子结构为四面体幺辅,可以看做是由氮
原子和铟原子构成的三维网状结构。
2. 物理性质
InN具有许多独特的物理性质,例如具有高热导率、高电阻率、
高折射率、高电子迁移率等特点,这些特性表明InN极有可能成为下
一代电子学和光电学材料的新星。
3. 应用领域
(1)电子学领域:在电子学中,InN能够被用作高电子迁移率场效应晶体管的材料,作为新一代高效能的半导体材料,可以被用于改
进日常使用的手机和电脑的处理能力。
(2)光电学领域:InN材料也可以制备高性能的光电传感器、激光器和LED等,这让其在光电学领域中也有着广泛的应用前景。
(3)磁学领域:InN在可调谐磁学领域先进实验室中也已被证明是一个非常好的晶体,同时也在生物医学、环境监测等领域拥有广泛
的应用。
综上所述,InN具有广泛的应用前景,尽管其发展还存在一系列
的技术性问题,不过我们可以看到InN作为一种新型的高级材料,已
经取得了重要的研究进展,相信在不久的将来,InN还会成为电子学、光电学和磁学等领域中不可替代的新材料。
InN纳米线反常输运性质研究的开题报告

InN纳米线反常输运性质研究的开题报告1.研究背景与意义InN是近年来发展迅速的宽能隙材料之一。
作为III-V族化合物半导体材料中的一员,其具有较大的摩比斯系数和很高的迁移率,这使得它在器件应用中具有重要的潜力。
此外,InN纳米线具有体积效应、表面效应和量子尺寸效应,因此其在导电性、光学性质、磁性等方面表现出不同于其它形态的优异性质。
InN纳米线的特殊性质为其应用提供了新思路。
因此,对InN纳米线的物理性质进行深入研究具有重要的现实意义和科学价值。
2.研究内容与目的本研究旨在通过对InN纳米线的制备、表征和输运性质研究,探究其在电学、光学、磁学和热学方面的性质,并深入分析其物理机制。
具体研究内容包括:(1)InN纳米线的制备:采用化学气相沉积法(CVD)在氮气气氛下制备InN纳米线。
(2)InN纳米线的表征:采用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、拉曼光谱和X射线衍射(XRD)等手段对InN纳米线进行表征。
(3)InN纳米线的输运性质研究:采用宏观电学测试和纳米尺度下输运的Sourcematic方法,探究InN纳米线的导电性质和量子输运性质。
3.研究方法和技术路线本研究采用以下研究方法:(1)InN纳米线的制备:采用化学气相沉积法在氮气气氛下制备InN纳米线,优化沉积工艺条件,制备高质量的InN纳米线。
(2)InN纳米线的表征:采用扫描电子显微镜、透射电子显微镜、拉曼光谱和X 射线衍射等手段对InN纳米线的结构、形态、晶格和荧光性质进行表征。
(3)InN纳米线的输运性质研究:采用宏观电学测试和纳米尺度下输运的Sourcematic方法,探究InN纳米线的导电性质和量子输运性质。
4.预期结果和意义预期结果:本研究将得到InN纳米线的制备、表征和输运性质的详细研究结果。
特别是通过Sourcematic方法研究InN纳米线在纳米尺度下的输运性质,将有助于深入理解其在量子输运方面的特殊性质。
InN纳米薄膜制备及其结构与带隙分析
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InN纳米薄膜制备及其结构与带隙分析在Ⅲ族氮化物半导体中,氮化铟是性能优良的半导体材料,被认为是用于制备光电子器件、高效低成本太阳能电池、光学掩膜以及多种类型传感器的材料,由于InN电子输运特性优于GaAs和GaN,使其在高频厘米和毫米波器件应用上具有独特的优势.目前生长高质量InN单晶薄膜的主要有四种方法,分别为金属有机化学气相沉积技术(MOCVD)、射频等离子体辅助分子束外延技术(RF-MBE)、磁控溅射技术、氢化物气相外延技术(HVPE),以及其他生长技术相结合的生长方法.采用不同的制备方法,生长出来的InN薄膜质量不同,其性能也有所差异.因此,InN薄膜的研究一直受到诸多学者关注.Norman和Laskar等用MOCVD制备了InN薄膜,Koblmuller和Roul用RF-MBE制得了InN薄膜,Natarajan和Westra等用磁控溅射制备了InN薄膜,Marsina和Syrki用HVPE制得了InN薄膜.另外,随着生长方法的改进,对InN材料本征能隙的认识有了新的突破.用分子束外延法制得高质量InN薄膜的带隙为0.7 eV,而不是之前限定的I.9 ev.该文采用射频磁控反应溅射的方法,在蓝宝石衬底上沉积InN薄膜,研究了小同溅射压强下的InN薄膜的结晶质量、形貌和光学带隙.1 实验采用磁控溅射系统为JDz045CBo1型磁控溅射与电阻炉联合系统设备,溅射靶材为金属钢(纯度99.999%),其尺寸为Φ60mm×5mm;溅射气体为Ar和N,的混合气体,其流量分别为12、8 sCcm,总流量为20 sccn;衬底温度控制在100℃;溅射压强分别为0.8、1.0、1.4 pa;溅射功率为100 W.实验前,将蓝宝石衬底依次在去离子水和无水乙醇中各超声波清洗15min.本底真空度抽至为9.0×10-5Pa时,在纯Ar中预溅射5 min,去除靶材表面杂质.溅射30min后,得到的薄膜厚度约为850 nm.采用X射线衍射(XRD)对沉积的InN薄膜进行相结构分析.使用场发射扫描电镜(SEM)研究薄膜的形貌与厚度.使用双光束紫外/可见分光光度计(UV/VIS)测量薄膜的吸收谱并计算薄膜的光学带隙.2 实验结果和分析为了分析溅射压强对InN晶体结构的影响,分别测试了不同溅射压强下0.8、1.0、1.4 Pa的InN薄膜XRD衍射曲线,见图1.在上述压强下制备的InN薄膜为六方纤锌矿结构.由图1可见,在溅射压强为0.8 Pa和1 Pa时,晶体均呈现(002)和(101)取向;溅射压强为1.4Pa时,晶体呈现(101)取向,(002)取向已明显消失.这是由于在低溅射压强0.8 Pa下,溅射粒子的平均自由程较大,导致到达薄膜时的平均动能增大,使晶体呈现出(002)、(101)和(112)晶体取向;随着溅射压强进一步增大为1.O Pa时,相对溅射粒子的平均自由程变小,到达薄膜时的平均动能也变小,因此呈现较弱(002)、(101)和(112)取向;当溅射压强增大至1.4 Pa时,使得晶体只呈现(101)和(112)取向,并且该方向上的衍射强度明显下降,表1给出了InN 薄膜(002)取向的半高宽和晶粒大小的计算结果,表明1. OPa下薄膜的结晶质量最好.图2给出了在不同溅射压强下InN薄膜的SEM图,从图2(a)、(b)可见,均有颗粒状和长条状两种形貌出现,分布均匀,颗粒状晶粒大小为20~60 nm;(c)中,仅有一种形貌出现,呈长条状,分布均匀,晶粒尺寸为40~80nm.对比(b),(a)中有少量片状的颗粒出现,而(c)图中只有较强的(101)晶体取向,并结合XRD分析结果可以判断(a)、(b)中的颗粒状粒子应属于(002)取向,而长条状属于(101)取向.吸收系数和带隙Eg的关系可由Tauc公式表达:ahv=A(hv-Eg)m/2(1)式中a为吸收系数,hv为人射光子能量,h为普朗克常数,v为人射光的频率,A为带宽常数,Eg为带隙,其中指数m,取决于电子的能带结构.由于InN材料是直接带隙允许的跃迁结构,所以m=1.图3给出了不同溅射压强下InN薄膜的吸收谱.图4是不同溅射压强下InN薄膜的(ahv)2一hv关系曲线图.由图4得到不同溅射压强下InN薄膜的光学带隙值分别为1.74、1.82、1.825 eV.表2给出了该文和文献中已报道的InN薄膜带隙值,对比表明该文InN薄膜的带隙值比文献中用同种方法得到的带隙值低,且1.0 Pa 下InN薄膜的带隙最小,结晶质量最好.Davydov等人认为,造成1.9 eV带隙的可能原因是磁控溅射中氧杂质的引入,当氧含量达到20%的时候InN带隙接近2 eV.由于本实验本底真空度较高,所以制备的薄膜受氧含量的影响较小,使带隙值明显减小,结晶质量较好.3 结束语采用射频磁控溅射技术分别制备了在溅射压强为0.8、1.0、1.4 Pa 下的InN薄膜.利用XRD和SEM分析得到薄膜样品呈六方纤锌矿结构.当溅射压强为0.8 Pa和1.0 Pa时,晶体均呈现(002)和(101)取向;当溅射压强为1.4 Pa时,晶体呈现(101)取向.根据薄膜样品吸收谱的分析与计算得到在溅射压强为0.8、1.0、1.4 Pa时,薄膜的带隙值分别为1.825、1.74、1.82 eV,该结果明显小于相关文献的报道值,且1.0 Pa下的带隙值最小,结晶质量最好.。
InN和InxGa1-xN薄膜分子束外延生长与物性研究的开题报告
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InN和InxGa1-xN薄膜分子束外延生长与物性研究的开题报告一、选题背景及意义InN和InGaN薄膜因其广泛的应用前景,在光电子、太阳能电池、照明、高功率电子器件等领域受到了广泛的关注。
尤其是近年来,随着高亮度半导体照明市场的快速发展,使得InGaN薄膜在照明应用领域的前景更加广阔。
基于此,本文研究的InN和InGaN薄膜的生长与物性,将有助于深入了解其物理与化学性质,解析其光学、电学与结构特性,并为其在相关领域的应用提供更好的基础。
二、研究内容及方法针对InN和InGaN薄膜生长与物性特征进行研究,主要包括以下几个方面:1. 分子束外延法(MBE)生长InN和InGaN薄膜,利用多种表征手段对薄膜进行表面形貌、显微结构、晶体结构、光学和电学性质的分析;2. 基于X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、Atomic Force Microscope (AFM)、拉曼光谱等技术对样品进行表征,进而得到薄膜的晶体结构、表面形貌、结构特性等方面的信息;3. 探究InN和InGaN薄膜的光电性质。
包括薄膜的光学性质(例如:光反射率、吸收系数、透过率等)和光电器件性质(例如:电致发光、肖特基二极管、太阳能电池等)。
通过分析薄膜的光电性能,进一步了解其应用在光电领域的表现;4. 研究不同生长条件和掺杂对InN和InGaN薄膜性质的影响。
分别研究温度、气压、掺杂比例等不同因素,通过对生长条件的变化实现对薄膜性质的调控,从而探究和改进其生长工艺和性能。
三、预期研究结果本文研究的预期结果主要包括:1. 对InN和InGaN薄膜的生长与物性进行全面系统的研究,通过多种表征手段得到薄膜的各项特性;2. 系统探究InN和InGaN薄膜的光电性能,为其在光电子领域的应用提供参考;3. 研究生长条件和掺杂对薄膜性质的影响,为其生长工艺和性能的改进提供参考。
四、研究意义InN和InGaN薄膜依托其良好的物理化学性质,具备广泛的应用前景。
光电信息科学中的光电子材料研究进展
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光电信息科学中的光电子材料研究进展在当今科技飞速发展的时代,光电信息科学作为一门融合了光学、电子学和信息科学的交叉学科,正以前所未有的速度改变着我们的生活。
而在这一领域中,光电子材料的研究进展无疑是推动其发展的关键因素之一。
光电子材料是指能够实现光电转换或电光转换的材料,它们在通信、照明、显示、能源等众多领域都有着广泛的应用。
从传统的半导体材料,如硅、锗,到新型的化合物半导体材料,如砷化镓、磷化铟,再到近年来备受关注的有机光电子材料和纳米光电子材料,光电子材料的发展可谓是日新月异。
在半导体光电子材料方面,砷化镓(GaAs)和磷化铟(InP)等化合物半导体由于具有优异的电学和光学性能,一直是光电子器件制造的重要材料。
以 GaAs 为例,它具有较高的电子迁移率和直接带隙,使得基于 GaAs 的半导体激光器在高速通信和光存储等领域发挥着重要作用。
同时,InP 材料在长波长光通信领域也有着不可替代的地位。
然而,随着对光电子器件性能要求的不断提高,传统的半导体材料逐渐暴露出一些局限性。
例如,硅材料虽然在集成电路领域占据主导地位,但其间接带隙的特性限制了其在发光器件中的应用。
为了克服这些问题,研究人员不断探索新型的半导体材料。
其中,氮化物半导体材料,如氮化镓(GaN)、氮化铝(AlN)和氮化铟(InN)等,因其宽禁带、高电子饱和速度和良好的化学稳定性等优点,成为了近年来研究的热点。
GaN 基的蓝光发光二极管(LED)和激光二极管(LD)的成功研发,不仅推动了固态照明技术的革命,还为全彩色显示技术的发展奠定了基础。
此外,AlN 具有极高的热导率和良好的绝缘性能,在高频、高温电子器件方面具有广阔的应用前景。
有机光电子材料的出现为光电子领域带来了新的活力。
与无机半导体材料相比,有机光电子材料具有制备工艺简单、成本低、可大面积柔性制备等优点。
例如,有机发光二极管(OLED)已经在平板显示领域取得了显著的成果,其色彩鲜艳、对比度高、响应速度快等优点使其逐渐成为主流显示技术之一。
InN半导体材料及器件研究进展
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InN半导体材料及器件研究进展摘要:InN是性能优良的三五族化合物半导体材料,在光电子领域有着非常重要的应用价值,因此一直是国际国内研究的焦点。
这里,就InN材料的制备方法、P型掺杂、电学特性、光学特性、高温退火特性、器件的研究应用以及研究的最新进展进行了综述。
关键词:InN 制备特性应用太赫兹辐射进展1.引言:三族氮化物半导体材料GaN、AlN、InN是性能优越的半导体材料。
在光电子器件方面已有重要的应用,在光电集成、超高速微电子器件及集成电路上也有十分广阔的前景。
但是因为InN具有低得离解温度,要求低温生长,而作为氮源的NH3的分解温度较高,这是InN生长的一对矛盾。
其次,对已氮化銦材料生长又缺少与之匹配的衬底材料,使得高质量氮化銦材料生长特别困难,有没有什么进展。
后来的理论研究表明,InN 具有极高的漂移速度和电子渡越速度以及最小的有效电子质量。
同时电子迁移率也比较高。
因此,InN材料是理想的高速、高频晶体管材料。
最近研究表明:InN的禁带宽度也许是0.7eV左右,而不是先前普遍接受的1.9eV,所以通过调节合金组分可以获得从0.6eV(InN)到6.2eV(AlN)的连续可调直接带隙,这样利用单一体系的材料就可以制备覆盖从近红外到深紫外光谱范围的光电器件。
因此,InN有望成为长波长半导体光电器件、全彩显示、高效率太阳能电池的优良半导体材料。
理论研究表明,1nN材料在Ⅲ族氮化物半导体材料中具有最高的迁移率(室温下最大的迁移率是14000 平方厘米/V s)、峰值速率、电子漂移速率和尖峰速度(4.3×107cm/s)以及具有最小的有效电子质量m*=0.05m0。
这些特性使得InN在高频率,高速率晶体管的应用上有着非常独特的优势。
然而,由于InN的制备和检测都比较困难,对其研究和应用还很不完善。
尽管如此,随着材料生长技术的不断发展进步以及材料生长工艺的提高,现在已经可以在不同衬底材料上外延生长得到质量较好的InN薄膜单晶材料,同时,由于测量技术的进一步提高,使得InN材料的研究和应用迈进了很大一步。
Si掺杂InN的电子结构和光学性质的第一性原理计算
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四川师范大学学报 (自然科学版 ) Journal of Sichuan Normal University (Natural Science)
Nov. , 2009 Vol. 32, No. 6
Si掺杂 In N的电子结构和光学性质的 第一性原理计算
董成军 , 陈青云 , 徐 明 3 , 周海平 , 段满益 , 胡志刚
© 1994-2010 China Academic Jouruse. All rights reserved.
第 6期
董成军等 : Si掺杂 InN的电子结构和光学性质的第一性原理计算
783
In的 5 s、5p 态 ,而 N 的 2p 轨道电子有少部分贡献. 总的来说 ,价带主要由 N 的 2 s轨道电子和 In的 4d 轨道电子贡献 ,而导带则决定于 In的 5 s、5p 轨道电 子和 N的 2 s轨道电子贡献. 图 4 ( b)为 12. 5% Si掺 杂的 InN的总态密度以及各原子的分态密度图 ,可 见下价带的峰主要还是来自 In的 4d轨道电子 ,但 In 的 5 s、5p轨道电子对总态密度的贡献变小 ,而 Si的 3p轨道电子和 3 s轨道电子对总态密度的贡献很小. 图 4 ( c)给出了 25% Si掺杂的 InN 的总态密度以及 各原子的分态密度. 分态密度和总态密度的峰位明 显向低能端移动 , Si的 3 s、3p轨道电子的分态密度没 有明显的移动 , In的 4d轨道电子和 N 的 2 s轨道电 子的分态密度各峰位向深能级移动明显. N 的 2 s轨 道电子下价带的峰展宽 ,对总态密度的贡献变小 ,如 N的 2 s轨道电子对纯 InN 下价带的最大贡献为 20. 12 eV,掺入 Si比例为 12. 5%时减小到 14. 04 eV,
InN薄膜与纳米结构的生长及其物性研究的开题报告
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InN薄膜与纳米结构的生长及其物性研究的开题报告
一、选题背景
InN是一种重要的半导体材料,具有广泛的应用前景。
作为高效能源转换和传输的器件材料、高速电子和光电器件材料、光电化学催化剂和高性能传感器材料等方面均得到了广泛的研究。
在之前的研究中,已成功在不同类型的基底上得到了InN薄膜和纳米结构,并对其物性进行了研究。
尤其在纳米结构方面,其较大的表面积、较小的尺寸和晶格应变等特性为其在光电器件、光电化学催化和生物传感器等领域的应用提供了更广泛、更方便的选择。
二、研究目的
本研究的目的是在不同类型的基底上生长InN薄膜和纳米结构,并研究其物理和化学特性。
主要包括以下几个方面:
1、了解InN的基础物理和化学性质;
2、探究基底类型对InN薄膜和纳米结构生长的影响;
3、研究表面处理对InN薄膜和纳米结构形成的影响;
4、研究不同生长条件下InN薄膜和纳米结构的形态、结构和光学性质。
三、研究方法
本研究将采用金属有机化学气相沉积法(MOCVD)生长InN薄膜和纳米结构,并采用X射线衍射、扫描电镜、透射电镜、拉曼光谱等手段研究其形态、结构和光学性质。
四、预期成果
本研究旨在从理论和实验角度深入研究InN薄膜和纳米结构的形态、结构、性质以及其生长机理和表面处理技术等方面,为其在光电器件、光电化学催化和生物传感器等领域的应用提供更全面、更深入的理论支持,为InN材料的应用发展贡献力量。
第三代半导体材料优劣势与衬底工艺研究分析
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第三代半导体材料优劣势与衬底工艺研究分析第三代半导体材料是指相比第一代和第二代半导体材料具有更优异性能和应用潜力的新型材料。
常见的第三代半导体材料包括碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)和氮化铟(InN)等。
这些材料在能带宽度、导电性能、热稳定性等方面都表现出显著优势,逐渐成为各领域的研究热点。
1.较宽的能带宽度:相比第一代和第二代半导体材料,第三代材料的能带宽度较大,能够承受更高的电场,具有更好的载流子迁移率和更低的导通电阻。
这使得第三代半导体材料在高频和高功率电子器件中表现出卓越的性能。
2.较高的导电性能:第三代半导体材料具有较高的电子迁移速度和较高的电子饱和速度,这使得它们可以实现更高的电流密度和更高的开关频率。
因此,在功率电子、射频器件等领域有很大的应用潜力。
3.优异的热稳定性:第三代半导体材料具有较高的熔点和较高的热导率,能够在高温环境下保持较好的电学和热学性能。
这使得它们在高温、高功率、高频等极端工况下表现出更好的可靠性和稳定性。
4.宽波段发光性能:第三代半导体材料在光电器件领域具有广阔的应用前景。
它们在紫外、蓝光和绿光等不同波段都具有优异的发光性能,可以被广泛应用于LED、激光器、光电探测器等器件中。
然而,第三代半导体材料也存在一些挑战和不足之处:1.制备工艺复杂:相比传统的硅材料,第三代半导体材料的制备工艺更为复杂,需要高温、高压等特殊条件。
这增加了材料的制备成本和难度,限制了它们在大规模工业应用中的推广。
2.材料缺陷和晶体质量:第三代半导体材料的晶体质量对器件性能至关重要,但目前的制备工艺难以完全排除晶体缺陷,导致器件性能不稳定或寿命较短。
3.管理与封装技术:第三代半导体材料在器件封装和热管理方面存在一定挑战。
由于这些材料的热导率较高,常规的封装材料无法有效散热,需要开发新的封装和散热技术。
为了克服这些挑战,研究人员在第三代半导体材料的衬底工艺上进行了大量的研究。
其中,常见的衬底材料包括硅(Si)和蓝宝石(Al2O3)等。
MOCVD外延生长InN薄膜及其光学性质研究
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2. 0 eV附近的能隙相关的发光结果。 之后该带隙值长期被广泛接受,并经常用作 InGaN 合金中带隙外推的
终点值 [10] 。 2001 年,Yodo 等
[11]
通过电子回旋共振辅助分子束外延( molecular beam epitaxy, MBE) ,首次观
电子累积层的超高密度。 实际上大多数 InN 样品都是电子浓度约为 1 × 10 18 cm - 3 甚至更高的简并 n 型材
料,所以结合 InN 外延层中和表面的各种缺陷结构形成的多种表面,导致实际 InN 的发光特性不能遵从经典
的半导体辐射复合规律。
本文使用 MOCVD 方法,通过在 GaN 与 InN 的外延结构中加入一层 InGaN 垫层以降低 GaN 与 InN 的晶
应变的。 室温下 InN 薄膜的光吸收和强光致发光结果表明,所制备的 InN 薄膜能带隙约为 0. 74 eV。 本文还初步研究
了 InN 的异常激发依赖性的光致发光行为,证明了 InN 材料的表面效应对辐射复合的强烈作用。
关键词:InN;MOCVD;外延生长;应变;表面缺陷;光学性质;光致发光
中图分类号:O782;TN304;O484. 1
的 InN 表面形貌连续平整。 采用光学显微镜、高分辨率 X 射线衍射( HR-XRD) 、透射电子显微镜( TEM) 、光吸收和室
温光致发光等方法研究了 InN 的晶体结构和光学性质。 HR-XRD 的 ω 和 ω-2θ 扫描显示,InGaN 垫层消除了 In 滴的衍
射信号,并且 ω 扫描给出了 150 nm 的 InN 薄膜的(0002) 半峰全宽为 0. 23°。 TEM 选区电子衍射发现,InN 几乎是无
inn 氮化铟 迁移率

inn 氮化铟迁移率氮化铟是一种重要的半导体材料,具有广泛的应用前景。
作为一种新型材料,它在电子学、光电子学和能源领域具有诸多优势。
而氮化铟的迁移率又是评价其性能的一个重要指标。
迁移率是指电子在半导体中移动的速率,可用来评估材料的导电能力。
氮化铟的迁移率较高,使其成为替代传统材料的理想选择。
相比于硅等材料,氮化铟的迁移率约为600~2000 cm^2/(V·s),这使其在高频率和高功率应用中表现出色。
高迁移率使氮化铟用于高频电子器件时表现出明显的优势。
例如,在无线通信应用中,高迁移率的氮化铟器件具有了更好的信号传输效果。
此外,氮化铟还可以应用于射频功率放大器等需要高迁移率的器件中,以实现更高的功率输出。
氮化铟的高迁移率不仅提高了其在电子学中的应用性能,同时也拓宽了其在光电子学领域的应用前景。
由于其电子迁移速度快,可以快速响应光信号。
因此,氮化铟在激光器、LED等光电子器件中具备出色的性能表现。
迁移率高意味着氮化铟材料中电子在外加电场的作用下能够更容易地移动,这对于能源领域的应用也具备重要意义。
近年来,氮化铟逐渐应用于太阳能电池和光电催化等领域。
其高迁移率使得电子在材料中能够更有效地传递,并提高光电转换效率。
为了进一步提高氮化铟的迁移率,目前研究人员在材料制备方面进行了众多探索。
例如,通过优化材料生长过程、控制晶体缺陷等手段,可以提高氮化铟的结晶质量,从而进一步提高迁移率。
同时,也可以探索使用复合材料等新方法,以期取得更佳的迁移率表现。
总之,氮化铟是一种具有广泛应用前景的半导体材料,其迁移率是评价其性能的重要指标。
高迁移率使得氮化铟在电子学、光电子学和能源领域具备出色的性能表现。
为了进一步提高迁移率,研究人员正在不断探索新的材料制备和工艺技术。
相信随着技术的不断进步,氮化铟将会在各个领域有更广泛的应用。
InN材料及器件的最新研究进展
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InN材料及器件的最新研究进展
丁少锋;范广涵;李述体;郑树文;陈琨
【期刊名称】《材料导报》
【年(卷),期】2007(021)006
【摘要】InN材料是性能优良的Ⅲ-Ⅴ族氮化物半导体材料,在光电子领域有着非常重要的应用价值,由此成为最近国际国内研究的热点.就InN材料的制备方法、p型掺杂、电学特性、光学特性、器件的研究应用以及国内研究的最新进展进行了综述.【总页数】5页(P16-20)
【作者】丁少锋;范广涵;李述体;郑树文;陈琨
【作者单位】华南师范大学光电子材料与技术研究所,广州,510631;华南师范大学光电子材料与技术研究所,广州,510631;华南师范大学光电子材料与技术研究所,广州,510631;华南师范大学光电子材料与技术研究所,广州,510631;华南师范大学光电子材料与技术研究所,广州,510631
【正文语种】中文
【中图分类】TN3
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InGaN薄膜和InN薄膜的阴极荧光研究的开题报告
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InGaN薄膜和InN薄膜的阴极荧光研究的开题报告
一、研究背景和意义
随着信息技术的发展,人们对高效、高速、高质量的光电器件需求不断增加。
因此,研究新型半导体材料及其在光电器件中的应用具有极其重要的意义。
InGaN和InN材料具有宽禁带宽度、高反射率、高电子迁移率等优良特性,因此已经成为研究的热点。
阴极荧光是一种非常常用的表征材料电学性质的技术,可以直观地观察材料在电子激发下的发射特性。
因此,研究InGaN薄膜和InN薄膜的阴极荧光具有重要的理论意义和应用价值。
二、研究内容和方案
本研究将通过制备不同成分的InGaN薄膜和InN薄膜,利用阴极荧光技术研究其电子能带结构、能带间距、电子迁移率等电学特性。
具体研究内容包括:
(1)制备不同成分的InGaN薄膜和InN薄膜,并利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜等技术对其晶体结构和形貌进行表征;
(2)通过阴极荧光技术研究其电子能带结构、能带间距、电子迁移率等电学特性;
(3)探究不同成分的InGaN薄膜和InN薄膜在光电器件中的应用潜力。
三、研究预期结果
本研究预期可以得到InGaN薄膜和InN薄膜的电子能带结构、能带间距、电子迁移率等重要电学特性,为其在光电器件中的应用提供理论依据。
同时,本研究还可以为新型半导体材料的研究提供一种新的表征方法和思路,具有理论和实践的重要意义。
inp电容

inp电容INP(Indium Nitride)电容是一种基于氮化铟(InN)材料的半导体器件。
INP电容具有高频、高速、低功耗等优点,广泛应用于射频(RF)和微波电路中。
以下是对INP电容的一些基本介绍:1. 材料特性:氮化铟(InN)是一种宽禁带半导体材料,具有很高的击穿电压、良好的热稳定性和化学稳定性。
这些特性使得INP电容具有较高的耐压能力和可靠性。
2. 结构特点:INP电容通常采用薄膜技术制备,具有较高的介电常数。
这使得INP电容在相同尺寸下具有较高的电容量,有助于实现小型化设计。
3. 应用领域:由于其优异的性能,INP电容在射频和微波电路中具有重要应用,如:无线通信、卫星通信、导航定位、雷达、生物医学等领域。
4. 制作工艺:制备INP电容的工艺主要包括以下几个步骤:溅射或化学气相沉积(CVD)制备InN薄膜、光刻形成电极图案、湿法或干法刻蚀、金属化处理等。
5. 性能优势:与传统陶瓷电容和硅电容相比,INP电容具有以下优势:-更高的工作频率:INP电容具有较低的介质损耗,可实现更高频率的信号传输。
-更低的功耗:INP电容具有较高的击穿电压,可在较低电压下工作,降低功耗。
-更小的尺寸:INP电容采用薄膜技术制备,具有较高的介电常数,可在相同容量下实现较小尺寸。
-良好的热稳定性:INP材料具有较高的热稳定性,使电容在高温环境下仍能保持稳定性能。
总之,INP电容是一种具有高频、高速、低功耗等优点的射频和微波器件,在多种应用领域具有重要价值。
然而,INP材料的制备和加工技术相对复杂,目前尚处于研究和发展阶段。
随着技术的不断进步,未来INP电容有望在更多领域得到广泛应用。
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InN半导体材料及器件研究进展摘要:InN是性能优良的三五族化合物半导体材料,在光电子领域有着非常重要的应用价值,因此一直是国际国内研究的焦点。
这里,就InN材料的制备方法、P型掺杂、电学特性、光学特性、高温退火特性、器件的研究应用以及研究的最新进展进行了综述。
关键词:InN 制备特性应用太赫兹辐射进展1.引言:三族氮化物半导体材料GaN、AlN、InN是性能优越的半导体材料。
在光电子器件方面已有重要的应用,在光电集成、超高速微电子器件及集成电路上也有十分广阔的前景。
但是因为InN具有低得离解温度,要求低温生长,而作为氮源的NH3的分解温度较高,这是InN生长的一对矛盾。
其次,对已氮化銦材料生长又缺少与之匹配的衬底材料,使得高质量氮化銦材料生长特别困难,有没有什么进展。
后来的理论研究表明,InN 具有极高的漂移速度和电子渡越速度以及最小的有效电子质量。
同时电子迁移率也比较高。
因此,InN材料是理想的高速、高频晶体管材料。
最近研究表明:InN的禁带宽度也许是0.7eV左右,而不是先前普遍接受的1.9eV,所以通过调节合金组分可以获得从0.6eV(InN)到6.2eV(AlN)的连续可调直接带隙,这样利用单一体系的材料就可以制备覆盖从近红外到深紫外光谱范围的光电器件。
因此,InN有望成为长波长半导体光电器件、全彩显示、高效率太阳能电池的优良半导体材料。
理论研究表明,1nN材料在Ⅲ族氮化物半导体材料中具有最高的迁移率(室温下最大的迁移率是14000 平方厘米/V s)、峰值速率、电子漂移速率和尖峰速度(4.3×107cm/s)以及具有最小的有效电子质量m*=0.05m0。
这些特性使得InN在高频率,高速率晶体管的应用上有着非常独特的优势。
然而,由于InN的制备和检测都比较困难,对其研究和应用还很不完善。
尽管如此,随着材料生长技术的不断发展进步以及材料生长工艺的提高,现在已经可以在不同衬底材料上外延生长得到质量较好的InN薄膜单晶材料,同时,由于测量技术的进一步提高,使得InN材料的研究和应用迈进了很大一步。
一些相关的应用研究和器件也已有很多报道:如用作异质结场效应管,气体/液体传感器,异质结太阳能电池的透明传导窗口材料,InN/Si p-n结;InN薄膜已经被尝试着作为Li离子薄膜电池的阳极;还有InN热电器件以及太赫兹发射器件;InN的欧姆接触也已经被证实,InN/GaN的肖特基接触也已经实现;对于P型掺杂方面,也取得了显著成果;此外,InN具有很高的折射率(>3),还可以应用到光子晶体的设计中。
鉴于InN材料有如此重要的应用价值以及最近来自国际和国内的诸多报道,本文对InN 材料的最新研究进展,包括电学、光学性质及其应用方面做些归纳和总结。
2.InN材料的最新研究进展2.1InN材料的制备制备高质量的InN体单晶材料和外延薄膜单晶材料是研究和开发InN材料应用的前提。
但是,制造InN薄膜有两大困难,一是InN材料的离解温度较低,在600℃左右就分解了,这就要求在低温生长下InN ,而作为氮源的NH3的分解温度较高,要求1000℃左右,这是InN生长的一对矛盾,因此采用一般的方法很难制备单晶体材料,目前制造InN薄膜最常用的方法是MBE、HVPE、磁控溅射、MOCVD技术;二是很难找到合适的衬底,由于InN 单晶非常难获得,所以必须得异质外延InN薄膜,这就很难避免晶格匹配这个大问题。
一般都是在蓝宝石衬底上先生长氮化物的缓冲层,然后再异质外延InN薄膜,研究表明,GaN缓冲层上生长的InN薄膜比较理想。
当前,等离子体辅助(PA-MBE)技术是优良InN薄膜制备的主要方法。
其直接以金属In的分子束作为Ⅲ族金属有机源,利用等离子体辅助增强技术激发NH3或N2作为N源,在衬底材料表面反应生成InN。
实验结果充分表明,这种方法制备的InN薄膜质量高,可重复性好:2006年3月,ChadS.Gallinat等人利用等离子体辅助MBE方法在GaN缓冲层上生长了In极化InN,室温下电子迁移率高达2250平方厘米/V s,表面电子积累层密度为5.11×1013cm-2,最厚的InN样品禁带宽度约为0.65eV。
随后,G.Koblmuller等人利用等离子体辅助MBE方法利用高质量的GaN模板的氮表面上生长了InN,实现室温电子迁移率高达2370平方厘米/V s。
表面电子积累层密度为3×1013cm-2,InN样品禁带宽度约为0.626eV。
MBE技术生长可以精确控制外延膜厚度,得到优良的外延材料,但生长的速度较慢,对于较厚要求的外延生长耗时过长,不能满足大规模生产的要求。
对于光电器件,特别是LED、LD 芯片,一般都采用MOCVD技术。
MOCVD技术是以In有机源为金属源,以N2作为载气,NH3作为氮源,通过二步工艺或其它手段在低温500℃左右进行InN生长。
MOCVD的生长速度适中,可以比较精确地控制外延薄膜厚度,特别适合于光电器件的大规模工业生产。
利用此方法生长InN薄膜,温度的控制是非常关键的,生长温度严重影响着单晶性、表面形态、生长速率,电子特性等。
研究表明,最佳的温度范围是500-650℃。
P.Singh等人在不同温度下利用MOCVD在蓝宝石衬底上的GaN缓冲层上生长了InN,发现在550℃的生长条件下,样品质量较好,光致发光带隙为(0.7eV),强度最强,电子浓度最低(7×1018cm-3),迁移率最大(1300平方厘米/Vs-1)。
同时也发现随着生长温度的增加,光致发光峰向高能方向移动。
最近,M.Alevli等人利用高压MOCVD(HPMOCVD)技术分别在蓝宝石和GaN外延层上生长了InN薄膜,此方法打破了常规条件,在温度高达1150K、大气压为15 Bars的条件下外延InN薄膜,得到了载流子浓度在1019cm-3、迁移率为430平方厘米/V s-1,带隙为1.1eV的高质量InN薄膜。
这在制备方法上是一个新突破,有望带来新的发展。
最近也有一些关于磁控溅射、HVPE制备InN薄膜的报道,但这些方法制备出的InN薄膜质量较差,重复性也不好。
2.2 InN材料的电学特性2.2.1带隙问题对InN材料最为关注的就是其带隙问题,到现在还有很多疑问没有解决。
虽然现在很多文献中都认为其带隙为0.6-0.9eV,但也有文献认为InN的带隙也许比这个值稍大一些:1.25–1.30eV 。
持较大带隙观点的认为带隙为0.6-0.7eV的这些样品中也许含有深的缺陷能级,文献认为InN中存在深能级缺陷,大约是0.5eV,这样一来0.7eV正好对应的是1.25-1.30eV。
持低能带隙的认为测得较高带隙的样品是由于掺入杂质、Moss-Burstein效应,或是其它因素造成的。
文献中研究了氧掺杂对InN带隙的影响,通过掺入不同的氧杂质,得到了带隙从0.7-2.0连续变化的禁带,说明氧是造成带隙变宽的一个因素。
造成InN样品带隙过高的另一个潜在因素是Moss-Burstein效应,当导带中电子浓度超过导带边缘的能态密度时,费米能级就会处在导带中,电子填充了导带底,此时由光学吸收方法所测得的带隙将会偏大,即吸收峰将会随着电子浓度上升而向着高能方向移动,此效应已被很多实验所证实。
虽然在带隙问题上还有争论,但最近很多文献表明InN的带隙是在0.7eV左右,而且具有非常高的重复性,对于较高带隙的样品,大都是质量较差的样品。
P.P. Chen等人在不同生长条件下利用N2辅助等离子体MBE方法在以Al2O3为衬底的GaN缓冲层上生长了InN 薄膜并做了相关的电学光学测试。
研究发现实验所观测到的InN带隙强烈的依赖于生长条件,不同条件生长的InN薄膜,其带隙有很大的变化。
实验中将衬底温度从200℃增加到500℃,样品质量大大提高,带隙从1.8eV下降到了1.1eV。
这进一步支持了高质量样品的窄带隙观点。
2.2.2n型导电特性InN材料的另一个重要问题是本征InN都呈现出很强的n型电导特征,这与GaN有些相似,但在InN中这个问题更加严重。
可以看出InN的费米稳定能级EB在导带里面,这就意味着在InN中即使电子浓度升高,费米能级增大,也很难形成p型的本征补偿缺陷,这就使得电子饱和浓度变得非常大,理论计算表明其饱和电子浓度NS接近1021cm-3。
很多文献也解释了本征InN的强n型特征,最近文献利用霍尔测试方法对一批高质量的InN薄膜进行了测量,结果发现随着样品厚度从50nm-12000nm逐渐增加,电子浓度从1019cm-3降低到了1017cm-3。
作者认为杂质和InN表面贡献的电子浓度不能完全解释这个现象,从而认为材料中的位错N空穴(V+N)也应该是产生自由电子的一个因素,实验与理论计算非常符合。
由于在GaN中,费米能级在稳定费米能级EB(通常表示为EFS)之上,根据两性缺陷原理,此时V-Ga的形成能Ef比较低,样品种容易形成大量的Ga空穴,对n型造成一定的补偿,所以在本征的GaN中,自由电子浓度并不是很大。
而在InN中,由于其费米能级远在EB之下,所以V+N的形成能Ef仍然较低,即可以形成大量的V+N施主缺陷,或是其它施主类缺陷以及表面施主态,增大了自由电子浓度,特别是在样品表面。
2.2.3InN中的掺杂行为最近备受关注的是InN的p型掺杂问题。
要实现InN基光电子器件,如高效率太阳能电池,发光二级管,激光二极管, 高速高频晶体管,则首先必须得获得良好的P型掺杂,这对InN材料提出了很大的挑战。
GaN中价带顶在稳定费米能级(EFS)之下2.7eV下,理论上预测其最大空穴浓度是1018cm-3,可以看出,InN中价带顶在EFS之下约1eV处,更接近费米稳定能级,所以按理说相对于GaN,InN的P型掺杂应该更容易实现。
然而由于价带底位于EFS之下在0.9eV,根据两性缺陷原理,自由电子浓度比较大,这使得P型掺杂的实现和测量都变得非常困难。
然而,尽管如此,最近也有文献报道了有关InN的P型掺杂,文献利用MBE技术在以c轴取向的蓝宝石为衬底的200nm厚的GaN缓冲层上,生长了大约有500nm厚InN外延层,并进行了不同程度的Mg掺杂,从2×1020到1×1021cm-3。
由于InN材料中可靠的肖特基接触还未被证实,所有研究过的金属都显示欧姆接触,所以标准的C-V测量是不可行的。
文中用电解液形成InN的整流接触,由基于电解液的电容-电压测量法(Electrolyte-based capacitance-voltage (CV) measurements)来测量表面附近的电荷浓度与深度的关系。
研究发现: Mg掺杂InN样品内部呈现出较强的p型特征,而表面是个n型反型层。