电子工业用超纯水概述
超纯水设备EDI与混床简介
五、EDI装置与混床离子交换设备比较
EDI装置与混床离子交换设备属于水处理系统中的精处理设备,下面 将两种设备在产水水质、投资量及运行成本方面进行比较,来说明 EDI装置在水处理中应用的优越性。 (1)产水水质比较 EDI装置是一个连续净水过程,因此其产品水水 质稳定,电阻率最高可达18.25MΩ ·cm,达到超纯水的指标。混床离 子交换设施的净水过程是间断式的,在刚刚被再生后,其产品水水质 较高,而在下次再生之前,其产品水水质较差。 (2)投资量比较 与混床离子交换设施相比EDI装置投资量要高约 20%左右,但从混床需要酸碱储存、酸碱添加和废水处理设施及后期 维护、树脂更换来看,两者费用相差在10%左右。随着技术的提高与 批量生产,EDI装置所需的投资量会大大的降低。另外,EDI装置设备 小巧,所需厂房远远小于混床。
3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备，这是一种制取超 纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制 备工艺，其基本工艺流程为：原水→原水箱→原水泵→多介质过滤 器→精密过滤器→高压泵→反渗透设备→RO水箱→(EDI)泵→保安 过滤器→紫外线→电去离子(EDI)→纯水箱→纯水泵→后置精密过 滤器→用水点
EDI装置属于精处理水系统,一般多与反渗 透(RO)配合使用,组成预处理、反渗透、 EDI装置的超纯水处理系统,取代了传统水 处理工艺的混合离子交换设备。EDI装置 进水要求为电阻率为0.025-0.5MΩ ·cm, 反渗透装置完全可以满足要求。EDI装置 可生产电阻率高达18MΩ ·cm以上的超纯 水。来自六、 EDI技术的应用
EDI技术在国外广泛的应用有十几年的时间,大多用于制 药行业、微电子行业、发电工业和实验室。在表面清洗、 表面涂装、电解工业和化工工业的应用也日趋广泛。 EDI技术的应用 1、制药行业、微电子行业、发电工业和实验室。 2、在表面清洗、表面涂装、电解工业和化工工业的应 用也日趋广泛。 3、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路; 4、超纯材料和超纯化学试剂; 5、实验室和中试车间; 6、汽车、家电表面抛光处理; 7、光电产品; 8、其他高科技精微产品;
超纯水设备应用于高端电子工业分析
超纯水设备应用于高端电子工业分析超纯水指的是不含杂质的H2O。
从学术角度讲，纯水又名高纯水，是指化学纯度极高的水，其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域，但其对水质纯度要求相当高，所以一般应用最高端的电子工业。
1、超纯水设备反渗透是一种物理现象，当两种含有不同浓度盐类的水，如用一张半渗透性的薄膜分开就会发现，含盐量少的一边的水分会透过膜渗到含盐量高的水中，而所含的盐分并不渗透，这样，逐渐把两边的含盐浓度融和到均等为止。
这个过程称为自然渗透。
反渗透就是一种在压力驱动下，借助于半透膜的选择截留作用将溶液中的溶质与溶剂分开的分离方法。
反渗透超纯水设备是将原水经过石英砂过滤器、颗粒活性碳过滤器、精密过滤器等,再通过泵加压,利用孔径为1/10000μm(相当于大肠杆菌大小的1/6000,病毒的1/300)的反渗透膜(RO膜),使较高浓度的水变为低浓度水,同时将工业污染物、重金属、细菌、病毒等大量混入水中的杂质全部隔离，从而达到饮用规定的理化指标及卫生标准,产出至清至纯的水,是人体及时补充优质水份的最佳选择.由于RO反渗透技术生产的水纯净度是目前人类掌握的一切制水技术中最高的,洁净度几乎达到100%,所以人们称这种产水机器为反渗透纯净水机。
反渗透设备应用膜分离技术，能有效地去除水中的带电离子、无机物、胶体微粒、细菌及有机物质等。
是高纯水制备、苦咸水脱盐和废水处理工艺中的最佳设备。
2、系统组成一般包括预处理系统、反渗透装置、后处理系统、清洗系统和电气控制系统等。
预处理系统一般包括原水泵、加药装置、石英砂过滤器、活性炭过滤器、精密过滤器等。
其主要作用是降低原水的污染指数和余氯等其他杂质，达到反渗透的进水要求。
预处理系统的设备配置应该根据原水的具体情况而定。
反渗透装置主要包括多级高压泵、反渗透膜元件、膜壳(压力容器)、支架等组成。
其主要作用是去除水中的杂质，使产水水质满足使用要求。
后处理系统是在反渗透不能满足出水要求的情况下增加的配置。
edi超纯水设备方案
edi超纯水设备方案一、概述在现代工业生产中，水是一个不可或缺的资源。
许多行业都对水的纯净度有严格的要求，尤其是在药品、食品加工、电子电器等领域，需要使用高纯度的水才能保证产品质量。
EDI（Electrodeionization）超纯水设备便是解决纯水需求的一种先进技术。
本文将结合EDI超纯水设备的原理和特点，为您提供一套完整的EDI超纯水设备方案。
二、方案实施1. 设备选型首先，需要根据客户的具体需求和生产工艺特点，选择合适的EDI超纯水设备。
通常包括预处理系统、EDI主机、纯水贮存系统和消毒系统等组成部分。
对于大型工业生产厂家来说，需要考虑设备的处理水量、操作稳定性、耗能情况等方面因素。
对于小型实验室或办公环境，则可以选择紧凑型的EDI设备。
2. 预处理系统预处理系统是EDI超纯水设备的重要组成部分，用于去除水中的悬浮物、溶解物和有机物等杂质。
常见的预处理设备包括颗粒物过滤器、活性炭吸附器、软化设备等。
通过预处理系统的处理，可以大大提高EDI主机的效能和寿命。
3. EDI主机EDI主机是实现超纯水产生的核心设备，通过电渗析和电吸附的作用，去除水中的离子和溶解物，使水质达到高纯度级别。
EDI主机采用模块化设计，操作维护方便，且具有稳定的性能。
选择适当的EDI 主机，是确保超纯水产出稳定质量的关键。
4. 纯水贮存系统纯水贮存系统用于存储和供应超纯水，一般包括纯水储罐、管道连接系统和传感器等。
根据具体需求，可以选择不锈钢或塑料储罐，确保超纯水在输送和贮存过程中不受到二次污染。
此外，安装适当的传感器和监控系统，可以及时监测水质情况，提供实时的数据反馈。
5. 消毒系统为了保证水的纯净度和卫生安全，EDI超纯水设备方案中通常会包括消毒系统。
常见的消毒方法包括紫外线消毒、臭氧消毒和余氯消毒等。
通过合理配置消毒设备，可以有效杀灭水中的细菌和病毒，保障超纯水的卫生质量。
三、方案优势1. 高纯度水质：EDI超纯水设备能够去除水中的离子、微生物和有机物等，产生高纯度的水质，满足各行业对水质纯净度的要求。
超纯水制备知识点总结
超纯水制备知识点总结超纯水是一种纯度极高的水，通常用于实验室研究、电子工业等领域。
超纯水的制备需要严格控制水质，除去杂质和离子，以获得高纯度的水。
下面将总结超纯水制备过程中的关键知识点。
1. 超纯水的定义超纯水是指去离子水，也称为高纯水或电子级水。
其主要特点是水中的溶解固体物质和游离离子极少，通常是纯净水或蒸馏水的千分之一或万分之一。
2. 超纯水的制备方法超纯水的制备方法主要有蒸馏法、反渗透法和电去离子法。
（1）蒸馏法蒸馏法是通过加热水蒸气，然后再冷凝形成纯净水。
这种方法可以去除水中的有机物、微生物和部分无机盐。
但是，这种方法产生的水还不能称为超纯水，还需要进一步处理。
（2）反渗透法反渗透法是通过高压将水经过半透膜过滤，去除水中的离子和微生物，从而得到纯净水。
这种方法能够生产较高纯度的水，但仍然不足以满足超纯水的要求。
（3）电去离子法电去离子法是通过两极电解膜将水中的离子去除，从而得到极其纯净的水。
这种方法是制备超纯水的主要手段，能够产生质量极高的水。
3. 超纯水的制备工艺电去离子法是最常用的超纯水制备工艺。
其制备步骤主要包括进水、预处理、阳极氧化、阳极吸附、离子交换树脂吸附、阴极吸附、超纯水储存等环节。
（1）进水首先，需要使用去离子水进料，去离子水质量要求高，一般要求电导率低于0.2μS/cm。
（2）预处理进水后需要进行预处理，包括石英砂过滤、活性炭过滤和微孔滤器过滤等步骤。
这些步骤能够去除水中的颗粒物、有机物和氯等物质。
（3）阳极氧化在阳极氧化池中，水中的氧化性物质通过电解反应被氧化和析出。
据此通过氧化性物质析出，从而降低水中的溶解氧。
（4）阳极吸附在阳极氧化后，水中的铁、锰等杂质通过活性炭吸附的方式进行处理。
（5）离子交换树脂吸附通过离子交换树脂的吸附作用，将水中的阴离子和阳离子去除，从而获得更纯净的水。
（6）阴极吸附在这一步骤中，通过负极活性炭的吸附作用，将水中的有机物和残余离子进一步去除。
简述电子超纯水设备工艺步骤内容详解
简述电子超纯水设备工艺步骤内容详解超纯水设备可以将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。
设备产水电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm极限值。
集成电路工业中超纯水设备用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。
此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水设备产出的超纯水。
依各种原水水质和用户要求的不同，超纯水设备的工艺大体可分为预处理、脱盐和精处理三步。
预处理包括砂滤、多介质过滤、软化、加氯、调节pH、活性碳过滤、脱气等。
过滤可除去 1～20微米大小的颗粒，软化和调节pH可防止反渗透膜结垢，加氯是杀菌。
活性碳过滤是除去有机物和自由氯，脱气是清除溶于水中的CO2等。
脱盐包括反渗透、离子交换。
反渗透是渗透现象的逆过程,在浓溶液上加压力,使溶剂从浓溶液一侧通过半透膜向稀溶液一侧反向渗透，脱盐可达98%，并能除去99%的细菌颗粒和溶解在水中的有机物。
离子交换的原理是当水通过阳离子交换树脂时，水中的阳离子被阳离子交换树脂吸附，树脂上可交换的阳离子如H离子被置换到水中，并和水中的阴离子结合成相应的无机酸，如超纯水：这种含有无机酸的水，当下一步通过阴离子交换树脂层时，水中的阴离子被阴离子交换树脂吸附。
树脂上可交换的阴离子如OH离子被置换到水中,并与水中的H离子结合成水，即超纯水精处理包括紫外线杀菌、终端膜过滤和超滤。
紫外线消毒器紫外线杀菌是因生物体的核酸吸收紫外线光的能量而改变核酸自身结构,破坏核酸功能而使细菌死亡。
杀菌最强的光谱波长为2600埃。
各种膜过滤能除掉直径大于 0.2微米的颗粒，但对于清除有机物则不如反渗透和超滤有效。
反渗透设备超滤是把各种选择性的分子分离。
在超滤过程中，水在压力下流过一个卷式或中空纤维膜棒。
膜孔径在10～200埃范围内,薄膜厚度为0.1～0.5微米,附在一个中孔的纤维棒内壁上，超滤能除去细菌和0.05微米的粒子。
超纯水标准范文
超纯水标准范文超纯水是指经过特殊处理和纯化过程得到的纯净水，其纯度和纯净度高于一般的纯水或蒸馏水。
超纯水广泛应用于科研实验、医药制造、电子工业等领域，对水的纯度有着极高的要求。
下面将详细介绍超纯水的标准及其制备过程。
超纯水的标准可以通过以下几个方面进行衡量：1.电导率（Conductivity）：超纯水的电导率一般在0.056 μS/cm以下。
电导率是衡量水中杂质含量的重要指标，电导率越低，说明水中杂质越少，纯度越高。
2.总溶解固体（TDS，Total Dissolved Solids）：超纯水的总溶解固体为 0.1 ppm以下。
总溶解固体表示水中所有溶解的无机盐和有机物的总含量，包括溶解的金属离子、无机盐、有机酸等。
3.采样时的细菌数：超纯水的细菌数应为1CFU/mL以下。
细菌数是评估水的纯度和卫生状况的重要指标，超纯水要求细菌含量极低，以及无法培养出细菌。
4.溶解氧（Dissolved Oxygen）：超纯水的溶解氧应当小于0.1 ppm。
溶解氧的含量也是衡量水的纯度和氧化性的重要指标。
超纯水的制备过程主要包括预处理、反渗透、离子交换以及深度过滤等步骤。
1.预处理：通过去除水中悬浮固体、泥沙、有机物和氯等，保护反渗透膜不受损坏。
常见的预处理方法有沉淀、过滤、颗粒活性炭吸附等。
2.反渗透（RO，Reverse Osmosis）：采用反渗透技术，将水经过半透膜的高压作用下，使水中的溶质和悬浮物滞留在一侧，纯水则通过半透膜透过，达到去除溶质和悬浮物的目的。
3.离子交换：采用强酸阳离子交换树脂和强碱阴离子交换树脂等，去除水中的离子和微量溶解固体，提高水的纯度。
离子交换树脂可以选择性地吸附和释放离子，有效去除水中的离子，同时还可以去除有机物和微生物。
4.深度过滤：通过精细过滤器进行深度过滤，去除微小的颗粒、细菌、病毒等微生物，达到更高的水纯化效果。
在实际应用中，超纯水的制备还可能包括其他附加工艺，如臭氧消毒、紫外线消毒等，以确保超纯水的纯净度和卫生状况。
EDI超纯水设备介绍
EDI超纯水设备介绍超纯水设备（Electron Demineralized Water)是一种用来生产超纯水的设备。
超纯水是一种仅含有水分子的物质，不含任何溶解固体、气体和细菌等物质。
它通常应用于高纯化实验室、制药工业、化工工业和电子工业等领域。
本文将介绍EDI超纯水设备的原理、应用和优势。
1.原理：EDI是电渗析（Electrodeionization）的简称，通过电场作用实现溶液的离子交换和电泳迁移，从而达到水中杂质的去除。
EDI超纯水设备主要由阴极、阳极和离子交换膜组成。
水通过离子交换膜，阳离子和阴离子被分离，经过电场作用，离子迁移到对应的离子交换膜上。
经过多个单元的交替排列，阳离子和阴离子逐渐被去除，生成纯净水和浓缩液。
2.设备结构：EDI超纯水设备通常由水预处理系统、EDI单元和后处理系统三部分组成。
水预处理系统主要用来去除水中的颗粒物、有机物和化学物质等，以保护EDI单元的性能和寿命。
EDI单元是核心部件，其结构由离子交换膜、阴极、阳极、导电液和电源等组成。
后处理系统用于进一步提升水的纯度，如深度去离子、凝聚和过滤等。
3.应用：-高纯化实验室：在实验室中，高纯水被用于溶解、稀释、浸泡和反应等操作，以确保实验结果的准确性。
-制药工业：在药物制造和生产过程中，超纯水被用于注射液、灌装和洗涤等，以确保药品的安全和纯度。
-化工工业：在化工生产过程中，超纯水常用于合成、冷却、洗涤和稀释等，以防止水中杂质对产品和设备的损害。
-电子工业：在电子元器件制造和芯片生产过程中，超纯水被用于清洁、泡水和刻蚀等，以确保产品的质量和可靠性。
4.优势：-操作简单：EDI设备没有酸碱再生过程，不需要使用酸碱药剂，操作更加简便和安全。
-节能环保：EDI设备不需要热能和大量水作为再生用水，节约能源和水资源。
-稳定性高：EDI设备采用电场作用实现离子去除，稳定性较高，不易受水质波动影响。
-产品纯度高：EDI设备可以将水中的溶解固体去除至极低水平，生产出高纯度的超纯水。
电子工业用超纯水设备技术简介及应用
电子工业用超纯水设备技术简介及应用EDI技术简介
EDI技术是一种将离子交换技术、离子交换膜技术和离子电迁移技术相结合的纯水制造技术。
它通过使用由离子膜、离子交换树脂组成的基本单元——膜组件，在直流电的作用下，无需使用酸碱对树脂进行再生，即可连续不断的长期运行，稳定可靠的制备超纯水。
EDI相比其他水处理方法，具有结构紧凑、占地面积小、运行稳定、产水品质高、回收率高、无酸碱再生、运行费用低等优点。
EDI超纯水设备的电气控制中心;可自动监测各种运行参数;其中操作系统的运行状态。
电子工业用水 (水质符合美国ASTM标准，电子部超纯水水质标准(18MΩ*cm，15MΩ*cm，10MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm 五级) 。
应用场合
· 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;
· 超纯材料和超纯化学试剂;
· 实验室和中试车间
· 汽车、家电表面抛光处理;
· 其他高科技精微产品。
电子工业用常见的基本工艺流程
●预处理-反渗透- 水箱-阳床-阴床-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器-用水点
●预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级电子工业用水反渗透(正电荷反渗膜)-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水点
●预处理-二级反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象
●预处理-二级反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-0.2或0.5μm精密过滤器-用水点 (最新工艺)。
半导体工业超纯水的技术指标及其制备概述
半导体工业超纯水来自自来水，但由于我国自来水规定 无 TOC 标 准 ，所 代 表 的 有 机 物 含 量 指 标 为 CODmn，限 值 为 3ppm。而且，自来水常规 TOC 多在 1ppm~3ppm 之间。因此， 处理 TOC 过程需多级工艺来达到目标水质。目前，可供选择 的工艺包括：UF、ACF、EDI 以及 RO 等。采用这些工艺进行前 端处理后，就可将 TOC 值降低至 10ppb~30ppb 以内。此后，经 TOC-UV 灯的处理就可将 TOC 值控制在 1ppb 以下，进而达到 半导体工业使用超纯水的水质要求，最终助力超导体芯片的 生产制造。
3 半导体工业超纯水的技术指标要求
半导体工业中的超纯水（Ultrapure water），又名 UP 水，其 除了水分子外，几乎没有其他杂质。这就意味着超纯水没有 病毒、细菌以及含氯二噁英等有机物质，是电阻率为 18（MΩ× cm）的水。在生产制造半导体工业时，电子元器件对超纯水使 用水质要求高。市场环境变化使得元器件尺寸缩小与精细度 上升，使得超纯水水质与水量的技术指标不断提升。然而，超 纯水生产过程，只要微粒子、电阻率、TOC 以及气泡其中一个 指标出现略微差异，就会使半导体元器件生产的合格率下降。 为此，制备技术人员应严格按照 ITRS 浸没式超纯水制备要求 进行生产控制。然而，掌握这一制备技术的生产厂家多是国 外企业，自主研发还有很长一段路要走。相关建设者应从现 有研究成果基础上，对制备技术进行不断优化，进而落实现代 化经济建设背景下全面发展进程[1]。
关键词：半导体工业；超纯水；技术指标；制备技术
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ1 引言
半导体工业，作为全世界范围内综合国力的体现形式之 一，其具有研发成本高、技术要求高等特点。想要以最低成本 获取最高价值，在借鉴先进技术的同时，需从技术指标要求入 手来对超纯水制备技术运用效果进行优化调整，进而达到高 精度使用控制预期。
超纯水机电导率级别-概述说明以及解释
超纯水机电导率级别-概述说明以及解释1.引言1.1 概述在撰写本文之前，我们首先来了解一下超纯水机电导率的概念。
超纯水机电导率是衡量水质纯净程度的重要指标之一。
在许多应用领域，如实验室实验、电子工业、制药行业等，需要使用高纯度的水。
超纯水机电导率是评价水质纯净程度的重要参数之一。
超纯水是指在水样中只含有极少量的杂质的水。
由于水分子的存在，纯净的水也会具有一定的电导率。
超纯水机电导率是测量超纯水中存在的电离物种（如阴离子和阳离子）数量的方法之一。
超纯水机电导率的级别划分通常以电导率值为依据。
电导率值越低，表示水中的杂质含量越少，水质越纯净。
根据国际标准，超纯水机电导率可以分为多个级别，从最高级别的蒸馏水（电导率小于1 μS/cm）到一般级别的纯净水（电导率小于10 μS/cm），再到更高级别的超纯水（电导率小于0.1 μS/cm）等。
超纯水机电导率在许多领域有着广泛的应用。
在实验室实验中，需要高纯度的水来保证实验结果的准确性。
而在电子工业中，超纯水被广泛应用于半导体芯片的制造过程中，以保证电子产品的质量。
此外，制药行业、医疗机构等领域也需要使用超纯水来确保产品的安全性和有效性。
总结来说，超纯水机电导率是衡量水质纯净程度的重要指标之一。
其级别划分和应用领域广泛，对于许多行业都具有重要意义。
在接下来的正文部分，我们将详细介绍超纯水机电导率的定义原理、级别划分以及其在不同领域的应用。
1.2 文章结构本文旨在介绍和探讨超纯水机电导率级别的相关内容。
文章结构如下：引言部分将概述超纯水机电导率级别的重要性，并阐明文章的目的。
同时，也会对后续内容进行总览。
正文部分将包括三个章节：2.1 超纯水机电导率的定义和原理本章节将介绍超纯水机电导率的定义和原理。
首先将解释超纯水机电导率的概念，即用于衡量水质纯净程度的指标。
然后将详细阐述超纯水机电导率的原理，包括电导和电阻的关系、离子浓度对电导率的影响等内容。
2.2 超纯水机电导率的级别划分在这一章节，将介绍超纯水机电导率的级别划分方式。
超纯水设备制取水质标准介绍资料
如泥沙、悬浮物等。
去除有机物
02
通过活性炭吸附、氧化等方法，去除原水中的有机物，如腐殖
质、农药等。
去除重金属
03
通过化学沉淀、离子交换等方法，去除原水中的重金属离子，
如铅、汞等。
反渗透技术
01
02
03
原理
利用半透膜，使水在压力 作用下通过膜过滤，从而 去除盐分、微生物、有机 物等杂质。
优点
高效去除杂质，可大幅提 高水质纯度。
超纯水设备通常采用高品质的304或316不锈钢、ABS工程 塑料等优质材料制造，以确保设备的稳定性和耐久性。
要点二
设备寿命
超纯水设备的寿命取决于设备的质量和日常维护情况。在 理想条件下，设备的寿命可长达10年以上。此外，为了确 保设备的长期稳定运行，建议定期进行设备维护和保养。
05
超纯水设备操作与维护
竞争格局
市场参与者众多，既有大型跨国公司，也有专业的小 型制造商，竞争激烈。
技术发展趋势与挑战
技术发展趋势
高效能、低能耗、环保型的超纯水设备成为技术发展的 主流方向。
技术挑战
如何提高设备的产水质量、降低制造成本、缩短制水时 间等是当前面临的主要技术挑战。
未来市场前景与展望
市场前景
随着科技的不断进步和产业的发展，超纯水设备市场 需求将持续增长，未来市场前景广阔。
指水质极高的水，其杂质和污染物的 含量极低，接近于理论上的纯水，通 常用于高精度实验、电子工业、医疗 制药等领域。
水质指标与检测方法
水质指标
包括物理指标、化学指标和微生物指标等，如电导率、电阻率、pH值、溶解氧、浊度、总有机碳、细菌总数等。
检测方法
包括电导率计、电阻率计、pH计、溶解氧仪、浊度仪、总有机碳分析仪、细菌培养计数等。
半导体行业用水标准
电子行业水质标准1.电子工业与超纯水在半导体制作工艺中,80%以上的工序要经过化学处理,而每一道化学处理都离不开超纯水；在硅片的处理工序中，一半以上的工序经过超纯水清洗后便直接进入高温处理过程，此时如水中含有杂质便会进入硅片，造成器件性能下降成品率低。
电子工业提出的超纯水电阻率≥18MΩ.cm (25℃)，已极其接近理论纯水水质18。
3 MΩ.cm（25℃)。
对电解质、DO、TOC、SIO2、颗粒及细菌等技术指标提出更高要求。
如256 兆位的动态随机储存器生产工艺，光刻线条宽已达0.1 微米，要保证这一指标,超纯水中颗粒径就得≤0.05μm,而且≥0。
05μm 不得超过500 个/升超纯水.2、水质标准超纯水水质标准大多数由中科院半导体所主要制定.2.1 电子级水国家标准：详见表2.13、超纯水中杂质的污染源3。
1 制备超纯水的水源由于水是一种溶解能力很强的溶剂,因此天然水中含有各种盐类和化合物,溶有CO2，还有胶体(包括硅胶和腐殖质胶体),天然水中还存在大量的非溶解性质，包括粘土、砂石、细菌、微生物、藻类、浮游生物、热源等等。
3.2 材料的影响:制备超纯水的材料设备的材质都是用金属和塑料制成的，金属在水中会有痕量溶解，造成金属离子污染。
一些高分子材料在合成时常常加入各种添加剂、增塑剂紫外吸光剂着色剂，引入大量的金属、非金属杂质、同时还会带来有机污染。
材质的污染主要以污染值来衡量，所谓污染值是指,单位面积的材料使单位体积的纯水电阻率的增加值。
表3。
2 分别列出了各种材料的污染值和TOC 的溶出值。
表3.2 各种材料的污染值(TOC 的溶出值)4水的电阻值在测定水的导电性能时，与水的电阻值大小有关,电阻值大,导电性能差，电阻值小，导电性能就良好。
根据欧姆定律,在水温一定的情况下，水的电阻值R 大小与电极的垂直截面积F成反比，与电极之间的距离L成正比.水的电阻率的大小，与水中含盐量的多少,水中离子浓度、离子的电荷数以及离子的运动速度有关。
电子学和半导体工业用超纯水标准指南
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超纯水指的是不含杂质的H2O
超纯水指的是不含杂质的H2O。
从学术角度讲，纯水又名高纯水，是指化学纯度极高的水，其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域，但其对水质纯度要求相纯水机当高，所以一般应用最高端的电子工业。
阳离子交换树脂遇水可将其本身的某一种具有活性的离子和水中某电离子相互交换，即发生置换反应，去除水中可溶解的离子。
阳离子交换树脂有粉状和球状，都是人工合成的，结构较复杂，主要由两部分组成：一是高分子聚合物骨架，记作R;另一部分是带有可交换离子的活性基团所组成。
在工业应用中，离子交换树脂的优点主要是处理能力大，脱色范围广，脱色容量高，能除去各种不同的离子，可以反复再生使用阳离子交换树脂遇水可将其本身的某一种具有活性的离子和水中某电离子相互交换，即发生置换反应，去除水中可溶解的离子。
阳离子交换树脂有粉状和球状，都是人工合成的，结构较复杂，主要由两部分组成：一是高分子聚合物骨架，记作R;另一部分是带有可交换离子的活性基团所组成。
在工业应用中，离子交换树脂的优点主要是处理能力大，脱色范围广，脱色容量高，能除去各种不同的离子，可以反复再生使用，工作寿命长，运行费用较低。
，工作寿命长，运行费用较低。
超纯水设备1、反渗透设备反渗透是一种借助于选择性透过（半透过）膜的功能以压力为推动力的膜分离技术，当系统中进水端所加的压力大于溶液渗透压时，水分子不断地透过膜，经过产水流道流入中心管，产出纯水；而后在一端流出水中的杂质，如离子、有机物、细菌、病毒等，被截留在膜的进水侧，然后在浓水出水端流出，从而达到分离净化目的。
反渗透设备是将原水经过石英砂过滤器、颗粒活性碳过滤器、精密过滤器等,再通过泵加压,利用孔径为1/10000μm(相当于大肠杆菌大小的1/6000,病毒的1/300)的反渗透膜(RO膜),使较高浓度的水变为低浓度水,同时将工业污染物、重金属、细菌、病毒等大量混入水中的杂质全部隔离，从而达到饮用规定的理化指标及卫生标准,产出至清至纯的水,是人体及时补充优质水份的最佳选择.由于RO反渗透技术生产的水纯净度是目前人类掌握的一切制水技术中最高的,洁净度几乎达到100%,所以人们称这种产水机器为反渗透纯净水机。
超纯水温度
超纯水的温度特性与应用
超纯水，作为一种特殊的水质状态，其在许多高科技领域如电子、医药、科研等领域都有广泛的应用。
而其温度特性对于其性质和用途有着重要影响。
首先，我们要理解什么是超纯水。
超纯水是指电阻率大于18.2 MΩ·cm，TOC （总有机碳）小于5 ppb，微生物含量极低，且不含任何杂质的水。
这种水的特点是几乎没有任何溶解物，因此它的导电性极低，化学反应活性极高。
超纯水的温度特性主要表现在以下几个方面：
1. 超纯水的冰点比普通水低，沸点也比普通水高。
这是因为在超纯水中，没有杂质分子可以作为凝固或蒸发的核心，所以需要更低的温度才能使其结冰，或者更高的温度才能使其沸腾。
2. 超纯水的热容比普通水小。
这是因为超纯水中几乎没有溶质，所以其吸热或放热的能力相对较小。
3. 超纯水的表面张力较大。
这也是因为其纯净度极高，分子间的相互作用较强，导致其表面形成较强的收缩趋势。
这些特性使得超纯水在很多领域有特殊的应用价值。
例如，在半导体工业中，超纯水被用来清洗硅片，以去除微小的杂质颗粒；在药物制备过程中，超纯水可以减少药物中的杂质，提高药效；在科学研究中，超纯水的特性可以帮助科学家进行精确的测量和分析。
然而，需要注意的是，由于超纯水的高度纯度，它可能会对一些设备产生腐蚀作用。
此外，超纯水的获取和储存也需要特别的技术和设备，成本较高。
总的来说，超纯水是一种非常特殊的物质，其独特的温度特性为我们在许多领域提供了新的可能性。
然而，我们也要充分认识到它的挑战和限制，以便更好地利用和控制它。
超纯水概述及工艺比较
超纯水概述及工艺比较超纯水概述及工艺比较电子工业超纯水概述半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。
集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高。
目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。
用两级反渗透制取电子工业超纯水处理设备采用两级反渗透主机加EDI制取电子工业超纯水处理设备制备电子工业用超纯水的工艺流程电子行业制备超水的工艺大致分成以下几种：1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点三种制备电子工业用超纯水的工艺比较目前制备电子工业用超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。
现将他们的优缺点分别列于下面：1、第一种采用离子交换树脂其优点在于初投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。
2、第二种采用反渗透作为预处理再配上离子交换设备，其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高，但离子设备再生周期相对要长，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。
edi超纯水设备方案
EDI超纯水设备方案1. 引言EDI（电离子交换）是一种常用于超纯水处理的技术，能够去除水中的离子、溶剂和有机物等杂质，从而得到高纯度、超纯水。
本文档将介绍EDI超纯水设备的方案，包括设备的工作原理、组成部分和应用范围等。
2. EDI超纯水设备工作原理EDI超纯水设备是通过电离子交换膜将水中的离子分离出去的一种高效净化技术。
其工作原理包括电离、电渗透和电去离子三个关键步骤：1.电离：电离膜在电场的作用下，将水中的盐类离子分解为带电的阳离子和阴离子。
2.电渗透：带电的离子在电场作用下通过离子交换膜，同时水分子穿过渗透膜，形成离子和水的混合溶液。
3.电去离子：混合溶液通过电场的作用，经过去离子膜进一步去除离子，从而得到纯净水。
由于EDI技术不需要再生酸碱溶液，因此避免了传统离子交换技术中再生液的使用，使设备操作更加简便和环保。
3. EDI超纯水设备组成部分EDI超纯水设备一般由以下几个主要组成部分构成：1.预处理系统：包括过滤器、活性炭吸附器和反渗透膜等。
预处理系统的作用是去除水中的悬浮物、有机物和微生物等杂质，以保护EDI设备的正常运行。
2.EDI核心部分：包括电离子交换膜组件、电渗透膜组件和电去离子膜组件等。
EDI核心部分是实现水的电离、电渗透和电去离子的关键部件，用于净化水并产生超纯水。
3.电源与控制系统：提供电压和电流给EDI核心部分，并对设备进行监测和控制。
电源与控制系统能够实现EDI设备的自动化运行和远程监控。
4.超纯水贮存和分配系统：用于储存和分配EDI产生的超纯水。
贮存和分配系统可根据需要配置不同的储水罐和管路，以满足不同用户的用水需求。
4. EDI超纯水设备的应用范围EDI超纯水设备广泛应用于以下领域：1.制药工业：在制药工艺中，高纯度水是生产优质药物和药品的基础要求。
EDI超纯水设备可以提供高纯度、无杂质的水源，为制药工业提供保障。
2.电子工业：电子芯片的制造过程对水质要求非常高，需要使用超纯水进行清洗和加工。
EDI超纯水设备参数详细介绍
EDI超纯水设备参数详细介绍EDI超纯水设备是近阶段制备超纯水的主流设备之一，原水，经过预处理达到EDI超纯水设备进水水质要求，进入edi模块进行去离子处理。
EDI超纯水设备将离子交换树脂充夹在阴/阳离子交换膜之间形成EDI单元。
EDI组件中将一定数量的EDI单元间用网状物隔开，形成浓水室。
又在单元组两端设置阴/阳电极。
在直流电的推动下，通过淡水室水流中的阴阳离子分别穿过阴阳离子交换膜进入到浓水室而在淡水室中去除。
而通过浓水室的水将离子带出系统，成为浓水。
EDI超纯水设备一般以反渗透(RO)纯水作为EDI给水。
RO纯水电阻率一般是40-2μS/cm(25℃)。
EDI纯水电阻率可以高达18MΩ.cm(25℃)，但是根据去离子水用途和系统配置设置，EDI纯水适用于制备电阻率要求在1-18.2MΩ.cm(25℃)的纯水。
超纯水制造历史进程第一阶段：预处理——>阳床——>阴床——>混合床第二阶段：预处理——>反渗透——>混合床目前阶段：预处理——>反渗透——>EDI(无需酸碱)传统的离子交换已经越来越无法满足现代工业和环保的需要，于是将膜、树脂和电化学原理相结合的EDI技术成为水处理技术的一场革命。
其离子交换树脂的的再生使用的是电，而不再需要酸碱，因而更满足于当今世界的环保要求。
自从1986年EDI 膜堆技术工业化以来，全世界已安装了数千套EDI 系统，尤其在制药、半导体、电力和表面清洗等工业中得到了大力的发展，同时在废水处理、饮料及微生物等领域也得到广泛使用。
EDI 装置是应用在反渗透系统之后，取代传统的混合离子交换技术(MB-DI)生产稳定的去离子水。
EDI技术与混合离子交换技术相比有如下优点①水质稳定②容易实现全自动控制③不会因再生而停机④不需化学再生⑤运行费用低⑥厂房面积小⑦无污水排放。
EDI超纯水设备可以应用到电子行业、微电子行业、医疗行业和所有应用到超纯水的行业。
工业超纯水设备工艺和特点说明
工业超纯水设备工艺和特点说明在我国对环境的保护越来越重视，尤其是在工业生产中更是如此。
现代的企业要求清洁生产最终目标能达到无害化，这就需要在生产中用的超纯水能达到国家标准。
本文将主要介绍工业超纯水设备，它的工艺与特点。
工业超纯水设备工艺流程
超纯水设备因其独特的优越性，非常适合用于现代清洁生产要求的用水质。
工业超纯水设备整体结构严谨，主机由RO与EDI 相结合组成。
原水进入加压水泵提高压力，通过多介质过滤器除肉眼可见物。
精密过滤器过滤余滤经过软水器去除水中硬度，还要经过保安过滤器保护RO主机。
原水通过反渗透和EDI主机，进一步净化原水除杂质。
最后原水通过紫外线消毒器和微孔过滤器最终净化。
工业超纯水设备特点
超纯水设备由主要三种工艺，包括有传统的混床设备、双级反渗透、RO加EDI设备。
我公司的工业超纯水设备采用的是最先进EDI装置，这个设备不会有废酸注液产生减少污染。
工业超纯水设备为全自动控制，可以在线水质检测控制仪表。
设备的可靠性更强更节能，操作简单易于维护。
超纯水设备应用比较广泛
超纯水设备出水水质的电阻率达到18.2兆，纯水不但可以用在生产上还可以用于显示屏的清洗。
在电子工业里超纯水设备做为重要配套使用，也可以用于LED、汽车电镀清洗用水。
也可以用于制药行业中，医院的实验室和血液透析室。
世界上的工业生产越来越趋向于清洁无污染，超纯水设备做为重要的提供高纯度水的设备。
纯水的水质几乎无杂质，对工业企业的环保生产做出贡献。
我公司的工业超纯水设备出水水质稳定，废水的回收率可以90%以上。
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电子工业用超纯水概述
半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。
集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高。
目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。
用两级反渗透制取
电子工业超纯水处理设备采用两级反渗透主机加EDI
制取电子工业超纯水处理设备
制备电子工业用超纯水的工艺流程
电子行业制备超水的工艺大致分成以下几种：
1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
3、采用反渗透水处理设备与电去离子（EDI）设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子（EDI）→纯水箱→纯水泵→后置精密过
滤器→用水点
三种制备电子工业用超纯水的工艺比较
目前制备电子工业用超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。
现将他们的优缺点分别列于下面：
1、第一种采用离子交换树脂其优点在于初投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。
2、第二种采用反渗透作为预处理再配上离子交换设备，其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高，但离子设备再生周期相对要长，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。
但对环境还是有一定的破坏性。
3、第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子（EDI）装置，这是目前制取超纯水最经济，最环保用来制取超纯水的工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。
其缺点在于初投资相对以上两种方式过于昂贵。