电子工业用超纯水概述

半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。

用两级反渗透制取

电子工业超纯水处理设备采用两级反渗透主机加EDI

制取电子工业超纯水处理设备

制备电子工业用超纯水的工艺流程

电子行业制备超水的工艺大致分成以下几种：

1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

3、采用反渗透水处理设备与电去离子（EDI）设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子（EDI）→纯水箱→纯水泵→后置精密过

滤器→用水点

三种制备电子工业用超纯水的工艺比较

目前制备电子工业用超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面：

1、第一种采用离子交换树脂其优点在于初投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。

2、第二种采用反渗透作为预处理再配上离子交换设备，其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高，但离子设备再生周期相对要长，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。但对环境还是有一定的破坏性。

3、第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子（EDI）装置，这是目前制取超纯水最经济，最环保用来制取超纯水的工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在于初投资相对以上两种方式过于昂贵

UP系列超纯水机

UP系列超纯水机名称：超纯水机型号：UP系列品牌：本昂产地：上海厂家：上海本昂科学仪器有限公司 UP系列超纯水机滤芯和关键配件全部进口，出水水质：18.2 MΩ-cm 25℃，1个RO水出水口＋1个超纯水出水口，出水量：15L/h。 UP系列超纯水机详细介绍 UP系列超纯水机融合各种尖端水处理技术和过程控制方法于一体，将自来水直接转化为超纯水，出水水质完全符合ASTM、NCCLS I级、GB6682-92 I 级和GB/T11446-1997 I级等规定的用水要求。广泛适用于化学、生物、制药、医学、微电子、半导体等领域，满足光谱分析、色谱分析、细胞培养、蛋白纯化、分子生物学等的应用要求。精选全球优质组件： ● RO膜：美国DOW陶氏、美国FCS ●泵、机箱：美国Kflow ●预处理组件：美国Kflow ●超纯化柱：美国Rohn&hass罗门哈斯、美国DOW陶氏 ● UF超滤组件、UV杀菌消解组件：美国Pall、国产精品 ●终端滤器：德国Sartorius赛多利斯公司 ●自动控制组件和安全保护装置：美国Kflow、美国Sciencetool 融入世界尖端科技： ●RO膜采用美国太空总署NASA研发的反渗透技术，脱盐率>99%，除菌率>99.5% ●二级混床保证出水水质，延长超纯柱寿命；特有内循环功能，时刻保证顶级水质 ●双波长UV组件有效降低细菌及TOC；高效MWCO5000超滤组件除去热源● 0.45/0.22 μm带预滤的高通量终端滤器；RO膜自动防垢冲洗，24小时全自动运行 ●长效预过滤器，2年不用更换，降低使用成本，延长后续过滤组件寿命 UP系列超纯水机(自来水为水源) ●进水要求：城市自来水：TDS<200，5-40℃，1.0～3.5Kg/cm2 ●全自动压力传感器控制，RO膜自动防垢冲洗，自来水断水自动停机，停机自动断水，储水桶自动补水，储水桶水满自动停机功能，可实现24小时无人看守工作。 ●超纯水出口带有德国Sartorius 0.22μm终端滤器

超纯水设备应用于高端电子工业分析

超纯水设备应用于高端电子工业分析超纯水指的是不含杂质的H2O。从学术角度讲，纯水又名高纯水，是指化学纯度极高的水，其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域，但其对水质纯度要求相当高，所以一般应用最高端的电子工业。 1、超纯水设备反渗透是一种物理现象，当两种含有不同浓度盐类的水，如用一张半渗透性的薄膜分开就会发现，含盐量少的一边的水分会透过膜渗到含盐量高的水中，而所含的盐分并不渗透，这样，逐渐把两边的含盐浓度融和到均等为止。这个过程称为自然渗透。反渗透就是一种在压力驱动下，借助于半透膜的选择截留作用将溶液中的溶质与溶剂分开的分离方法。反渗透超纯水设备是将原水经过石英砂过滤器、颗粒活性碳过滤器、精密过滤器等,再通过泵加压,利用孔径为 1/10000μm(相当于大肠杆菌大小的1/6000,病毒的1/300)的反渗透膜(RO膜),使较高浓度的水变为低浓度水,同时将工业污染物、重金属、细菌、病毒等大量混入水中的杂质全部隔离，从而达到饮用规定的理化指标及卫生标准,产出至清至纯的水,是人体及时补充优质水份的最佳选择.由于RO反渗透技术生产的水

纯净度是目前人类掌握的一切制水技术中最高的,洁净度几乎达到100%,所以人们称这种产水机器为反渗透纯净水机。反渗透设备应用膜分离技术，能有效地去除水中的带电离子、无机物、胶体微粒、细菌及有机物质等。是高纯水制备、苦咸水脱盐和废水处理工艺中的最佳设备。 2、系统组成一般包括预处理系统、反渗透装置、后处理系统、清洗系统和电气控制系统等。预处理系统一般包括原水泵、加药装置、石英砂过滤器、活性炭过滤器、精密过滤器等。其主要作用是降低原水的污染指数和余氯等其他杂质，达到反渗透的进水要求。预处理系统的设备配置应该根据原水的具体情况而定。反渗透装置主要包括多级高压泵、反渗透膜元件、膜壳(压力容器)、支架等组成。其主要作用是去除水中的杂质，使产水水质满足使用要求。后处理系统是在反渗透不能满足出水要求的情况下增加的配置。主要包括阴床、阳床、混床、杀菌、超滤、EDI等其中的

纯水制备系统操作说明书

目录第1章前言 3 第2章设备操作维护规范 4 第3章单元操作说明 5 3-1.全动石英砂过滤器 5 3-2.全动活性炭过滤器7 3-3.自动软化系统9 3-4.加药系统11 3-5.板式换热器12 3-6.反渗透RO系统13 3-7.EDI系统18 3-8.UV杀菌机、精密过滤器29 3-9.水泵29 第4章试车参考数据及运转报告36 第5章流程图、平面图、单机图等38 第6章附录39

第1章前言本纯化水系统是以石英砂过滤器、活性炭过滤器以及软化系统作为前处理，以目前国际上技术最先进、应用最为可靠的RO 反渗透膜作为一级除盐设备，终端采用了先进的连续电除盐（EDI）系统，组成了一套完整、高效率、高品质的纯水系统。本系统主要去除水中的悬浮物、胶体、细菌、病毒、溶解盐、细菌内毒素和大部分有机物等杂质，系统脱盐率一般在97-99%以上，终端出水电阻率达到0.1-18 MΩ/cm 。在此，上海至纯洁净系统科技有限公司(PNC)诚挚地感谢您的信任与支持，今后将本着一贯的服务热诚，为您提供完善的售后服务、详实的水质分析、理想的改善建议，帮助客户降低产品成本，提高产品品质。 PNC公司客户将享有壹年的免费保固及永久售后服务，但因天灾人祸或不可抗拒的原因所引起，则不在此限。

第2章设备操作维护规范开始操作此系统前，请操作、维护人员务必详读本操作手册，使系统达到最佳使用状况，同时确保系统的正常运行及延长设备使用年限。 1.PNC公司在试车时，所调整的流量、压力等值请勿随意变动，并请操作人员做好详细的运行参数记录，若发现有异常变化，请及时通知本公司派人处理； 2.设备的维护、管理、记录请派专人负责，并妥善保管记录资料及 PNC公司所附的各项原始资料； 3.设备在保固期内，要求每月月底传真一份设备的运行记录表至 PNC 公司，以便能及时发现问题，确保系统的正常运行； 4.本纯水系统为全自动运行控制，运行时只需将所有开关置于自动状态即可，也可手动操作或半自动操作； 5.手动操作及半自动操作：开机时必须先打开阀门，再开启水泵，关机时必须先关闭水泵，再关闭阀门。 6.系统所用滤芯，当进出水压差大于1kg/cm2 （约1bar）时请及时更换； 7.请贵公司保存原水水质分析表，并随时注意是否异常； 8.各种腐蚀药品，请远离设备； 9.请尽量避免设备遭受日晒、雨淋；

工业超纯水水质试行标准

我国电子工业超纯水水质试行标准、半导体工业用纯水指标、集成电路水质标准。电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。电导率≤10μS/CM动物饮用纯水(医药)、普通化工原料配料用纯水、食品行业配料用纯水、普通电镀行业冲洗用去离子纯水、纺织印染用除硬脱盐纯水、聚脂切片用纯纯水、精细化工用纯水、民用饮用纯净水、其它有相同纯水质要求的用纯水. 电导率≤4μS/CM电镀化学品生产用纯水、化工行业表面活性剂生产用纯水、医用纯化水、白酒生产用纯水、啤酒生产用纯水、民用饮用纯净水、普通化妆品生产用纯水、血透纯水机用纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水. 电阻率5~10MΩ.CM锂电池生产用纯水、蓄电池生产用纯水、化妆品生产用纯水、电厂锅炉用纯水、化工厂配料用纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水. 电阻率:10~15MΩ.CM动物实验室用纯水、玻壳镀膜冲洗用纯水、电镀用纯纯水、镀膜玻璃用纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水. 电阻率≥15 MΩ.CM医药生产用无菌纯水、口服液用纯水、高级化妆品生产用去离子纯水、电子行业镀膜用纯水、光学材料清洗用纯水、电子陶瓷行业用纯水、尖端磁性材料用纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水.

电阻率≥17 MΩ.CM磁性材料锅炉用软化纯水、敏感新材料用纯水、半导体材料生产用纯水、尖端金属材料用纯水、防老化材料实验室用纯水、有色金属，贵金属冶炼用纯水、钠米级新材料生产用纯水、航空新材料生产用纯水、太阳能电池生产用纯水、纯水晶片生产用纯水、超纯化学试剂生产用纯水、实验室用高纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水. 电阻率≥18 MΩ.CM ITO导电玻璃制造用纯水、化验室用纯水、电子级无尘布生产用纯水等其它有相同纯水质要求的用纯水，光伏光电行业。

超纯水系统操作说明书

水处理设备（超纯水系统）操作说明书

四、设备维护与保养：（以原水水质与纯水水质而定） (19) 附表1：水处理设备运行记录表 (21) 附表2：水处理设备维修保养记录表 (22) 附录3：售后服务承诺 (23) 一、超纯水设备工艺流程图：二、工艺流程说明： 1.原水箱原水箱作为储水装置，调节系统进水量与原水泵抽送量之间的不平衡，避免原水泵启停过于频繁，箱内设置液位，原水进水阀根据液位高低进行自动补水，原水泵根据水池液位情况自动启停。操作：原水箱顶部设置手动及自动电动进水阀，可进行手动及自动补水；手动补水时不受液位控制，只能手动控制。自动补水阀补水时受液位控制，

当水箱液位降到设定中液位时，自动阀开启自动补水；当水箱液位达到设定高液位时，自动阀关闭停止补水，从而达到自动的性能。 2.原水泵作用：原水泵将原水增压后输送到下道工序，保证多介质过滤器、活性炭过滤的操作压力及运行流量。操作：原水泵可分手动和自动操作，自动运行时，原水泵将与原水箱液位联动，原水箱液位低时原水泵停止运行，中水位时重新启动；手动操作时除原水箱液位液位不与原水泵连锁外，其他和自动一样；其他有关说明及注意事项详见水泵说明书。 3.多介质过滤器作用：在水质预处理系统中，多介质过滤器压力容器内不同粒径的石英砂按一定级配装填，经絮凝的原水在一定压力下自上而下通过滤料层，从而使水中的悬浮物得以截留去除，多介质过滤器能够有效去除原水中悬浮物、细小颗粒、全价铁及胶体、菌藻类和有机物。其出水SDI15（污染指数）小于等于5，完全能够满足反渗透装置的进水要求。操作：多介质过滤器的反洗操作采用自动控制器，过滤器应定期清洗。冲洗周期一般为5～7个工作日，具体将根据进水浊度而定。 4.活性碳过滤器功能：在水质预处理系统中，活性炭过滤器能够吸附前级过滤中无法去除的余氯以防止后级反渗透膜受其氧化降解，同时还吸附从前级泄漏过来的小分

超纯水设备制水工艺及详细技术方案

超纯水设备制水工艺及详细技术方案超纯水设备适用范围：本系统适用于树胶业清洗和生产用纯水。工程类别：水处理系统销售、安装、服务。系统总进水量：5m3/hr 系统产水量：2m3/hr@25℃ 系统回收率：55～70% 产水水质：电导率≤0.2μs/cm@25℃ 运行方式：自动运行(并具备手动操作功能)。原水水源：自来水原水设计温度：25℃ 制水工艺：RO反渗透+EDI连续电除盐〔或IX树脂离子交换〕主要配置：预处理系统：原水箱、原水箱液位控制器、原水进水电磁阀、原水泵、PAM计量泵、多介质过滤器、活性炭过滤器、阻垢剂计量泵、管路、阀门。

RO反渗透系统：高压泵、反渗透膜、反渗透膜壳、膜架、控制系统、进水电磁阀、冲洗电磁阀、调压阀、高压开关、低压开关、精密过滤器。储存系统：液位控制器、中间水箱。 EDI系统：〔工艺1)给水泵、模块、电源、流量计、压力表、电磁阀、在线电导仪、在线电阻仪、自动控制系统、机架。 IX系统：〔工艺2〕给水泵、再生泵、树脂容器、离子交换树脂、管路、阀门、机架。工艺简介：反渗透技术是一种高效率、低能耗能、无污染的先进技术，主要应用于纯水制备与海水淡化。反渗透技术是利用压力差为动力的膜分离过滤技术，通过压力差将H2O与源水中的无机盐、重金属离子、有机物、胶体、细菌、病毒等杂质严格分离。 EDI是一种电渗析技术和离子交换技术相融合的先进技术，系统能够通过电磁场通过阴、阳离子交换膜对阴、阳离子的选择性透过作用与离子交换树脂对离子的交换作用，在直流电场的作用下实现离子的定向迁移，从而完成水的深度除盐，系统能够完成树脂连续不断的自动再生，无需停机使用酸碱再生树脂，从而能连续制取高品质纯水。

光伏行业超纯水设备项目设计说明

光伏行业超纯水设备项目设计说明 2020年7月29日

进水水质：市政自来水/地下水产水水质：国标/美标电子级超纯水氮气要求：99.9999% 所需电源：稳定电源380V 50HZ 占地面积：根据产水量设计公共条件：氮气要求：99.9999%进水管道清洁无污染进水压力0.3-0.4MPA持续稳定电源AC380V/AC220V地面设置排水设施设备间温度需10℃-30℃ 项目设计说明: 本系统配置设计根据客户提供水源水质设计，水质如下：超纯水系统产水2×15吨(水量可根据用户需求定制)，产水达到美标E1.2的标准; 系统采用全自动智能控制程序，自动运行、停止、清洗、再生、报警、启动等一系列操作，系统运行可以实现全程无人值守运行。工艺流程：

设备详细介绍预处理系统原水箱、原水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、阻垢剂系统反渗透除盐系统保安过滤器、RO高压泵、反渗透 EDI系统 EDI的作用就是通过除去电解质(包括弱电解质)的过程，将水的电阻率从0.05～1.0MΩ.cm提高到5～16MΩ.cm。抛光混床

抛光混床是超纯水在接触到半导体芯片前的最后一道化学精制的处理程序，选用品质好的核子级树脂，绝不能释出任何物质，进而污染到不能间断的超纯水供水系统。脱气系统是控制液体脱气、供气的中空纤维膜组件。具有致密表皮层的中空纤维不透过液体，只透过气体，适合用于液体的脱气、供气。 TOC系统采用UV-180nm单波长紫外技术，并通过高剂量的UV-185紫外光催化，在水中产生。OH翔基自由基，对水中的有机物进行氧化降解，以达到降低水中TOC的含量。设计优势高性能高质量:完善工艺质量控制贯彻到每个功能单元，使产品水达到优于用水标准。系统运行稳定:通过膜分离软件进行设计，设计参数准确，尽量降低工程投资和运行费用。环保高效节能：设备选型做到合理、可靠、先进，布局力求紧凑、合理、简洁、美观。

电子行业超纯水设备系统设计方案

工业电子超纯水设备设计方案 1.电子工业超纯水概述半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，线宽越窄，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为 18Mù.cm、15Mù.cm、10Mù.cm、2Mù.cm、0.5Mù.cm，以区分不同水质。 2.电子工业超纯水设备特点电子工业超纯水设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统、RO 反渗透主机系统、离子交换混床(EDI 电除盐系统)系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO 纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC 可编程控制器，真正做到了无人值守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。 3.电子工业超纯水的应用领域 1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水; 2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水; 3、实验室和中试车间用超纯水; 4、汽车、家电表面抛光处理; 5、光电子产品; 6、其他高科技精微产品; 工业电子超纯水设备工艺流程说明：

1、第一级预处理系统：采用石英砂多介质过滤器，主要目的是去除源水中含有的泥沙、铁锈、胶体物质、悬浮物等颗粒在20 m以上对人体有害的物质，系统可以自动(手动)进行反冲洗，正冲洗等一系列操作。 2、第二级预处理系统：采用果壳活性碳过滤器，目的是为了去除水中的色素、异味、生化有机物、降低水的余氯值及农药污染和其他对人体有害的污染物。系统可以自动(手动)进行反冲洗，正冲洗等一系列操作。 3、第三级预处理系统：采用阳树脂对水进行软化，主要是降低水的硬度，去除水中的钙、镁离子(形成水垢的主要成分)，可有效延长反渗透膜的使用寿命，并可进行智能化树脂再生。 4、第四级预处理系统：采用5um 孔径精密过滤器，使水得到进一步的净化，使水的浊度和色度达到优化。保证RO 系统进水条件要求，保证设备的产水质量，延长设备的使用寿命。 5、反渗透(超滤)设备主机：采用反渗透(超滤)技术进行深度脱盐处理(进口美国反渗透膜)去除钙、镁、铅、汞等对人体有害的重金属物质及其他杂质，降低水的硬度，脱盐率达99%以上，生产出符合国家标准的纯净水。 6、微过滤装置：安装该装置主要是为防止微粒树脂颗粒从布水中滤出，造成二次水质污染，这主要是运用在对水质特别高的场合。杀菌系统：采用臭氧发生器(或紫外线杀菌器)，减少细菌二次污染，灭菌率可达99%以上，同时臭氧溶于水形成富氧水，保证水的纯鲜。采用水气混合器使臭氧充分与水混合，达到最佳浓度比。

超纯水机操作指导

超纯水机操作指导 1、适用范围：本规程适用于超纯水机。主要用于实验室用UP超纯水和RO纯化水的制备。 2、编制依据：本规程依据优普系列超纯水机使用说明书编制。 3、仪器工作原理： 3.1预处理系统 3.1.1利用PP聚丙烯纤维滤芯有效消除水中铁锈和泥沙。 3.1.2含碳量高达80%的高效柱状活性碳滤芯，对源水中余氯、异色、有机物等杂质可以高效吸附过滤。 3.2 反渗透系统反渗透为美国原装系统。 3.3 后处理系统 3.3.1采用威固紫外线杀菌仪，能有效降低TOC和杀菌。 3.3.2采用美国ROHMHASS公司高纯水专用原子级离子交换树脂。 3.3.3终端超滤，保证除去细菌等。 4、仪器技术参数： 4.1 进水条件：城市自来水或地下水 4.2最小供水压力：0.15MPa 4.3最小供水流量：0.3m3/h 4.4 PH范围：6—8 4.5溶解性总固体：TDS≤200mg/L（超过此值建议配置软水器） 4.6温度：5℃~ 40℃（本机制水量指RO膜25℃时产水量，温度下降1℃，RO膜产水量约下降3 % ，当水温接近0℃时，RO膜将停止产水） 4.7余氯：≤0.05mg/L (注：UPH-W机型要求进水为蒸馏水或去离子水) 4.8电导率：≤10μs/cm 4.9溶解性总固体TDS：3 mg/L 4.10微生物含量：≤1CFU/mL 4.11总有机碳TOC：≤50μg/L 5、操作步骤： 5.1把源水从“源水进水”接口接入，把水箱接至“水箱借口”，把废水接至“废水排放”。 5.2打开进水，打开机箱后部电源。 5.3设备开始自检画面，在自检中超滤排水阀运行8秒。 5.4自检18秒后当进水水源压力稳定时，同时水箱未满时，设备开始制水。（屏幕显示“系统制水中”，右面水箱符号为未满状态，同时显示“制”字） 5.5当水源水压不足时，屏幕显示“系统保护中”右面水箱符号低下显示“保”字。同时设备停止工作，但能取出RO水或UP水。 5.6当水箱制满水后，设备自动停止，屏幕显示主画面，右面的水箱符号为满水状态，在下方显示“停”字。

实验室超纯水设备简介

实验室超纯水设备简介电子级超纯水设备出水水质完全符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、 10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。对水质的要求：新兴的光电材料生产、加工、清洗;LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏、高品质灯管显像管、微电子工业、FPC/PCB线路板、电路板、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高，这也对超纯水处理工艺及产品的简易性、自动化程度、生产的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求。超纯水制备工艺： 1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→ 用水对象(≥18MΩ.CM)(传统工艺) 2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(最新工艺) 3、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)(最新工艺)

4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象 (≥15MΩ.CM)(最新工艺) 5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象 (≥15MΩ.CM)(传统工艺)

超纯水系统操作说明介绍模板之欧阳家百创编

水处理设备欧阳家百（2021.03.07）（超纯水系统）操作说明书

目录一、超纯水设备工艺流程图： (2) 二、工艺流程说明： (2) 1.原水箱 (2) 2.原水泵 (2) 3.多介质过滤器 (3) 4.活性碳过滤器 (3) 5.阻垢剂加药系统 (3) 6.软化器 (4) 7.精密保安过滤器 (4) 8.高压泵 (4) 9.两级反渗透RO机 (5) 10、二级纯水箱 (12) 11、EDI输送泵 (12) 12、前置紫外杀菌器 (13) 13、0.22μ微滤系统 (13) 14、EDI装置 (13) 15、EDI超纯水箱 (17) 16、输送泵 (17) 17、核级树脂 (17) 18、后置紫外线杀菌器 (18) 19、终端0.22μ微滤系统 (19) 三、设备操作指南： (19) 四、设备维护与保养：（以原水水质与纯水水质而定） (19) 附表1：水处理设备运行记录表 (21) 附表2：水处理设备维修保养记录表 (22) 附录3：售后服务承诺 (23) 一、超纯水设备工艺流程图：

1.原水箱原水箱作为储水装置，调节系统进水量与原水泵抽送量之间的不平衡，避免原水泵启停过于频繁，箱内设置液位，原水进水阀根据液位高低进行自动补水，原水泵根据水池液位情况自动启停。操作：原水箱顶部设置手动及自动电动进水阀，可进行手动及自动补水；手动补水时不受液位控制，只能手动控制。自动补水阀补水时受液位控制，当水箱液位降到设定中液位时，自动阀开启自动补水；当水箱液位达到设定高液位时，自动阀关闭停止补水，从而达到自动的性能。 2.原水泵作用：原水泵将原水增压后输送到下道工序，保证多介质过滤器、活性炭过滤的操作压力及运行流量。操作：原水泵可分手动和自动操作，自动运行时，原水泵将与原水箱液位联动，原水箱液位低时原水泵停止运行，中水位时重新启动；手动操作时除原水箱液位液位不与原水泵连锁外，其他和自动一样；其他有关说明及注意事项详见水泵说明书。 3.多介质过滤器作用：在水质预处理系统中，多介质过滤器压力容器内不同粒径的石英砂按一定级配装填，经絮凝的原水在一定压力下自上而下通过滤料层，从而

Advanced系列超纯水机功能介绍

Advanced系列超纯水机功能介绍产品名称：Advanced系列实验室专用超纯水机型号：Advanced-I-06 Advanced-I-12 Advanced-I-24 Advanced-I-32 Advanced-I-40Advanced-II-04 Advanced-II-08 Advanced-II-12 Advanced-II-16 Advanced-II-24 Advanced-II-32 Advanced-II-40 适用范围：详见技术参数主要功能特点 ▲微电脑全自动控制，配备Advanced专用主板，人性化设计，具备人机对话功能 ▲系统具备故障监测指示功能(液晶屏显示RO检测、UP检测、泵检测、阀检测、仪表检测、UV检测、UF检测)，能自动检测修复主机微电脑控制系统的各项错误程序 ▲系统具备Advanced专用遥控控制和遥控设置定量取水功能，免除人工来回奔跑和取水等候。 ▲配有多功能手持式红外线遥控器，使主机拥有两套控制操作系统，设备操作更方便、可靠。 ▲系统具备Advanced专用三路水质检测显示功能，可同时检测和显示：进水电导率(μs/cm)和温度，RO 纯水电导率(μs/cm)温度和取水时间，UP超纯水的电阻率(MΩ.cm)温度和取水时间。 ▲系统具备Advanced专用内置总有机碳量(TOC)检测装置与显示功能，设计符合USP(§643)要求检测范围0-999ppb,检测精度±1ppb ，提供在线的TOC检测 ▲系统具备精确测量功能：电导池的温度补偿为±0.10C，灵敏常数为0.01/CM ▲系统具备漏水检测、报警、显示功能 ▲系统具备耗材失效自动报警并提醒更换功能 ▲系统具备原水压力检测显示并校正功能 ▲系统具备密码设置保护功能 ▲内置静音隔膜泵，1米处< 30db. ▲独特的智能真彩色大屏幕LED液晶显示器和独有的多行显示系统，所有运行状况清楚明白，操作控制简单轻松。 ▲一机两用设计，可同时制备取用超纯水和纯化水，全面满足各类清洗、实验、分析、科研等用水 ▲具备开机自检、缺水保护报警、停电自动复位、纯水桶满水后自动停机、超低压保护、RO自动冲洗功能;

EDI超纯水系统操作技巧使用说明

XX責任有限公司 10T/H二級反滲透+EDI超純水系統操作說明書

目錄一、概述 (5) 二、工艺流程示意图 (6) 三、预处理系统 (7) （一）原水箱 (7) （二）原水泵 (7) （三）多介质过滤器 (8) （四）活性炭过滤器 (9) （五）阻垢剂加药系统 (11) （六）保安过滤器 (12) （七）PH调节加药系统 (12) 四、二级反渗透系统 (13) （一）I级反渗透高压泵 (13) （二）I级反渗透装置 (14) 1、RO膜外壳 (14) 2、RO膜元件 (14) 3、反渗透原理 (15) 4、反渗透技术指标的计算 (16) 5、I级反渗透系统的联锁保护 (17) 6、反渗透装置的启动和调试 (17) 7、反渗透装置的停运 (18)

8、反渗透膜通用信息 (19) 9、反渗透膜的维护保养 (19) 10、反渗透膜的清洗 (20) 11、反渗透膜元件的更换 (23) 12、陶氏膜元件用杀菌剂及保护液 (24) 13、膜元件的一般保存方法 (24) （三） I级反渗透水箱 (25) （四）II级反渗透高压泵 (26) （五）II级反渗透装置 (27) 1、RO膜外壳 (27) 2、RO膜元件 (27) 五、EDI处理系统 (28) （一）II级反渗透产水箱 (28) （二）EDI给水泵 (28) （三）紫外杀菌器 (29) （四）精密过滤器 (30) （五）EDI系统 (30) 1、EDI元件 (30) 2、EDI原理 (31) 2、EDI技术指标的计算 (32) 4、EDI系统的连锁保护 (33) 5、EDI装置的启动和调试 (33)

中国国家电子级超纯水标准.doc

附 1 中国国家电子级超纯水规格GB/ 电阻 >1μ m 率硅铜锌镍钠钾氯细菌磷酸根颗粒硝酸根硫酸根 25℃≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤个≤μTOC≤μ g/L ≤个≤ g/L ≤μ g/L MΩg/L g/L g/L g/L g/L g/L g/L /ml g/L /ml *cm EW-I ≥ 18* 2 1 1 1 1 20 ≥1 EW-II 10 0 0 1 2 2 1 5 1 1 1 100 ** 注* （ 95％时间不低于17）， ** （ 95％时间不低于13）中国国家电子级超纯水GB/－ 1997 标准指标级别EW－ⅠEW－ⅡEW－ⅢEW-Ⅳ 18 以上，（95％时间）不低电阻率MΩ， cm(25℃ ) 15，（ 95％时间）不低于13 于17

全硅，最大值 , μ g/L 2 10 50 1000 ＞ 1μ m微粒数，最大值，个 /mL 5 10 500 细菌个数，最大 10 100 ，个 /mL 铜，最大值，μ g/L 1 2 500 锌，最大值，μ g/L 1 5 500 镍，最大值，μ g/L 1 2 500 钠，最大值，μ g/L 2 5 1000 钾，最大值，μ g/L 2 5 500 氯，最大值，μ g/L 1 1 10 1000 硝酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500 磷酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500 硫酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500

总有机 201002001000 ，最大值，μg/L 电子级超纯水中国国家标准（GB/） >1μm微项目比电阻 MΩ.cm@25℃硅≤粒数 < 个细菌个数氧≤硝酸根≤磷酸根≤硫酸根总有机碳级别 μg/L /ml < 个/ml 铜≤μ g/L 锌≤μ g/L 镍≤μ g/L 钠≤μ g/L 钾≤ g/L μg/L μg/L μg/L ≤μg/L ≤μg/L 18（ 95%的时间不低于 EW-Ⅰ 2 1 1 1 1 20 17） 15（ 95%的时间不低于 EW-Ⅱ10 5 1 1 1 2 2 1 1 1 1 100 13）

高纯水设备的本质介绍分析资料下载

高纯水设备的本质介绍分析资料下载一、高纯水设备(EDI)概述： EDI高纯水设备作为制取超纯水的设备，作为反渗透设备后的二次除盐设备，可以制取出高达10-18.2MΩ.CM。因此广泛用于微电子工业，半导体工业，发电工业，制药行业和实验室。也可以作为制药蒸馏水、食物和饮料生产用水、发电厂的锅炉的补给水，以及其它应用高纯水。该技术资料由莱特莱德长沙高纯水设备厂家提供二、高纯水设备的本质及原理

连续电除盐(EDI，Electro deionization或CDI，continuous electrode ionization),是利用混和离子交换树脂吸附给水中的阴阳离子，同时这些被吸附的离子又在直流电压的作用下，分别透过阴阳离子交换膜而被除去的过程。这一过程离子交换树脂是电连续再生的，因此不需要使用酸和碱对之再生。这一新技术可以替代传统的离子交换装置，生产出高达18M-CM的超纯水。又可以比较清晰地描述如下：EDI是利用阴、阳离子膜，采用对称堆放的形式，在阴、阳离子膜中间夹着阴、阳离子树脂，分别在直流电压的作用下，进行阴、阳离子交换。而同时在电压梯度的作用下，水会发生电解产生大量H+和OH-，这些H+和OH-对离子膜中间的阴、阳离子不断地进行了再生。由于EDI不停进行交换——再生，使得纯水度越来越高，所以，轻而易举的产生了高纯度的高纯水。三、EDI高纯水设备的组成部分 1、采用美国进口Electropure XL-400模块5块; 2、美国Hanna电阻率、电导率在线监侧仪表一组; 3、电源控制系统：主要电器元件为施乃得、欧姆龙及国产优质器件，采用PLC控制，电动球阀、施乃得电器元件; 四、EDI高纯水设备性能优势：

优普系列超纯水机操作规程

优普系列超纯水机操作规程 1 适用范围：本规程适用于优普系列超纯水机。主要用于实验室用UP超纯水和RO纯化水的制备。 2 编制依据：本规程依据优普系列超纯水机使用说明书编制。 3 仪器工作原理：预处理系统 3.1.1利用PP聚丙烯纤维滤芯有效消除水中铁锈和泥沙。 3.1.2含碳量高达80%的高效柱状活性碳滤芯，对源水中余氯、异色、有机物等杂质可以高效吸附过滤。反渗透系统反渗透为美国原装系统。后处理系统 3.3.1采用威固紫外线杀菌仪，能有效降低TOC和杀菌。 3.3.2采用美国ROHMHASS公司高纯水专用原子级离子交换树脂。 3.3.3终端超滤，保证除去细菌等。 4 仪器技术参数：进水条件：城市自来水或地下水最小供水压力：最小供水流量：0.3m3/h PH范围：6—8 溶解性总固体：TDS≤200mg/L（超过此值建议配置软水器）温度：5℃ ~ 40℃（本机制水量指RO膜25℃时产水量，温度下降1℃，RO 膜产水量约下降3 % ，当水温接近0℃时，RO膜将停止产水）余氯：≤L (注：UPH-W机型要求进水为蒸馏水或去离子水) 电导率：≤10μs/cm

溶解性总固体TDS：3 mg/L 微生物含量：≤1CFU/mL 总有机碳TOC：≤50μg/L 5 操作步骤：把源水从“源水进水”接口接入，把水箱接至“水箱借口”，把废水接至“废水排放”。打开进水，打开机箱后部电源。设备开始自检画面，在自检中超滤排水阀运行8秒。自检18秒后当进水水源压力稳定时，同时水箱未满时，设备开始制水。（屏幕显示“系统制水中”，右面水箱符号为未满状态，同时显示“制”字）当水源水压不足时，屏幕显示“系统保护中”右面水箱符号低下显示“保”字。同时设备停止工作，但能取出RO水或UP水。当水箱制满水后，设备自动停止，屏幕显示主画面，右面的水箱符号为满水状态，在下方显示“停”字。当按下设置/确认键后，进入人机对话窗口。按向上、向下键来选择菜单项。进入预约RO水项，预约时期可以设定定时取水时期，预约时间可以设定取水时间，流量可以设定从1升至50升。当设定好预约后，当时间到时，自动按设定好的取水升数取水。（注：因为在无流量计的情况下，取水升数为大概数值。）取水时，屏幕显示取用RO水，同时显示取水电导值，水温、流量等信息，当取水升数达到设定值后停止取水。预约UP水同预约RO水。不同点就是当UP水电阻值低于取水下限时，不能取水。 UP水设置。该项设置UP水取水下限值，从2MΩ到18MΩ，该项功能为当UP水电阻值低于设定下限值时，按UP键和预约UP水不能取出UP水。同时显示“低于取水下限”。历史纪录:该项功能为从最新取水记录到前30次的取水记录。每项记录有取水时间、日期，取水电导或电阻值，取水温度，取水升数。

超纯水设备满足电子级超纯水制取需求

根据相关统计数据，2019年全球人工智能芯片市场规模将达到110亿美元。随着人工智能技术的成熟和数字基础设施的不断完善，人工智能芯片市场也迎来了快速增长期。预计2025年全球人工智能芯片市场将达到726亿美元。 2020年光电子产业博览于2020年11月30日-12月2日在北京国家会议中心举办。本届博览会覆盖光电子领域全产业链，聚焦行业应用，为制造商提供新思路及解决方案，终端买家精准对接，近年来，由于芯片制程对设计规则之需求朝更精密更细小的趋势发展，因而对行业用水的水质要求也越趋严格，在此背景下，莱特莱德超纯水设备已经成为行业用水新“潮流”。超纯水设备通常由石英砂过滤器，活性碳过滤器，阻垢剂、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人值守，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。超纯水设备工艺流程自来水进入原水箱，通过原水泵增压，经砂滤器、炭滤器、阻垢剂加药、保安过滤器，到达反渗透单元，经两级反渗透过滤进入EDI

单元，抛光混床单元，EDI出水进入纯水水箱，此时水质的电阻率是15兆欧，经过抛光混床后，产水电阻率达到18兆欧，但是不进入水箱，直接进入用水点。因为水箱中若出现产水滞留，会影响产水水质。纯水供水设计为循环方式，经纯水供水泵增压，通过紫外线消毒器、抛光混床接入纯水供水管，到达使用点。 AI芯片经过数年的探索，已经开始在多个市场应用中初露锋芒。在这个过程当中，AI芯片发展的挑战和技术方向也逐渐明晰了起来。莱特莱德超纯水设备能连续稳定地制备出高质量的超纯水，不会因树脂再生而停止运行。设备的结构设计比较紧凑，占地面积很小，可以为企业节省大量空间。设备出厂前需要进行检验，设备故障概率小，日常维护和维修操作非常简单。

简述电子超纯水设备工艺步骤内容详解

简述电子超纯水设备工艺步骤内容详解超纯水设备可以将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。设备产水电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm极限值。集成电路工业中超纯水设备用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水设备产出的超纯水。依各种原水水质和用户要求的不同，超纯水设备的工艺大体可分为预处理、脱盐和精处理三步。预处理包括砂滤、多介质过滤、软化、加氯、调节pH、活性碳过滤、脱气等。过滤可除去 1～20微米大小的颗粒，软化和调节pH可防止反渗透膜结垢，加氯是杀菌。活性碳过滤是除去有机物和自由氯，脱气是清除溶于水中的CO2等。脱盐包括反渗透、离子交换。反渗透是渗透现象的逆过程,在浓溶液上加压力,使溶剂从浓溶液一侧通过半透膜向稀溶液一侧反向渗透，脱盐可达98%，并能除去99%的细菌颗粒和溶解在水中的有机物。离子交换的原理是当水通过阳离子交换树脂时，水中的阳离子被阳离子交换树脂吸附，树脂上可交换的阳离子如

H离子被置换到水中，并和水中的阴离子结合成相应的无机酸，如超纯水：这种含有无机酸的水，当下一步通过阴离子交换树脂层时，水中的阴离子被阴离子交换树脂吸附。树脂上可交换的阴离子如OH离子被置换到水中,并与水中的H离子结合成水，即超纯水精处理包括紫外线杀菌、终端膜过滤和超滤。紫外线消毒器紫外线杀菌是因生物体的核酸吸收紫外线光的能量而改变核酸自身结构,破坏核酸功能而使细菌死亡。杀菌最强的光谱波长为2600埃。各种膜过滤能除掉直径大于 0.2微米的颗粒，但对于清除有机物则不如反渗透和超滤有效。反渗透设备超滤是把各种选择性的分子分离。在超滤过程中，水在压力下流过一个卷式或中空纤维膜棒。膜孔径在10～200埃范围内,薄膜厚度为0.1～0.5微米,附在一个中孔的纤维棒内壁上，超滤能除去细菌和 0.05微米的粒子。电子工业超纯水概述超纯水设备广泛应用于半导体、花式棉花糖集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路。集成电路的集成度越高，线宽越窄，对水质的要求也越高。反渗透设备目前我国电子工业

Milli-Q Synthesis 超纯水系统中文使用说明书

Milli-Q Synthesis 超纯水系统中文使用说明书 Milli-Q Synthesis超强组合型详细说明： IVF等极为困难的特殊培养以及分子生物学实验专用 Milli-Q Synthesis系结合Gradient所采用的短波UV灯(185nm)以及Biocel所采用的5,000分子量的UF 膜，其产水的TOC值可在5ppb以下(当进水的TOC值低于50ppb)，热源则低于0.001EU/ml的新型超纯水装置。本系统特别适用在容易受到水质影响的IVF或是DNA、RNA等分子生物学实验。当然，Milli-Q Synthesis 的产水也可使用在需高灵敏度的HPLC检测上。功能 ◆TOC数值显示 ◆电阻率显示 ◆水温显示 ◆纯水柱更换显示 ◆“A10”UV灯更换显示 ◆UV灯更换提示 ◆UF膜自动清洗 ◆消毒提醒 ◆定期循环 ◆定量取水 ◆取水纯度设定 ◆运转状态输出需加装“A10”TOC检测仪技术指标产水量 1.5L/min 电阻率18.2MΩ·cm(25℃) 总有机碳TOC 〈5ppb 热源0.001EU/mL 细菌〈1cfu/mL 颗粒〉0.22um 〈1P/mL Elix产水作为进水，其TOC值低于50ppb Millipore公司是驰名世界的纯水及超纯水设备制造商，根据用户的独特要求设计制造出一系列不同的纯水及超纯水系统。其中Milli-Q系列更是所有从事化学分析、生化研究及细胞培养所不可缺少的，该系统以反渗透水、蒸馏水、Elix水或去离子水为进水，随时提供符合美国材料试验学会(ASTM)、美国病理学会(CAP)

和临床医学会(NCCLS)规定的I级(试剂级)超纯水。 a)纯化系统将自来水作初步处理，一般包括预过滤（深层过滤及膜过滤）和反渗透或蒸馏法，而反渗透因其污染物去除率达到90%-95%以上，回收率达20%-40%以上，效益比传统纯蒸馏法更理想，因此是Milli-Q超纯水系统的理想进水。另外，Millipore为配合日渐普及的微量分析，研制出Elix连续电流去离子系统，结合反渗透及连续电流去离子技术的优点——经济高效(R〉5MΩ·cm)，可用于一般实验室作分析用水，又因其出水质量高，如作为Milli-Q的进水，更能提高Milli-Q纯化柱的使用寿命及出水水质。 b)存储系统纯化水在一般出水罐中储存会吸收环境中的杂质，使水质变坏。另外，光照也会引起微生物滋生种种杂质，并且微生物会严重影响下游的超纯系统。Millipore专利设计的储水系统能有效改善以上问题，长期保持水质，提高Milli-Q水的质量。 c)超纯水系统将纯水作超纯化处理，出水水质可以达到电阻率：18.2MΩ·cm，总有机物〈10ppb，配合不同设计的超纯化柱，能有效去除水中的热源及有机物，适合所有高灵敏度实验的要求。此外，Millipore的纯水及超纯水系统能外接打印机，打印出水水质资料，符合优良实验室标准(GLP)，Millipore产品更得到了ISO9002质量认证，制造工艺符合GMP规范。最新Milli-Q超纯水系统包括：Milli-Q Academic/Biocel/Gradient/Synthesis/Element系列。独特设计的新一代增强型Milli-Q Century超纯水系统可提供最高品质的超纯水：根据进水水质不同和用途不同，可灵活选用不同的QG预纯化柱和QU超纯化柱如果偶尔对热源或RNA酶有要求，可选择Pyrogard D一次性超滤柱新的定时流量出水开关，可使取水做到定时或定量，而且流速校正简单快捷采用POU(Point of Use)装置：伸展灵活的供水操作臂使采水操作更加方便；也可选择脚踏开关，远距离显示和取水装置，使取水和操作更加灵活方便高精度的水质测量系统，精确测量产水的电阻率，并有TOC测量可供选择(TOC测量范围1-999ppb，符合USP24) 整机符合优良实验室标准(GLP)，备有RS232输出接口，也可选择Millipore最新的Explore Data 软件将自己的PC机与纯水系统相连，下载历史数据和水质报告，使实验室环境网络化采用新型加压泵噪音更小，真正静音操作(1米处小于40db) 整机设计小巧即可挂墙又可在桌面上使用，也可选择分体式设计，最大程度的节约实验室空间有最大的灵活组合性和升级性不同的超纯水应用，对应于不同颜色的前门，改变实验室仪器单一色彩格调，增加一点轻松以基础应用型Milli-Q Academic型为基础，对于各种不同的应用领域和不同的技术分析目的要求，可增加或调整不同的水处理组件，组合成一系列的Milli-Q超纯水系统，满足不同实验室的不同分析要求 Milli-Q超纯水系统应用简介