ESD防静电管理规范

2. 3.
4.
4.1 4.2
4.3 4.4 4.5 4.6 4.7 4.8 4.9 4.10 4.11 4.12注：
5.1
5.1.1
15 防静电椅子电阻测试记录表品质部6个月抽测6个月
11附录a
附录1：《ESDS元器件分类》
I级：（0V ~ 1999V）
序号元器件类别条件及说明
1 微波器件包括肖特基二极管，点接触二极管，频率大于1GHz的二极管
2 分立MOS场效应管包括VWOS及VDMOS等等
3 表面声波（SAW）器件
4 结型场效应管
5 电荷耦合器件
6 精密稳压二极管
7 运算放大器包括双极型工艺及MOS工艺
8 超高速集成电路包括ECL、HCMOS、FAST等工艺
9 其他集成电路包括CMOS、PMOS、NMOS、TTL等
10 薄膜电阻器
11 混合电路使用I级静电敏感元器件组装的混合电路
12 可控硅T A=100℃TO≤0.175A
II级：（2000V ~ 3999V）
序号元器件类别条件及说明
1 分立MOS场效应管包括VMOS、VDMOS等
2 结型场效应晶体管
3 运算放大器包括双极工艺和MOS工艺
4 超高速集成电路
5 其他集成电路包括CMOS、PMOS、NMOS、TTL等
6 精密电阻网络包括ECL、HCMOS、FAST等工艺
7 混合电路使用II级静电敏感元器件组装的混合电路
8 低功率双极工艺晶体管P T<100mW, I C<100mA
附录2：《防静电地板表面电阻/系统电阻测试方法》
1.按下图确定防静电地板测试点
每一个方格均代表一块地板，测试用的电极一个放在中间的地板上，另外一个电极依次放在此地板相对角的四块地板上面，测量其表面电阻值。

2.随机抽样测试点不少于20个区域，按下图所示，每点测量地板4点表面电阻值，并记录数据
3.随机抽样测试点不少于5个区域，按下图所示测量地板系统电阻，并记录数据
附录3：《防静电台垫/地垫电阻测试方法》
1.按下图所示，每张台垫/地垫测量2组表面电阻值，并记录数据
2.按下图所示，每张台垫/地垫测量2组对地电阻值，并记录数据
附录4：《防静电容器电阻测试方法》
1.按下图所示，测量容器表面电阻值，并记录数据
2.按下图所示，测量容器体积电阻值，并记录数据
附录5：《防静电运输工具/存放架测试方法》
1.按下图所示，测量运转车/存放架电阻值，并记录数据
附录6：《防静电工衣表面电阻测试方法》
1.将防静电工衣平坦展开放置在光滑的绝缘电阻大于1E12欧姆的平板表面上
2.测试用两电极应顺着导电丝放置
3.按上图所示，测量3个测试点：同片测试（裤腰以上一点对裤腰以下一点）；袖对腰下部位测试（袖对裤
腰以下一点）（对于连体服，用袖对脚测试取代袖对腰测试）；袖对袖测试。

其中连体服需要加测鞋套的对地电阻。

附录7：《普通防静电材料电阻测试方法》
1．对于新引入的物料要求随机抽样至少三个样品，每一个样品至少随机测量三次。

材料的测试纪录应包括表面电阻和体积电阻。

2．表面电阻的测试方法：将材料放置在一个光滑、平整、洁净，且表面绝缘电阻大于1E12欧姆的台面。

在材料表面放置两个测试电极(30cm是建议值，如果材料小于这个尺寸，则电极放在两对角面上)，如下图所示:
3．体积电阻的测试方法：将材料放置在一个光滑、平整、洁净，且表面电阻小于10欧姆的金属面上，一个电极放置在金属面上，另外一个电极放置在被测物上。

对于烙铁，只需要测量热的金属头到地之间的电阻。

附录8：《防静电工椅的测试方法》
1.要求随机抽样至少5个样品，每一个样品至少随机测量三次（三个点）。

防静电工椅的测试纪录应包括表面
电阻和体积电阻。

2.表面电阻的测试方法：在表面放置两个测试电极，如下图所示:
3.体积（对地）电阻的测试方法：一个电极放置在金属面上，另外一个电极放置在椅子上。

注意，在生产线
进行定期检测的时候，允许直接把一个电极放置在防静电地板上，另外一个电极放置在椅子上。

附录9：《物体表面的静电压测量方法》
1.使用Simco FMX002静电压表去测量物体表面的静电压，要注意以下几点：仪表的红外灯指示器要两个重
合，才算对焦，此时仪表距离被测物大约2.5厘米。

静电压表在使用的过程中需要接地。

否则读数不准确。

静电压表的读数的单位为KV。

测试图例如下:
附录10：《悬挂式/台式离子风机测试方法》
1.测量悬挂式离子风机应使用标准的离子风机测试仪，在评估新引入的离子风机时候需要测量标准的12个点
的平衡电压和消电时间。

在平时的定期测量时，只需测量3个风扇口正下方的平衡电压和消电时间。

标准的12个点（以小网格表示）如下所示：
2.对每一个点均应测量不少于三次。

对每一个测试点的平衡电压的测量时间不得少于1分钟。

应纪录平衡电
压的最大（偏移零点最远）值。

消电时间应纪录最大值。

3.对新引入的悬挂式离子风机的要求列表：（ANSI / ESD STM3.1-2000 / ANSI / ESD S20.20-1999只对平衡电压
提出了要求，未强制规定消电时间，因此，下表的平衡电压是强制执行，消电时间只是建议值）
位置
低风速高风速
平衡电压(V) 消电时间(S) 平衡电压(V) 消电时间(S)
Center TP5&TP8
0 + 50 V
< 15 s
0 + 50 V
< 10 s TP2&TP11 < 25.0 s < 20.0 s
30 cm Left TP1&TP10
0 + 50 V
< 25.0 s
0 + 50 V
< 20.0 s TP4&TP7 < 20.0 s < 15.0 s
30 cm Right TP3&TP12
0 + 50 V
< 25.0 s
0 + 50 V
< 20.0 s TP6&TP9 < 20.0 s < 15.0 s
4.测量台式离子风机应使用标准的离子风机测试仪测试，在评估新引入的离子风机时候需要测量标准的12个
点的平衡电压和消电时间。

在平时的定期测量时，只需测量正对风扇口30厘米和60厘米两个点的平衡电压和消电时间。

标准的12个点（以黑竖条表示）如下所示：
5.对每一个点均应测量不少于三次。

对每一个测试点的平衡电压的测量时间不得少于1分钟。

应纪录平衡电
压的最大（偏移零点最远）值。

消电时间应纪录最大值。

6.对新引入的台式离子风机的要求列表：（ANSI / ESD STM3.1-2000 / ANSI / ESD S20.20-1999只对平衡电压提
出了要求，未强制规定消电时间，因此，下表的平衡电压是强制执行，消电时间只是建议值）
位置
低风速高风速
平衡电压(V) 消电时间(S) 平衡电压(V) 消电时间(S)
center 1ft(TP2)
0 + 50 V
< 5.0 s
0 + 50 V
< 3.0 s 2ft(TP5) < 8.0 s < 6.0 s 3ft(TP8) < 12.0 s < 10.0 s 4ft(TP11) < 20.0 s < 15.0 s
30 cm Left 1ft(TP1)
0 + 50 V
NA
0 + 50 V
NA
2ft(TP4) < 30.0 s < 25.0 s 3ft(TP7) < 15.0 s < 12.0 s 4ft(TP10) < 25.0 s < 20.0 s
30 cm Right 1ft(TP3)
0 + 50 V
NA
0 + 50 V
NA
2ft(TP6) < 30.0 s < 25.0 s 3ft(TP9) < 15.0 s < 12.0 s 4ft(TP12) < 25.0 s < 20.0 s
附录11《手套/手指套的测量方法》
1.穿戴对地电阻测试：操作员把测试仪的两个电极分别放在两块互相绝缘的金属板上面, 然后操作员戴上手
套/手指套。

操作员把戴有手套/手指套的大拇指和食指分别按住那两块金属板，然后按下测量开关，并等读数稳定后读出测试仪上的读数，并记录下来。

操作员分别用大拇指和其它的手指按住金属板，然后读出测试仪上的读数，并记录下来。

每一种手套/手指套均需要测量5个（含）以上的样品，每次测量均记录最大值。

2.表面摩擦电压测试：操作员戴上1兆欧的标准手腕带，鳄鱼夹夹在接地线上面并确认接地良好。

操作员戴
上手套/手指套。

一只手拿取高绝缘的塑料板，另一只手/手指摩擦塑料板十次，然后测量手套/手指套上面的静电压，记录最大值。

注意：仪器要离绝缘板30厘米以上，以免影响读数。

每一种手套/手指套均需要测量5个（含）以上的样品，每次测量均记录最大值。

附录12防静电标准列表：
表面电阻系统/穿戴电阻消电时间摩擦/平衡电压
防静电地板/防静电台垫/地垫1E4~1E9Ω1E4~1E9Ω
防静电包装袋/容器1E4Ω ~ 1E11Ω1E4Ω ~ 1E10Ω
防静电小推车/周转车小于1E9Ω小于1E9Ω
防静电镊子/吸钳/吸锡器1E4Ω ~ 1E11Ω1E5Ω ~ 1E10Ω
防静电文件袋(夹) 1E4Ω ~ 1E11Ω
防静电烙铁小于10Ω
防静电架子/元件架/防静电椅小于1E9Ω小于1E9Ω
设备/工作台接地电阻（直接）小于10Ω
设备/工作台接地电阻（带电
0.8E6~1.2E6Ω
阻）
厂房接地电阻小于10Ω
一般防静电物料1E4Ω ~ 1E11Ω1E4Ω ~ 1E11Ω
防静电工作服1E5Ω ~ 1E10Ω小于1E9Ω
防静电工作鞋小于1E9Ω
防静电手腕带小于1E3Ω1E6Ω±20%
防静电手套/指套1E5Ω ~ 1E11Ω<50V
防静电工作鞋1E5Ω ~ 3.5E7Ω
防静电手腕带7.5E5Ω ~ 3.5E7Ω
防静电离子风机（悬挂式）<10Second (正下方) ±50V
防静电离子风机/风枪（台式）<3Second (正中央) ±50V
附录13 测量仪器的选择
1．表面电阻及体积电阻的测量应由专用的电阻表测量，所有电阻大于1E3欧姆的均由兆欧表测量（具备10V和100V测试电压），所有小于1E3欧姆的均由万用表测量。

所有接地线的接地电阻均由数字万用表测量。

2．静电中和时间和平衡电压由离子风机测试仪测量，（显示精度为1V，最高量程为1KV，时间精度最为0.1S）3．材料的摩擦电压由非接触式静电压表测量（显示精度为10V，最高量程为20KV，测量精度±10%）
附录14 防静电标识
见到此标识，则说明此工作区域或产品是静
电敏感的，进入此区域或操作此产品时需要
做好防静电准备。

见到此标识，则说明此产品是静电敏感的，
同时也是经过防静电包装的，可以进行运输
使用。

拆开包装前需要做好防静电准备。