四氟化碳安全技术说明书
MSDS四氟化碳
七、操作处置与储存
处 置： 防止对钢瓶造成物理损伤，不要拖、拉、滚或踢钢瓶。储存区温度不能超过50℃（122
℉）。只有经过适当培训和有经验的人员才能操作压缩气体。使用前要察看标签进行确认。使 用前应知道和了解产品的特性和危险。如果对操作某种特定气体的方法有疑问，请咨询供应 商。不要除去或破坏供应商提供的用于确认钢瓶中物质的标签。搬运钢瓶时，即使是较短的距 离，应用拖车（推车、手推车等）搬运。一定要盖好阀帽，直到钢瓶被固定在墙上，架子上或 设备中准备使用。用可调节的带扳手打开过紧或锈蚀的阀帽。在连接钢瓶前要注意以下事项： 气体系统是否合适，尤其是压力范围和材质。在连接容器使用前，禁止从体系到容器的反馈。 确保整个气体体系与压力等级和结构材料是兼容的。在使用前应确保整个气体体系已被检查无 泄漏。当气体以低于容器的较低的压力等级释放到体系内时，采用合适的压力调节装置。不允 许将东西插入阀帽中（如扳手，螺丝刀，撬棍等）。否则会损坏阀门，造成泄漏。缓慢开阀。 当用户操作气瓶阀遇到任何困难时，停止使用并联系供应商。即使连接在设备上，在每次使用 后和用空后也要关闭阀门。不要试图修理钢瓶阀门和泄压装置。如果阀门损坏应立即报告供应 商。每次使用后和倒空时应关闭阀门。将钢瓶从设备上拆下来后，应尽快更换出口堵头。不要 对钢瓶进行不正常机械振动，否则可能损坏阀门和泄压装置。不要试图用阀盖来提升钢瓶。钢 瓶只能用作气体的容器，不能用作辊子，支撑物或其他用途。不要再压缩气体钢瓶上起电弧或 使它成为电路的一部分。在操作气体或钢瓶时禁止吸烟。在咨询供应商前，不要对气体进行再 次压缩。不要试图将气体从一个钢瓶传输到另一个钢瓶。在管线上使用止逆装置。在返还钢瓶 时要安装阀门出口堵头。不要用明火或电加热设备提高容器内的压力。容器温度不能超过50℃ （122℉）。应避免长期低于-30℃（-20℉）。
四氯化碳安全技术说明书
化学品安全技术说明书第一部分化学品及企业标识化学品中文名：四氯化碳；四氯甲烷化学品英文名：carbon tetrachloride；tetrachloromethane生产企业名称：地址: 邮编:电子邮件地址：技术说明书编码: 登记号:生效日期: 传真号码:企业应急电话：第二部分成分/组成信息纯品混合物有害物成分浓度CAS No.四氯化碳≥99.5％56-23-5第三部分危险性概述危险性类别：第6.1类毒害品侵入途径：吸入、食入、经皮吸收健康危害：高浓度本品蒸气对粘膜有轻度刺激作用，对中枢神经系统有麻醉作用，对肝、肾有严重损害。
急性中毒：吸入较高浓度本品蒸气，最初出现眼及上呼吸道刺激症状。
随后可出现中枢神经系统抑制和胃肠道症状。
较严重病例数小时或数天后出现中毒性肝肾损伤。
重者甚至发生肝坏死、肝昏迷或急性肾功能衰竭。
吸入极高浓度可迅速出现昏迷、抽搐，可因室颤和呼吸中枢麻痹而猝死。
口服中毒肝肾损害明显。
少数病例发生周围神经炎、球后视神经炎。
皮肤直接接触可致损害。
慢性中毒：神经衰弱综合征、肝肾损害、皮炎。
环境危害：燃爆危险：本品不燃，有毒。
第四部分急救措施皮肤接触：脱去污染的衣着，用肥皂水和清水彻底冲洗皮肤。
就医。
眼睛接触：提起眼睑，用流动清水或生理盐水冲洗。
就医。
吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。
保持呼吸道通畅。
如呼吸困难，给输氧。
如呼吸停止，立即进行人工呼吸。
就医。
食入：饮足量温水，催吐。
洗胃。
就医。
第五部分消防措施危险特性：本品不会燃烧，但遇明火或高温易产生剧毒的光气和氯化氢烟雾。
在潮湿的空气中逐渐分解成光气和氯化氢。
有害燃烧产物：光气、氯化物。
灭火方法：消防人员必须佩戴过滤式防毒面具(全面罩)或隔离式呼吸器、穿全身防火防毒服，在上风向灭火。
灭火剂：雾状水、二氧化碳、砂土。
第六部分泄漏应急处理应急行动：迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，并进行隔离，严格限制出入。
建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防毒服。
四氯化碳安全技术说明书
场人员，但不要对泄漏点直接喷水。
用泵转移至槽车或专用收集器内，回收或运至废物处理场所处置。
第七部分：操作处置与储存操作注意事项：密闭操作，加强通风。
操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。
建议操作人员佩戴直接式防毒面具（半面罩），戴安全护目境，穿防毒物渗透工作服，戴防化学品手套。
防止蒸气泄漏到工作场所空气中。
避免与氧化剂、活性金属粉末接触。
搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏。
配备泄漏应急处理设备。
倒空的容器可能残留有害物。
储存注意事项：储存于阴凉、通风的库房。
远离火种、热源。
库温不超过30℃，相对湿度不超过80％。
保持容器密封。
应与氧化剂、活性金属粉末、食用化学品分开存放，切忌混储。
储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。
第八部分：接触控制/个体防护中国MAC(mg/m3)： 25[皮]前苏联MAC(mg/m3)：未制定标准TLVTN： OSHA 10ppm; ACGIH 5ppm,31mg/m3[皮]TLVWN： ACGIH 10ppm,63mg/m3[皮]监测方法：气相色谱法工程控制：生产过程密闭，加强通风。
呼吸系统防护：空气中浓度超标时，应该佩戴直接式防毒面具（半面罩）。
紧急事态抢救或撤离时，佩戴空气呼吸器。
眼睛防护：戴安全护目境。
身体防护：穿防毒物渗透工作服。
手防护：戴防化学品手套。
其他防护：工作现场禁止吸烟、进食和饮水。
工作完毕，淋浴更衣。
单独存放被毒物污染的衣服，洗后。
四氟化碳
四氟化碳
发布时间:2006-1-23 17:45:55
公司不断致力于含氟电子气的研发及产业化工作，已建成国内首家四氟化碳生产线。
英文名称：Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane
分子式：CF4。
相对分子量：88.00
物理化学性质：在常温下，四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体，沸点：-128℃，熔点：-183.6℃。
液体密度1.613g/cm3(-130℃)，临界温度-45.67℃，临界压力：3.74Mpa，介电常数：1.0006(25℃,0.5Mpa)。
挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一，在900℃时，不与钢、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25摄氏度及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。
用途：四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
包装运输：四氟化碳对金属、合金不腐蚀，可用无缝钢瓶和铝合金容器装运，充瓶压力通常低于12.5Mpa，按压缩气体运输，钢瓶每五年检验一次，国外规定可用汽车、火车、轮船和飞机运输，国内目前无规定。
四氟化碳产品质量标准
QUALITY STANDARD FOR CF4。
CF4
—
—
—
—
—
个人防护设备：
呼吸防护：自携带式全面呼吸防护器。
手部防护：长橡皮手套。
眼睛防护：安全护目镜、面罩。
皮肤及身体防护：防护衣。
卫生措施：1.工作后尽速脱掉污染之衣物，洗净后才可再穿戴或丢弃，且须告知洗衣人员污染物之危害性。
2.工作场所严禁抽烟或饮食。
3.处理此物后，须彻底洗手。
3.远离火源或热源。
4.储存钢瓶时关闭阀门，且盖上外盖保护头。
5.钢瓶应避免撞击、撞倒或掉落等造成钢瓶泄漏或损坏。
八、暴露预防措施
工程控制：：－
容许浓度
生物指标(BEI)
八小时日时量平均容许浓度(TWA)
短时间时量平均容许浓度(STEL)
最高容许浓度(Ceiling)
LD50
(测试动物、吸收途径)
LC50
特殊运送方法及注意事项：－
十五、法规资料
适用法规：
高压气体劳工安全规则
十六、其它资料
参考文献
日本"高压气体法规”
日本"碳氟化合物协会”
制表者单位
名称：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地址/电话：上海浦东张江高科园区张江路18号86-21-50802000
制表人
职称：FAB1 ISEP
姓名（签章）：张君正
特殊灭火程序
－
消防人员之特殊防护装备
－
六、泄漏处理方法
个人应注意事项
－
环境注意事项
－
清理方法
1.疏散周遭人员将危险区划分隔离并响起警报。
2.进入危险现象时请穿适当个人防謢器具，处置者位于上风处迅速将阀门关闭，或阻塞泄漏处泄漏，若不能停止泄漏迅将钢瓶移往空旷处并喷大量水雾，以减少蒸气或溢出之蒸气漂流，注意避免让水沿泄漏处进入容器。
四氟化碳安全技术说明书
避免接触条件：高热、火种
禁 配 物：无资料
分解产物：四氟化碳受热分解出氟化氢，
聚合危害：无资料
十一、毒理学资料
急性毒性：吸入高浓度的四氟化碳出现呼吸困难、呕吐等窒息症状。
致 敏 性：无资料
亚急性或慢性毒性：无资料
致突变性：无资料
致 畸 性：无资料
致 癌 性：无资料
其 它：无资料
十二、生态学资料
眼睛接触：立即用水冲洗受伤部位，如果产生冻疮须就医诊治。
食 入：无资料
五、消防措施:
危险特性：盛装四氟化碳的钢瓶在日光下曝晒或受热后瓶内压力增大或钢瓶头被摔坏容易引起爆炸。
有害燃烧产物：无资料
灭火方法及灭火剂：可用水或沙土。
灭火注意事项：火灾时可用水龙头喷水保持火场容器冷却。
六、泄露应急措施:
应急处理：撤离立即受影响的区域,对该区域加强通风,检测氧气含量。应使用适当的防护设备（自给式呼吸器）。如有可能，切断气源并将泄漏的钢瓶隔离。若从容器内及泄压阀或其他阀门泄漏，请与供应商联系。
十五、法规信息
法规信息：化学危险物品安全管理条例（2002年1月9日国务院发布），针对化学危险品的安全生产、使用、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定。
十六、其他信息
Hale Waihona Puke 参考文献：化学危险品安全技术全书、化学品安全技术说明书编写规定、常用化学危险品 贮存通则、气瓶安全监察规程
安全技术说明书
一、化学品及企业标识
中文名称：四氟化碳
别 名： 四氟甲烷
英 文 名：Tetrafluoromethane
生效日期：2009年9月1日
国家应急电话：公安紧急报警110、火警119、医院急救120
四氟化碳MSDS
四氟化碳MSDS四氟甲烷安全技术说明书化学品中文名称：四氟甲烷化学品俗名：四氟化碳化学品英文名称：tetrafluoromethane 英文名称：carbon tetrafluoride技术说明书编码： 76 CAS No.：75-73-0第二部分：成分/组成信息有害物成分含量CAS No.四氟甲烷99.999% 75-73-0第三部分：危险性概述危险性类别：侵入途径：健康危害：能引起快速窒息。
接触后可引起头痛、恶心和呕吐。
环境危害：燃爆危险：本品不燃，具窒息性。
第四部分：急救措施皮肤接触：眼睛接触：吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。
保持呼吸道通畅。
如呼吸困难，给输氧。
如呼吸停止，立即进行人工呼吸。
就医。
食入：第五部分：消防措施危险特性：不燃。
若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。
有害燃烧产物：氟化氢。
灭火方法：本品不燃。
切断气源。
喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。
第六部分：泄漏应急处理应急处理：迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。
建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。
尽可能切断泄漏源。
合理通风，加速扩散。
如有可能，即时使用。
漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。
第七部分：操作处置与储存操作注意事项：密闭操作，全面通风。
操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。
远离易燃、可燃物。
防止气体泄漏到工作场所空气中。
避免与氧化剂接触。
搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。
配备泄漏应急处理设备。
储存注意事项：储存于阴凉、通风的库房。
远离火种、热源。
库温不宜超过30℃。
应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。
储区应备有泄漏应急处理设备。
第八部分：接触控制/个体防护中国 MAC(mg/m3)：未制定标准。
四氟化碳气体技术说明
四氟化碳技术安全说明1化学品及企业标识中文名：四氟化碳英文名：Tetrafluoromethane 企业名称：广州市粤佳气体有限公司分子式：CF4 厂址：广州增城新塘西洲大王岗工业区分子量：88.005邮编：511340 化学类别：不燃气体2成分／组成信息主要成分：纯四氟化碳含量>99．99%；高纯四氟化碳含量>99．999％；超纯四氟化碳含量99.9999%四氟化碳用途：四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
由于四氟化碳的化学稳定性，四氟化碳可用于金属冶炼，例如：铜、不锈钢，碳钢、铝、蒙乃尔等；还可用于塑料行业3危险性概述危险性类别：第2．2类不燃高压压缩、窒息气体健康危害：四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体，对金属、合金不腐蚀，可用无缝钢瓶和铝合金容器装运，充瓶压力通常第一12.5Mpa，按压缩气体运输。
应急措施：高压气体，能引起快速窒息，可能需要配备自给式呼吸器（SCBA）潜在健康危害：吸入：高浓度可能引起窒息，窒息可能会造成无预警的失去意识，其速度非常快，受害人不能保护自己。
4急救措施一般建议：穿戴自给式呼吸器将患者移到废污染区，为患者保暖和休息。
就医。
使用人工呼吸。
眼镜接触：不适用皮肤接触：不适用摄取：不认为食入是潜在的接触途径吸入：移至空气新鲜处，如果呼吸停止或困难，给予人工呼吸，可能需要补充氧气。
如果心跳停止，应立即由受到培训的人员实施心肺复苏术。
如果气短，输氧气。
四溴化碳-安全技术说明书MSDS
第1部分化学品及企业标识化学品中文名：四溴化碳化学品英文名：Carbon tetrabromideCAS号：558-13-4分子式：CBr4分子量：331.63产品推荐及限制用途：工业及科研用途。
第2部分危险性概述紧急情况概述：吞咽有害。
造成皮肤刺激。
造成严重眼损伤。
GHS危险性类别：急性经口毒性类别4皮肤腐蚀/刺激类别2严重眼损伤/眼刺激类别1标签要素：象形图：警示词：危险危险性说明：H302吞咽有害H315造成皮肤刺激H318造成严重眼损伤防范说明：•预防措施：——P264作业后彻底清洗。
——P270使用本产品时不要进食、饮水或吸烟。
——P280戴防护手套/穿防护服/戴防护眼罩/戴防护面具。
•事故响应：——P301+P312如误吞咽：如感觉不适，呼叫解毒中心/医生——P330漱口。
——P302+P352如皮肤沾染：用水充分清洗。
——P332+P313如发生皮肤刺激：求医/就诊。
——P362+P364脱掉沾染的衣服，清洗后方可重新使用——P305+P351+P338如进入眼睛：用水小心冲洗几分钟。
如戴隐形眼镜并可方便地取出，取出隐形眼镜。
继续冲洗。
——P310立即呼叫解毒中心/医生•安全储存：——无•废弃处置：——P501按当地法规处置内装物/容器。
物理和化学危险：无资料健康危害：吞咽有害。
造成皮肤刺激。
造成严重眼损伤。
环境危害：无资料第3部分成分/组成信息第4部分急救措施急救：吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。
保持呼吸道通畅。
如呼吸困难，给输氧。
呼吸、心跳停止，立即进行心肺复苏术。
就医皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用肥皂水和清水彻底冲洗皮肤。
如有不适感，就医眼晴接触：分开眼睑，用流动清水或生理盐水冲洗。
如有不适感，就医食入：饮足量温水，催吐。
就医对保护施救者的忠告：将患者转移到安全的场所。
咨询医生。
出示此化学品安全技术说明书给到现场的医生看。
对医生的特别提示：无资料第5部分消防措施灭火剂：用水雾、干粉、泡沫或二氧化碳灭火剂灭火。
四氟化硅安全技术说明书(注意)
聚合危害：
分解产物：
急性毒性：
LD50：无资料
LC50：1275 mg/m3(大鼠吸入)( mg/kg(大鼠经口))
亚急性和慢性毒性：
刺激性：
致敏性：
致突变性：
致畸性：
致癌性：
生态毒理毒性：
生物降解性：
非生物降解性：
生物富集或生物积累性：
其它有害作用：
无资料。
废弃物性质：
废弃处置方法：
根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。
辛醇/水分配系数的对数值：
无资料
闪点(℃)：
无意义
爆炸上限%(V/V)：
无意义
引燃温度(℃)：
无意义
爆炸下限%(V/V)：
无意义
溶解性：
溶于乙醇、醚、硝酸、氢氟酸。
主要用途：
用于氟硅酸及氟化铅的制取，也用作水泥和人造大理石的硬化剂，有机硅化合物的合成材料。
其它理化性质：
稳定性：
禁配物：
强酸。
避免接触的条件：
呼吸系统防护：
空气中浓度超标时，佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩）。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴空气呼吸器。
眼睛防护：
呼吸系统防护中已作防护。
身体防பைடு நூலகம்：
穿密闭型防毒服。
手防护：
戴橡胶手套。
其他防护：
工作现场严禁吸烟。保持良好的卫生习惯。
外观与性状：
无色刺激性气体，易潮解，在潮湿空气中可产生浓烟雾。
pH：
危险性类别：
侵入途径：
健康危害：
本品对眼、皮肤、粘膜和呼吸道有严重损害。局部腐蚀作用强。严重中毒者可致肺炎、肺水肿。
湄格气体-四氟甲烷化学品安全技术说明书解读
第一部分：化学品名称技术说明书*化学品中文名称：四氟甲烷（H-14化学品英文名称：TETRAFLUOROMETHANE （H-14中文名称2：四氟化碳英文名称2：CARBON TETRAFLUORIDE技术说明书编码：76CAS No. ：75-73-0分子式：CF 4分子量：88.01第二部分：成分/组成信息有害物成分四氟甲烷含量CAS No. 75-73-0第三部分：危险性概述危险性类别：侵入途径：健康危害：能引起快速窒息。
接触后可引起头痛、恶心和呕吐。
环境危害：燃爆危险：本品不燃，具窒息性。
第四部分：急救措施皮肤接触：眼睛接触：吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。
保持呼吸道通畅。
如呼吸困难，给输氧。
如呼吸停止，立即进行人工呼吸。
就医。
食入：第五部分：消防措施危险特性：不燃。
若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。
有害燃烧产物：氟化氢。
灭火方法：本品不燃。
切断气源。
喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。
第六部分：泄漏应急处理应急处理：迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。
建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。
尽可能切断泄漏源。
合理通风，加速扩散。
如有可能，即时使用。
漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。
第七部分：操作处置与储存操作注意事项：密闭操作，全面通风。
操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。
远离易燃、可燃物。
防止气体泄漏到工作场所空气中。
避免与氧化剂接触。
搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。
配备泄漏应急处理设备。
储存注意事项：储存于阴凉、通风的库房。
远离火种、热源。
库温不宜超过30℃。
应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。
储区应备有泄漏应急处理设备。
第八部分：接触控制/个体防护职业接触限值中国MAC(mg/m3：未制定标准前苏联MAC(mg/m3：未制定标准TLVTN ：未制定标准TLVWN ：未制定标准监测方法：工程控制：生产过程密闭，全面通风。
四氯化碳安全技术说明书MSDS
第一部分化学品及企业标识化学品中文名：四氯化碳化学品英文名：carbon tetrachloride；tetrachloromethane化学品别名：四氯甲烷CAS No.：56-23-5EC No.：200-262-8产品推荐及限制用途：工业及科研用途。
第二部分危险性概述紧急情况概述液体。
吞食后有毒。
跟皮肤接触有毒。
吸入有毒。
有轻微致癌性风险。
长期暴露有严重损伤健康的危险。
对水生环境可能会引起长期有害作用。
对臭氧层有危害。
GHS危险性类别根据GB30000-2013化学品分类和标签规范系列标准（参阅第十六部分），该产品分类如下：急毒性-口服，类别3；急毒性-皮肤，类别3；急毒性-吸入，类别3；致癌性，类别2；特定目标器官毒性-重复接触，类别1；危害水生环境-慢性毒性，类别3；危害臭氧层，类别1。
标签要素-象形图警示词：危险危险信息：吞咽会中毒，皮肤接触会中毒，吸入会中毒，怀疑会致癌，长期或重复接触会对器官造成伤害，对水生生物有害并具有长期持续影响，破坏高层大气中的臭氧，危害公共健康和环境。
预防措施：使用前取得专业说明。
在阅读并明了所有安全措施前切勿搬动。
不要吸入粉尘/烟/气体/烟雾/蒸气/喷雾。
作业后彻底清洗。
使用本产品时不要进食、饮水或吸烟。
只能在室外或通风良好之处使用。
避免释放到环境中。
戴防护手套/穿防护服/戴防护眼罩/戴防护面具。
事故响应：如感觉不适，呼叫中毒急救中心/医生。
如感觉不适，须求医/就诊。
漱口。
如误吞咽：立即呼叫中毒急救中心/医生。
如误吸入：将受人转移到空气新鲜处，保持呼吸舒适的体位。
如接触到或有疑虑：求医/就诊。
立即脱掉所有沾染的衣服，清洗后方可重新使用。
安全储存：存放处须加锁。
存放在通风良好的地方。
保持容器密闭。
废弃处置：按照地方/区域/国家/国际规章处置内装物/容器。
参考制造商或供应商提供的回收或循环再用的信息物理化学危险：无资料健康危害：吸入本品在正常生产过程中生成的蒸气或气溶胶（雾、烟），可对身体产生毒害作用。
四氟甲烷MSDS
第一部分化学品及企业标识化学品中文名称：四氟甲烷/CF4化学品俗名或商品名：四氟甲烷或四氟化碳化学品英文名称：Tetrafluoromethane 或 Halocarban-14第二部分成分/组成信息纯品□混合物化学品名称：CF4 化学式；CF4有害物成分: CF4 浓度: >99%CAS No.：75-73-0第三部分危险性概述危险性类别：2.2不可燃气体（包括助燃气体）侵入途径：吸入健康危害：急性潜在健康影响眼睛接触：无不良影响摄入：摄入不可能成为接触四氟甲烷的途径。
吸入：它会置换出空气中的氧而引起窒息。
暴露在氧气含量<19.5%的大气中会导致头晕、昏迷、口水增多、反应迟钝、反胃、呕吐、失去意识和死亡。
暴露在氧气含量<12％的大气中会无任何先兆的失去知觉，并失去自我救护的能力。
吸入高浓度的四氟甲烷会引起轻度中枢神经系统紊乱及心率不齐。
皮肤接触：无不良影响多次暴露潜在健康影响：侵入路径：吸入症状：无损害器官：心脏，中枢神经系统过份暴露造成的病状恶化：以前患有心脏病及中枢神经系统紊乱的人会对过份暴露的影响更加敏感。
致癌性：未被 NTP、OSHA及IARC列为致癌物或潜在致癌物。
环境危害：排放至室外会促进温室效应。
燃爆危险：不可燃气体第四部分急救措施皮肤接触：不适用眼睛接触：不适用吸入：人员若缺氧，必须将其移到空气清新处，若已停止呼吸，采用人工呼吸，若呼吸困难，则吸氧，并迅速进行医务处理。
食入：不可能成为接触四氟甲烷的途径。
医生须知：只有在有生命危险的紧急情况下才能使用儿茶酚胺类药物，如：肾上腺素。
此类药物可能会引起心率不齐。
第五部分消防措施危险特性：四氟甲烷气存储在高压气瓶内，压力可达到2000psig。
它是一种无色、无嗅、不可燃的气体。
当空气中四氟甲烷含量过高而使氧含量<19.5%时,会导致快速窒息，这时营救人员需配备自给式呼吸器(SCBA)。
有害燃烧产物：一氧化碳，氟化氢和其他有害氟化物。
四氟甲烷;四氟化碳-化学品安全技术说明书MSDS
燃烧性：
不燃建规火险分级：戊
闪点(℃)：
无意义自燃温度(℃)：无意义
爆炸下限(V%)：
无意义爆炸上限(V%)：无意义
危险特性：
若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。
燃烧(分解)产物：
氟化氢。稳定性：稳定
聚合危害：
不能出现禁忌物：强氧化剂、易燃或可燃物。
灭火方法：
不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。
四氟甲烷；四氟化碳
标识
中文名：
四氟甲烷；四氟化碳
英文名：
Tetrafluoromethane；Carbon01
CAS号：
75-73-0RTECS号：FG4920000
UN编号：
1982危险货物编号：22033IMDG规则页码：2182
理化性质
外观与性状：
毒性危害
接触限值：
中国MAC：未制定标准；苏联MAC：未制定标准；
美国TWA：未制定标准；美国STEL：未制定标准
侵入途径：
吸入
毒性：
健康危害：
能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。
急救
皮肤接触：
眼睛接触：
吸入：
脱离现场至空气新鲜处。必要时进行人工呼吸。就医。
食入：
防护措施
工程控制：
生产过程密闭，全面通风。
无色无臭气体。
主要用途：
用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻。
熔点：
-183.6沸点：-128.0
相对密度(水=1)：
1.61/-130℃相对密度(空气=1):无资料
饱和蒸汽压(kPa)：
13.33/-150.7℃
溶解性：
四氯化碳 化学品安全技术说明书
运输注意事项：
法规信息：
最高允许浓度（mg/m3)：
本品不会燃烧，但遇明火或高温易产生剧毒的光气和氯化氢烟雾。在 潮湿的空气中逐渐分解成光气和氯化氢。 光气、氯化物 消防人员必须佩戴过滤式防毒面具(全面罩)或隔离式呼吸器、穿全身 防火防毒服，在上风向灭火。灭火剂：雾状水、二氧化碳、砂土。
应急处理：
操作注意事项：
储存注意事项：
健康危害：
环境危害： 燃爆危险： 本品不燃，有毒。 第四部分：急救措施 皮肤接触： 脱去污染的衣着，用肥皂水和清水彻底冲洗皮肤，就医。
四氯化碳 化学品安全技术说明书
眼睛接触： 吸入： 食入： 提起眼睑，用流动清水或生理盐水冲洗，就医。 迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧 。如呼吸停止，立即进行人工呼吸，就医 饮足量温水，催吐，洗胃，就医 第五部分：消防措施 危险特性： 有害燃烧产物： 灭火方法： 灭火注意事项及措施： 第六部分：泄漏应急处理 迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，并进行隔离，严格限制出入。建 议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防毒服。不要直接接触泄漏 物。尽可能切断泄漏源。小量泄漏：用活性炭或其它惰性材料吸收。 大量泄漏：构筑围堤或挖坑收容。喷雾状水冷却和稀释蒸汽，保护现 场人员，但不要对泄漏点直接喷水。用泵转移至槽车或专用收集器 内，回收或运至废物处理场所处置。 第七部分：操作处置与储存 密闭操作，加强通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规 程。建议操作人员佩戴直接式防毒面具（半面罩），戴安全护目境， 穿防毒物渗透工作服，戴防化学品手套。防止蒸气泄漏到工作场所空 气中。避免与氧化剂、活性金属粉末接触。搬运时要轻装轻卸，防止 包装及容器损坏。配备泄漏应急处理设备。倒空的容器可能残留有害 物。 储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不超过30℃，相对 湿度不超过80％。保持容器密封。应与氧化剂、活性金属粉末、食用 化学品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备和合适的 收容材料。 第八部分：接触控制/个体防护
四氟化硅-安全技术说明书MSDS
第1部分化学品及企业标识化学品中文名：四氟化硅化学品英文名：Silicon tetrafluorideCAS号：7783-61-1分子式：F4Si分子量：104.08产品推荐及限制用途：工业及科研用途。
第2部分危险性概述紧急情况概述：内装高压气体；遇热可能爆炸。
造成严重皮肤灼伤和眼损伤。
吸入致命。
GHS危险性类别：加压气体类别液化气体皮肤腐蚀/刺激类别1A严重眼损伤/眼刺激类别1急性吸入毒性类别2标签要素：象形图：警示词：危险危险性说明：H280内装高压气体；遇热可能爆炸H314造成严重皮肤灼伤和眼损伤H330吸入致命防范说明：•预防措施：——P260不要吸入粉尘/烟/气体/烟雾/蒸气/喷雾。
——P264作业后彻底清洗。
——P280戴防护手套/穿防护服/戴防护眼罩/戴防护面具。
——P271只能在室外或通风良好处使用。
——P284[在通风不足的情况下]戴呼吸防护装置•事故响应：——P301+P330+P331如误吞咽：漱口。
不要诱导呕吐。
——P303+P361+P353如皮肤(或头发)沾染：立即脱掉所有沾染的衣服。
用水清洗皮肤/淋浴。
——P363沾染的衣服清洗后方可重新使用。
——P304+P340如误吸入：将人转移到空气新鲜处，保持呼吸舒适体位。
——P310立即呼叫解毒中心/医生——P305+P351+P338如进入眼睛：用水小心冲洗几分钟。
如戴隐形眼镜并可方便地取出，取出隐形眼镜。
继续冲洗。
•安全储存：——P410+P403防日晒。
存放于通风良好处。
——P405存放处须加锁。
——P403+P233存放在通风良好的地方。
保持容器密闭。
•废弃处置：——P501按当地法规处置内装物/容器。
物理和化学危险：内装高压气体；遇热可能爆炸。
健康危害：造成严重皮肤灼伤和眼损伤。
吸入致命。
环境危害：无资料第3部分成分/组成信息第4部分急救措施急救：吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。
保持呼吸道通畅。
如呼吸困难，给输氧。
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四氟化碳安全技术说明书
一、化学品及企业标识
中文名称：四氟化碳
别名：四氟甲烷
英文名：Carbon tetrafluoride
生产企业：山东锐华氟业有限公司
生产企业地址：山东省郓城县工业园区胜利路1号邮编：274700
E-mail：
电话：0000-0000000 传真：0000-0000000 应急电话：0000-0000000 国家应急电话：公安紧急报警110、火警119、医院急救120
生效日期：2011年4月20日
二、成分组成信息
纯品√混合物
名称：四氟化碳
有害成分：受热分解后可产生氟化氢，
浓度：≥99.999%
分子量：88.01
分子式：CF4
CAS:75－73－0
三、危害性概述
危险性类别：第2.2类不燃气体
侵入途径：吸入
健康危害：吸入高浓度的四氟化碳出现呼吸困难、呕吐等窒息症状。
环境危害：温室效应
燃爆危险：明火、遇热、震动易爆炸,盛装瓶口断裂也可引起爆炸。
四、急救措施
五、消防措施:
六、泄露应急措施:
七、操作处置与储存
八、接触控制/个体防护
九、理化特性
十、稳定性和反应性
十一、毒理学资料
十二、生态学资料
生物效应：无资料
生物降解性：无资料
生物富集：无资料
环境迁移：无资料
其它有害作用：温室效应
十三、废弃处置
废弃物性质：√危险废物工业固体废物
废弃处置方法： --
废弃注意事项：不要将气液排放口对准人或物。
十四、运输资料
危险货物编号：22033
UN编号：UN1982
包装标志：不燃气体
包装类别：第2类
包装方法：无缝钢瓶
运输注意事项：防止日光曝晒、按规定运输路线行驶。
严禁烟火，严禁摔、震、撞击。
不能与氧化剂混装。
十五、法规信息
十六、其他信息。