基于非水解sol-gel法的碳热还原氮化合成氮化铝超细粉体
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财
文 章编 号 : 1 0 0 1 - 9 7 3 1 ( 2 0 1 3 ) 1 7 — 2 5 4 6 — 0 4
料
2 O 1 3 年第 l 7 期( 4 4 ) 卷
基 于 非 水解 s o l — g e l 法 的碳 热 还 原 氮 化 合 成 氮 化 铝 超 细 粉体
魏 颖娜 。 , 魏 恒勇 , 赵 冬 梅 。 , 卜景 龙 。 ,于 云 , 王瑞 生 。
和炭 黑 为原 料 。 在 氮气 中于 1 6 0 0 ~l 7 5 0 。 C还 原 氮化 合
例如 , S . Ac o s t a 和 Y.D e Ha z a n等 。 利用 该方 法 合 成 出氧化铝 凝胶 , 经9 0 0 ℃煅 烧 0 . 5 h后 粉体 比表 面 积 仍 高达 1 4 0 m。 / g , 而采 用 水 解 法 合 成 氧 化 铝 粉体 的 比 表 面 积一般 在 1 0 0 m。 / g以下 。据 文献 [ 1 3 ] 报道, 具 有 高 比表 面积 的原 料有 利于 N。 和C O 的吸 附和流 通 , 可 以促进 碳热 还原 氮化 反应进 行 , 降低氮 化 物合 成 温度 。 因此 , 若 以非 水 解 溶 胶 凝 胶 制 备 的 氧 化 铝 为铝 源 , 则 可降 低氮化 铝 的碳 热 还 原 氮 化合 成 温 度 , 缩 短 反 应 时
果表 明 , 氧 化铝 凝 胶 经 3 0 0 。 C预 煅 烧 , 按 n ( C) / ( A 1 )
一7 . 8与 碳 黑 混 合 , 在 流量 8 0 mI / ai r n高 纯 N 中, 于
1 4 5 0 。 C还原 氮化 2 h便 可合 成 出平 均粒 径在 4 0 0 n m 的
应 相对 易于控 制 , 工 艺简 单 。尤其 重要 的是 。 由于 非水 解 溶胶一 凝胶 反应 是在 密 闭体 系 内进行 的 , 通过体系 自
身 产生 的压力 场 , 迅 速 引 发 反应 , 瞬 问形 成 大 量 胶 核 , 制 备 出颗 粒 更 为 细 小 、 比表 面 积 更 高 的氧 化 物 粉 体 。
高 纯 六 方 相 Al N粉 体 。 关 键词 : 非水解 溶胶 一 凝胶 法 ; 碳 热还 原 氮化 法 ; 氮 化 铝; 超 细Biblioteka Baidu体 中 图分类 号 : T Q1 7 4 . 7 5 8 . 1 2 文 献标识 码 : A
D0I : 1 0 . 3 9 6 9 / j . i s s n . 1 0 0 1 — 9 7 3 1 . 2 0 1 3 . 1 7 . 0 2 5
水铝 石将 碳 黑包 裹 形成 核壳 结 构 , 在 1 4 5 0 ℃碳 热 还 原
在 1 2 0 0 。 C附近 , 经 9 0 0 ℃ 煅 烧 后 比 表 面 积 仍 高 达
1 4 5 m / g , 具 有介 孔 结 构 。 以该 高活 性 氧 化 铝 凝胶 作
为铝 源 , 采 用 碳 热 还 原 氮 化 工 艺 合 成 氮 化 铝 粉 体 。 结
溶胶 一 凝 胶 法 制 备 出 氧 化 铝 凝 胶 。其 经 8 0 0 ℃ 煅 烧 才 析
出 少量 一 Al O。晶 体 , 一 Al 。 O。向 a — Al z O。晶 型 转 变
氮化 制备 出 氮化 铝 纳 米 粉 体【 J 。 以硝 酸 铝 为原 料 , 加
入T we e n 8 0作 为 表 面 活 性 剂 , 使 水 解凝 胶 产 物 拟 薄
间。
为此 , 本 文 以无水 氯化 铝和 异丙醚 为 原料 , 采 用 非
水解溶 胶一 凝胶 法制 备 出活性 高 、 比表 面 积 大 的氧 化 铝 凝胶 , 然后 , 将该 凝 胶 与 炭 黑混 合 , 利 用 碳 热 还 原 氮 化
成 Al N 粉体 。该 方法 原料来 源 广 、 成本低、 工 艺简 单 , 合 成 粉体 纯度 较高 , 粒度 分布 较均 匀 , 团 聚少 E 5 ] 。研 究 发现 , 选 用 比表 面积 大 、 颗 粒 细 小 的前 驱 体 作 为 铝 源 ,
氮化 1 0 h制 备 出球 形 氮 化 铝 粉体 ] 。但 是 , 采 用 水 解 溶胶 一 凝 胶法 的 原料 水 解 聚合 反 应 迅 速 , 不易控制 , 制
备工 艺 复杂 , 且 较难 获得 活性 高 的氧 化铝凝 胶前 驱体 。 鉴 于此 , 2 O世纪 9 O年 代初 , R. J . P . C o r r i u等 提 出 一 种 非 水 解 溶 胶一 凝 胶法 ( n o n h y d r o l y t i c s o l — g e l p r o c e s s , 简 称 NHS G) , 其无需控制水解反应 , 聚 合 反
( 1 . 河北联 合 大学 材料 科学 与工 程学 院 , 河北 唐山 0 6 3 0 0 9 ;
2 .中 国科 学 院特种 无机 涂层 重点 实验室 , 上海 2 0 0 0 5 0 ; 3 .河北省 无机 非金 属材 料重 点实验 室 , 河北 唐 山 0 6 3 0 0 9 ) 摘 要 : 以无 水氯化 铝和 异 丙醚 为原料 , 采 用 非水 解
1 引 言
氮化铝 ( Al N) 陶瓷 具有 热 导率 高 、 热 膨 胀 系数 低 、 且与 半导 体硅 材料 相匹 配 , 介 电性 能好 等优 良特性 , 是 半 导 体集 成 电路和 大功 率 电子 器件 的理 想 封装 和散 热 材 料 。合成 纯 度 高 、 粒 径 小 及 分 散性 好 的 氮化 铝 粉 体 是制 备 高热 导率 A1 N 陶瓷 的重要 前提 ] 。 目前 , 合成 氮化 铝 粉 体 的主 要 方 法 有 铝 粉直 接 氮 化法 】 、 高 温 自蔓延 合 成法 [ 3 ] 、 气 相 反应 法 和碳 热还 原氮 化法 ‘ 等 。其 中 , 碳 热还原 氮 化法 通 常 以氧 化铝
文 章编 号 : 1 0 0 1 - 9 7 3 1 ( 2 0 1 3 ) 1 7 — 2 5 4 6 — 0 4
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2 O 1 3 年第 l 7 期( 4 4 ) 卷
基 于 非 水解 s o l — g e l 法 的碳 热 还 原 氮 化 合 成 氮 化 铝 超 细 粉体
魏 颖娜 。 , 魏 恒勇 , 赵 冬 梅 。 , 卜景 龙 。 ,于 云 , 王瑞 生 。
和炭 黑 为原 料 。 在 氮气 中于 1 6 0 0 ~l 7 5 0 。 C还 原 氮化 合
例如 , S . Ac o s t a 和 Y.D e Ha z a n等 。 利用 该方 法 合 成 出氧化铝 凝胶 , 经9 0 0 ℃煅 烧 0 . 5 h后 粉体 比表 面 积 仍 高达 1 4 0 m。 / g , 而采 用 水 解 法 合 成 氧 化 铝 粉体 的 比 表 面 积一般 在 1 0 0 m。 / g以下 。据 文献 [ 1 3 ] 报道, 具 有 高 比表 面积 的原 料有 利于 N。 和C O 的吸 附和流 通 , 可 以促进 碳热 还原 氮化 反应进 行 , 降低氮 化 物合 成 温度 。 因此 , 若 以非 水 解 溶 胶 凝 胶 制 备 的 氧 化 铝 为铝 源 , 则 可降 低氮化 铝 的碳 热 还 原 氮 化合 成 温 度 , 缩 短 反 应 时
果表 明 , 氧 化铝 凝 胶 经 3 0 0 。 C预 煅 烧 , 按 n ( C) / ( A 1 )
一7 . 8与 碳 黑 混 合 , 在 流量 8 0 mI / ai r n高 纯 N 中, 于
1 4 5 0 。 C还原 氮化 2 h便 可合 成 出平 均粒 径在 4 0 0 n m 的
应 相对 易于控 制 , 工 艺简 单 。尤其 重要 的是 。 由于 非水 解 溶胶一 凝胶 反应 是在 密 闭体 系 内进行 的 , 通过体系 自
身 产生 的压力 场 , 迅 速 引 发 反应 , 瞬 问形 成 大 量 胶 核 , 制 备 出颗 粒 更 为 细 小 、 比表 面 积 更 高 的氧 化 物 粉 体 。
高 纯 六 方 相 Al N粉 体 。 关 键词 : 非水解 溶胶 一 凝胶 法 ; 碳 热还 原 氮化 法 ; 氮 化 铝; 超 细Biblioteka Baidu体 中 图分类 号 : T Q1 7 4 . 7 5 8 . 1 2 文 献标识 码 : A
D0I : 1 0 . 3 9 6 9 / j . i s s n . 1 0 0 1 — 9 7 3 1 . 2 0 1 3 . 1 7 . 0 2 5
水铝 石将 碳 黑包 裹 形成 核壳 结 构 , 在 1 4 5 0 ℃碳 热 还 原
在 1 2 0 0 。 C附近 , 经 9 0 0 ℃ 煅 烧 后 比 表 面 积 仍 高 达
1 4 5 m / g , 具 有介 孔 结 构 。 以该 高活 性 氧 化 铝 凝胶 作
为铝 源 , 采 用 碳 热 还 原 氮 化 工 艺 合 成 氮 化 铝 粉 体 。 结
溶胶 一 凝 胶 法 制 备 出 氧 化 铝 凝 胶 。其 经 8 0 0 ℃ 煅 烧 才 析
出 少量 一 Al O。晶 体 , 一 Al 。 O。向 a — Al z O。晶 型 转 变
氮化 制备 出 氮化 铝 纳 米 粉 体【 J 。 以硝 酸 铝 为原 料 , 加
入T we e n 8 0作 为 表 面 活 性 剂 , 使 水 解凝 胶 产 物 拟 薄
间。
为此 , 本 文 以无水 氯化 铝和 异丙醚 为 原料 , 采 用 非
水解溶 胶一 凝胶 法制 备 出活性 高 、 比表 面 积 大 的氧 化 铝 凝胶 , 然后 , 将该 凝 胶 与 炭 黑混 合 , 利 用 碳 热 还 原 氮 化
成 Al N 粉体 。该 方法 原料来 源 广 、 成本低、 工 艺简 单 , 合 成 粉体 纯度 较高 , 粒度 分布 较均 匀 , 团 聚少 E 5 ] 。研 究 发现 , 选 用 比表 面积 大 、 颗 粒 细 小 的前 驱 体 作 为 铝 源 ,
氮化 1 0 h制 备 出球 形 氮 化 铝 粉体 ] 。但 是 , 采 用 水 解 溶胶 一 凝 胶法 的 原料 水 解 聚合 反 应 迅 速 , 不易控制 , 制
备工 艺 复杂 , 且 较难 获得 活性 高 的氧 化铝凝 胶前 驱体 。 鉴 于此 , 2 O世纪 9 O年 代初 , R. J . P . C o r r i u等 提 出 一 种 非 水 解 溶 胶一 凝 胶法 ( n o n h y d r o l y t i c s o l — g e l p r o c e s s , 简 称 NHS G) , 其无需控制水解反应 , 聚 合 反
( 1 . 河北联 合 大学 材料 科学 与工 程学 院 , 河北 唐山 0 6 3 0 0 9 ;
2 .中 国科 学 院特种 无机 涂层 重点 实验室 , 上海 2 0 0 0 5 0 ; 3 .河北省 无机 非金 属材 料重 点实验 室 , 河北 唐 山 0 6 3 0 0 9 ) 摘 要 : 以无 水氯化 铝和 异 丙醚 为原料 , 采 用 非水 解
1 引 言
氮化铝 ( Al N) 陶瓷 具有 热 导率 高 、 热 膨 胀 系数 低 、 且与 半导 体硅 材料 相匹 配 , 介 电性 能好 等优 良特性 , 是 半 导 体集 成 电路和 大功 率 电子 器件 的理 想 封装 和散 热 材 料 。合成 纯 度 高 、 粒 径 小 及 分 散性 好 的 氮化 铝 粉 体 是制 备 高热 导率 A1 N 陶瓷 的重要 前提 ] 。 目前 , 合成 氮化 铝 粉 体 的主 要 方 法 有 铝 粉直 接 氮 化法 】 、 高 温 自蔓延 合 成法 [ 3 ] 、 气 相 反应 法 和碳 热还 原氮 化法 ‘ 等 。其 中 , 碳 热还原 氮 化法 通 常 以氧 化铝