水平棕化线操作指引

红 色
1、液位过低 2、安全门开
绿 色
1、电源开启 2、设备运行指示
9各缸换糟说明：
槽名
保养项目
频率
程序
各水洗槽
洗槽
一次/30天
1.打开排水阀,将槽液排尽，取出过滤网清洗干净。
2.以水冲洗滚轮、喷管、槽壁、传动轮（必要时加氢氧化钠和硫酸进行清洗）。3.关排水阀，放入过滤网。
4.放入清水。
换水
一次/天
2、缓慢加入浓硫酸，NPS溶液然后加入DI水至150L。
3、待槽液温度降至常温后方可开启机器运行。
碱 洗
150L
1、TP-122：19.5L
2、DI水
1、清洁干净槽体，关闭排液阀后加入1/2体积的DI水。
2、缓慢加入TP-122碱洗液，再加入DI水至150L液位处。
3、打开加热系统加热到工艺要求。
预 浸
7.3.4芯板厚度≤0.2mm可考虑将板与身体成450的斜放入机体或用板条拖板作业，板间距≥40mm；
7.3.5戴手套将出板段的板目检后插架，注意不要叠板放；不要擦花棕化膜；取板时手指不得入图形区。
7.3.6要求开始生产时必须有首板确认并做好记录,另每一块板需经检查是否符合要求。
7.3.7生产时有异常情况则停止入板，待问题排出后方可继续生产，紧急时可按急停开关。
11.4 热风烘干段温度较高，切莫触摸，以免烫伤。
12.品质检查及标准：
12.1铜厚要求：经处理OK的内层铜箔厚度需符合IPC标准。（HOZ≥0.0125mm、1OZ≥0.025mm、20Z≥0.055mm）
12.2棕化拉力测试：棕化拉力≥3 lb/inch 。
13其它保养项目：
13.1每班机身清洁一次；
2.排掉部分液体,补充新药液.(或者换槽)
5.1双氧水 (50% H2O2) 硫酸(H2SO4)
5.2 除油剂（TP-122） 预浸剂（TP-112） 棕化剂（TP-101A; TP-101B） 此三种药水由供应商提供.
6操作工艺条件：
6.1流程介绍
6.1.1放板→微蚀→溢流水洗*2→碱洗→溢流DI热水洗*3→预浸→棕化→溢流水洗*3→DI水洗→强风吹干→热风吹干→出板
3.以硫酸3%洗槽，循环1小时后排除，再进DI水循环15分钟,排除。用DI水冲洗。
4.关排水阀，放入新棉芯。
5.重新配槽。
烘干
清洁风刀
1次/周
用干净的擦布将风刀、传动轮清洁干净。
吸水海棉
吸水海棉
1次/4H
用手搓揉后再用水冲洗
10 操作注意事项及规范:
10.1机器的使用温度不得超过规定值。
10.2 触摸屏为精密仪器，需小心操作，不得用尖硬物触碰。
7.1.6检查棕化线各缸液位是否足够。
7.1.7生产前将清洁及棕化水洗后之吸水海绵充分润湿使其达吸水效果（生产中应关闭喷水以保证吸干效果，要求每4小时清洁润湿一次）
7.1.8检查DI水电导率＜20us/cm（要求化验室每班测一次电导率，超出范围则停止生产，通知相关部门解决再做板）。
7.2开机程序：
7.2.1开启DI、自来水水阀门，调节各水缸的水流量；并打开冷却水进/出水管阀门。
4．用DI水冲洗。
5.关排水阀，放入新的棉芯。
6.依配槽程序重新配槽。
棕化
1、更换棉芯
1次/每周
1.打开过滤器上盖,取出旧滤心。
2.装入新棉芯。
3.锁紧上盖。
换槽
1次/30天
或
Cu2+＞35g/L
1.打开排水阀,将槽液排尽，取出旧棉芯。
2.进水,倒入NaOH3%,循环1小时排除,再进水循环15分钟后排除。
2.5%(v/v)
10L
注明：棕化槽配槽顺序
7.5.1将主槽添加200LDI水。
7.5.2缓慢添加98%H2SO4、TP101A、 TP101B开缸量各20L。
7.5.3加入50%双氧水10L，添加时务必小心,此为强氧化剂。
7.5.4补加DI水至液位即可。
7.6换槽规定
槽名
换槽量
频率
污染值上限
微 蚀
6.2流程条件：
流 程
处理方法
温度（℃）
压力Pis
点检频率
微 蚀
喷 淋
24-28设定:26
20±5பைடு நூலகம்
每班/1次
溢流水洗
喷 淋
常 温
20±5
碱 洗
喷 淋
45-55设定:50
20±5
DI溢流水洗
喷 淋
常 温
20±5
热水洗
喷 淋
30-40设定:35
20±5
预 浸
浸 泡
30-40设定:35
棕 化
浸 泡
30-40设定:35
微蚀厚度
10-20u〃
15u〃
1次/天
碱洗
TP122
10%-15%
12.5%
2L/kft2
1次/30天
1次/班
温度
50-60℃
55℃
1次/班
预浸
TP112
2-4%
3%
0.5L/kft2
1次/30天
1次/班
温度
30-40℃
35℃
1次/班
棕化
DI水
/
电导率<10us/cm
/
Cu2+＞30g/L
1次/班
H2SO4
7.4关机程序：
7.4.1按各缸开关至OFF进行逐步关机。
7.4.2关掉DI水及自来水开关。
7.4.3关闭电源总开关。
7.4.4检查所有项目，清洁机身及周围环境。
7.4.5连续生产时中有中断生产时，各药缸温度按钮不关闭。其它开关处于off状态。
7.5配槽药水用量
槽名
实际配槽体积
药品
配槽浓度
药品用量
微蚀
11安全守则：
11.1小心药液腐蚀衣服和皮肤,不慎于粘上请用自来水清洗,严重及时就医。
11.2 添加药水或槽体清洗时，请戴耐酸碱手套和防毒口罩，添加H2SO4 时将H2SO4溶液缓慢地倒入溶液中，严禁将水直接加入浓H2SO4中，以免引起酸液飞溅，灼烧皮肤、衣物。
11.3 清洗各缸体内的滤网、喷管等时请先关机，防止药液腐蚀衣物及皮肤。
DI溢流水洗
喷 淋
常 温
20±5
DI水洗
喷 淋
常 温
20±5
烘干段
80-90设定:85
6.3流程参数：
缸名
分析项目
控制范围
最佳值
千尺添加
换缸频率
分析频率
微 蚀
H2SO4
4-6%
5%
分析添加
Cu2+＞30g/L
20g/L
1次/班
NPS
20-30g/L
25g/L
分析添加
1次/班
Cu2+
≤30g/L
/
1次/班
7.1.1先取各槽液至化验室分析各槽药水浓度,调整药水浓度,补足所有槽中之液位
7.1.2取两块10×10cm的光铜板分别测量微蚀缸、棕化缸的微蚀速率,调整使其达到工艺要求
7.1.3检查各槽温度(不可只看表温,须以温度计实测一次)。
7.1.4检查各槽喷流是否正常。
7.1.5检查所有过滤器功能是否正常,过滤管路是否渗漏堵塞。
1打开水阀，排掉污水。
2.放入清水。
微蚀槽
换槽
1次/30天
或
Cu2+＞30g/L
1.打开排水阀,将槽液排尽，取出过滤网清洗干净。
2.以水冲洗滚轮、喷管、槽壁、传动轮。
3.放入清水循环15分钟,排掉,再重复1次。
3.关排水阀，放入过滤网。
4.依配槽程序重新配槽。
碱性清洁
换槽
1次/30天
1.打开排水阀,将槽液排尽，取出过滤网清洗干净。
4-6%
5%
分析添加
1次/班
TP101A
5%
5%
3.5L/kft2
1次/班
TP101B
5%
5%
3.5L/kft2
1次/班
50%H2O2
2-3%
2.5%
分析添加
1次/班
Cu2+
30g/L
5-15g/L
1次/班
温度
30-40℃
35℃
1次/班
微蚀厚度
40u〃-70u〃
50u〃
1次/天
6.4设为1.0-1.5m/min,具体调节做板速度为；
全槽
30Cu2+＞20g/L
Cu2+＞30g/L
碱性清洁
全槽
30天
预浸
全槽
30天
棕 化
全槽
30天或Cu2+＞35g/L
Cu2+＞35g/L
7.7开缸步骤：
缸 名
缸的体积
加入药液成份
步 骤
微 蚀
150L
1.硫酸（98%）7.5L
2.NPS3.75kg
3.DI水
1、清洁干净槽体，关闭排液阀后加入1/2体积的DI水。
150L
98% H2SO4
5%(v/v)
7.5L
NPS
25g/L
3.75KG
碱性清洁
150L
TP-122
13%(v/v)
19.5L
预浸
200L
TP-112
3%(v/v)
6L
棕化槽
395L
98%H2SO4
5%(v/v)
20L
TP101A
5%(v/v)
20L
TP101B
5%(v/v)
20L
50%H2O2
1目的
本文件的目的是为棕化线建立操作指示。指导操作员工正确操作,保证水平棕化线生产顺畅。
2责任
2.1生产部负责日常操作并根据制作标准控制工艺参数、条件。
2.2生技负责制订工艺参数，为生产中出现的问题提供技术支援。
2.3设备部负责为各生产设备提供保养及维修服务。
2.4品质保证部负责流程参数的监控，测试仪器的调校。
200L
1、TP-112：6.0L
2、DI水
1、清洁干净槽体，管闭排液阀后加入1/2体积的DI水。
2、缓满加入TP-112预浸液，再加入DI水至200L液位处。
3、安装过滤棉芯循环过滤并加热。
棕 化
395L
1. 98%H2SO420L
2.TP101A20L
3.TP101B20L
4.50%H2O210L
6.4.1铜箔厚度≤10Z时,速度为1.2-1.3m/min；
6.4.2铜箔厚度﹥1OZ时,速度为 0.8-1.2m/min ；
6.4.3重工板时速度为2.0-2.5m/min。H/H允许重工一次，1OZ可重工两次，生产中据实际铜厚调整
6.5 各水洗槽流量计流量为5-15L/min。
7生产操作：
7.1开工规则：
7.2.2开启电箱面板上电源开关，扳到ON位置。
7.2.3开启各缸加热按钮及喷淋、传送按钮到ON位置。，
7.2.4检查机组各行辘，压水辘、喷咀的运作状态并调整
7.3制作过程：
7.3.1按生产排单戴手套把待棕化板从入料段送入棕化线处理。
7.3.2入板时必须保证芯板平整，以免卡板。
7.3.3机身有效工作宽度为610mm.芯板尺寸必须≤610mm,两板平行放置，板间≥30mm；
2.以水冲洗滚轮、喷管、槽壁（每月加硫酸和氢氧化钠清洗一次）。
3.关排水阀，放入过滤网。
4.依配槽程序重新配槽。
预浸
1、换槽
2、更换棉芯
1次/30天
1次/3天
1.打开排水阀，将槽液排尽，取出旧棉芯。
2.以DI水冲洗滚轮、喷管、槽壁（每月加氢氧化钠和硫酸清洗一次）。
3.放入DI水循环15分钟,排掉,再重复1次。
10.3机器的各段零部件不得随意调换使用。
10.4抽气阀应开启，以防止废气外泻。
10.5放板应均匀，充分使用整个有效输送面，以免造成相关零部件磨损不均匀。
10.6放板时各块板之间的距离不应小于30mmm，以免引起叠板等故障。
10.7出板段清洁保养时不得用水冲洗，应用吸尘器和抹布、酒精等清洁。
10.8已做好的棕化板应放在温度在20±2℃,湿度在55±10%之间。并且超出24小时需返工重做棕化处理。
13.2每班水洗缸换水一次；
13.3每班清洁吸水海绵一次；
13.4每班检查一次喷流是否正常；
13.5每班检查过滤器是否堵塞；
13.6每班检查液位是否正常。
14生产异常或放假处理措施:
14.1当生产中突发性停机（停电或机器故障）时应立即取出在线的生产板避免被药水腐蚀掉造成报废。
14.1.1关掉电源及水源的总开关。
14.1.2打开上面挡水玻璃。
14.1.3拆开上层传动轮取出生产板，马上用水冲洗干净，并用水槽储存，待恢复正常后再进行生产。
14.2放长假处理措施：把棕化药水抽出装入备用桶中，然后用自来水冲洗缸壁，排完废水，加入600LDI水
15棕化常见问题分析及对策：
常见问题
可 能 原 因
解 决 办 法
棕化不上
1.加错药水.
2.排掉部分液体,补充新药液.(或者换槽)
3.板面有难以去除的污物.
3.用细砂打磨或送内层走前处理.
4.预浸液受污染或浓度太低.
4.换槽或补充药液浓度.
5.前处理未开启或浓度异常
5.开启前处理或调整浓度至正常范围内。
板面颜色不均
1.棕化槽上、下喷淋压力不协调.
1.调节上、下喷淋压力.
2.Cu2+浓度太高.
1.换槽.
2.纯水水质差.
2.控制纯水电导率＜10us/cm,CL-＜5ppm.
3.Cu2+浓度太高.
3.排掉部分液体,补充新药液.(或者换槽)
4.液位不足.
4.补充药液.
5.药水质量异常.
5.联系药水供应商解决.
板面露铜或星点状露铜
1.板面有残膜.
1.用细砂打磨或送内层重新退膜.
2.Cu2+浓度太高.
配槽前，槽体先用4%体积含量的NaOH清洗，再用5%硫酸清洗中和然后排掉溶液，关掉排液阀后加入1/2体积的DI水。
缓慢加入98%H2SO4、棕化A、B液，再加入双氧水。
加入DI水至缸体840L即可。
安装过滤棉芯循环过滤并加热。
8紧急异常排除：
指示灯颜色
指示设备运行之状态
黄 色
1、紧急停止2、电机过载 3、输送异常 4、机体超温
3适用范围:
适用于本公司宇宙水平棕化线。
4棕化各槽的作用：
4.1微蚀: 除去板面氧化，对板面起预粗化作用。
4.2碱洗: 除去板表面油污,手指印和干膜、湿膜残胶等,有利于棕化。
4.3预浸: 调整铜面及保护棕化槽。
4.4棕化: 在铜面形成一层表面积很大的铜有机钝化膜,为后续压板流程提供良好的结合力。
5主要原材料：