溅射镀膜操作流程(谷风技术)

JGP-560C双室磁控溅射沉积系统操作规范系统的气路图如图:

一、前期准备：

打开循环水（循环水能及时降温，主要是抽水泵能正常工作），打开墙上电源，打开总电源，打开控制电源

注：循环水的有效降温同样是维持实验条件稳定和实验参数进行的有力保障。其主要影响设备是抽水泵。所以在确定水箱充有足够水的前提下还要确保泵的正常工作。

二、抽真空：

1.开机械泵开关；

2.开旁抽阀V1（V7），开复合真空计，对溅射真空室（进样

室）进行抽真空（粗抽真空）；

3.当气压低于20 Pa时，关旁抽阀V1（V7）；

4.开电磁阀DF1（DF2），开闸板阀G2（G3），启动分子泵T1（T2）；

5.开电离真空计（细抽真空）。