半导体工厂大宗气体工业纯化管道系统

2.大宗气体与CDA系统概述
相关的名词解释
➢ 气体纯化间及气体纯化系统:
用来放置纯化器（ Purifier），纯化器可将 G Gas 精制为 P Gas 以提供高纯度气体供后段制程（工艺） 使用 .
2.大宗气体与CDA系统概述
相关的名词解释
➢ CQC 房间和 CQC 系统（ Continuously Quality Control） 亦或称为气体监控系统 实时在线监测气体品质
★ Process Argon 制程（工艺） 氩气 PAr
(窒息)
★ Process Oxygen 制程（工艺） 氧气 PO2 (助燃）
★ Process Helium 制程（工艺） 氦气 PHe (窒息、比重小、穿透性强)
☆ Process Hydrogen 制程（工艺） 氢气 PH2 （易燃易爆）
CH4/CO2 for GN2
CH4/CO2 for PN2
CH4/CO2 for PO2
Ametek 3050AMS detecting
H2O for PHE
TA7000FIDS detecting CO/CO2 for PH2
Thermo Scientific Model 17i detecting
☆ General Argon 普通氩气
GAr
(窒息)
★ General Oxygen 普通氧气
GO2
(助燃）
☆ General Helium 普通氦气
GHe
(窒息、比重小、穿透性强)
☆ General Hydrogen 普通氢气 GH2 （易燃易爆）
★ Process Nitrogen 制程（工艺） 氮气 PN2 (窒息)
NH3 for CDA
TA7000RGD detecting TA7000RGD detecting TA7000RGD detecting
H2/CO for GN2
H2/CO for PN2
H2/CO for PO2
Ametek 3050AMS detecting
H2O for PAR
Teledyne 8800A detecting
气体 过滤 系统
用来过滤气体 中的 Particle等 杂质
G-GAS在经过专业纯化器，纯化得到P-GAS.纯化间设置在4B栋东北角。 （除H2，H2纯化在大宗气站内完成）
G-GAS
2.大宗气体与CDA系统概述
相关的名词解释
➢ 桥架或地下沟渠:
气体管路的架装方式：生产厂房与气站之间均会设有安全区隔，管路输送系统从气站拉到生产厂房时，须经过 Tunnel (地下管沟) 或 Trench (地面 or 高架管桥) .
大宗气体及CDA管道系统培训
目录
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大宗气体及CDA概述 大宗气体与CDA系统概述 高纯管路材料及配件 管道的测试 常见的阀门 安全及相关法规
1.大宗气体及CDA概述
1.大宗气体及CDA概述
➢ 大宗气体(Bulk Gas）:
★ General Nitrogen 普通氮气 GN2 (窒息)
缩空气气管内部污染等)，当洁净车间内大量使用压缩空气时，对其洁净度将有所影响。
2、化学品输送压力介质
P-GAS
3、制造惰性环境
4、参与反应ห้องสมุดไป่ตู้
5、去除杂质
6、其他制程功能
2.大宗气体与CDA系统概述
2.大宗气体与CDA系统概述
将大气经过滤、压缩、冷却(液化) 、过滤、分馏、过滤、压缩、冷 却(液化)后，可分别取得 N2， O2，Ar 等气体，此过程称之为空 气分离技术。
主要用途： 驱动阀门、 仪表、设备搬运等
G-GAS
P-GAS
1.大宗气体及CDA概述
气体的用途:
通过系统制造出的高洁净度气体，一般使用于： G-GAS
1、气动设备动力
★在洁净车间里，许多生产设备都使用了气动动力结构，如：自动贴膜机、曝光机等，而气动元件
在使用压缩空气或氮气后便将其排出，如果压缩空气或氮气没有对其进行较高要求的净化处理过程(如压
H2O for PO2
PMS HPGP-101-C with
PDS-E for PHE
PMS HPGP-101-C with
PDS-E for PAR
H2O for CDA
DF310e detecting O2 for GN2
Ametek 3050AMS detecting
H2O for GN2
DF310e detecting O2 for PN2
Ametek 3050AMS detecting
H2O for PN2
Ametek 3050AMS detecting
GGas
PGas
由于液晶面板厂制程上的需要，工厂会使用许多种类的气体。一般我们以气体的特性来区分。 可分为特殊气体和一般气体，前者使用量较小，如SiH4，NF3等；后者使用量较大，如N2等。因而使用量较大的气体 我们称之为“大宗气体”，即Bulk Gas。
1.大宗气体及CDA概述
➢ CDA气体:
CDA ： Compressed/Clean dry air 干燥压缩空气
2.大宗气体与CDA系统概述
相关的名词解释
➢ CQC 房间和 CQC 系统（ Continuously Quality Control） 亦或称为气体监控系统 实时在线监测气体品质
GN2
PN2
PO 2
PAR/PHE
PH2
CDA
PAR/PHE
TA7000FIDS detecting TA7000FIDS detecting TA7000FIDS detecting
✓ 液体储罐： 使用真空绝热的 Tank 本体，用来贮存来自气 体厂（含自身空分）或槽车运输的液态气体 ✓ 低温阀组： 用来控制液态气体的压力及流量 ✓ 蒸发器系统： 使用气体蒸发器系统将气体从液态转变成气态
气体产生装置 （空分装置）
液态存储 系统
气体钢瓶组/拖车储罐
气体 加压 系统
对于 He & H2 多使用气体钢瓶组/ 拖车储罐来供气 ✓ 气体钢瓶组： 15 或 20 支高压
钢瓶以钢架固定放置，用完后 直接更换整组以节省时间 ✓ 拖车储罐：气体用量大时改用 Trailer 来供气
Gas Yard 的气体不论是用 Tank 、 Cylinder Bundle or Trailer 供 气，均会设有气体加压系统（ Pressure Station）， 以便能提供稳定的气体压力至管 路输送系统 。