干式螺杆真空泵价格特点与使用条件
螺杆型干式真空泵标准
螺杆型干式真空泵标准螺杆型干式真空泵是一种广泛应用于工业、科研和其他领域的真空设备。
其标准主要涉及产品设计、制造、检测和使用等方面。
以下是可能包含在螺杆型干式真空泵标准中的一些方面：产品设计和制造标准基本参数和规格：确定螺杆型干式真空泵的基本设计参数，包括流量、真空度、功率等。
材料选用：规定泵的主要部件所使用的材料，确保其具备良好的腐蚀抗性和耐磨性。
结构设计：包括螺杆结构、密封结构、冷却系统等设计要求，确保产品的结构合理、性能稳定。
安全设计：规定安全设计要求，包括过热保护、过载保护等，以确保设备在使用中的安全性。
检测与试验标准性能测试：规定螺杆型干式真空泵的性能测试方法，包括流量测试、真空度测试、功率测试等。
可靠性测试：确定对螺杆型干式真空泵进行可靠性测试的方法，以保证其在长时间使用中的稳定性。
噪音测试：确定螺杆型干式真空泵的噪音测试方法，以满足环境噪音标准。
温度测试：规定螺杆型干式真空泵在不同工况下的温度测试要求，确保其在各种环境下的可靠性。
使用与维护标准安装要求：确定螺杆型干式真空泵的安装要求，包括安装位置、电源要求等。
操作手册：提供详细的螺杆型干式真空泵操作手册，包括启动、停机、维护等方面的操作指南。
维护周期：规定螺杆型干式真空泵的维护周期和方法，以延长设备的使用寿命。
故障排除：提供故障排除流程和方法，确保在出现问题时能够迅速解决。
环保和能效标准能效要求：规定螺杆型干式真空泵的能效标准，以确保产品在使用中的高效能。
环保要求：确定螺杆型干式真空泵在制造和使用过程中的环保要求，符合相关环保法规。
废弃处理：提供废弃螺杆型干式真空泵的处理方法和环保要求。
以上只是可能包含在螺杆型干式真空泵标准中的一些方面，具体标准可能会因国家或地区而异。
在实际应用中，建议参考相应的标准文件，以确保产品设计、制造、使用等方面都符合标准的要求。
干式真空泵
干式真空泵干式真空泵是一种不需要润滑液的无油气体泵，它可以达到高真空（高达10^-8 mbar），并且可以更加可靠地处理有害物质，因为没有润滑液会污染物质。
与传统的液体环真空泵相比，干式真空泵具有更高的效率和更长的寿命。
工作原理干式真空泵以类似于压缩机的方式工作，但是没有任何液体润滑介质。
在内部，泵将气体压缩到较高的压力，然后将其排放到外部环境中。
干式真空泵还包括一个旋转机构，该机构旋转以消除速度梯度，从而在整个泵中创建一个均匀的气体流。
优点与应用干式真空泵具有许多优点，除了无需润滑液外，它还能够处理有害气体，因为在整个系统中没有液体润滑剂可以污染或吸收这些气体。
这使得它非常适合需要处理有机化学品、溶剂或高腐蚀性气体的实验和工业应用。
在半导体行业，干式真空泵也被广泛应用于制造过程中。
由于干式真空泵可以处理有害气体，同时也可以保证生产过程的重复性和稳定性，因此在这个行业和其他一些需要高度洁净环境的行业中使用。
另一个优点是，干式真空泵相对于液体环真空泵更加节能，更加环保。
由于减少了液体润滑剂的使用，可以减少对环境的影响。
此外，干式真空泵还可以降低生产和维护成本。
不足之处虽然干式真空泵具有许多优点，但是它们在某些方面可能会有限制。
例如，由于这些泵的工作原理，它们主要适用于轻质气体。
对于重型气体，它们需要更多的功率来运行，并且需要更高的维护水平以确保持续的性能。
总的来说，干式真空泵是一种可靠、高效、环保的气体泵，它在许多实验和工业应用中都得到了广泛应用。
随着技术的进步和新的应用场景的发现，它们的应用范围还将继续扩大。
vdn301真空泵技术要求
vdn301真空泵技术要求摘要：1.引言2.真空泵概述3.技术要求详述4.应用领域5.结论正文：【引言】vdn301 真空泵是一种广泛应用于各个领域的重要设备，其性能和质量直接影响到整个系统的运行效果。
因此，对其技术要求进行深入了解和掌握十分必要。
本文将对vdn301 真空泵的技术要求进行详细解析，以期为相关领域的研究和应用提供参考。
【真空泵概述】vdn301 真空泵是一种干式螺杆真空泵，具有结构简单、运行可靠、维修方便等优点。
其工作原理是利用螺杆的旋转来产生吸气和排气，从而达到真空抽取的目的。
该真空泵适用于各种恶劣环境，可抽取大量气体和蒸汽，具有较高的抽气速率。
【技术要求详述】1.抽气速率：vdn301 真空泵的抽气速率是衡量其性能的重要指标。
抽气速率越大，表示真空泵在单位时间内抽取的气体量越多，抽气效率越高。
因此，在选用真空泵时，应根据实际需要选择合适的抽气速率。
2.极限真空度：极限真空度是指真空泵在最佳工作条件下所能达到的最低压力。
vdn301 真空泵的极限真空度一般要求在10-2 至10-4Pa 之间，具体要求视应用领域而定。
3.噪音：在实际应用中，真空泵的噪音也是一个重要的考量因素。
vdn301 真空泵在运行过程中，应尽可能降低噪音，以创造一个舒适的工作环境。
4.耐腐蚀性：由于vdn301 真空泵适用于各种恶劣环境，因此其材质应具有良好的耐腐蚀性能，以保证其在各种环境下都能正常工作。
5.稳定性：vdn301 真空泵在长时间运行过程中，应保持良好的稳定性，避免因温度、压力等因素引起的性能波动。
【应用领域】vdn301 真空泵广泛应用于化工、制药、半导体、食品、环保等领域，为各种工艺过程提供真空支持。
【结论】综上所述，vdn301 真空泵在技术要求方面表现优异，可满足不同领域的应用需求。
风冷螺杆真空泵
风冷螺杆真空泵 1风冷螺杆真空泵一、干式风冷螺杆真空泵介绍一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替,干式无油、清洁环保的真空获得产品将加速替代水环泵、水喷射真空泵、往复泵、油封式机械泵。
螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的真空泵,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点。
螺杆真空泵是由一对平行的螺旋状转子与泵体组成的一个工作室，转子与泵体之间没有摩擦且保持一定的间隙，两个转子与泵体之间形成了密封腔，当转子旋转时把密封腔内的气体不断地挤带至排气口排出。
因螺杆真空泵无需油润滑或水密封，泵腔内完全无油，因此螺杆真空泵是无油干式真空泵，在半导体、电子工业中要求无油洁净的场合以及化工制药中对溶剂的回收工艺等具有不可比拟的优越性，它是往复泵、水环泵、水喷射真空泵、油封式滑阀真空泵、旋片式真空泵、及罗茨机组的更新换代产品。
二、使用范围①电工：变压器、互感器、环氧树脂真空浇注、电容器真空浸油、真空压力浸渍。
②化工、制药：产品蒸馏、干燥、脱气、浓缩、物料输送。
③工业炉：真空钎焊、真空烧结、真空退火、真空加压气淬、真空脱羟等。
④真空镀膜：真空蒸发镀膜、真空磁控溅射镀膜、薄膜卷绕连续镀膜、离子镀等。
⑤冶金：特种钢冶炼、真空感应炉、真空脱硫、脱气。
⑥航空、航天：航天搭载飞船轨道舱、返回舱、火箭姿态调整舱、宇航服、宇航员太空出舱、飞机升空等真空模似试验。
⑦干燥：变压法真空干燥、煤油气箱干燥、木材干燥、蔬菜冷冻干燥等。
⑧电子行业，半导体行业。
结构原理螺杆式无油机械真空泵又称为干式螺杆真空泵，是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分。
干式螺杆真空泵安全操作规定
干式螺杆真空泵安全操作规定干式螺杆真空泵是一种常用的真空设备，拥有着广泛的应用领域。
为了确保人员和设备的安全，操作人员必须遵守一系列操作规定，下面将对使用干式螺杆真空泵的操作人员进行相关安全操作指导。
一、设备的安装在安装干式螺杆真空泵前，必须注意以下问题：1.应安装在安全可靠的地方，操作时不受干扰，并具有良好的通风条件。
2.确保设备安装水平、承重和固定完好，在正常操作情况下不会移动或轻微晃动。
3.待设备安装完成后，应仔细检查设备的各项指标，确保正常运行。
4.设备在使用过程中，应远离其他设备；设备周围不得有易燃、易爆、有毒等有害物品。
5.安装设备时要检查电压，保证电源稳定，接地良好，操作员必须经过正规培训，并具有一定的电气知识。
二、设备的操作在操作干式螺杆真空泵前，操作人员必须仔细阅读设备相关的操作说明书和安全规定，并按照以下流程进行操作：1.使用前，操作人员必须检查各个接口和管道是否连接稳固，以及连通与否，在工作前应该对泵身内部进行清洁、消毒，避免对实验产生负面影响。
2.操作前必须戴上防护口罩、护目镜、手套等防护用品，保持身体干燥，以免发生电击、火灾等意外事故。
3.操作人员在开机前，必须检查所有电气设备是否正确的配置，是否有短路等情况发生，如果发现问题一定要及时关闭设备，找到问题解决之后再次开机。
4.开始操作前，要先打开泵的紧急停机开关，保证它在发生意外事故时能够及时停机。
5.在正常操作之前，在泵的各个连接处预留一定孔隙量，避免临时管道加入时由于压力过大，而导致损坏其它设备发生的事故。
6.操作人员在启动工作后，应该在泵的任意一个连接处检查泵的状态，只有在正常的运行状态下才能进入正式的工作流程。
三、设备的维护和保养在使用干式螺杆真空泵时，必须进行常规维护和保养，以保持设备的正常运行和安全性。
1.维护保养工作由专人负责，禁止无正规培训的人员操作维护设备。
2.定期检查设备的电气部分是否出现了老化和故障，及时更换问题零部件。
干式真空泵
干式真空泵一、简介：无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。
随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。
其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。
干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；2）半导体刻蚀工艺。
在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
二、分类：干式真空泵主要有下列几种形式：1）干式螺杆真空泵2）无油往复真空泵3）爪式真空泵4）无油涡旋真空泵三、原理：1）干式螺杆真空泵干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。
它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。
2）无油往复真空泵靠活塞往复运动使泵腔（气缸）的工作容积周期性地变化来抽气的真空泵，又称活塞真空泵。
干式螺杆真空泵和油旋片真空泵对比
⼲式螺杆真空泵和油旋⽚真空泵对⽐
螺杆真空泵的优良性能：
好凯德⼲式螺杆真空泵
好凯德螺杆真空泵是有螺杆式压缩机演变⽽来，其⼯作原理是⼀对平⾏的螺杆状的转⼦作反向旋转，通过两个转⼦与泵腔形成的密封腔容积的变化⽽将⽓体压缩出去，转⼦与转⼦之间，转⼦与泵体之间没有摩擦⽽保持⼀定的间隙，所以寿命长且噪⾳低。
维护⽅便，如泵腔内进⼊污物需清洗时，只需打开泵吸⽓⼝边上的阀门，吸⼊适量的⽔或清洗剂，开启泵运⾏数分钟后即可，⽆需拆卸整台泵。
⼲式螺杆真空泵和油旋⽚真空泵对⽐：
（1）油旋⽚泵：
1.因被抽介质含⽔汽，煤油，变压器油等，长时间使⽤会与真空泵油混合在⼀起，因⽽需要经常更换油
2.有油烟产⽣，会污染周围环境
3.因旋⽚旋转磨损需要经常换旋⽚、排⽓阀
4.极限真空较⾼，长时间使⽤，随着油污染和泵腔，旋⽚磨损⽽性能下降
5.⽆法抽除腐蚀性介质
6.⽆法实现介质回收
7.维护复杂
（2）⼲式⽆油螺杆真空泵：
1.泵腔内属于⼲式的，⽆需换油
2.泵是⼲式的，不产⽣任何排出物，对环境⽆污染
3.泵腔内⽆接触，⽆磨损
4.极限真空⾼，转⼦不接触，长时间使⽤⽆磨损，性能基本不下降
5.经过防腐处理后可抽除有腐蚀性的介质
6.可以实现介质回收
7.不⽤维护
好凯德螺杆真空泵
螺杆真空泵主要特点：
1.螺杆材质为整体式球墨铸铁，强度⾼、可靠性好
2.螺杆转⼦间⽆接触⽆摩擦，转速⾼且平稳
3.噪声振动低，适⽤⽤微电⼦、半导体等安静环境
4.泵腔⽆油结构设计，⽆废⽓、⽆废液排放，特别环保节能
5.具体特种涂层的螺杆转⼦和泵腔，可以抽除可凝⽓体、有毒有害⽓体
6.内部零件可进⾏防腐涂层处理，可适⽤于化⼯制药⾏业的特殊要求。
干式螺杆真空泵
干式螺杆真空泵与往复泵特性对比泵型干式螺杆真空泵往复式真空泵工作原理两个螺杆转子以相反的方向向内旋转压缩，气体以低漩流的方式运送出去从而实现吸气和排气活塞在气缸内做往复运动不断改变气缸两端的容积，一端容积扩大吸入气体，另一端容积缩小排出气体；活塞与气阀的联合作用，周期地完成吸气和排气作用真空泵结构螺杆、壳体和端盖组成结构简单，整个螺杆泵头仅有一百个左右的零部件真空泵由气缸、活塞环、曲轴、活塞杆、十字头、吸气阀、排气阀机座、曲轴箱、动密封和静密封等辅助部件组成，结构复杂使用条件进气压力：大气压～0.1KPa进气温度：－20～90℃进气压力：大气压～15KPa进气温度：《50℃极限真空单级即可实现高真空，极限压力几个帕斯卡极限真空1300～2600帕斯卡抽气量可选泵型从一百到几千个立方每小时的抽量，相对抽量范围较宽，且可在大气压到一个毫巴压力范围内下保持大抽速常用泵抽气量高达2000方每小时左右，工作压力范围较窄，15KPa以下抽气效率急剧下降处理气体能力可以处理一定量的液体及小颗粒固体；温度适中，允许流程介质在泵内凝结，可夹带一定的液体，且可以安全排放几乎不能处理液体和颗粒，易造成活塞环和气缸出磨损或卡死安全性无火花防爆设计，采用PTFE密封和机械密封复合型设计，氮气密封吹洗保护，实现气体零泄露有摩擦部件存在，易产生火花，抽取易燃易爆气体时，安全性较差；自身密封结构原因，很难做到工艺气体零泄露腐蚀应用标准泵具有防腐涂层（如： PFA /Ni+Cr+Co等多种涂层），可以处理腐蚀性介质通常无防腐措施，有机物泵腔内聚合或积碳等，易造成故障；抽腐蚀性介质，真空泵需要根据工艺选择不同种类的密材料稳定性整个泵腔内无接触部件，没有工作部件的磨损，抽气效率稳定活塞等部件磨损是避免不了的，随着检修次数的增加工作真空度将不断下降，长时间使用抽气效率衰减泵内和排气温度水冷螺杆，泵腔内的温度120度，消音器后排气温度稳定且一般低于60度，在处理易燃易爆气体时安全可靠性更高气体温升速度梯度高，排气温度较高，压缩热聚集快，泵腔内温度很难控制，如排气阀故障泵腔内的温度会更高噪音噪音低噪音大,机组振动大日常维护保养几乎免维护。
干螺杆真空泵工作原理及特点
干螺杆真空泵工作原理及特点
干螺杆真空泵是一种广泛应用于工业领域的真空设备，其工作原理和特点如下所述：
工作原理：
干螺杆真空泵通过螺杆的旋转来实现真空抽吸。
其内部由一对同轴的螺杆（主螺杆和从螺杆）组成，当主螺杆旋转时，从螺杆随之旋转。
在螺杆的螺旋腔中，由于螺杆的旋转，气体被逐渐向前推进，并被连续抽吸至泵的出口处，从而形成真空。
特点：
1. 干式操作：干螺杆真空泵采用干式操作，不需要使用油作为密封介质，减少了对环境的污染，且无需担心油污染物进入真空系统，适用于对干净和无油污要求较高的应用领域。
2. 高真空抽吸能力：干螺杆真空泵能够实现较高的真空抽吸能力，能够将气体抽至相对较低的气压范围，适用于需要较高真空度的技术过程和应用。
3. 运行稳定可靠：干螺杆真空泵结构简单，无易损件，因此运行稳定可靠，维修和保养成本较低。
另外，由于干螺杆真空泵没有液态油润滑，无需担心油品老化、泵内残留物等问题。
4. 适应性强：干螺杆真空泵适用于多种气体的抽吸，包括高温气体、湿气体、腐蚀性气体等。
同时，它也可以处理一定的液体和固体颗粒。
总结：
干螺杆真空泵通过旋转螺杆实现真空抽吸，其特点包括干式操作、高真空抽吸能力、运行稳定可靠和适应性强。
这使得干螺杆真空泵在广泛的工业应用中得到了广泛的应用。
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VACUU·PURE可以在较高的压力下连续工作，因此在干燥箱中，可通过该单泵进行初始干燥和剩余干燥。
VACUU·PURE通过其优异的冷凝水兼容性，轻松处理大量蒸汽，无需气镇，因此可避免泵抽速降低及噪声增加等气镇带来的缺点。
干式螺杆真空泵的结构、性能与应用
干式螺杆真空泵的结构、性能与应用摘要：干式螺杆真空泵是一种新型的真空泵，摒弃了传统润滑介质，具有结构简单、无油污染、高效能等特点。
本文通过对干式螺杆真空泵的结构、性能及应用进行研究与分析，总结出其在工业生产、科学研究等领域的广泛应用。
通过实验测量和数据分析，验证了干式螺杆真空泵的高抽速、低温升、可靠性等优势。
该研究为进一步推动干式螺杆真空泵的应用提供了理论依据和技术支持。
关键词：干式螺杆真空泵；性能；结构引言干式螺杆真空泵作为一种新型的真空泵，具有结构简单、无油污染、高效能等优势，已经在工业生产和科学研究中得到广泛应用。
本文旨在研究和分析干式螺杆真空泵的结构、性能及应用，并通过实验验证其抽速、温升和可靠性等方面的优势。
通过该研究，可为进一步推动干式螺杆真空泵的应用提供理论依据和技术支持，促进其在各个领域的发展和应用。
1.干式螺杆真空泵的结构干式螺杆真空泵是一种新型的真空泵，其结构相比传统润滑介质的真空泵有所不同。
它主要由驱动电机、螺杆转子、定子、进气口、排气口等组成。
其中，驱动电机提供动力，使螺杆转子旋转；螺杆转子与定子之间形成密封腔，通过旋转运动实现气体的抽吸和排放。
干式螺杆真空泵不需要外部润滑介质，因此在结构上取消了传统泵中的润滑系统，简化了结构，并且避免了润滑介质对工艺气体的污染。
此外，干式螺杆真空泵还采用了特殊的密封措施，以确保真空度的稳定性。
整个结构紧凑，占用空间小，方便安装和维护。
干式螺杆真空泵的结构简单而高效，使其在工业生产和科学研究中得到广泛应用。
2.干式螺杆真空泵的性能2.1高抽速的实验验证通过实验验证，干式螺杆真空泵展现出了高抽速的优异性能。
实验中，我们使用不同压力下的气体进行测试，并测量了干式螺杆真空泵的抽速。
结果显示，在各种压力范围内，干式螺杆真空泵表现出了卓越的抽取能力。
尤其是在高真空条件下，其抽速明显高于传统润滑介质的真空泵。
这可归因于干式螺杆真空泵采用无油设计，减少了气体与润滑介质之间的摩擦损失，提高了气体的流动性能。
干式螺杆真空泵技术参数
干式螺杆真空泵技术参数全文共四篇示例，供读者参考第一篇示例：干式螺杆真空泵是一种由螺杆压缩机和真空泵融合而成的设备，广泛应用于真空蒸馏、真空蒸发、真空干燥等领域。
干式螺杆真空泵具有结构简单、操作方便、稳定性高等优点，逐渐成为很多行业的首选设备。
在选购干式螺杆真空泵时，了解其技术参数是非常重要的，下面就让我们来详细了解一下干式螺杆真空泵的技术参数。
一、流量参数流量是干式螺杆真空泵的核心参数之一，一般以立方米/小时或者升/分钟为单位表示。
不同规格的干式螺杆真空泵的流量参数差异较大，选择时要根据具体需求进行选择。
干式螺杆真空泵的流量大小直接影响到设备的真空度以及抽气速度，因此在选购时一定要确保流量参数符合实际需求。
二、抽气速度抽气速度是另一个重要的技术参数，通常以立方米/小时或者升/分钟来表示。
抽气速度越大，干式螺杆真空泵的抽气效果就越好。
在实际应用中，抽气速度与流量参数密切相关，选择时需要综合考虑。
三、极限压力极限压力是干式螺杆真空泵的一个重要参数，通常以帕斯卡（Pa）或者毫巴（mbar）来表示。
极限压力越低，说明干式螺杆真空泵的抽气能力越强。
极限压力与真空度密切相关，选购时一定要选择极限压力较低的干式螺杆真空泵。
四、功率功率是衡量干式螺杆真空泵性能的重要指标之一，通常以千瓦（KW）为单位表示。
功率大小会直接影响到干式螺杆真空泵的抽气效率以及运行成本，因此选择时要根据实际需要进行合理选择。
五、转速转速是干式螺杆真空泵的关键技术参数之一，通常以转/分来表示。
转速的大小会影响到干式螺杆真空泵的运转效果和生产效率，选购时需谨慎考虑。
六、冷却方式干式螺杆真空泵通常采用风冷式或者水冷式冷却方式，不同的冷却方式对干式螺杆真空泵的性能和使用寿命有着直接影响。
在选购时要根据具体的工况和环境条件选择合适的冷却方式。
七、外形尺寸外形尺寸是干式螺杆真空泵的重要技术参数之一，通常以毫米为单位表示。
不同规格的干式螺杆真空泵外形尺寸差异较大，选购时需根据实际安装场地和空间进行选择。
螺杆式真空泵特点、结构及工作原理
螺杆式真空泵特点、结构及工作原理螺杆式真空泵是容积式真空泵中的新兴成员，出现于20世纪90年代前后，发展较晚。
但作为一种理想干泵，螺杆式真空泵在面世后获得了快速发展。
下面让我们一起了解一下它的基本知识吧！1、螺杆式真空泵特点螺杆式真空泵脱胎于螺杆式压缩机与螺杆液体输送泵，是容积式真空泵中一种较为理想的干式真空泵。
它能提供清洁无油的真空环境，并且对腐蚀性气体、可凝性蒸气、含粉尘颗粒气体有较强适应性。
因此在电子半导体、制药、石化等一些对清洁真空环境要求严格、气体成分复杂的行业领域，螺杆式真空泵备受青睐，逐渐成为传统油封机械泵、液环泵的换代产品。
螺杆式真空泵通过一对非对称螺杆转子的相向运动，来周期性改变齿间容积实现输送气体，达到抽气的目的。
它具有以下特点：1)清洁无油，多相混输，适应性广泛。
螺杆式真空泵转子间存在严格间隙，泵腔内无油，可抽除腐蚀性气体、有毒及含粉尘、可凝性蒸气等复杂气体。
2)结构简单，动平衡好，可靠性高。
螺杆式真空泵零部件少，核心部件无易损件，也无不平衡惯性力，运转可靠，寿命长。
3)因结构简单，零部件少，所以操作、维修维护简便。
4)强制输气，可以在宽压力范围内保证较大抽速，排气量几乎不受排气压力影响。
2、螺杆式真空泵的结构螺杆式真空泵一般是双螺杆结构。
螺杆式真空泵是通过一对非对称螺杆转子，在泵腔中作同步、高速反向运转，周期性改变齿间容积而产生的吸气和排气作用的抽气设备。
它的主要结构包括螺杆转子、轴承、泵体、密封等。
螺杆转子经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵腔中，螺杆与螺杆之间维持严格一定的间隙。
泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，腔内无需润滑油。
因此，螺杆式真空泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空高，消耗功率低，具有节能，免维修等优点。
螺杆式真空泵主要结构上图可见，螺杆式真空泵在结构上比较简单。
形式上，螺杆式真空泵有卧式和立式之分。
依据螺杆转子型线的不同又可分为单头螺杆式真空泵与多头螺杆式真空泵。
干式螺杆真空泵的性能结构与应用
干式螺杆真空泵的性能结构与应用目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般传统的真空泵系统已无法满足清洁无油、耐腐蚀、耐可凝性蒸汽以及能在恶劣的工况下运行的需要，因此近几年来干式真空泵发展很快，真空获得产品出现了更新换代的局面。
螺杆真空泵是20世纪90年代初出现的一种理想的泵种，由于它具有抽速范围宽、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦元件、能耗低、无废液排放以及运行成本低等一系列优点，因而已在微电子、半导体、光伏产业、化工制药、空间模拟等领域得到广泛应用。
一、干式螺杆真空泵的工作原理及其特点螺杆真空泵的工作原理很简单，二个平行的精密加工的螺杆，旋转方向相反，螺杆型线是由阿基米德螺旋线、圆外次摆线和圆弧曲线构成。
从电机端看，主动轴做顺时针旋转时，一对同步斜齿轮确定螺杆作相对旋转，于是螺杆就将吸入的气体从进气口压缩到排气口。
在螺杆与螺杆之间、螺杆与泵腔之间均有一定的间隙，以避免任何金属与金属之间的接触。
早期的螺杆是等螺距的，为了降低能耗、降低泵腔内的温度，最近又新开发了变螺距的螺杆泵。
其中一种螺杆是由二段螺距大小不等的螺杆拼作而成，另外一种就是螺距连续变化的螺杆泵，螺杆是由一个整体材料加工制作而成，各种不同的螺杆见图1所示。
下述图2、图3分别表示等节距螺杆与变节距螺杆的P-V图图2 等节距螺杆技术图3 变节距螺杆技术螺杆式真空泵与罗茨型、爪式真空泵的比较★气路比较图4 多级罗茨式图5 罗茨+爪式图6 干式螺杆泵★抽速特性比较啚7.抽速特性比较干式螺杆真空泵的特点·由于采用变螺距结构，比等螺距螺杆可节省30%能耗，排气温度较低；·被抽气体在泵腔内路程短并迅速排出；·被抽气体在泵腔内很少受到搅动；·微小颗粒不容易堆积；·可以夹带液体、可凝物和微小颗粒；·低振动和低噪声；·泵腔内的剩余物容易被清除；二、螺杆真空泵的设计结构、材料配置及特殊涂层图8 螺杆真空泵断面图★材料配置：泵体、端盖：球墨铸铁转子：铸铁，标准为无涂层，特殊涂层可选同步齿轮：合金钢，精磨斜齿轮轴封：驱动端：机械密封和唇形密封非驱动端：三联唇形密封驱动轴端：机械密封O 型圈：Kalrez® 4079Viton® A-1009★螺杆真空泵的涂层由于干式真空泵极大多数是用于抽除腐蚀性或危险性气体，为了防止泵腔和螺杆被腐蚀或生锈并延长泵的使用寿命，根据不同的应用可选择下列不同的涂层：PTFE (聚四氟乙烯)涂层：·耐化学性能好；·涂层寿命较短；·熔点低于300℃；·耐磨性较差；NIFA涂层：·2个涂层（Ni + PFA）；第一层Ni 15～20㎛，第二层PFA 25～35 ㎛；在化学镀Ni层上面再涂PFA(可溶性聚四氟乙烯)；·对所有的化学物质均具有良好的耐腐蚀性；·耐机械划伤的性能好；·即使PFA涂层磨损，仍然有Ni涂层保护基体材料；NIFLON涂层：·1个涂层（PTFE溶于化学镀Ni）15～20㎛；·良好的耐磨性；·对基材具有良好的结合力；·对极大多数化学物质具有良好的耐蚀性；·耐机械划伤；三、螺杆真空泵的性能参数及其使用注意事项下述是7种不同规格型号的变螺距螺杆真空泵的技术参数，见表1 表1 技术参数★使用注意事项螺杆真空泵背压螺杆真空泵通常的排气压力是大气压，在配用电机功率不变的情况下最大允许背压到0.3barg。
干式螺杆真空泵的十大性能特点
干式螺杆真空泵的十大性能特点1、工作腔内无任何介质，可获得清洁真空。
2、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体。
3、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况。
4、单台泵可从大气抽至1Pa，真空系统可大大简化。
5、不耗油,无滴漏。
6、水温对真空影响小，节水达90%以上,甚至可以不耗水。
7、旋转部件间无摩擦,可高速运转,整机体积小。
8、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收便捷。
9、结构简单，维护方便。
10、可与罗茨泵、分子泵组成无油机组。
干式螺杆真空泵是技术含量非常高的科技产品，主要应用于高纯净的真空工艺过程, 真空度极高，可适应恶劣工况，具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力，特别适宜于电子，化工和生物医药等领域。
干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。
它是油封式真空泵的更新换代产品。
螺杆真空泵的内核部分——螺杆转子，采用三维曲面数学模型设计、求解，通过模型的实体在五坐标联动的数控设备上加工，精度高，质量可靠，性能稳定，保证了产品长时间无故障运行。
本产品的自主创新性，产品质量及价格都具有很强的市场竞争力，可大范围替代进口产品，市场需求量大，将在化工、冶金、电子、石油、航空航天、核能、造纸、包装、食品、医药、医疗器械、以及信息工程、生物工程、微电子等100多个领域全面取代目前技术含量较低的真空设备。
干式螺杆真空泵工作原理
干式螺杆真空泵工作原理一、干式螺杆真空泵的概述干式螺杆真空泵是一种无油、无污染的真空泵，它采用双螺杆结构，通过螺杆间的啮合使气体被压缩并排出。
干式螺杆真空泵广泛应用于半导体制造、电子、光学、化学、医药等领域。
二、干式螺杆真空泵的结构干式螺杆真空泵主要由两个旋转的螺杆和一个静止的壳体组成。
其中一个螺杆为主动轴，另一个为从动轴。
主动轴由电机带动旋转，从动轴则随之转动。
两个螺杆之间形成的密封隙间距非常小，可以将气体压缩并排出。
三、干式螺杆真空泵的工作原理当电机启动时，主动轴开始旋转并带动从动轴一起旋转。
在两个相互啮合的螺杆之间形成了密闭的工作室。
当这个工作室与进气口相连时，气体就被吸入了工作室中。
当螺杆旋转时，气体被挤压并向出口排放。
当螺杆旋转到出口时，气体被排出真空泵。
这个过程一直持续到达到所需的真空度为止。
四、干式螺杆真空泵的优点1. 无油、无污染：由于干式螺杆真空泵没有油润滑，因此不会产生油雾和污染。
2. 节能：干式螺杆真空泵相比于其他类型的真空泵，其功率消耗更小，因此节能效果显著。
3. 稳定性高：由于其结构简单、运行平稳，并且没有易损件，因此干式螺杆真空泵具有很高的可靠性和稳定性。
4. 适用范围广：干式螺杆真空泵可以处理各种气体，包括易燃、易爆气体。
五、干式螺杆真空泵的应用1. 半导体制造：在半导体制造过程中需要使用真空设备进行各种工艺操作。
由于干式螺杆真空泵无油无污染，因此非常适合用于半导体制造。
2. 医药：在制药过程中需要使用真空设备进行各种工艺操作。
干式螺杆真空泵可以处理各种气体，因此非常适合用于医药制造。
3. 光学：在光学领域中，需要使用真空设备进行各种工艺操作。
由于干式螺杆真空泵具有高稳定性和可靠性，因此非常适合用于光学领域。
4. 化学：在化学领域中，需要使用真空设备进行各种工艺操作。
由于干式螺杆真空泵可以处理各种气体，因此非常适合用于化学领域。
六、干式螺杆真空泵的维护1. 清洁：为了保持干式螺杆真空泵的清洁和无污染，在使用前和使用后应对其进行清洁。
干式螺杆真空泵标准
干式螺杆真空泵标准
干式螺杆真空泵是一种无油、无水工作的真空泵，广泛应用于各
种工业领域。
由于其无油无水、无污染的特性，使其在高纯度要求的
领域（如光学、电子、化工等）得到了广泛应用。
下面是干式螺杆真
空泵的一些常见标准：
1. 泵的工作原理：干式螺杆真空泵通过两个相互啮合的螺杆旋
转运动，将工作室内的气体通过连续的螺杆腔体传递到真空泵的出口，实现气体的抽取。
2. 抽取能力：标准干式螺杆真空泵的抽取能力通常在几十到几
百立方米/小时之间，具体取决于泵的型号和尺寸。
3. 抽取压力：标准干式螺杆真空泵的抽取压力范围通常在几十
帕到几千帕之间，具体取决于泵的设计和性能。
4. 动力源：标准干式螺杆真空泵通常采用电动机作为动力源，
通常为交流电动机。
5. 防护等级：标准干式螺杆真空泵通常具有较高的防护等级，
以确保其在恶劣环境中的可靠运行。
6. 控制方式：标准干式螺杆真空泵通常可通过自动控制系统进
行控制，包括启停控制、压力调节等功能。
7. 设计和制造标准：标准干式螺杆真空泵通常采用国际通用的
设计和制造标准，确保其设计、制造和性能符合相关要求。
需要注意的是，不同厂家的干式螺杆真空泵可能存在一些差异，
具体的标准和规范应参照所购买的具体产品说明书。
螺杆干式真空泵
目录第一章绪论 (4)1.1 课题背景及研究意义 (4)1.2 螺杆真空泵在国内外的研究现状与发展方向 (6)第二章螺杆干式真空泵转子型线的研究 (8)2.1 常见转子型线比较 (8)2.2 多头双边对称圆弧型线 (9)2.2.1转子型线要素 (10)2.2.3 多头双边对称圆弧型线方程 (12)第三章螺杆干式真空泵工作原理 (16)第四章螺杆干式真空泵设计计算 (19)4.1螺杆基本尺寸 (19)4.2排气量 (21)4.2.1理论排气量 (21)4.2.1实际排气量 (21)4.3进排气孔口 (22)4.3.1轴向进气口 (22)4.3.2轴向排气口 (23)4.4极限真空度、功率及冷却水量 (23)4.5轴的强度计算 (24)4.6同步齿轮的设计计算 (24)4.6.1齿轮尺寸计算 (24)4.6.1齿轮强度校核 (25)参考文献： (26)螺杆式干式真空泵摘要：近年来在半导体工业和液晶显示器制造等工艺中，对清洁真空环境的要求越来越高。
如在半导体的等离子增强气相沉淀(PECVD)和反应离子刻蚀(RIE)工艺中，在液晶生产上使用的蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中，不但要求环境清洁，而且还需要抽除大量含有微小颗粒及粉尘的反应生成气体。
这些问题都不是传统的有油泵所能解决的。
本文的研究对象——螺杆式干式真空泵，抽气腔内无任何工作液，保证了被抽空间不受污染;无油蒸汽排放，保证了外部环境的清洁。
由于阴阳转子齿面间留有间隙，因而可以抽除含有粉尘，或有腐蚀性，有毒的气体。
作者主要着重于以下几个方面的研究：干式螺杆真空泵的基本原理。
阴阳螺杆的型线研究。
螺杆端面型线采用双边对称圆弧型线，推导出啮合原理的数学表达式，建立几何模型推导出端面型线方程，继而推导出螺旋齿面方程。
几何特性的研究等。
关键词：干式真空泵螺杆型线Abstract:Recently，in the semiconductor process of plasma enhanced chemical vapor deposition (PEVCD) and reactive ion etching (RIE)，in the liquidcrystal display device manufacture process of etching and PLASMA CVDproduction, it has not only high demand of vacuum environmentcleanliness, but also need to extract a huge amount of reaction-gascontaining particle and dust. The conventional oil pump can't solve theproblems mentioned above. The research object in this paper-dry screwvacuum pump has no operating fluid in the extracting chamber. It canguarantee space extracted and out side clean. It can extract gas containingmill dust ,corrosivity ,and poison ,because it has small gap between toothface of male and female rotors .I have focused on there search asfollowing .The profile research of male and female screws . The end faceprofile is double sides and symmetrical circles. Deduce the mathematicexpression of meshing principle; establish the geometric model and deducethe equations of end face profile, then the Equations of helical toothface .The research of geometrical properties，etc.Keywords：dry(oil-free)vacuum pump screw第一章绪论1905年德国人沃尔夫岗.盖德发明了油封式旋片泵，从此各种以油为工作液、润滑剂、密封液的真空泵如雨后春笋般迅速普及，统治了真空设备市场近百年。
干式螺杆真空泵选择的注意事项
干式螺杆真空泵选择的注意事项一、干式螺杆真空泵的结构：干式螺杆真空泵内装有一对平行的螺旋状的转子，其中一件转子的旋转方向为右旋，另一件为左旋。
两个转子在泵体内通过一对齿轮保持同步反向旋转。
转子和转子之间，转子与泵体之间没有摩擦且保持一定的间隙，两个转子和泵体形成密封腔，密封腔的个数等于转子的旋转圈数。
两个转子在旋转时，与吸气口相连的密封腔空间在旋转过程中逐渐变小，气体被压缩到排气口，长时间运转时需向泵体及端盖的夹套内通入适量的冷却水以对泵进行冷却。
因压缩热主要在排气侧产生，为了充分冷却转子，干式螺杆真空泵在多数工况下可以将适量的空气或其他合适的气体通过掺气口导入泵腔。
二、干式螺杆真空泵性能特点：1、抗腐蚀性设计：在同气体相接触的部件表面均采用了镀镍/特氟龙等涂层，避免气体对压缩腔体部件的腐蚀。
2、无油无水的纯净系统运行：无油无水的纯净的工作过程，极易化工气体介质的回收。
3、低噪音系统的机械设计运行：无金属及部件介面的接触，确保系统长寿命、低振动、低噪音以及低磨损耗。
4、低排气温度：转子用水套冷却系统，在压缩区从内部强化冷却，用这种方法，气体温度可以得到调节。
5、短气路-避免气体冷凝和结露锈蚀机腔。
6、紧凑式一体机组，占地空间小。
7、低真空和高流量干式螺杆真空泵可确保真空极限压力达到0.01Torr, 任何压力下，均可连续运行，螺杆转子具有极高的工作效率。
三、干式螺杆真空泵选择的注意事项：1、干式螺杆真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。
通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。
2、每种泵都有一定的工作压力范围，因而，泵的工作点应该选择在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。
3、干式螺杆真空泵在其工作压力下，应能排走真空泵设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、选择真空机组：（1）当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足工艺要求。
（2）有点真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的干式螺杆真空泵出口压力低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
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干式螺杆真空泵价格特点与使用条件
干式螺杆泵属于新型的真空泵型，其开发出来主要是为了替换传统水环真空泵、油环真空泵等其他泵型的。
因其独特的设计原理，可做到无油无水，可做耐腐蚀涂层，优良的密封设计，除了价格稍贵一点外，无论从哪一方面都将远远超过传统真空泵的性能。
如何判断干式螺杆真空泵是否合格，可以从以下几个方面判断：
1、极限真空度:当然极限真空度越低越好，目前国产一般在5Pa左右，进口的在1Pa左右。
2、震动及噪音：震动一定要小，噪音一定要小80分贝内为好。
3、若是有易腐蚀性环境中使用，最好能向厂家要一点同样涂层的样片，拿到厂里放介质溶济里做下试验，每个厂家使用的涂层或镀层配比不一样，它的性能当然也会有较大差异。
4、密封性：这个也很重要，但也只能从厂家推介说明上了解，最直接还是接入系统后通介质测定是不是有泄漏。
基本上就是以上几点来判断，第一和第二点决定了真空泵机加工水平和设计技术的水平如何，这个也将真接影响泵的使用寿命，第三和第四点也会影响其寿命，但也需要实验证明。
总的来说目前螺杆泵因为成本较高，建议还是选用进口的，欧美日韩的相对较贵，台系的其实也是不错的选择。
干式螺杆真空泵是技术含量非常高的科技产品，主要应用于高纯净的真空工艺过程, 真空度极高，可适应恶劣工况，具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力，特别适宜于洁净环境，且易做防腐处理，特别适用于电子，化工，生物医药，金属加工，食品加工等领域。
1、工作腔内无任何介质，可获得清洁真空
2、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况
3、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体
4、单台泵可从大气抽至1Pa，真空系统可大大简化。
5、水温对真空影响小，节水达90%以上,甚至可以不耗水。
6、不耗油,无滴漏
7、旋转部件间无摩擦,可高速运转,整机体积小结构简单，维护方便。
9、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收更便捷。
10、可与罗茨泵、分子泵组成无油机组
与螺杆式压缩机类似，螺杆式干式真空泵的工作过程可分为吸气、压缩和排气三个过程。
随着转子的旋转，每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环，现在以其中一对齿来说明。
阳转子按逆时针方向旋转，阴螺杆按顺时针方向旋转。
图中上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。
转于端面是排气端面。
在这里，阳转子沿顺时针方向旋转，阴转于沿逆时针方向旋转。
图中上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。