防静电检测方法

防静电检测方法

前言

本规范由公司ESD项目组提出。

本规范主要起草和解释部门：公司ESD项目组本规范主要起草人：姜延平

本规范主要审核人：林建平，陈迎曦

本规范批准人：林建平，鞠英年，陈迎曦

1范围

本规范制定了UT公司防静电材料、用品、工具、防静电接地等防静电技术指标的检测方法和采用的仪器。目的在于规范防静电技术指标的检测工作，指导现场操作。

本规范适用于UT公司防静电系统各要素（包括地面、接地系统、工作台、工作椅、工位器具、物流传递工具、包装材料、人员、腕带、服装、离子风机、防静电工具等）的防静电性能指标检测。防静电专用检测仪器的检测按照仪器仪表的检测标准进行，本规范不涉及。

2规范性引用文件

下列文件中的条款通过本规范的引用而成为本规范的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本规范，然而，鼓励根据本规范达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本规范。

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表面电阻（surface resistance）：两个特定的放置于材料同一面的电极之间的电压与它们通过电流的比值。

体电阻（volume resistance）：单位厚度上的直流电压，与通过材料的单位面积电流的比值，测试电极放置于材料相对面的对应位置。

接地电阻（Earth Resistance）：被接地体与地下零电位面之间的接地引线电阻、接地器电阻、接地器与土壤之间的过渡电阻和土壤的溢流电阻之和。

摩擦起电（Triboelectrification）：用摩擦的方法使两物体分别带有等值异号电荷的过程。

衰减时间（decay time）：静电电压从峰值电压降低到给定比例的时间。例如：在15%相对湿度的情况下，静电电压从2000V降低到100V的衰减时间小于等于1秒。

屏蔽泄漏电压：因屏蔽体外部的高电场而使屏蔽体内部获得的感应电场电压或外部高电场穿透屏蔽体衰减的残留电场电压，又称屏蔽残余电压。

静电中和（Electrostatic Neutralization）：带电体上的电荷与其内部和外部相反符号的电荷（电子或离子）的复合而使所带静电部分或全部消失的现象。

4防静电参数测试方法

4.1防静电主要参数及测试仪器

检验所使用的仪器必须经计量检定合格（有准用标签），并在有效期内。

4.2防静电测试仪器介绍

UT专用防静电测试仪器主要有：简易表面电阻测试仪、兆欧表、静电场测试仪、离子风机离子平衡度测试仪、 CHARGE PLATE MONITOR 156A、屏蔽残余电压测试仪、腕带测试仪、人体综合电阻测试仪、腕带测试仪和人体综合电阻测试仪的校准仪。

4.2.1手持式简易表面电阻测试仪

简易表面电阻测试仪型号为WRSTG330，测试量程为103~1012Ω，适用于测试平面材料，通过测试结果可以分辨被测材料为导体类、静电耗散类和绝缘类。

由于静电耗散材料的表面电阻为1×104Ω≤Rs＜1×1011Ω，因此WRSTG330测试仪面板指示的1011Ω档（面板的黑色圆圈处）修正为绝缘材料，不是静电耗散材料。

简易表面电阻测试仪配有一根专用接地线，把接地线的香蕉插头插入仪器表面的接地孔，另一度端的鳄鱼夹夹在接地母线上，把表面电阻测试仪平压在防静电台垫上，可以测试台垫的接地电阻。

WRSTG330的外形和测试方法参见图1。

便携式表面电阻测试仪

被测材料测试电极

OHMS PER SQUARE

10101010101010101010

绝缘平板

图1 简易表面电阻测试仪

4.2.2兆欧表

UT公司兆欧表的型号有BM80/2、41270两种。参见图2。

型号为BM80/2的兆欧表，配有两根连线和2Kg重的测试电极两个，具有Ω、K Ω、M Ω三个档位，Ω档测试量程为＜100 Ω，K Ω的测试量程为＜100K Ω，M Ω测试量程为105~1010Ω，适用于测试平面材料，通过测试结果可以分辨被测材料为导体类、静电耗散类和绝缘类，并可使用Ω档测试接地电阻，使用K Ω档测试低阻材料。

型号为41270的兆欧表，配有两根连线和两个测试电极，在10V档时，测试量程为105~1011Ω，在100V 档时，测试量程为105~1012Ω，适用于测试平面材料，通过测试结果可以分辨被测材料为导体类、静电耗散类和绝缘类。

两种兆欧表都可以测试材料表面电阻和体积电阻（或系统电阻），两根连线把兆欧表和两个测试电极连接起来，两个电极放置在材料的同一表面即可测试表面电阻，两个电极放置在材料的两个表面的相对位置可以测试体积电阻。型号为BM80/2的兆欧表可直接使用兆欧表和两根连线来测试接地电阻和低阻。

图2 兆欧表

4.2.3静电场测试仪

UT公司静电场测试仪有两种型号，普通型ESD42721，高精度型MODEL 520，都采用非接触型的电场感应测试方式。两个仪器都配有一根接地线，静电电压测试时接地线接地可以提高测量的准确性。

ESD42721的测试量程＜20KV，精确度为10V，适于测试较大的平面分布电场。

MODEL 520的的测试量程＜2KV，精确度为1V，适于平面和某点电场精确测试。

图3 静电场测试仪MODEL 520 图4 静电场测试仪 ESD42721

4.2.4离子风机离子平衡度测试仪

离子风机离子平衡度测试仪由静电电压发生器、静电场测试仪ESD42721、金属隔离测试板组成，静电电压发生器产生1000V静电电压。参见图5。

图5 离子风机离子平衡度测试仪

4.2.5CHARGE PLATE MONITOR

CHARGE PLATE MONITOR型号为MODE 156A 可用于测试离子风机的离子平衡度和衰减时间，静电电压发生器产生1000V静电电压。参见图6。