一种具有广泛适应性的微机械加工方法研究

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ｐｏｅａｒａｅＭＥｙｏｃｐ．ＦｎｌｌｙｄｔｆｂｃｔＭＳｇｒｓｏｅｏｉｉａｌｈｅｔｒｓｌｆｔｅｍｉｒａｒａｅｒｓｏｅａｅｐｅｅｔｄＩｙ，ｔｅｔｓｅｕｔｏｈｃｏｆｂｃｔｄｇｏｃｐｒｒｓｎｅ．ｔｓｉｙ
切应力传感器以及光开关等。利用该方法，制备了硅微陀螺仪，并给出了所制备的硅微陀螺仪的性能测试结果，同时分析了利用该制备方法制备各种不同器件时，工艺流程对器件性能的影响，点讨论了硅一玻璃阳极键合、重减薄工艺以及深刻蚀所
形成的侧壁质量，括侧壁垂直度、壁杂质等因素对器件性能的影响。包侧
一
种具有广泛适应性的微机械制造方法研究
施芹，安萍黄钦文罗蓉苏岩裘，，，
，．京理工大学机械工程学院，京２０９；１南南１０４、
＼．２中国电子科技集团公司第十三研究所，石家庄００５／５０１摘要：研究了一种具有广泛适应性的微机械制造方法，该方法可用于制备各种不同的器件，括硅微陀螺仪、包加速度计、剪
ｄｖｃｓｒｎｉｇｆｏｇｒｓｏｅ，ａｃｌｒｍｅｅｓｈａｔｅｓｓｎｏｏｏｔｃｌｓｔｈｓＴｈｎｔｅｍｅｈｄｗａｍ．ｅｉｅａｇｎｒｍｙｏｃｐｓｃｅｅｏｔｒ，ｓｅｒｓｒｓｅｓｒｔｐｉａｗｉｃｅ．ｅｈｔｏｓｅ
第２３卷第７期
２１００年７月
传感技术学报
ＣＮＥＪＲＮＦＳＮＳＳＡＮＣＵＡＯＲＨＩＥＳＯＵＡＬＯＥＯＲＤＡＴＴＳ
Ｖｏ．３Ｎｏ７１２．
Ｊｌ００ｕｙ２１
ＳｕｙｏｌｘｂｅＭｉｒｍａｈｎｄＦｂｉａｉｎＭｅｈｄｔａｆａＦｅｉｌｃｏｃｉｅａｒｃｔｏｔｏ
＼．ｈ１ＲｓｒｓｔｅＣＴ，ｈｉｈａｇＣｉ２Ｔｅ３ｅａｈｎｉｔＥＣＳｉｚｕｎ，ｈａｅｃＩｔｕ，ｊａｎ
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ＳＩＱｎ，ＱＵＡｐｎＨＵＮｉｗｎ，Ｕｏｇ，ＳａＨｉＩｎｉ，ＡＧＱｎｅＬＯＲｎＵＹｎｇ
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