微静电电机
改进的静电滚筒实验——静电电动机模型
图 ２ 电答 器 模 型
图 １ 静 电 电 动机 转 动 实 验
文献 ［ ］详细 地介绍 了 自制 富兰 克林 电动机 实 ２ 验装置 ， 析 了富 兰克林 电动机 在 各种情 况 下 的工 分 作 原理及 运转状 态 ， 文对此 不再赘 述． 本 上述静 电滚筒 实 验 ， 要教 师 自己制作 滚 筒 与 需 放 电电极 等实验器 件． 了在导 体 表 面积 累 足 够多 为
偏导 数 ， 到 方 向的力 为 得
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感 应 在外 表 面上 ， 与橡 胶棒 正对 时 由于 极 板 面积 的 改变 ， 两极 板 间的 电容 不断 变化 ， 电电 动机就 不停 静
如果 上 极 板 为 固定 端 ， 极 板 为 移 动 端 ，这 个 下
件一般的中学， 能够开设此类静电滚筒实验存在一
定 的难 度．
下 面介 绍 的改进 型 静 电滚筒 实 验 ， 同样 可 以实 现 转子 的快 速旋 转． 材简便 易得 ， 需要专 门 的实 器 不
验器 材 ， 验现象 生 动 有趣 ， 合学 生 动 手 操作 并 实 适
进行探 究活 动． ２ 静 电电动机原 理
图 １ 示是静 电滚 筒 （ 所 富兰 克林 电动 机 ）的 实 验装置 ， 其核心 是可 以绕 中轴 线旋 转 的 绝缘 塑料 筒 （ 可用矿 泉水瓶代 替 ） 塑料 筒表 面 粘有 一些 横条 铝 ， 箔． 筒 两边 与滚筒 中轴 线平行 放置两个 放 电极 杆 ， 滚 在杆 上设置 ４ ～５条 垂直 于电极杆 而指 向滚筒切 线 方 向的尖针作 为放 电 的尖 端． 当两个 电极 杆之 问 加
的电荷 达到 尖端放 电所 需 的 高 电势 或强 电场 ， 的 有 需 要专 门配 置静 电高压 电源 （５ ～３ Ｖ ） 有 的则 １ ０ｋ ，
范德格拉夫起电机最全的介绍
范德格拉夫静电起电机范德格拉夫静电起电机范德格拉夫静电起电机范德格拉夫静电起电机静电加速器是加速质子、α粒子、电子等带点粒子的一种装置，静电加速器的电压可高达数百万伏，它主要是靠静电起电机产生的，静电起电机最常用的一种是1931年由范德格拉夫（R.J.V an de Graaff,1901-1967）研制出来的，故亦称范德格拉夫静电起电机。
图6-29是静电起电机的工作原理图。
图中金属球壳A是起电机的高压电极，它由绝缘支柱C支撑着。
球壳内和绝缘支柱底部装有一对转轴D和D`，转轴上装有传送电荷的输电带（绝缘带B），并由电动机驱使它们转动。
在输电带附近装有一排针尖E（叫喷电针尖），而针尖与直流高压电源的正极相接，且相对地面的电压高达几万伏，故而在喷电针尖E附近电场很强，使气体发生电离，产生尖端放电现象。
在强电场的作用下，带正电的电荷从喷电针尖飞向输电带B，并附着在输电带上随输电带一起向上运动。
当输电带B上的正电荷进入金属球壳A 时，遇到一排与金属球壳相连的针尖F（叫刮电针尖），因静电感应使刮电针尖F带负电，同时使球壳A带正电并分布在球壳的外表面上。
由于针尖F附近电场很强，产生尖端放电使刮电针尖上的负电荷与输电带上的正电荷中和，从而使输电带B恢复到不带电的状态而向下运动。
就这样，随着输电带的不断运转，金属球壳外表面所积累的正电荷越来越多，其对敌的电压也就越来越高，成为高压正电极。
同样道理，如果喷电针尖E与直流高压电源的负极相接，则将使金属球壳成为高压负电极。
不同极性的高压电极，可分别用来加速不同电荷符号的带电粒子。
由于尖端放电、漏电、电晕等原因，金属球壳的对地电压不可能很高，即使把金属球可放到有几个大气压的氮气中，其对地电压也只能达到数百万伏。
如果在金属球壳内放一离子源，离子将被加速而成为高能离子束。
近代范德格拉夫静电加速器可将氮和氧的离子加速到具有100MeV的动能。
目前静电加速器除用于核物理的研究外，在医学、化学、生物学和材料的辐射处理等方面都有广泛的应用。
空气消毒机产品结构与原理图解
《GB15982-2012医院消毒卫生标准》 中Ⅱ类、Ⅲ类、Ⅳ类环境的室内空气 消毒。
型号 循环风量 外形尺寸 额定电压 额定功率
重量 噪音 杀菌率 等离子体消耗功率 等离子体工作电压 等离子体工作电流 等离子体频率 （plasma frequency） 等离子体密度分布 臭氧泄露量
产品参数（1000Y1）
1000Y1 1000m3/h 450mm*340mm*820mm AC220V-50Hz
≤200W 68.5kg ≤50db ≥90% 15W 4KV-8KV 2mA 50Hz
17
18 3
5.34*10 -2.62*10 /m
＜0.05
在≤80m3的密封房间以“高 档”风量工作60分钟，可使 空气中自然菌落数减少 90%以上，且残留菌数符 合《医院空气净化管理规 范》（2012版）， 《GB15982-2012医院消毒 卫生标准》等标准要求， Ⅱ类、Ⅲ类、Ⅳ类环境均 ≤4CFU/（15min,直径9cm 平皿）
CFU法（Colony-Forming Units）： 菌落形成单位，即平板计 数法，合适温度培养、一 定时间，单位体积中的细 菌、霉菌、酵母等微生物 的菌落总数。
哈尔滨工业大学电磁与电子技术研究所
哈尔滨工业大学隶属研究机构
01 学校简介
03 科研设备
目录
02 师资力量 04 科研范围
05 人才培养
07 科技发明
目录06 研究成果 Nhomakorabea哈工大微特电机专业成立于50年代初期，是哈工大建校初期的主要学科之一，在国际电机学术领域和国内电 机领域具有相当影响。2000年，被评为黑龙江省重点学科，2001年被评为国家重点学科、国防科工委重点学科， 同时也是学校“985工程”、“211工程”重点建设学科。
哈工大电磁与电子技术研究所成立于2003年12月，前身是哈工大微特电机教研室。研究所原名电动车研究所， 主要为发展电磁应用领域而进行理论基础、组件、电路及系统技术方面的研究。研究领域涉及机电、能源、交通 与环境。研究所建筑面积3000平方米，下设有电动车辆研究中心，主要从事电动车辆电气系统仿真与设计，电驱 动系统、储能设备监测与管理的研究与开发以及汽车电子与计算产品的研发，并设有电动车电驱动系统实验室、 特种电机实验室、测试与控制实验室、电磁装备实验室、新原理电磁装置实验室。
科研设备
功率分析仪;电池模拟系统等。
科研范围
科研方向 1、特种电机系统理论及应用技术 电动车辆驱动电机及其驱动控制技术 高性能磁阻电机基础理论及应用技术 机床主轴电机及其驱动控制技术 航天电动执行机构及其驱动控制技术 机器人用电机及其驱动控制技术 压缩机用电机及其驱动控制技术 静电电动机技术 新型超导电机理论及技术 2、车辆电力与电子
研究成果
研究所承担的研究方向包括4个领域17个子课题。研究成果显著，多次获得国家、教育部、国防科工委、航 天工业总公司和黑龙江省的奖励。在IEEETransactions on Magnetics、中国电机工程学报、电工技术学报、微 特电机、微电机等期刊以及在各种国际学术会议上发表论文400多篇，其中被SCI检索30多篇，被EI检索100多篇。 伴随着科研工作的发展与总结，研究人员陆续出版了《新型电驱动控制系统及其相关技术》、《步进电动机及其 驱动控制系统》、《电机与电器的数学分析方法》、《PHYSICS OF ELECTRIVC LAUNCH》、《步进电动机》、 《电动机智能控制基础》、《石英电子表手机电换能器》等学术著作。随着科研工作的不断深入和对科技创新的 追求，近几年研究所陆续申请国家发明专利近70项，其中已获授权15项。
微型驱动器及其测试技术
微 马 达 按 驱 动 形 式 的 不 同 可分 为 静 电 马 达 、电 磁 马选 、永 磁 性 马 达 和超 声 波 马 达 。表 １对 各 种 马 达进 行 了 比 较
维普资讯
６
福 建 电 脑
２００２年 第 ５期
微型驱 动器及其测试技术
许 红 平 ，葛成 立 ，陈刚。 （１．浙 江 广 播 电视 大 学 萧 山学 院 ３１１２０ ２．浙 江 火 电建 设 公 司 ３１００１６
３．浙 江 工 业 大 学机 电 工程 学 院 ３１００３２）
１ 引 言 所 谓微 驱 动器 指 的 是 能 产 生 驱 动 作 用 的 器 件 和 装 置 。 在 微
机 电系 统 中 ．微 驱 动 器 是 关 键 。 国 内外 著 名 的大 学 和 实 验 宣 都 将 有 关微 驱 动 器 的设 计 、加 工 制 造 技 术 、测 试 技 术 等 的研 究 作 为 微 机 械 研 究 的 一 个重 点 方 向 和 突 破 口 。微 驱 动 器 按 其 驱 动 原 理 可 分 为 静 电驱 动 、电磁 驱 动 、超 声 波 驱 动 、压 电 驱 动 、形 状 记 忆 台 金 驱 动 等 形 式 。
２ｔａｎ 当晶硅 直径 ６０“ｍ １９８７拒
５～１０ｎｍ ２００￣，ｍ
Ｎ卜Ｆｅ．ｃｒ—ｃｕ 盘、磁铁
直径５０％ｍ 直径 ｌｍｍ
１９９３年
一般静电的能量
一般静电的能量静电是我们日常生活中常见的现象，它产生的能量虽然微弱，但却有着广泛的应用和影响。
本文将以“一般静电的能量”为中心，通过解释静电的产生原理、能量传递方式和应用领域等方面，来探索静电能量的奥秘。
一、静电的产生原理静电是由于物体表面电荷的不平衡而产生的现象。
当两个物体摩擦或分离时，会引发电荷的转移，其中一个物体失去电子而带正电荷，而另一个物体获得电子而带负电荷。
这种电荷不平衡状态就是静电产生的原理。
二、静电能量的传递方式静电能量的传递方式主要有两种：放电和电场作用。
1.放电：当静电能量积累到一定程度时，会发生放电现象。
放电可以是以光和声音为表现形式的电火花，也可以是无法察觉的微弱电流。
静电放电的能量可以引发许多有趣的现象，比如闪电和静电电击等。
2.电场作用：静电能量也通过电场作用传递。
电场是由电荷周围产生的力场，可以影响周围的物体和电荷。
静电能量通过电场作用可以引起吸引、排斥和感应等现象。
这种电场作用在电动机、电容器和电磁波等设备中得到广泛应用。
三、静电能量的应用领域静电能量的广泛应用使得我们的生活更加便利和丰富多样。
以下是静电能量应用的几个领域：1.静电净化：静电能够吸附空气中的灰尘和杂质，因此被广泛应用于空气净化设备。
通过静电过滤器和静电吸尘器等设备，可以有效地去除空气中的污染物，提供清洁的室内环境。
2.静电粉末涂覆：静电能量可以帮助粉末颗粒附着在物体表面，形成均匀的覆盖层。
静电粉末涂覆技术广泛应用于汽车制造、金属加工和家具制造等行业，提高了产品的质量和外观。
3.静电除尘：静电能够吸引和悬浮在物体表面的尘埃颗粒，因此静电除尘技术被广泛应用于工业和家用空调系统、风扇和净化设备等，提高了设备的效率和使用寿命。
4.静电印刷：利用静电排斥和吸引的原理，可以实现高精度的印刷效果。
静电印刷技术广泛应用于电子产品、包装材料和印刷媒体等领域，提供了高质量的印刷品。
5.静电能量收集：静电能量可以通过电容器和电池等装置进行收集和储存。
TM 电工技术中图分类号
TM 电工技术[TM-9] 电工技术经济TM0 一般性问题TM02 电工设计、制图TM05 电工安装技术TM07 电工保养、维修TM08 电工安全TM1 电工基础理论TM11 电工单位、电工计算[TM12] 电学、磁学TM13 电路理论TM131 线性电路{TM131.1} 电路拓扑学TM131.2 过渡过程、暂态过程TM131.3 直流电路TM131.4 交流电路TM131.4+1 谐振电路、耦合电路 TM131.4+2 圆图及反演TM131.4+3 多相电路TM131.4+4 对称分量TM131.4+6 多端网络[TM131.5] 逻辑电路TM131.6 时变电路TM132 非线性电路、铁心电路TM133 电路综合与分析TM134 分布参数电路TM135 电路参数TM14 磁路TM141 磁导TM142 直流磁路TM143 交流磁路TM144 永久盘 怕?TM15 电磁场理论的应用TM151 静电场计算方法TM151+.1 二度场计算TM151+.2 三度场计算TM151+.3 电容及部分电容TM152 电流场、电流场计算TM153 磁场、磁场计算TM153+.1 磁场计算TM153+.2 电感计算TM153+.3 电磁力[TM153+.4] 地磁TM153+.5 磁屏蔽TM154 交变电磁场TM154.1 交变电磁场计算TM154.2 导电体中电磁过程及其应用TM154.2+1 涡流计算及感应加热TM154.2+2 集肤作用及邻近作用TM154.2+3 脉冲磁化TM154.3 介质和真空中电磁过程及其应用 TM154.4 电磁场逆问题TM155 场的造型及模拟技术TM2 电工材料TM20 一般性问题TM201 理论TM201.3 材料分析和计算TM201.4 材料性能TM201.4+1 机械性能TM201.4+2 热性能TM201.4+3 光性能TM201.4+4 电性能TM201.4+5 磁性能TM201.4+6 表面性能、缺陷TM202 设计、制图TM203 结构TM205 制造工艺及设备TM205+.1 制造工艺TM205+.2 设备TM206 性能试验和测量TM207 材细 与防护TM21/28 各种电工材料TM21 绝缘材料、电介质及其制品TM211 有机绝缘材料（总论）TM212 无机绝缘材料（总论）TM213 气体电介质TM214 液体电介质TM214+.1 有机酯的液体介质TM214+.2 合成酯的液体介质TM215 固体电介质TM215.1 树脂及塑料、高分子绝缘材料 TM215.1+1 天然树脂TM215.1+2 合成树脂和塑料TM215.1+3 改性树脂和塑料TM215.2 橡胶TM215.3 绝缘薄膜TM215.4 绝缘漆（油）、胶合剂TM215.4+1 掌?TM215.4+2 覆盖漆TM215.4+3 胶合剂、胶着剂TM215.5 云母绝缘材料及其制品TM215.6 纤维绝缘材料及其制品TM215.7 玻璃绝缘材料TM215.71 玻璃布TM215.72 玻璃塑料（有机玻璃）TM215.73 Ａ纤维TM215.8 绝缘石料TM215.91 蜡状绝缘材料TM215.91+1 非极性蜡、石蜡TM215.91+2 弱极性蜡、蜂蜡TM215.92 复合绝缘材料TM216 绝缘子和套管TM216+.1 陶瓷绝缘子TM216+.2 高铝氧瓷绝缘子TM216+.3 塑料绝缘子、环氧树脂绝缘子 TM216+.4 玻璃绝缘子TM216+.5 套管TM216+.51 密封式套管TM216+.52 穿墙套管TM216+.53 电器瓷管TM22 强性介质和压电介质TM22+1 铁电体、铁电晶体TM22+2 硫酸盐铁电体TM22+3 钛酸盐铁电体TM22+4 钽酸盐铁电体TM22+5 铌酸盐TM22+6 锡酸盐TM22+7 筛格涅特盐TM22+8 铁磁体TM22+9.1 石英晶体[TM23] 半导体材料TM24 导电材料及其制品TM241 金属导电材料TM241.1 精密电阻材料TM241.2 电热电阻材料TM242 非金属导电材料、炭素材料TM243 导电塑料TM244 裸电线TM244+.1 圆单线TM244+.2 架空绞线TM244+.3 型线与型材TM244+.4 软接线TM244+.9 其他TM245 电磁线、绝缘导线TM245+.1 漆包线TM245+.2 纤维绕包电磁线TM245+.3 无机绝缘电磁线TM245+.4 耐高温漆包线TM245+.5 特种电磁线TM246 电气装备用电线电缆TM246+.1 通用电线电缆TM246+.2 电工设备和仪器仪表用电线电缆 TM246+.5 控制电缆TM246+.9 其他专用电线电缆TM247 电力电缆TM247+.1 橡皮、塑料绝缘电力电缆TM247+.2 纸绝缘电力电缆TM247+.3 超高压充油电力电缆TM247+.9 其他TM248 通信电缆TM248+.1 电话电缆TM248+.2 对称通信电缆TM248+.3 同轴电缆TM248+.4 电话设备用电线电缆TM248+.5 电报电缆TM248+.6 脉码电缆TM248+.7 野战通信电缆TM248+.9 其他通信电缆TM249 特种电缆TM249.3 高温、超高温电缆TM249.4 低温、超低温电缆TM249.5 耐辐射电缆TM249.6 仿真电缆TM249.7 超导体电缆TM249.9 其他TM25 微波吸收材料TM26 超导体、超导体材料TM26+1 元素超导体TM26+2 化合物超导体TM26+3 金属互化物超导体、超导合金TM26+4 固溶体超导体TM26+5 超导磁铁TM27 磁性材料、铁氧体TM271 磁性材料、铁磁材料TM271+.1 磁泡TM271+.2 软磁材料TM271+.4 顺磁材料、顺磁铁TM271+.5 抗磁材料、抗磁体TM271+.6 反铁磁材料、反铁磁铁TM271+.7 磁带TM272 磁性粉末冶金材料TM273 永磁材料、永久磁铁TM274 磁性合金、金属铁磁体TM275 硅钢片、电工钢、立方织物钢片 TM276 磁介质、坡莫合金TM277 铁氧体、氧化物磁性材料TM277+.1 尖晶石结构铁氧体TM277+.2 六方晶系结构铁氧体TM277+.3 石榴石结构铁氧体TM277+.4 多晶铁氧体TM277+.5 硬磁铁氧体TM277+.6 各种化合物铁氧体TM277+.7 矩未胖回线铁氧体TM278 驻极体、驻极体材料TM28 电工瓷材料TM281 绝缘陶瓷和其他类似的材料TM281+.1 高压绝缘陶瓷材料TM281+.2 高频绝缘陶瓷TM281+.3 滑石TM281+.4 硅藻土、陶土TM282 压电瓷材料TM283 半导体瓷材料TM284 磁性陶瓷材料TM285 多孔性陶瓷材料TM286 金属瓷材料TM3 电机TM30 一般性问题TM301 电机原理TM301.2 电机的控制TM301.3 电机理论分析及过渡过程 TM301.4 电机性能TM301.4+1 电机发热与冷却TM301.4+2 电机振动、刚度与强度 TM301.4+3 电机噪音TM301.4+4 电机电磁场TM302 电机设计、制图TM303 电机结构及部件TM303.1 绕组、线圈TM303.2 导电部件TM303.4 绝缘结构TM303.5 转动装置TM303.6 机座、外壳、机罩[TM304] 电机材料TM305 电机制造工艺及设备TM305.1 一般制造工艺TM305.2 绝缘处理TM305.3 电机的平衡TM305.4 工艺设备TM306 电机试验、运行TM307 电机维护与检修TM307+.1 电机故障TM307+.2 电机检修TM307+.3 电机维护TM31/38 各种电机TM31 发电机、大型发电机组（总论） TM311 汽轮发电机TM312 水轮发电机TM313 永磁发电机TM314 内燃发电机TM315 风力发电机TM32 电动机（总论）TM33/38 各种电机TM33 直流电机TM331 励磁直流电机TM331+.1 串励直流电机TM331+.2 并励直流电机TM331+.3 他励直流电机TM331+.4 复励直流电机TM332 直流测功电机TM34 交流电机TM341 同步电机TM342 同步调相机（补偿机）TM343 异步电机TM343+.1 单相异步电机TM343+.2 三相异步电机TM343+.3 鼠笼式异步电机TM343+.4 绕线式异步电机TM344 交流换向器电机TM344.1 单相交流换向器电机TM344.1+1 串励电机TM344.1+2 推斥电机TM344.2 三相交流换向器电机TM344.3 同步换流机TM344.4 交流变速电机TM344.6 变频机TM345 无整流子电机TM346 感应电机TM346+.1 同步感应电机TM346+.2 异步感应电机TM35 特殊电机TM351 永磁电机TM352 磁阻电机TM353 深槽电机TM354 中频、高频电机TM355 高速电机TM356 低速电机TM357 防爆电机TM358 密封电机、防水电机TM359.1 电机放大器TM359.2 单极电机TM359.3 双-多极电机TM359.4 直线电机TM359.5 光电机（光马达）TM359.6 力矩电机（力矩马达）TM359.7 晶闸管电机（可控硅电机） TM359.9 其他TM36 无接点电机TM36+1 无接点直流电机TM36+2 无接点交流电机TM36+3 无接点同步电机TM36+4 无接点异步电机TM37 超导体电机TM38 微电机TM381 直流微电机TM382 交流微电机TM383 控制用微电机TM383.1 自整角机TM383.2 旋转变压器TM383.3 测速电机TM383.4 伺服电机TM383.4+1 直流伺服电机TM383.4+2 交流伺服电机TM383.4+3 脉冲伺服电机TM383.4+4 气动伺服电机TM383.4+5 液动伺服电机TM383.4+6 混合式伺服电机TM383.5 伺服-测速机组TM383.6 步进式微电机TM384 驱动用微电机（分马力电机）TM385 印刷电机TM386 霍尔效应电机TM387 电源用微电机TM4 变压器、变流器及电抗器TM40 一般性问题TM401 基本原理TM401+.1 理论分析和计算TM401+.2 性能TM402 设计TM403 结构TM403.1 机械结构TM403.2 绕组结构TM403.3 绝缘结构TM403.4 分接开关TM403.5 保护装置TM403.9 其他[TM404] 材料TM405 制造工艺、安装TM406 试验、运行TM407 维护、检修TM41/47 各种变压器、互感器、变流器、电抗器 TM41 电力变压器TM411 油浸式电力变压器TM411+.1 单相变压器TM411+.2 三相变压器TM411+.3 自耦变压器TM411+.4 成套变电站用变压器TM411+.5 全自保变压器TM412 干式电力变压器TM413 不燃性油变压器TM414 防爆变压器TM415 充气式变压器、气体绝缘变压器TM416 自冷却变压器TM417 脉冲变压器TM418 零阻抗变压器、短路阻抗选择变压器TM419 低噪音电力变压器TM42 变压器：按作用性能分TM421 配电变压器TM422 整流变压器TM422+.1 汞弧整流变压器TM422+.2 半导体整流变压器 TM423 调压器、可调变压器TM424 强电流变压器TM425 调幅变压器TM426 高阻抗变压器TM43 变压器：按频率分TM431 音频变压器、成音变压器 TM432 中频变压器TM433 高频变压器TM44 稳定器TM45 互感器TM451 电压互感器TM451+.1 单相电压互感器TM451+.2 电容式电压互感器 TM451+.3 三相电压互感器TM451+.4 浇注式电压互感器 TM451+.5 环形电压互感器TM451+.6 光电式电压互感器 TM451+.7 光纤式电压互感器 TM452 电流互感器TM452+.1 零序式电流互感器 TM452+.2 线绕式电流互感器TM452+.3 电容式电流互感器 TM452+.4 速饱和式电流互感器 TM452+.5 钳式电流互感器TM452+.6 误差补偿电流互感器 TM452+.7 可开合式电流互感器 TM452+.8 助磁式电流互感器 TM452+.91 悬式电流互感器TM452+.92 直流电流互感器TM452+.93 光电电流互感器TM452+.94 光纤电流互感器TM46 变流器TM461 整流器TM461.1 汞弧整流器TM461.1+1 引燃管TM461.1+2 励弧管TM461.2 离子整流器TM461.3 电子整流器[TM461.4] 晶闸管（可控硅） [TM461.5] 半导体整流器TM464 逆变器TM47 电抗器TM471 限流电抗器TM471+.1 水泥柱式电抗器TM471+.2 油浸式电抗器TM472 并联电抗器TM473 接地电抗器TM474 饱和电抗器TM475 消弧线圈TM476 启动电抗器TM477 滤波电抗器TM478 平波电抗器TM479 过渡电抗器TM5 电器TM50 一般性问题TM501 理论TM501+.1 电器学（电器原理）TM501+.2 电弧TM501+.3 电接触TM501+.4 电器计算TM502 设计TM503 结构TM503+.1 电磁结构（电磁铁）TM503+.2 非线性元件TM503+.3 双金属片TM503+.4 铁心线圈及电路TM503+.5 插接件[TM504] 材料TM505 制造工艺、安装TM506 试验、运行TM507 维护、检修TM51/59 各种电器TM51 高压电器（总论）TM52 低压电器（总论）TM53/59 各种电器TM53 电容器TM531 电容器:按作用分TM531.1 移相电容器TM531.2 脉冲电容器TM531.3 耦合电容器、旁路电容器 TM531.4 补偿电容器TM531.5 整流、滤波电容器TM531.6 电容分压器TM531.7 防护电容器TM531.8 微调电容器TM532 电容器:按结构分TM532.1 卷式电容器TM532.2 双盘式电容器TM532.3 固定式电容器TM532.4 移动式电容器TM532.5 可变电容器TM533 有机介质电容器TM533+.1 箔式电容器TM533+.2 漆膜电容器TM533+.3 金属化电容器TM533+.4 金属化纸介电容器TM534 无机介质电容器TM534+.1 陶瓷介质电容器TM534+.2 玻璃介质电容器TM534+.3 云母电容器、云母被银电容器TM535 电解电容器TM535+.1 固体电解电容器TM535+.2 液体电解电容器TM536 氧化膜介质电容器（无电解质电容器） TM537 气体介质电容器TM537+.1 真空电容器TM537+.2 充气电容器TM537+.3 压缩气体电容器TM538 液体介质电容器TM54 电阻器、电位器TM541 固定电阻器TM542 非线绕电阻器TM543 实芯电阻器TM544 薄膜电阻器TM544+.1 碳膜电阻器TM544+.2 硼碳膜电阻器TM544+.3 漆膜电阻器TM544+.4 金属膜电阻器TM544+.5 金属氧化膜电阻器TM545 线绕电阻器TM546 可变电阻器TM546.1 励磁变阻器TM546.2 旋臂滑线式变阻器TM546.3 频敏变阻器TM546.4 起动变阻器、起动调速变阻器TM547 电位器TM547+.1 线绕型电位器TM547+.2 非线绕型电位器TM547+.23 合成膜型电位器TM547+.5 直线式电位器TM547+.6 函数式电位器TM547+.7 微调电位器TM55 电感器、线圈、扼流圈TM551 空芯电感线圈TM552 磁芯电感线圈TM553 固定电感线圈TM554 可变电感线圈TM556 扼流圈TM56 开关电器、断路器TM561 断路器TM561.1 空气断路器、压缩空气断路器 TM561.2 真空断路器TM561.3 六氟化硫断路器TM561.4 液体断路器、油断路器TM561.5 灭弧断路器、灭弧室TM561.6 电磁断路器TM562 短路器TM563 熔断器、保险丝装置TM563+.1 限流熔断器TM563+.2 非限流熔断器TM563+.3 密封管式熔断器TM563+.4 螺旋式熔断器TM563+.5 插入式熔断器TM563+.6 快速熔断式熔断器TM564 各种开关TM564.1 隔离开关TM564.2 负荷开关TM564.3 刀形开关和转换开关TM564.4 旋转和滑动开关TM564.5 按钮和钮子开关TM564.6 微动开关TM564.7 接近开关TM564.8 自动开关TM57 控制器、接触器、起动器、电磁铁TM571 控制器TM571.1 机械控制器TM571.2 电气控制器TM571.3 气动控制器TM571.4 液压控制器TM571.5 混合式控制器TM571.6 特殊控制器TM571.6+2 最优控制器TM571.6+3 极值控制器TM571.6+4 自适应控制器TM571.6+5 数字控制器TM571.6+6 单稳态控制器TM571.6+7 双稳态控制器TM572 接触器TM572.1 直流接触器TM572.2 交流接触器TM572.3 中频接触器TM572.4 时间接触器TM572.6 电磁接触器TM572.7 组合接触器TM573 起动器TM573.1 手动起动器TM573.2 磁力起动器TM573.3 星三角起动器TM573.4 热敏电阻起动器TM573.5 蒸发式起动器TM573.6 综合起动器TM573.7 减压起动器TM574 电磁铁TM574.1 U形电磁铁TM574.2 螺管式电磁铁TM574.3 制动电磁铁TM574.4 起重电磁铁TM574.5 牵引电磁铁TM574.6 电磁离合器TM574.7 同步加速器电磁铁TM58 继电器TM581 电继电器TM581.1 静电继电器TM581.2 电解继电器、电化学继电器TM581.3 电磁继电器TM581.4 直流继电器TM581.5 交流继电器TM581.6 感应继电器TM581.7 无触头磁继电器TM581.8 无触点式继电器、电子继电器、离子继电器 TM581.8+1 电子管继电器TM581.8+2 闸流管继电器TM581.8+3 晶体管继电器TM582 热继电器TM582+.1 热丝继电器TM582+.2 双金属继电器TM582+.3 熔动继电器TM583 光电继电器TM584 声学继电器TM585 机械继电器、压力继电器TM585.1 作用力式继电器、位移式继电器 TM585.2 速度式继电器、加速度式继电器 TM585.3 线簧继电器TM585.4 舌簧继电器（笛簧继电器）TM585.5 振动继电器TM585.6 流量继电器TM585.7 气动继电器TM585.8 液压继电器TM586 气体继电器、瓦斯继电器TM587 控制继电器TM587.1 灵敏继电器TM587.2 时间继电器TM587.3 延时继电器TM587.4 程序控制继电器TM587.5 讯号继电器TM587.6 频率继电器TM587.7 辅助继电器TM588 保护继电器TM588.1 过流、欠压、逆流保护继电器TM588.1+1 电流继电器TM588.1+2 电压继电器TM588.1+3 接地继电器TM588.1+4 平衡继电器TM588.1+5 功率方向继电器TM588.2 断相继电器TM588.3 阻抗继电器TM588.4 电抗距离继电器TM588.5 自动重合闸继电器TM588.6 同步检查继电器TM59 成套电器TM591 开关柜TM591+.1 固定式TM591+.2 手车式TM591+.3 组合式TM592 配电屏、控制台（柜）TM592+.1 固定式TM592+.2 手车式TM593 保护屏（台）TM594 动力配电箱、照明箱TM595 全封闭组合电器TM6 发电、发电厂TM60 电能学TM61 各种发电TM611 火力发电、热力发电TM611.1 蒸汽发电TM611.2 内燃机发电TM611.21 汽油机发电TM611.22 柴油机发电TM611.23 煤气机发电TM611.24 燃气轮机发电TM611.25 沼气机发电TM611.3 联合循环发电TM611.31 燃气-蒸汽联合循环发电TM611.32 钾-蒸汽联合循环发电TM611.33 蒸汽-氨联合循环发电TM612 水力发电TM613 原子能发电TM614 风能发电TM615 太阳能发电TM616 地热发电TM617 余热发电TM619 其他能源发电TM62 发电厂TM621 火力发电厂、热电站TM621.1 厂址选择及规划TM621.2 锅炉及燃烧系统TM621.3 发电设备TM621.4 热力系统、热力网TM621.5 输电设备TM621.6 控制设备TM621.7 辅助设备TM621.7+1 电气设备TM621.7+2 管道设备TM621.7+3 采暖、通风、除尘、除灰设备 TM621.8 电厂化学TM621.9 其他设备[TM622] 水力发电厂、水电站TM623 核电厂（核电站）TM623.1 设计TM623.3 发电机与机房TM623.4 设备与安装TM623.7 运行与维修TM623.8 环境与安全TM623.9 各类型核电厂TM623.91 轻水堆核电厂TM623.92 重水堆核电厂TM623.93 液态金属冷却块中子增殖堆核电厂TM623.94 气冷堆核电厂TM623.99 其他类型堆核电厂TM624 移动式发电站[TM628] 发电厂“三废”的处理与综合利用TM63 变电所TM631 变电所：按作用分TM631+.1 升压变电所TM631+.2 降压变电所TM631+.3 整流变电所TM631+.4 联络变电所TM631+.5 区域变电所TM632 变电所：按地点分TM632+.1 户内变电所TM632+.2 户外变电所TM633 变电所：按结构分TM633+.1 固定变电所TM633+.2 移动变电所TM633+.3 成套变电所TM64 配电设备和电气接线TM641 控制室、配电室TM642 配电装置、配电盘TM642+.1 高压配电装置TM642+.2 低压配电装置TM642+.3 各种材料结构的配电装置TM642+.31 木结构配电装置TM642+.32 铁结构配电装置TM642+.33 水泥结构配电装置TM642+.4 室内配电装置TM642+.5 室外配电装置TM642+.6 封闭式配电装置TM643 开关设备[TM644] 互感器TM645 电气接线、电气接线系统TM645.1 主电路、一次接线TM645.1+1 母线回路、汇流排回路TM645.1+2 设备连接线TM645.2 二次接线TM645.2+1 控制回路TM645.2+2 测量回路TM645.2+3 信号回路TM645.2+4 合闸回路TM645.2+5 回路通道利用TM7 输配电工程、电力网及电力系统TM71 理论与分析TM711 网络分析、电力系统分析TM712 电力系统稳定TM713 电力系统短路TM714 负荷分析TM714.1 负荷功率、因数的提高TM714.2 电压调整TM714.3 系统中能量损失的降低及无功功率的补偿 TM715 电力系统规划TM72 输配电技术TM721 输电制度TM721.1 直流制输电TM721.2 交流制输电TM721.3 混合输电TM721.4 串联输电TM722 远距离输电TM723 超高压输电TM724 无导线输电TM724.1 微波输电TM724.3 激光输电TM725 超导输电TM726 输配电线路TM726.1 高压线路TM726.2 低压线路TM726.3 架空线路TM726.4 电缆线路TM727 电力网TM727.1 农村网络TM727.2 城市网络、地方网络TM727.3 工厂企业网络、车间网络TM727.4 室内网络、室内配电TM727.5 高大建筑物网络TM73 电力系统的调度、管理、通信TM731 经济功率分布、损失函数TM732 电力系统的运行TM733 系统的工业试验、参数的现场试验TM734 电力系统调度自动化TM74 电力系统的模拟与计算TM743 模拟与仿真TM744 电力系统的计算TM75 线路及杆塔TM751 导线的参数计算应用TM752 导线的架设、施工TM753 杆塔的机械计算及设计TM754 杆塔修建、维护及机械化施工TM755 线路检修TM756 室内导线TM757 电缆敷设TM757.1 线路路径勘测及定线TM757.2 电缆头封口TM757.3 地下电缆敷设[TM757.4] 海底电缆敷设TM76 电力系统的自动化TM761 自动调整TM761+.1 电压与无功功率的自动调整TM761+.11 励磁成组调节、励磁调节对电力系统的影响 TM761+.12 电压及无功功率自动调整的试验及模拟TM761+.2 频率及有功功率的自动调整TM761+.21 有功功率成组调节TM761+.22 有功功率自动调整及经济功率分配TM761+.23 频率与有功功率自动调整的试验与模拟TM762 电气设备的自动控制TM762.1 备用电源的自动投入TM762.1+1 电路图及其元件TM762.1+2 性能分析及参数整定TM762.1+3 运行经验TM762.1+4 试验、调整及检修TM762.2 自动重合闸TM762.2+1 类型及元件TM762.2+2 电路图及元件TM762.2+3 性能分析及参数整定TM762.2+4 运行经验TM762.2+5 试验调整及检修TM762.2+6 自动重合闸与继电保护及过电电压保护的配合 TM762.3 同步机的自动整步TM762.3+1 自动整步法TM762.3+2 电路图及元件TM762.3+3 整步设备性能分析及整定TM762.3+4 整步设备的运行经验TM762.3+5 整步设备的试验、调整及检修TM762.3+6 自动整步与重合闸及继电保护的配合 TM762.4 电力系统的自动卸载TM762.4+1 电路图及元件TM762.4+2 性能分析及参数整定TM762.4+3 运行经验TM762.4+4 自动卸载的试验、整定及检修TM762.4+5 自动卸载与自动调频及重合闸的配合 TM763 非电气设备的自动控制TM764 遥远测量与遥远控制TM764.1 电力系统遥远测量TM764.1+1 遥测基本原理TM764.1+2 遥测仪器及其元件TM764.1+3 遥测仪器的性能分析TM764.1+4 遥测仪器的运行经验TM764.1+5 遥测仪器的试验、调整及检修TM764.2 电力系统遥控与遥信TM764.2+1 遥控基本原理TM764.2+2 遥控仪器及其元件TM764.2+3 遥控仪器的性能分析TM764.2+4 遥控仪器的运行经验TM764.2+5 遥控仪器的试验、调整及检修TM769 电子计算机在电力系统中的应用TM77 电力系统继电保护TM771 保护原理TM772 元件的保护TM773 线路保护TM774 继电保护装置TM8 高电压技术TM81 高压安全TM83 高电压试验设备及测量技术TM831 高电压试验室TM832 产生高电压的装置TM833 产生冲击大电流的装置TM834 高电压及大电流的组合同步装置TM835 高电压测量技术TM835.1 高电压的测量方法及设备TM835.2 大电流的测量方法及设备TM835.4 高电压下测量各种参数的方法及设备TM836 高电压毫微秒技术TM84 高电压带电操作技术TM85 高电压绝缘技术TM851 电晕对绝缘的影响TM852 环境对绝缘的影响TM853 绝缘配合TM854 高压电力设备的绝缘结构及绝缘方法TM855 绝缘的试验与检查TM86 过电压及其防护TM861 流动波的理论TM862 过电压保护装置TM863 大气过电压及其防护TM864 内过电压[TM865] 建筑物的避雷TM866 过电压的测量及试验TM89 高电压及大电流技术的应用TM91 独立电源技术（直接发电）TM910 一般性问题TM910.1 基本原理、计算TM910.2 设计TM910.3 结构[TM910.4] 材料TM910.5 制造工艺TM910.6 充电方式、充电设备TM910.7 维护、检修TM911/919 各种独立电源TM911 化学电源、电池、燃料电池TM911.1 原电池、干电池TM911.11 含氧化物电池TM911.12 氯氧化汞、汞电池TM911.13 氧化亚铜电池TM911.14 碱性电池TM911.15 碳性电池、含碳电池TM911.16 激活电池TM911.17 空气去极电池TM911.18 再生电池TM911.21 迭层电池TM911.22 安瓿式电池TM911.23 杯形电池TM911.24 密封式电池TM911.3 电解质电池TM911.4 燃料电池TM911.41 金属-空气电池TM911.42 氧燃料电池TM911.43 肼-氢燃料电池TM911.44 天然气燃料电池、碳化气体燃料电池TM911.45 生物化学燃料电池、微生物燃料电池 TM911.46 低温燃料电池TM911.47 高温燃料电池TM911.48 离子交换膜燃料电池TM911.49 再生燃料电池TM912 蓄电池TM912.1 酸性蓄电池TM912.2 碱性蓄电池TM912.3 激活蓄电池TM912.4 密封式蓄电池TM912.5 铠甲式蓄电池TM912.6 轻便式蓄电池TM912.7 管式蓄电池TM912.8 牵引式蓄电池TM912.9 各种材料蓄电池TM913 温差电池、温差发电器TM914 光电池TM914.1 硒光电池TM914.2 硫化铊光电池TM914.3 硫化银光电池TM914.4 太阳能电池TM914.4+1 硅太阳能电池TM914.4+2 薄膜太阳能电池TM914.4+3 太阳能电池方阵TM915 热离子、热电子换能器TM915.1 热离子发电器TM915.2 等离子发电器TM915.3 热离子换能器TM916 磁流体发电TM916.1 发电通道TM916.2 磁流体发电装置TM916.3 开式磁流体发电系统TM916.4 闭式磁流体发电系统TM916.5 液态金属磁流体发电系统TM917 电流体发电、电气体发电、超导体发电TM918 核能换能器TM919 其他独立电源TM92 电气化、电能应用TM921 电力拖动（电气传动）TM921.0 一般性问题TM921.01 原理、计算TM921.02 设计TM921.05 制造工艺TM921.07 安装、运行及维护TM921.1/.5 各种电力传动系统TM921.1 直流传动系统TM921.2 交流传动系统TM921.3 微型电力传动系统TM921.4 各种电力拖动系统TM921.41 发电机-电动机系统TM921.42 带放大机的拖动系统TM921.43 带磁放大器的拖动系统TM921.44 带半导体装置的拖动系统TM921.45 可控整流器-电动机拖动系统 TM921.46 带电抗器、离合器的拖动系统 TM921.47 同步、异步拖动系统TM921.48 多电机电力拖动系统TM921.5 控制系统TM921.51 变频控制系统TM921.52 脉冲控制系统TM921.53 串级系统TM921.54 同步旋转及随动系统TM921.54+1 伺服系统TM921.54+2 随动系统TM921.54+3 多电机协调TM922 电力牵引TM922.0 一般性问题TM922.3 牵引供电系统TM922.31 轨道回流线TM922.32 交直流衔接系统TM922.4 牵引变电所TM922.41 直流牵引变电所TM922.42 交流牵引变电所TM922.43 无人维护牵引变电所TM922.5 接触网TM922.51 单链型悬挂接触网TM922.52 双链型悬挂接触网TM922.53 斜链型悬挂接触网TM922.54 弹性链悬挂接触网TM922.6 受电器、集电弓TM922.61 弓式受电器TM922.62 触轮式受电器TM922.63 集电靴式受电器TM922.64 弹性受电器TM922.65 轨道受电器TM922.7 牵引电气设备及辅助机组TM922.71 牵引电机TM922.72 牵引电动机TM922.72+1 直流牵引电动机TM922.72+2 脉流牵引电动机TM922.72+3 单相整流子牵引电动机TM922.72+4 异步牵引电动机TM922.73 牵引变压器TM922.74 牵引控制器TM922.75 辅助机组TM922.75+1 电动压缩机组TM922.75+2 电动通风机组TM922.75+3 照明发电机组TM923 电气照明TM923.0 一般性问题TM923.01 光源和照明理论TM923.02 设计、计算、制图TM923.03 结构TM923.04 灯丝材料TM923.05 制造工艺及设备TM923.06 制灯机械TM923.07 光源测试、检修方法及设备TM923.3/.6 各种电照器具TM923.3 灯泡、灯管TM923.31 白热灯泡、白炽灯TM923.31+1 手电珠TM923.31+2 钨丝白热灯TM923.31+3 碳丝白热灯、碳化钽白热灯 TM923.31+4 碘循环白热灯TM923.31+5 真空白热灯TM923.31+6 充气白热灯TM923.31+7 聚光灯泡TM923.31+8 大功率白热灯TM923.31+9.1 微型白热灯TM923.31+9.2 红外线白炽灯TM923.31+9.3 基准白炽灯TM923.32 气体放电灯TM923.321 荧光灯管（日光灯）TM923.322 水银灯、汞气灯TM923.323 氖灯、氙灯TM923.324 钠灯TM923.325 脉冲灯、激光灯TM923.326 碳弧灯TM923.327 辉光灯TM923.328 卤钨灯、金属卤钨灯TM923.33 场致发光灯TM923.34 半导体发光灯TM923.4 照明器TM923.41 固定式照明器TM923.42 悬挂式照明器、吊灯TM923.43 天花板式照明器、发光天花板 TM923.44 台式照明器、台灯TM923.45 移动式照明器TM923.46 防爆灯、防火灯TM923.47 探照灯TM923.48 指示灯、信号灯TM923.5 各种用途的灯TM923.51 闪光灯、摄影灯TM923.52 放映灯TM923.53 舞台灯TM923.54 矿灯TM923.55 水下照明灯TM923.56 航海灯、航行灯、雾灯TM923.57 机场灯、着陆灯TM923.59 其他TM923.6 附件TM923.61 镇流器TM923.62 启动器TM923.63 灯头、灯座TM924 电热TM924.0 一般性问题TM924.01 原理TM924.02 设计、计算、制图TM924.03 结构TM924.05 制造、安装TM924.07 运行、维护及检修TM924.08 工厂（车间）TM924.1/.7 各种电热设备TM924.1 电热设备的各种系统TM924.11 电极系统TM924.12 电磁搅拌系统TM924.13 温度调节系统TM924.14 真空系统TM924.15 电子束发射系统TM924.16 电子束控制系统TM924.2 电加热器TM924.21 电接触加热设备TM924.22 电烙铁TM924.3 电阻炉TM924.31 周期加热电阻炉TM924.32 连续加热电阻炉TM924.33 间接加热电阻炉TM924.34 直接加热电阻炉TM924.35 低温加热电阻炉TM924.36 高温加热电阻炉TM924.39 其他形式电阻炉TM924.4 电弧炉TM924.4+1 单相电弧炉TM924.4+2 三相电弧炉TM924.4+3 电渣炉TM924.5 感应电炉TM924.5+1 低频感应电炉TM924.5+2 高频感应电炉TM924.6 真空电炉TM924.6+1 真空电阻炉TM924.6+2 真空电弧炉TM924.7 特种电炉设备TM924.71 混合加热电炉TM924.72 电子轰击炉TM924.73 单晶体炉TM924.74 区域熔炼炉TM924.75 等离子加热设备TM924.76 微波加热与红外线加热设备 TM925 家用电器及其他电器设备TM925.0 一般性问题TM925.01 原理TM925.02 设计、计算、制图TM925.03 结构、构件[TM925.04] 制造用材料TM925.05 制造工艺、安装TM925.06 运行、测试TM925.07 使用、检修TM925.08 工厂（车间）TM925.1/.9 各种家用电器TM925.1 空气调节用电器TM925.11 通风电器TM925.12 空调器TM925.13 除湿电器TM925.16 空气净化电器TM925.2 冷藏用电器TM925.21 电冰箱TM925.22 电冰柜TM925.29 其他TM925.3 清洁卫生用电器TM925.31 除尘器TM925.32 电热水器、电沐浴器TM925.33 洗衣机TM925.34 烘干机TM925.35 电熨斗TM925.36 打蜡机、地板擦光机TM925.39 其他TM925.4 整容、保健用电器TM925.41 电动理发工具TM925.42 按摩电器TM925.49 其他TM925.5 厨房用电器、电炊具TM925.51 电炉灶TM925.52 电饭锅TM925.53 电烤箱TM925.54 微波炉TM925.55 电热壶、电热杯TM925.56 电合面机、电压面机TM925.57 排油烟机TM925.58 餐具器皿清洁器TM925.59 其他TM925.6 取暖电器TM925.61 电暖器（电热器）TM925.62 取暖电炉TM925.63 防寒保温服装及用具TM925.69 其他TM925.9 其他电器TM925.91 家用报警器TM925.92 电驱虫器[TM926] 农村电气化TM93 电气测量技术及仪器TM930 一般性问题TM930.1 测量原理和方法TM930.11 测量原理TM930.111 测量电路TM930.112 测量单位TM930.113 测量标准TM930.114 测量的各种参数及其分析 TM930.115 测量误差及其分析TM930.116 测量的阻尼问题TM930.12 测量方法TM930.12+1 直接测量方法TM930.12+2 比较测量方法TM930.12+3 模拟测量方法TM930.12+4 利用电磁原理的测量方法TM930.12+5 利用热电原理的测量方法 TM930.12+6 利用光学原理的测量方法 TM930.12+7 混合测量方法TM930.12+8 测量程序和步骤TM930.2 设计TM930.3 结构[TM930.4] 材料TM930.5 制造工艺TM930.7 仪表使用、维修、检验TM930.8 测量试验室TM930.9 电子计算机在测量技术中的应用TM931/938.8 各种电气测量技术及仪器 TM931 微波测量及仪表TM932 数字式测量及仪表TM933 电数量的测量及仪表TM933.1 电流测量及仪表TM933.11 电流标准TM933.11+1 电流天平TM933.11+2 电量计TM933.11+3 电流比较仪TM933.12 直流测量TM933.13 交流测量TM933.14 交直流测量TM933.15 电流表、电流指示器TM933.15+1 数字系电流表TM933.15+2 磁电系电流表TM933.15+3 整流式电流表TM933.15+4 电热式电流表TM933.15+5 感应系电流表TM933.15+6 电子式电流表TM933.2 电压测量及仪表TM933.21 电压标准TM933.21+1 标准电池TM933.21+2 齐纳管电压标准TM933.21+3 分压器、电压匹配仪器TM933.21+4 电压比较仪TM933.22 电压表、伏特计TM933.22+1 直流电压表TM933.22+2 交流电压表TM933.22+3 脉冲电压表（双峰电压表） TM933.22+4 相敏电压表TM933.22+5 电流电压表TM933.22+6 电子管电压表TM933.22+7 静电电压表、静电表。
静电放电(ESD)原理
体接触时，其中一个趋于从另一个吸引电子，因而二者会形成不同的充电电位。 摩擦起电是一个机械过程，依靠相对表面移动传送电量。传送的电量取决于接触的次数、表
面粗糙度、湿度、接触压力、摩擦物质的摩擦特性以及相对运动速度。 两个带上电荷的物体也就成了静电源。就人体而言，衣服与皮肤之间的磨擦发生的静电是人
特别是潜在的损坏，即使使用精密仪器也很难测量出其性能 有明显的变化，所以很多电子工程师和设计人员都怀疑 ESD，但近年试验证明，这种潜在损坏在一定时限以后，电 子产品的可靠性明显下降。
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王洪博：静电放电(ESD)原理；2010年6月9日；深圳
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ESD对产品的危害
静电的基本物理特性为：吸引或排斥，与大地有电位差，会产生放电电 流。
如果将导体瞬间接地（例如，该物体被站立在地上的人触摸），那么远离带电体 表面的电荷就会释放，则导体将带正电荷。
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静电感应
带电物体 静电场
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人体模型（Human Body Model , HBM）
人体放电模型是模拟人体因走动或其他因素而在人体上累积静电後，再去碰触到器件，人体上的静 电便会经碰触的脚位而進入器件內，若器件有一端接地而形成放电路径时，便会经接地脚位放电。 此放电的过程会在短短数百毫微秒(ns)的时间內产生数安培的瞬间放电电流，进而将器件內的电路 烧毁。对一般元件可耐受的HBM 2 kV來說，在2-10 ns的時間內，瞬间电流峰值可达1.33A。
mems 静电驱动微马达
mems 静电驱动微马达
静电驱动微马达（EDMA）是一种用于控制微型机械部件（如微型电机、微压发
生器和微力夹具等）的微型电机技术，其使用静电场技术通过带有相应分压的集电极上的负静电来驱动动作结构的移动。
EDMA优势在于其效率高、功耗低，
它可以在一定的尺寸范围内提供定位和振动控制，并且可以通过便携性低和低成本来减少整体系统尺寸，从而增强应用性能和可靠性。
EDMA技术可以将微小的静力转换为有效的动力，从而用于驱动大型机械系统的运动控制，比如微型电机、旋转平台、活塞系统等。
此外，它还可以用于有效控制高精度技术如弹性素技术（NIST）的定位、以及复杂的机械应用，如微电路制造、机器视觉和辐射散装技术等。
双定子静电微电机控制系统的信号检测研究
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传感器与微系统 （ ｒｎｄ ｃｒ ｎ ｉｒ ｙｔ ｅｈ ｏ ｇ ｓ Ｔａｓｕｅ ｄＭ ｃ ｓｓ ｍ Ｔｃ ｎｌ ｉ ） ａ ｏ ｅ ｏｅ
２０ ０８年 第 ２ ７卷 第 ５期
双 定 子 静 电微 电 机 控 制 系 统 的 信 号 检 测 研 究
悬浮转子旋转 驱动的闭环控制尤为重要 ， 主要特点 是采用互 相关检测一 其 锁定 放大 、 Ｓ Ｄ Ｐ控 制直接数字 频 率合成（ Ｄ ） Ｄ Ｓ 产生正弦波 ， 并通过实际正弦波发生电路和系统仿 真验证其 可行性 ， 这些提供 了解决微小 电 容检测在 实际电路实现上的一些关键问题 的办法 ， 为实际 电路参数选择提供重要参 考。 关键词 ：静 电微 电机 ； 互相关检测 ； 直接数字频率合成 ； 定放大 锁
张 忠榕 ，刘 武 ，张卫 平 ，陈文元
（ 上海交通大 学 微纳科学技术研究院 薄膜与微细； －教育部重点实验室 ￣ｒ ０
微 米／ 米 加 工技 术 国家 级 重 点 实 验 室 。 海 ２０ ３ ） 纳 上 ００ ０
摘
要 ：介绍 了一种基 于悬浮转子微陀螺的双定子轴向静 电微 电机控制系统 的信 号检测方法 ， 它对实 现
Ａｂ ｔａ ｔ ｓｒｃ ：Ｂａｅ ｎａ ｌｃｒｓ ｔ ａｌ ｃｏ ｃ ｉｅ ｔｒ（ ｓ ｄｏ ｎ ｅｅ ｔ ｔ ｉｌ ｙｍｉｒｍａ ｈｎ ｄｍｏｏ ＥＭＭ）ｕｅ ｎ ｔｅｌｖｔｔｄ ｒｔｒｍｉｒｍａ ｈｎ ｄ ｏａｃ ｓｄ ｉ ｈ ｅｉ ｅ ｏｏ ｃｏ ｃ ｉｅ ａ
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论微电机系统MEMS以及它的发展趋势
论微电机系统MEMS以及它的发展趋势摘要:微光机电一体化系统简称微系统, 是当今技术发展的前沿领域之一。
微系统技术的发展将大大地促进许多产品或装置微型化、集成化和智能化, 成倍地提高器件和系统的功能密度、信息密度与互连密度, 大幅度地节能降耗, 有广阔的应用领域和市场，这里主要介绍了微机电系统概念、研究的主要领域和目前的应用领域，重点介绍了MEMS加工技术及其分类，最后给出了该技术的展望。
关键词：微系统；研究领域；MEMS；现状及展望 kk1. MEMS的概念1.1 MEMS的概述MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。
MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。
MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。
MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。
完整的MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。
其目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起，组成具有多功能的微型系统，集成于大尺寸系统中，从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。
1 .2 MEMS 的显著的特征1)微小与精密。
微机械器件在线度与体积上都很细小, 其尺寸一般在毫米到微米范围内。
微机械进行的操作也是极其微细的。
2)机电合一的系统。
由于它的体积微小且操作精密, 即便是最简单的器件也必须由电信号进行控制, 微机械的输出信息也必须由电子系统进行检测和处理。
超声波电动机测转速
超声波电动机测转速超声波电动机(Ultrasonic Motor缩写USM)是以超声频域的机械振动为驱动源的驱动器。
由于激振元件为压电陶瓷，所以也称为压电马达。
超声波电机与传统的电机不同，超声波电机无绕组和磁极，无需通过电磁作用产生运动力。
一般由振动体(相当于传统电机中的定子，由压电陶瓷和金属弹性材料制成)和移动体(相当于传统电机中的转子，由弹性体和摩擦材料及塑料等制成)组成。
在振动体的压电陶瓷振子上加高频交流电压时，利用逆压电效应或电致伸缩效应使定子在超声频段(频率为20KHZ以上)产生微观机械振动。
并将这种振动通过共振放大和摩擦耦合变换成旋转或直线型运动。
可清楚理解，实现超声波驱动有两个前提条件：首先，需在定子表面激励出稳态的质点椭圆运动轨迹；其次，将定子表面质点水平方向的微观运动转换成转子的宏观运动或平动。
超声电机能大力矩输出是因为激振元件采用大功率密度的压电陶瓷材料。
同尺寸的超声微电机的力矩比静电微电机高3-4个量级：比电磁微电机高1．2个量级且输出转速也比其它类型的微电机低。
超声电机的保持力矩至少是最大输出力矩的2倍多，具有大的保持力矩是因为电机的定、转子间依靠摩擦力实现转子的驱动。
由于以上特点，与超声电机相连接的系统无须齿轮减速机构和制动机构，简化了应用系统的结构。
超声波电机有着诱人的应用前景，成为研究的一大热点。
具体地说，有以下几方面：信息机器、光学仪器、微机器人、医疗机器、探测系统、精密加工等。
超声电机的发展趋势是：大力矩、小尺寸、高效率、长寿命。
而此次转速测量系统的目的就是，通过对超声波电机移动体的机械振动进行观测，用MSP430单片机达到测量转速的目标。
单片机通过定时计数来测量一定时间内的脉冲个数，通过程序的控制在数码管显示出来。
超声波电机的机械振动要能和单片机联系起来，中间必须接入传感器，通过传感器把机械振动的周期或频率，转换为单片机可以识别的脉冲信号。
而MSP430系列单片机是美国德州仪器（TI）1996年开始推向市场的一种16位超低功耗、具有精简指令集（RISC）的混合信号处理器（Mixed Signal Processor）。
业内经典的微电机制造工艺ppt课件
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3.1.2 冲片的退火处理
a、冷轧无取向硅钢 其电绝缘层耐热温度为700~900℃，相 应退火温度为650~680℃，属低温退火；
b、铁镍合金 例如：1J50、1J79，退火温度为 1050~1150 ℃，属于高温退火。必须在 真空炉或氢气炉中进行，防止氧化。
a、退火、正火 目的：
▪ 软化钢件，便于切削； ▪ 消除残余应力，防止变形、开裂； ▪ 细化晶粒、改善组织，提高钢的机械性
能或磁性能； ▪ 为最终热处理（淬火十回火）作准备；
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b、调质
可获得较好的综合机械性能，如轴的调 质一般在粗车后，精车（或磨）前进行。
c、淬火
▪ 目的是提高强度、硬度、耐磨性。在磨
控制点的工序； d、工艺守则，某一专业应共同遵守的操作要
求，如金属材料热处理规范等； e、毛坯图； f、工艺附图，常与a、b项配合使用。
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1.4.2 工艺规程的特点
多样性 因批量大小、生产厂家、加工设备和设 计人员的不同而不同。
合理的工艺规程才是好的工艺规程 并不是越先进越好。
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1.4.3 工艺规程编制依据
把一台微电机零部件的加工关 系用图表表示出来，称之。
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2 机械加工
在微电机机加工中，机械加工 占有很大的比重，主要有机壳、转 轴、端盖及其他零部件加工
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2.1 机壳加工
永磁直流电机的机壳一般情况 下既起支承作用，又起导磁作用， 机壳材料一般采用10#钢或20#钢 等低碳钢。
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2.1.1 机壳结构
静电喷涂，同熔槽绝缘时的静电喷漆一 样，不适合于内腔涂敷。 电泳涂漆，
微机电系统及纳米技术大作业--MEMS motor
微机电系统及纳米技术大作业题目：MEMS motor摘要：本文以微电机驱动方式为线索介绍静电型微电机、电磁型微电机、压电式微电机、形状记忆合金微电机和磁致伸缩型微电机的工作原理，结构组成以及应用前景。
关键字：微电机微机电系统微机械WORD中静电型微电机0 引言现代微电机的发展与新材料技术、微电子技术、微加工技术都息息相关，也正是由于这些包括MEMS等高科技的迅速发展，为微电机的开发和拓展注入了活力。
本文介绍了包括静电微电机、电磁型微电机、压电式微电机、形状记忆合金微电机和磁致伸缩型微电机的工作原理，结构组成以及应用前景。
1 微电机种类1.1 静电型微电机微电子技术的巨大成功在许多领域引发了一场微小型化革命，以加工为纳米结构和系统为目的微米/纳米技术在此背景下应运而生。
自1987年加州大学伯克利分校科学家研制首台静电微电机以来，微电机随着加工工艺、方法的突破取得长足发展。
静电微电机因其与IC(integrate circuit)兼容、转速高、易于控制等诸多优点成为研究重点。
静电微电机技术主体有五个方面，设计建模和仿真、加工制造、应用，如图1。
图1静电微电机包括顶驱动电机、测驱动电机、摆动电机、中心电机、法兰盘电机、线性步进电机、超声电机、双定子轴向驱动可变电容电机、外转子电机、电感应电机、快门电机等。
图2为纳米电机。
图21.1.1 设计MEMS中静电微电机的设计不同于传统电机系统的设计，主要区别是MEMS 的设计需要集成相关的制造和加工工艺新型静电感应微电机的设计，其转子上所加载的负荷主要来自于电机气隙与轴承间产生的粘滞曳力，这些驱动器的加工过程还不能与IC完全兼容。
1.1.2 建模和仿真为了加快和提高MEMS设计，研究者开发出多种建模和仿真工具用于多能域、多学科交叉系统的建模和仿真，如VHDL-AMS可用于微电机的系统建模，Spice 和Saber可用于静电学仿真，ANSYS可用于多能域（机械、热和静电等）系统仿真。
电机判断好坏的方法
电机判断好坏的方法
电机判断好坏的方法
1、手摇法
用手摇动电机轴，如果感觉摇动很轻松，电机轴无明显阻力，而且转速也比较高，则说明电机内部有轻微的故障。
2、击声测试
用手拍打电机壳，如果听到明显的松响，那么说明电机周围的轴承有损坏的迹象，就可以判断电机有损坏的可能。
3、静电测试
使用一只静电棒，在电机外壳上测试，如果听到电机内部有杂音，那么电机已经损坏，很有可能是电机引线的故障。
4、功率测试
使用万用表测量电机的输入电流、输出电压、功率、转矩，如果结果显示电压和功率明显低于标准值，那么说明电机有问题。
5、仪表盘测试
将电机连接到仪表盘，并仔细观察仪表盘上显示的电压、电流、转速等参数，如果显示的参数远低于标准值，则电机有很大的损坏可能性。
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微静电电机发展史
随着电子技术的高速发展，硅加工工艺逐渐成熟,集 成电路加工尺寸可以做到深亚米级。在此背景下， 美国加利福尼亚大学berkeley 分校的Muller 在 1987 年提出在1μm～1mm 范围内制作以硅集 成工艺为基础的具有智能化结构的MEMS 概念， 到1989 年，该校学生L. S. Fan 等人成功地在硅 片上制作出直径为120μm 的静电电动机。从此， 静电电动机的 研制主要集中在了超微型结构上。
UCB研制的静电电机原理
旋转型电
微静电电机技术工艺
到目前为止，日本、美国和德国对静电电动机的开 发与研究分别代表着三种制作静电电动机的技术： 第一种是以日本为代表的利用非光刻的传统的机械 加工手段(如金属与塑料部件的切削、研磨) ,即利 用大机器制造生产小机器，再利用小机器制造微机 器的方法。日本认为静电电动机的未来不只属于硅， 硅仅是人们要使用的材料中的一种。
微静电电机
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微静电电机
微静电电机发展史 微静电电机原理 微静电电机工艺 微静电电机的应用 微静电电机的发展方向
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微静电电机发展史
微静电电机发展史
1742 年,即在电磁式电动机诞生100 多年前,Andrew Gordan 发明了利用同号电荷相排斥、异号电荷相吸引原 理的电铃和电弹力车，这可以看成是最早的利用静电驱动的 例子。 1889 年Karl Zipernowsky 发明了电容式静电电动机。 1893 年Arno 利用绝缘材料的介电驰豫特性制造了一台 3800V， 50Hz 电压驱动的异步感应静电电动机。 1969 年B.Boilé 研制了几种电容可变式静电电动机,其 e 中一种定转子之间的间隙加工到了0.1mm ，有100 个电 极,工作电压降到了200V，输出功率为600μW。这一研 究结果使人们关注静电电动机 。
微静电电机的未来发展方向
纳米电机 (Nano-ElectroMechanical Systems - NEMS)
Zettl Research Group LBNL, University of California, Berkley
谢谢大家
微静电电机技术工艺
第二种是以美国为代表的表面超微加工技术，利用 牺牲层技术和集成电路工艺技术相结合对硅材料进 行加工。
微静电电机技术工艺
第三种是以德国为代表的LIGA技术，它是利用X 射线光刻技术,通过电铸成型和铸塑形成深层微结构 的方法。这种方法可以对多种金属以及陶瓷进行三 维微细加工。其中第二种方法与传统IC 工艺相兼 容，可以实现微机械和微电子的系统集成，比较适 合批量生产，已成为目前超微静电电动机生产的主 流技术。
由于电介质存在缓慢极化， 使得极化滞后于电压的变化 出现随时间降落的吸收电流， 称这种现象为介质弛豫现象。
电容可变原理的静电电机
利用电容可变原理的静电电动机就是指利用带电极 板之间基于静电能的能量变化趋势产生机械位移， 这种作用力使两个电极趋于互相接近并达到一能量 最小的稳定位置。电动机的定子为静止电极，转子 为移动电极，通过限制转子向定子方向移动的自由 度，就可以使转子获得一个单一方向的位移。电容 可变型静电电动机的结构简单，由性能良好的绝缘 体和导电体构成,它的激励只需要简单的开环电压脉 冲就足够了。
直线型电容可变静电电机
图中所示的是1996 年 由东京大学研制的一种 直线型静电电动机的结 构示意简图，定子和动 子上都沉积有电极，通 过对定子与动子间施加 一系列电压可以使动子 产生一步步的直线运动， 运动速度的控制可以通 过调节电极上施加的电 压来达到。
旋转型电容可变静电电机
图示为加利福尼亚大学 Berkeley 分校在1989 年采用IC 工艺用多晶硅制 作的步进式静电电动机的 截面图。转子的外径比定 子的内径小一些，电动机 的运行依靠径向静电力吸 引转子向被激励的定子电 极方向运动，当按一定顺 序激励定子电极，就可以 实现转子在定子直径内滚 动。
微静电电机发展史
微静电电机原理
微静电电机原理
介电驰 豫原理 电容可 变原理
• 静电感应电动机 • (异步介电感应 电动机) • 直线型 • 旋转型
介电驰豫原理的静电电机
将一个介电转子置于旋 转电场中，那么就会在 转子表面感应出电荷， 由于介电驰豫，这些电 荷滞后于旋转电场，这 些感应电荷与旋转电场 之间的偏移就产生了一 个作用在转子上的转矩。 如果转子由多种介质构 成，那么不同的介电驰 豫过程就会被叠加,在 不同的频率下起作用。
微静电电机的未来发展方向
目前静电电动机的驱动力矩还是相对过小，这使它 的应用范围受到限制。要实现静电电动机长距离重 负载的运动,需要采用新的制造材料和新型结构，同 时也要研究静电电动机与被驱动对象之间的传动机 构。
微静电电机的未来发展方向
由于静电电动机外形尺寸比较小，特别是由于其结 构多为扁平(径向直径大于轴向长度) ，所以对静 电电动机需要进行三维场的分析,一般情况下是采用 有限元法(FEM) 或边界元法(BEM) 。通过三维 静电场的计算，建立解析模型(也称集总参数模型) ，结合电压激励方式的优化和外形尺寸的优化，以 实现静电电动机设计的自动化。
08电科三班
微静电电机的未来发展方向
微静电电机的未来发展方向
随着静电电动机的外形尺寸越做越小，摩擦问题成 为制约静电电动机寿命与性能的最大因素(目前静 电电动机的寿命一般是以小时为单位来计算)，同 时摩擦力还直接影响着静电电动机的效率。对于超 微型的静电电动机来，摩擦力主要是由于表面的相 互作用力而不再是载荷压力，传统的宏观摩擦理论 和研究方法已不再适用。研究微观摩擦理论来获得 在质量很小、压力很轻的条件下无摩擦、无磨损的 边界条件对于解决以上问题是十分必要的。
微静电电机的应用
微静电电机的应用
纳米卫星（重量1kg～10kg）
微型卫星（重量10kg～100kg）
微静电电机的应用
光 纤 开 关
微小机器人 微型无人机
微静电电机的应用
微小医疗型器械 开关组合部件 精密喷墨打印机和高密度细刻录硬盘中的光显示器 单片微型光编码盘 光栅显示器 高分子与细胞微执行器 ……