伺服的基础知识及简单应用
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根据编码器脉冲生成的速度反馈信号，进行速度控制的环。 检测伺服放大器的电流，根据生成的电流反馈信号，进行转矩控制的环。 控制模式 使用的环 位置环、速度环、电流环 速度环、电流环
各环都朝着使指令信号与反馈信号 之差为零的目标进行控制。 各环的响应速度按下述顺序渐高 （位置环）＜（速度环）＜（电流环）
伺服系统的最大特点是“比较指令值与当前值，为了缩小该误差”进行反馈控制。反馈控制中，确认机 械 （控制对象）是否忠实地按照指令进行跟踪，有误差（偏差）时改变控制内容，并将这一过程进行反复 控制，以到达目标。注意到该控制流程是：误差→当前值→误差，形成一个闭合的环，因此也称为闭环 （CLOSED LOOP）；反之，无反馈的方式，则称为开环（OPEN LOOP）。
转矩控制
即使负载变化，也可根据指定转矩正 确运行。 ※转矩是使转轴旋转的“力”。
第一章 什么是伺服 1.1.1 伺服的作用
未了实现既灵敏又高精度的动作，始终确认自己的动作状态，避免与指令发生偏差而不断进行反馈 (feed back），这就是伺服机构的特点。如何进行控制以缩小指令信号与反馈信号之差至关重要。 JIS中“伺服机构”的定义： “以物体的位置、方位、姿势等作为控制量，为跟踪目标的任何变化而构建的控制系统” 伺服机构大致由下列各部分组成。 指令部 控制部 发出动作的指令信号。 使电机等按照指令运行。
控制器 指令信号
伺服放大器 供给电能
伺服电机
第一章 什么是伺服 1.1.2 伺服电机的种类
普通的伺服电机有SM（同步）型AC伺服电机、IM（感应）型AC伺服电机和DC伺服电机 3种。与FA相关的伺服电机,尤其是需求量大的中、小容量,由于下列原因通常说到伺服一 般都是指SM型AC伺服电机。
无需维护
DC伺服电机的整流电刷需要进行维护、检查。 因DC伺服电机会产生电刷粉末，故不能用于有洁净要求的环境。
用薄膜卫生且正确地包装食品时，也用到伺服机构。 使用卷筒形状的薄膜，根据各种食品的大小进行包 装后，切割成正确的尺寸并分离薄膜是技术的关键。
第一章 什么是伺服 1.2.4 半导体设备
半导体制造工艺属于亚微米级的精细加工。因此，需要精密的加工精度和洁净的环境。 为了达到上述要求，广泛采用伺服系统。 半导体技术日新月异，对于伺服技术的要求也越来越高。
第一章 什么是伺服 1.2.5 注塑成型设备
注塑成型机是制造塑料零件时使用的设备。将经过加热熔融的塑料原料注射到模具内，固化后得到成型 产品。以前主要采用液压控制，而现在为了节能，采用AC伺服系统也多起来了。 注塑成型机
加热器位于由油缸和螺杆轴组成的部位，颗粒状的塑料原料经加热器加热、熔融后被注射到模具中。接 着经过冷却工序，开模后由推杆顶出成型产品。合模力很大，大型产品的用途中，合模力甚至超过 3000吨。
因此，伺服系统中的位置精度由以下各项决定。 伺服电机每转1圈机械的移动量 伺服电机每转1圈编码器输出的脉冲数 机械系统中的间隙（松动）等误差
第一章 什么是伺服 1.3.3 速度控制模式
伺服系统的速度控制特点：可实现“精细、速度范围宽、速度波动小”的运行。 (a) 软起动、软停止功能
可调整加减速运动中的加速度（速度变化率），避免加速、减速时的冲击。 (b) 速度控制范围宽 可进行从微速到高速的宽范围的速度控制。（1：1000～5000左右）速度控制范围内为恒转矩特性。 (c) 速度变化率小 即使负载有变化，也可进行小速度波动的运行。
必须对整流子部位进行维护和定期 检查。 因DC伺服电机会产生电刷粉末，故 不能用于有洁净要求的环境。 因电刷的缘故，不适于高速、大转 矩用途。 永久磁铁的磁力可能会逐渐减弱。
第一章 什么是伺服 1.1.3 编码器的种类
＜增量编码器与绝对编码器＞
最新的伺服电机多采用停电后无需进行原点复归的绝对编码器。绝对编码器中有检测电机旋转1圈内所处位置的绝对位置 检测部和计算旋转了几圈的多圈检测部。为了防止多圈检测数据在停电时丢失，由电池维持数据。 下图为光学式编码器的原理说明。最近，各公司已对分辨率极高（也有超过100万［脉冲/转］）的编码器实现了产品化。 通常，光学式编码器用于追求小型化或高分辨率等特性的应用领域，在特别追求耐环境性能（耐污染性能强等）的应用 领域，有时也使用磁力式编码器。 项目 输出内容 停止时的应对 价格 结构 增量编码器（Incremental Encoder） 输出相对值。针对旋转角的变化量输出脉冲。 接通电源时需要原点复归动作。 结构较简单，价格低。 绝对编码器（Absolute Encoder） 输出绝对值。输出旋转角度的绝对值。 接通电源时无需原点复归动作。 结构较复杂，价格高。
特点
来自百度文库
缺点
伺服放大器比DC电机用的略微复杂。 电机与伺服放大器必须一对一使用。 永久磁铁的磁力可能会逐渐减弱。
SM（同步） 型AC伺服电 机
IM（感应） 型AC伺服电 机
小容量机型的低效率伺服放大器比 DC电机用的略微复杂。 停电时不能发电制动。 特性随温度而波动。
DC伺服电机
伺服放大器结构简单。 停电时可进行发电制动。 小容量机型价格低
第一章 什么是伺服 1.3.1 伺服的控制环
从信号的流程着眼，伺服的构成如下图所示。
在AC伺服系统中，对装在伺服电机上的编码器所发出的脉冲信号或伺服电机的电流进行检测，将结果 反馈至伺服放大器，并根据这个结果按照指令来控制机械。该反馈有以下3种环。
位置环
速度环 电流环
根据编码器脉冲生成的位置反馈信号，进行位置控制的环。
根据指令值的不同，伺服系统的控制模式有以下3种。 (1) 位置控制模式 从速度控制模式 (2) 速度控制模式 列 切换到转矩控制 (3) 转矩控制模式 模式 有的伺服产品，还可在运行过程中切换模式。
卷筒开始卷绕时以指定速 度（速度控制模式）运行。 之后为了以恒定张力卷绕， 按转矩控制模式运行。
此外，最近有一种称为“运动控制”的控制方式也开始被采用，它适用于由1台控制器对多个轴进行同 时控制的多轴同步控制。
补充说明
该装置的旋转圆盘上设有很多光学槽，使发光二 极管的光通过固定槽，再利用光电二极管检测该 光束，并将槽的位置转换为电信号。
在电机轴上安装绝对编码器，即可随时检测电 机轴的固定位置。由于不需要脉冲计数，故接 通电源时无需原点复归动作。
第一章 什么是伺服 1.2 伺服的应用示例
由于具有通用性，伺服机构的应用领域非常广泛。 譬如，计算机的DVD驱动器、HD驱动器、复印机的送纸机构、数码摄像机的录像带传送机 构等，从与生活密切相关的领域到飞机的控制机构、天文望远镜的驱动机构等，更不用说 工业领域，伺服无处不在。 下面以FA领域为对象，列举部分AC伺服的应用示例。 80年代出现的AC伺服通过在数控（NC）和机器人领域中的应用实绩，脱颖而出一举成为 FA相关的变速驱动器的主角。到了90年代，由于逐渐从液压式过渡到电动式扩大了市场范 围，AC伺服的应用领域更加广泛了。最近，随着移动通信等信息技术（IT）的进步，与半 导体制造、电子零件组装、液晶产品等相关领域的实际应用取得了飞跃性的增长。 (1) 搬运设备 (2) 卷材设备 (3) 食品设备 (4) 半导体设备 (5) 注塑成型机设备 (6) 电子零件组装设备
第一章 什么是伺服 1.2.6 电子零件组装设备
装配机· 插片机 电路板检测
将电子零件（IC芯片、电阻、电容器等）安装在印 刷电路板上。要求正确的定位和高速性能。
检查电子零件（IC芯片、电阻、电容器等）是否已 正确牢固地安装在印刷电路板上。有时还要对电路 板进行检测。
第一章 什么是伺服 1.3 伺服的原理和构成
第一章 什么是伺服 1.2 .1 搬运控制
在工业高度发达、自动化不断进步的今天，搬运设备已成为许多领域不可或缺的项目。
搬运机（垂直) 由于导入了伺服机构，可提高机械速 度、从而提高生产效率。 可在指定位置正确停止。采用带电磁 制动器的伺服电机，可防止停电时货 物下降 自动仓库•分拣系统 自动仓库· 分拣系统 在自动仓库中，分拣部和行走部已越来越 多地采用AC伺服电机，以满足高速化需求。由于采用了AC伺 服电机，可实现高速运行以及平稳的加速、减速。 与SCM（供应链管理）相结合的自动仓库· 分拣系统从原料采 购到商品发送等各个环节，可大幅提高物流库存管理的效率。
定位控制的要求是“始终正确地监视电机的旋转状态”，为了达到此目的而使用检测伺服电机旋转状态 的编码器。而且，为了使其具有迅速跟踪指令的能力，伺服电机选用体现电机动力性能的起动转矩大而 电机本身惯性小的专用电机。
第一章 什么是伺服 1.3.2 位置控制模式
(b) 定位控制基本特点 伺服系统的定位控制基本特点如下所述。 机械的移动量与指令脉冲的总数成正比。 机械的速度与指令脉冲串的速度（脉冲频率）成正比。 最终在±1个脉冲的范围内定位即完成，此后只要不改变位置指令，则始终保持在该位置。（伺服 锁定功能）
位置控制模式
速度控制模式
转矩控制模式 电流环（但是,空载状态下必须限制速度）。
第一章 什么是伺服 1.3.2 位置控制模式
（a） 定位控制的目标 FA设备中的“定位”是指工件或工具（钻头、铣刀）等以合适的速度向着目标位置移动，并高精度地停 止在目标位置。这样的控制称为“定位控制”。 可以说伺服系统主要用来实现这种“定位控制”的目的。
驱动，检测部
驱动控制对象，对其运行状态进行检测。
实际的机构虽然也有液压式和气压式的，但最近广泛使用维护性能优良的电气式伺服机构。 电气式伺服机构中尤其与FA相关的精密控制中，经常使用AC伺服系统。而且，伺服电机常带有可检测 旋转角度、速度和方向的编码器，它可将检测信息反馈给伺服放大器（控制部）。 1 指令部 2 控制部 3 驱动，检测部
层压机是使多张薄膜重叠在一起的设备。控制张力 的同时，正确调整压力使之均匀叠合是关键。
第一章 什么是伺服 1.2.3 食品设备
随着对食品处理要求的不断提高，高品质且安全的食品加工的需求越来越迫切。 在这样的形势下，伺服机构在食品加工领域的应用不断取得进展。 灌装机流水线 包装机流水线
灌装流水线 将不同产品、不同容量的液体高速灌 入各种形状的瓶子。可以根据瓶子的形状，控制 灌入速度，将液体灌入到指定量而不起泡。
旋转台 清洗晶片 晶片探针 1块晶片可制作许多LSI芯 片，组装前需用晶片探针 和万用表以芯片为单位进 行检测。探针要接触芯片， 因此必须进行正确的定位， 而且还要求高速定位。
制作半导体回路时，要用到“照相 半导体制造工序中，由于利用了 原理”。将感光剂（抗蚀液）涂在 “照相原理”，因此在制造过程中 半导体晶片上的工序就是旋转台。 需要多次清洗晶片。将晶片浸在药 其原理是使抗蚀液滴下并利用离心 水或水（纯净水）中，溶解污染物、 力使液体薄薄地扩展。如果晶片转 进行中和、冲洗、干燥。晶片处理 速过快，会导致抗蚀液飞散。反之， 方法有2种：一次集中数块晶片，以 如果转速过慢，则无法均匀地涂覆 盒为单位进行处理的“批量处理”； 抗蚀液。 以及每次处理1块晶片的“单片处 理”。
IM型AC伺服电机由于没有永久磁铁，停电时不能发电制动。
环境性能
停电时的发电制动
第一章 什么是伺服 1.1.2 伺服电机的种类
种类 结构 优点
无需维护。 环境适应能力强。 可输出大转矩。 停电时可进行发电制动。 小型、轻量。 功率变化率大。 无需维护。 环境适应能力强。 可输出高速、大转矩。 大容量机型效率高。
第一章 什么是伺服 1.2.2 卷材设备
处理纸、薄膜等超长材料（卷材）的设备，也称为卷筒。大致可分为开卷、加工和卷绕。加工处理随应 用领域（纵向剪切机、层压机、印刷）而异，但整个机构基本相同。 常规机构图 ：
纵向剪切机
层压机
纵向剪切机是将经过加工部处理的卷材在最终工序 卷绕部进行裁切的机械。控制张力的同时，用裁切 器正确地裁切是关键。
第一章 什么是伺服 1.1伺服的作用
位置控制
可正确地移动到指定位置，或停止 在指定位置。 位置精度有的已可达到微米（μ m： 千分之一毫米）以内，还能进行频 繁的起动、停止。
速度控制
目标速度变化时，也可快 速响应。 即使负载变化，也可最大 限度地缩小与目标速度的 差异。能实现在宽广的速 度范围内连续运行。
各环都朝着使指令信号与反馈信号 之差为零的目标进行控制。 各环的响应速度按下述顺序渐高 （位置环）＜（速度环）＜（电流环）
伺服系统的最大特点是“比较指令值与当前值，为了缩小该误差”进行反馈控制。反馈控制中，确认机 械 （控制对象）是否忠实地按照指令进行跟踪，有误差（偏差）时改变控制内容，并将这一过程进行反复 控制，以到达目标。注意到该控制流程是：误差→当前值→误差，形成一个闭合的环，因此也称为闭环 （CLOSED LOOP）；反之，无反馈的方式，则称为开环（OPEN LOOP）。
转矩控制
即使负载变化，也可根据指定转矩正 确运行。 ※转矩是使转轴旋转的“力”。
第一章 什么是伺服 1.1.1 伺服的作用
未了实现既灵敏又高精度的动作，始终确认自己的动作状态，避免与指令发生偏差而不断进行反馈 (feed back），这就是伺服机构的特点。如何进行控制以缩小指令信号与反馈信号之差至关重要。 JIS中“伺服机构”的定义： “以物体的位置、方位、姿势等作为控制量，为跟踪目标的任何变化而构建的控制系统” 伺服机构大致由下列各部分组成。 指令部 控制部 发出动作的指令信号。 使电机等按照指令运行。
控制器 指令信号
伺服放大器 供给电能
伺服电机
第一章 什么是伺服 1.1.2 伺服电机的种类
普通的伺服电机有SM（同步）型AC伺服电机、IM（感应）型AC伺服电机和DC伺服电机 3种。与FA相关的伺服电机,尤其是需求量大的中、小容量,由于下列原因通常说到伺服一 般都是指SM型AC伺服电机。
无需维护
DC伺服电机的整流电刷需要进行维护、检查。 因DC伺服电机会产生电刷粉末，故不能用于有洁净要求的环境。
用薄膜卫生且正确地包装食品时，也用到伺服机构。 使用卷筒形状的薄膜，根据各种食品的大小进行包 装后，切割成正确的尺寸并分离薄膜是技术的关键。
第一章 什么是伺服 1.2.4 半导体设备
半导体制造工艺属于亚微米级的精细加工。因此，需要精密的加工精度和洁净的环境。 为了达到上述要求，广泛采用伺服系统。 半导体技术日新月异，对于伺服技术的要求也越来越高。
第一章 什么是伺服 1.2.5 注塑成型设备
注塑成型机是制造塑料零件时使用的设备。将经过加热熔融的塑料原料注射到模具内，固化后得到成型 产品。以前主要采用液压控制，而现在为了节能，采用AC伺服系统也多起来了。 注塑成型机
加热器位于由油缸和螺杆轴组成的部位，颗粒状的塑料原料经加热器加热、熔融后被注射到模具中。接 着经过冷却工序，开模后由推杆顶出成型产品。合模力很大，大型产品的用途中，合模力甚至超过 3000吨。
因此，伺服系统中的位置精度由以下各项决定。 伺服电机每转1圈机械的移动量 伺服电机每转1圈编码器输出的脉冲数 机械系统中的间隙（松动）等误差
第一章 什么是伺服 1.3.3 速度控制模式
伺服系统的速度控制特点：可实现“精细、速度范围宽、速度波动小”的运行。 (a) 软起动、软停止功能
可调整加减速运动中的加速度（速度变化率），避免加速、减速时的冲击。 (b) 速度控制范围宽 可进行从微速到高速的宽范围的速度控制。（1：1000～5000左右）速度控制范围内为恒转矩特性。 (c) 速度变化率小 即使负载有变化，也可进行小速度波动的运行。
必须对整流子部位进行维护和定期 检查。 因DC伺服电机会产生电刷粉末，故 不能用于有洁净要求的环境。 因电刷的缘故，不适于高速、大转 矩用途。 永久磁铁的磁力可能会逐渐减弱。
第一章 什么是伺服 1.1.3 编码器的种类
＜增量编码器与绝对编码器＞
最新的伺服电机多采用停电后无需进行原点复归的绝对编码器。绝对编码器中有检测电机旋转1圈内所处位置的绝对位置 检测部和计算旋转了几圈的多圈检测部。为了防止多圈检测数据在停电时丢失，由电池维持数据。 下图为光学式编码器的原理说明。最近，各公司已对分辨率极高（也有超过100万［脉冲/转］）的编码器实现了产品化。 通常，光学式编码器用于追求小型化或高分辨率等特性的应用领域，在特别追求耐环境性能（耐污染性能强等）的应用 领域，有时也使用磁力式编码器。 项目 输出内容 停止时的应对 价格 结构 增量编码器（Incremental Encoder） 输出相对值。针对旋转角的变化量输出脉冲。 接通电源时需要原点复归动作。 结构较简单，价格低。 绝对编码器（Absolute Encoder） 输出绝对值。输出旋转角度的绝对值。 接通电源时无需原点复归动作。 结构较复杂，价格高。
特点
来自百度文库
缺点
伺服放大器比DC电机用的略微复杂。 电机与伺服放大器必须一对一使用。 永久磁铁的磁力可能会逐渐减弱。
SM（同步） 型AC伺服电 机
IM（感应） 型AC伺服电 机
小容量机型的低效率伺服放大器比 DC电机用的略微复杂。 停电时不能发电制动。 特性随温度而波动。
DC伺服电机
伺服放大器结构简单。 停电时可进行发电制动。 小容量机型价格低
第一章 什么是伺服 1.3.1 伺服的控制环
从信号的流程着眼，伺服的构成如下图所示。
在AC伺服系统中，对装在伺服电机上的编码器所发出的脉冲信号或伺服电机的电流进行检测，将结果 反馈至伺服放大器，并根据这个结果按照指令来控制机械。该反馈有以下3种环。
位置环
速度环 电流环
根据编码器脉冲生成的位置反馈信号，进行位置控制的环。
根据指令值的不同，伺服系统的控制模式有以下3种。 (1) 位置控制模式 从速度控制模式 (2) 速度控制模式 列 切换到转矩控制 (3) 转矩控制模式 模式 有的伺服产品，还可在运行过程中切换模式。
卷筒开始卷绕时以指定速 度（速度控制模式）运行。 之后为了以恒定张力卷绕， 按转矩控制模式运行。
此外，最近有一种称为“运动控制”的控制方式也开始被采用，它适用于由1台控制器对多个轴进行同 时控制的多轴同步控制。
补充说明
该装置的旋转圆盘上设有很多光学槽，使发光二 极管的光通过固定槽，再利用光电二极管检测该 光束，并将槽的位置转换为电信号。
在电机轴上安装绝对编码器，即可随时检测电 机轴的固定位置。由于不需要脉冲计数，故接 通电源时无需原点复归动作。
第一章 什么是伺服 1.2 伺服的应用示例
由于具有通用性，伺服机构的应用领域非常广泛。 譬如，计算机的DVD驱动器、HD驱动器、复印机的送纸机构、数码摄像机的录像带传送机 构等，从与生活密切相关的领域到飞机的控制机构、天文望远镜的驱动机构等，更不用说 工业领域，伺服无处不在。 下面以FA领域为对象，列举部分AC伺服的应用示例。 80年代出现的AC伺服通过在数控（NC）和机器人领域中的应用实绩，脱颖而出一举成为 FA相关的变速驱动器的主角。到了90年代，由于逐渐从液压式过渡到电动式扩大了市场范 围，AC伺服的应用领域更加广泛了。最近，随着移动通信等信息技术（IT）的进步，与半 导体制造、电子零件组装、液晶产品等相关领域的实际应用取得了飞跃性的增长。 (1) 搬运设备 (2) 卷材设备 (3) 食品设备 (4) 半导体设备 (5) 注塑成型机设备 (6) 电子零件组装设备
第一章 什么是伺服 1.2.6 电子零件组装设备
装配机· 插片机 电路板检测
将电子零件（IC芯片、电阻、电容器等）安装在印 刷电路板上。要求正确的定位和高速性能。
检查电子零件（IC芯片、电阻、电容器等）是否已 正确牢固地安装在印刷电路板上。有时还要对电路 板进行检测。
第一章 什么是伺服 1.3 伺服的原理和构成
第一章 什么是伺服 1.2 .1 搬运控制
在工业高度发达、自动化不断进步的今天，搬运设备已成为许多领域不可或缺的项目。
搬运机（垂直) 由于导入了伺服机构，可提高机械速 度、从而提高生产效率。 可在指定位置正确停止。采用带电磁 制动器的伺服电机，可防止停电时货 物下降 自动仓库•分拣系统 自动仓库· 分拣系统 在自动仓库中，分拣部和行走部已越来越 多地采用AC伺服电机，以满足高速化需求。由于采用了AC伺 服电机，可实现高速运行以及平稳的加速、减速。 与SCM（供应链管理）相结合的自动仓库· 分拣系统从原料采 购到商品发送等各个环节，可大幅提高物流库存管理的效率。
定位控制的要求是“始终正确地监视电机的旋转状态”，为了达到此目的而使用检测伺服电机旋转状态 的编码器。而且，为了使其具有迅速跟踪指令的能力，伺服电机选用体现电机动力性能的起动转矩大而 电机本身惯性小的专用电机。
第一章 什么是伺服 1.3.2 位置控制模式
(b) 定位控制基本特点 伺服系统的定位控制基本特点如下所述。 机械的移动量与指令脉冲的总数成正比。 机械的速度与指令脉冲串的速度（脉冲频率）成正比。 最终在±1个脉冲的范围内定位即完成，此后只要不改变位置指令，则始终保持在该位置。（伺服 锁定功能）
位置控制模式
速度控制模式
转矩控制模式 电流环（但是,空载状态下必须限制速度）。
第一章 什么是伺服 1.3.2 位置控制模式
（a） 定位控制的目标 FA设备中的“定位”是指工件或工具（钻头、铣刀）等以合适的速度向着目标位置移动，并高精度地停 止在目标位置。这样的控制称为“定位控制”。 可以说伺服系统主要用来实现这种“定位控制”的目的。
驱动，检测部
驱动控制对象，对其运行状态进行检测。
实际的机构虽然也有液压式和气压式的，但最近广泛使用维护性能优良的电气式伺服机构。 电气式伺服机构中尤其与FA相关的精密控制中，经常使用AC伺服系统。而且，伺服电机常带有可检测 旋转角度、速度和方向的编码器，它可将检测信息反馈给伺服放大器（控制部）。 1 指令部 2 控制部 3 驱动，检测部
层压机是使多张薄膜重叠在一起的设备。控制张力 的同时，正确调整压力使之均匀叠合是关键。
第一章 什么是伺服 1.2.3 食品设备
随着对食品处理要求的不断提高，高品质且安全的食品加工的需求越来越迫切。 在这样的形势下，伺服机构在食品加工领域的应用不断取得进展。 灌装机流水线 包装机流水线
灌装流水线 将不同产品、不同容量的液体高速灌 入各种形状的瓶子。可以根据瓶子的形状，控制 灌入速度，将液体灌入到指定量而不起泡。
旋转台 清洗晶片 晶片探针 1块晶片可制作许多LSI芯 片，组装前需用晶片探针 和万用表以芯片为单位进 行检测。探针要接触芯片， 因此必须进行正确的定位， 而且还要求高速定位。
制作半导体回路时，要用到“照相 半导体制造工序中，由于利用了 原理”。将感光剂（抗蚀液）涂在 “照相原理”，因此在制造过程中 半导体晶片上的工序就是旋转台。 需要多次清洗晶片。将晶片浸在药 其原理是使抗蚀液滴下并利用离心 水或水（纯净水）中，溶解污染物、 力使液体薄薄地扩展。如果晶片转 进行中和、冲洗、干燥。晶片处理 速过快，会导致抗蚀液飞散。反之， 方法有2种：一次集中数块晶片，以 如果转速过慢，则无法均匀地涂覆 盒为单位进行处理的“批量处理”； 抗蚀液。 以及每次处理1块晶片的“单片处 理”。
IM型AC伺服电机由于没有永久磁铁，停电时不能发电制动。
环境性能
停电时的发电制动
第一章 什么是伺服 1.1.2 伺服电机的种类
种类 结构 优点
无需维护。 环境适应能力强。 可输出大转矩。 停电时可进行发电制动。 小型、轻量。 功率变化率大。 无需维护。 环境适应能力强。 可输出高速、大转矩。 大容量机型效率高。
第一章 什么是伺服 1.2.2 卷材设备
处理纸、薄膜等超长材料（卷材）的设备，也称为卷筒。大致可分为开卷、加工和卷绕。加工处理随应 用领域（纵向剪切机、层压机、印刷）而异，但整个机构基本相同。 常规机构图 ：
纵向剪切机
层压机
纵向剪切机是将经过加工部处理的卷材在最终工序 卷绕部进行裁切的机械。控制张力的同时，用裁切 器正确地裁切是关键。
第一章 什么是伺服 1.1伺服的作用
位置控制
可正确地移动到指定位置，或停止 在指定位置。 位置精度有的已可达到微米（μ m： 千分之一毫米）以内，还能进行频 繁的起动、停止。
速度控制
目标速度变化时，也可快 速响应。 即使负载变化，也可最大 限度地缩小与目标速度的 差异。能实现在宽广的速 度范围内连续运行。