碲镉汞红外探测器
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生产工艺
n-on-p:离子注入技术
消除辐射损伤
p-on-n:受主掺杂
控制掺杂离子的扩散
激活杂质离子的电活性
探测器器件优质比较
我国的研究情况 (1)2048元线列碲镉汞焦平面器件 (2)双色碲镉汞红外器探测器
2048元线列碲镉汞焦平面器件
2048像元分布
间接互联示意图
滤波片安装结构设计
杜瓦制冷器
双色：美国雷神公司1280×720阵列，像元 尺寸20×20um
今后的发展方向
提高工作温度 实现长波大面阵
以上有不当之处，请大家给与批评指正， 谢谢大家！
28
顺序模式双色碲镉汞红外百度文库测器
光谱响应
性能参数
技术参数 截止波长 平均峰值探测率
cmHz1/2W-1
响应不均匀性
盲元率(%)
测试结果
SW:2.7 MW:4.9
SW:1.42 ×1011 MW:2.15×1011
SW:11.73 MW:26.27 SW:1.3 MW:13.6
同时模式双色碲镉汞红外探测器
HgCdTe红外探测器
报告人：XSX
2014年1月6
HgCdTe红外探测器的诞生
Eg
1.24eV
合理的假设 HgTe：禁带宽度-0.3eV CdTe: 禁带宽度1.6eV
光子吸收率高
跃迁方式为带间跃迁
全波段相应
通过调节Cd组分的数值大小，碲镉汞材料 的禁带宽度随之变化
HgCdTe光伏探测器结构 p-on-n：超高的探测器灵敏度 n-on-p: 制造工艺简单
探测器性能
碲镉汞光敏元响应光谱
探测器性能
碲镉汞焦平面器件响应率分布
达到的性能参数
光敏元尺寸 探测器元数 平均峰值探测率 平均峰值响应率 响应率不均匀性 有效光敏元率 工作温度
28 2048 9.3×1010cmHz1/2W-1 8.3×107 V/W
8% 99.5%
77K
器件局部512元系统成像
双色红外探测器的响应光谱
光谱窜音：3.8% 4.4%
最大的HgCdTe短波红外焦平面阵列
阵列：2048×2048 尺寸：18×18 量子效率65.4%,不均匀性4.3%
中波：640×480元阵列，77K，量子效率 68%,NETD为0.013K
长波：256×256阵列,工作温度77～88K，量 子效率70％～75％，NETD为13mk