电镀厂商监察表

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*装置故障·停止处置* 启动基准（含长期休假） 6 LOT保证 事故保全·停止时间对应 异常处理·处置 *设备/治工具的履历* 7 ·交换/修理/日常点检的记录（含 检查设备） *材料受入·保管* ·出库基准·程序 8 ·环境·期限管理 ·FIFO方法·揭示 *无电解（化学铜）电镀工程* ·药液管理 9 ·空气 ·循环 *电镀工程（无电解/电解）LINE OUT品处置* 10 ·异常 ·影响性 ·处理 *电镀液回收（除去）* 11 ·槽内的金属 ·异物提取（无电解电镀/电解）防 止 *电解电镀（面板电镀）* ·药液管理 12 ·电流管理 ·完成时间限制 *电解电镀（面板电镀）* ·药液管理 13 ·电流管理 ·完成时间限制 *电解电镀（面板电镀）* ·药液管理 14 ·电流管理 ·完成时间限制 *电解电镀（面板电镀）* 15 ·投入间隔和电流管理 ·装置防错
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公司名： 地址： 检查日期： 电话： 传真： *确认事项的记入评点栏。实际作业记入备注栏。（评点：2：现状OK/1：一部分需改善/0：要改善/如非该几项为NA，理由记入备注栏） 序号 项目 *电解电镀（面板电镀）* 16 装置保全重要工程 运送系统装置停止时的电镀影响检 证 17 *电镀工程停滞时间管理* 确认事项 2 当运送装置停止的管理状态也是考虑到了液槽、槽外的影响的管理 1 只对液槽内产品做重点管理,槽外的产品影响有一部分检证不足 0 槽外的产品影响没有在管理考虑内 2 电镀药液管理·无电解～电解电镀实施时间明确电流值印加的异常可 … 1 一部分运送系的时间推迟不可…. 2 电镀工程内的装置异常全部可做为品质异常处置，运送停滞也准确… 的状态，异常品会部废弃状态处理。 1 只有一部分装置做为异常处理 0 品质异常处理规章和装置异常不明确 2 电镀工程的对象物的脱泡的效果定量管理，脱泡设备方面冲击力·行 程速度都有管理 1 一部分管理不足 0 管理不明确 2 温度·浓度·成分·比重等的变化测定·记录,定期性的液体分析,倾 向评价和有评价,异常时的处理也明确 1 使用管理图等记录管理 0 管理不明确 2 液体根据一定的处理数量·设定的条件交换、 根据液体循环脱泡/过 滤也有进行 1 液体的脱泡/过虑没有进行,只做液体补给交换的话只有在清扫槽内时 进行 2 电镀槽的液面管理·循环管理有实施槽的摇动等的脱泡作用的动作目 的和效果有评价并有管理 1 目的·效果确认有一部分遗漏 0 没有管理 2 对于电镀用加子相关的、冲击·药液 保全·废弃有明确管理、根据 架子内间隔药液循环影响有评价 1 有一部分管理遗漏 0 电镀用架子没有管理 2 为防止滚桶内的产品夹住、滚桶的点检等恰当化运用 1 有一部分管理有遗漏 0 电镀用架子没有管理 2 根据装置清扫后撒水等异物除去,程序明确并且有防止异物的飞散,清 扫后材的确认防止接合不良 1 程序有规定一部分未规定 0 无程序 2 油等、电镀阻碍要素都有充分评估、管理上在产品流动路径不让其附 着。 1 程序有一部分有规定 2 在框架搬送等操作时，为不要发生电镀液附着在产品等的不良，有硬 性对策 1 作业程序上有对策 0 有不明确的部分 2 对于条件变化或工艺的一部分的变化信赖性·到寿命评价都有实施管 理 1 一部分规章有遗漏 2 材料，装置·LOT启动时的品质管理 正确的测试·材料有使用,异常 管理废弃管理也准确管理 1 一部分管理有遗漏没有应用 0 没有管理 2 各品种有固定LINE,有品质的安定搭配，容易追踪异常 1 2LINE时做出的结果可保证 0 几条LINE时,装置不同,品质无法保证 2 各工程的洗浄工程的喷嘴角度和压力等适当化并有异物防止、也可防 止洗浄后的干燥装置的附着物·斑驳的影响 1 有一部分无程序 0 无程序管理 评分 备注 承认 审核 监察者 评分 判定 承认
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*电镀工程异常处理管理* 品质异常处理
*电镀工程*脱泡 装置保全重要工程 19 脱泡机能管理 汽缸动作 药液温度恰当化 *电镀液管理* 浓度 20 有机物含有的注意 溶解时间管理 *电镀液管理* 21 液体回收·交换 药液交换频度 *电镀管理* 槽循环目的·效果 22 遥動 药液温度 *电镀工程，架子管理* ·根据冲击·药液保全 23 ·开口间隔 ·药液循环管理 24 *电镀槽内的产品关系* *电镀装置清扫* 25 装置清扫和异物防止 干燥机清扫程序 26 *电镀阻碍要素的把握* 清扫 保护
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公司名： 地址： 检查日期： 电话： 传真： *确认事项的记入评点栏。实际作业记入备注栏。（评点：2：现状OK/1：一部分需改善/0：要改善/如非该几项为NA，理由记入备注栏） 序号 1 项目 *装置新规导入顺序* ·装置导入检证顺序 ·装置保全检证 *装置保全计划* ·装置保全主导者 ·年度计划 *日常·定期·预防保全* 异常处理 危险范围检证 *全工序 *管理值的最适值廉价* 异常处理 危险对象范围检证 *全工程 *消耗品管理* 消耗部品在库管理 的合理化 保全消耗部品 确认事项 2 对于新装置检证顺序明确，导入时的品质影响判断也有准确实施。 1 预防保全也有考虑在内。新装置导入检证·品质确认有一部分不足。 0 新装置导入顺序·无检证 2 关于装置保全主导计划，有年度保全计划，预防保全也考虑在内,装 置保全的实施也明确记载管理。 1 有一部漏了。 0 装置保全主导计划·无保全计划 2 装置检证的结果日常·定期·预防点检内有包含，做为管理目的和保 全内容有明记 无检证偏差也有检证对应 1 有一部分实施内容不明确 0 保全有一部分漏了 2 管理范围·对于管理值，最适检证的根据有明确并有实施检证，有管 理 1 有一部分漏了 0 没有实施 2 装置的消耗品一览有完善 定期保全·预防保全交换频度有明记 有 消耗部品的在管理系统 1 有一部分交换频度·在库管理有遗漏 0 装置消耗品在库没有管理 2 装置的事故或一段时间停止时的处置及装置启动有明确的顺序化规范 1 有根据危险范围的定义处置程序。程序有一部分不明确 0 没有装置故障·停止时的措施 2 交换/修理的理由/内容有记录，工程品质记录可链接。 1 交换/修理的理由/内容无记录。还有工程品质不可链接 0 无记录的量产设置/有治工具。 2 根据材料受入基准进行入库，出库时，材料LOT有记入工程表，有产 品～材料的追踪结构。还有，保管期限也有明确先进出出管理明确 1 材料受入·出库相关基准不明确 还有保管期限，先进先出不明确 0 无材料受入·出库·保管基准 2 有实施装置管理·药液管理异物附着管理 1 有一部分管理遗漏 0 没有管理 2 损坏时全部废弃 1 根据规章再生处理，和通常品进行了不同的管理 0 再生处理 2 到一定处理数量后交换液体。脱泡/过滤也有实施 1 只实施了脱泡/过滤 0 未实施 2 电镀药液管理·无电解～电解电镀实施时间明确，电流值印加的异常 可… 1 一部分异常流出 0 有异常流出的可能性 2 对于电镀仕样槽的电流值·进行印加时间等的条件设定的程序规则有 明确，有记录剩余的异常可... 1 条件设定规则不明确· 一部分不可... 0 数值没有管理 ·不可… 2 夹盘部，运送部等的点检频度明确，电流值异常也可自动检出 1 夹盘部，运送部等的点检频度明确。 0 设备内点检频度有没有明确的内容 2 对电镀槽的投入间隔有固定，电镀实施稳定实施，不会发生管理零散 的状态，有异常防错设计 1 装置防错以及异常处理有一部分不足 0 无电镀槽投入管理 评分 备注 承认 审核 监察者 评分 判定 承认
27 *操作*
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*电镀工程*变化点 电镀信赖性评价
29 *材料的管理*
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*电镀工程LINE固定化* 品质零散降低
*洗浄工程* 喷嘴方向·异物防止 31 洗浄能力 洗浄后的干燥装置 空气适当化
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公司名： 地址： 检查日期： 电话： 传真： *确认事项的记入评点栏。实际作业记入备注栏。（评点：2：现状OK/1：一部分需改善/0：要改善/如非该几项为NA，理由记入备注栏） 序号 32 确认事项 2 洗净水的品质有定量性的管理，交换频度也明确。 *洗浄工程* 1 洗浄水的交换频度明确、现状的状态也好 洗浄槽管理 0 不可否定的管理不足（脏污、微生物、藻等) 2 根据作业实施断面观察 *电镀状态、形状管理 1 不定期的实施断面观察 ·膜厚、形状 0 断面观察未实施 *电镀做出的结果评价* 2 电镀状态的做出结果的确认，根据电镀厚统计的手法进行管理 电镀评价 1 统计的管理没有实施 做的的结果确认 0 只确认做出的结果 2 为测定电镀强度、破坏实验每LOT都有实施、并统计管理 *电镀强度评价* 1 电镀强度破坏界限手法适当的频度测定并管理 0 只对结果管理 *出货LOT保证* 2 LOT出货检查判定时、所有的事故保全情报·全部的管理值的…情报 事故保全的情报网罗 出货判断都可网罗,工程管理的变化·含危险度LOT保证 管理值的情报网罗 1 有一部分不能判定危险度的LOT保证 重要管理项目判断 0 LOT保证只是出货检查判断时进行 *出货和生产LOT* 2 出货品的LOT的细目有数量管理,每LOT的生产品质状况可了解的状态 生产LOT数值化 1 有一部分生产状况不明确 生产品质状况 0 没有管理 *工程不良解析/对策* 2 工程内不良品有解析、有工程改善系统。 ·定期的解析和不良率/不良项目分 1 不定期的不良解析/有制造对策但没有系统化。 析 0 只有达到异常值时才做不良解析 *异常处置* ·异常处置规定 ·处置路径 2 异常值及异常的定义处置路径明确、处置数量/内容/结果记录、都有 ·处置内容 进行异常值的定期更新。异常值内有设置动作路线。 ·结果 1 有异常处置路径、但有一部分不明确、异常处置内容/结果未记载。 ·异常值的设定及定期更新 0 处置路径不明确。无记录。 ·检查工程的异常值管理 ·装置异常的品质影响检证 *全工程的基板重复处置 2 有各种认定制度、运用及定期维护。 *作业者教育* 1 制度有运用、但没有定期维护系统。 维护资格 0 无制度。 2 有数名药液的测定人，也有外部的备份的体制、没发生过测定积压 *药液测定人* 1 有数名药液测定人、万一人员不足等对业务无影响 0 人员不足的情况 对业务有影响的可能性 2 有药液的补充、配合、测定、程序明确的指南 *药液测定、配合程序书* 1 有一部分程序书很不明确 0 程序书有一部不足 2 活用统计的手法反馈到工程管理,（Ppk Cpk管理有使用） *数据的活用* 1 有活用统计的手法 Ppk Cpk没有使用。 ·统计的手法 0 工程管理上数据没有活用。 包装 2 有对应保管管理、包装形态、包装外形、吸湿等，尾数管理也准确。 保管·尾数管理 1 一部分不明确 异物防止 0 包装管理有不足 防错 2 作业标准有考虑防错、作业人员可判断的状态 错误品也可准确 作业·部材防错 1 有一部分表现不明确 作业指示·错误品的排除 0 错误品的排除有一部分没完善 2 装置的防错作用准确并有确认,可判断状态条件·好坏 机械工程防错 1 机械电源OFF时不可防错 条件·好坏明确化 0 无机械工程防错观点 評点２ 項目数 ＝ 0 評点１ 項目数 ＝ 0 評点０ 項目数 ＝ 0 非該当 項目数 0 総得分 ＝ 評点合計÷（総項目数-非該項目数）*50= 项目 评分 备注 承认 审核 监察者 评分 判定 承认
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