磁控溅射常用英文

English Training
1. 设备设置及操作
Roll Coating System卷绕镀膜系统Pretreatment 预处理，前处理Lamination 贴膜
Slitting 切膜
Process data 工艺参数
Roll data 卷绕参数
Film thickness 膜厚
Diameter 直径
Tension 张力
Setup value SV 设定值
Present value PV 实际值
Line speed 运行速度
Length counter 长度计数
Remain counter 剩余长度
Taper 张力梯度
Target life 靶材寿命
Vacuum 真空
ATM 大气
Auto 自动
Manual 手动
Main roll 主鼓
Cooling roll 主鼓
Trend 趋势
Start 开始，启动
UW unwinder 放卷
RW rewinder 收卷
Nip roll 压紧辊
Guide roll导向辊
Centre 中间
Servo 伺服
Buzzer 蜂鸣器
Heater 加热器
Temperature 温度
Button 按钮
Direction 方向
Return 返回
All Hivac Valve Control 所有的高阀控制Hivac 即high vacuum
Gas valve工艺气体阀门
V oltage 电压
Current 电流Power 功率，电源
Pressure 压力
Control 控制
Interlock 互锁
Pump 抽气
Defrost 解冻
Cool制冷
Roll status卷绕运行状态Chamber door 腔室门
Chamber light 腔室门
ON 开，保持
OFF 关
Open 打开
Close 关闭
Stop 停止
Run 运行
Chuck in 卡轴进
Chuck out卡轴出
Speed up 加速
Speed hold 速度保持
Speed down 降速
Line-Nip roll 压紧辊
Lami roll 贴合辊
Tension meter 张力计
Air gun气枪
Length display 长度显示
Forward 向前，正方向
Reverse 反转
Inverter motor 变频电机，变频马达Rotation 旋转
Inspection 检查
Recipe 菜单
Spare 备用
Static power 静电棒电源
2.辅助设备
RCM在线电阻测试仪
Sheet resistance 方阻
PEM光谱监控仪
Percentage 百分比
RGA残余气体分析仪
Marking 记号
Connection 连接
Disconnection 断开连接Filament灯丝Error 错误Nitrogen 氮气
Water 水Argon 氩气Helium 氦气Oxygen 氧气Leak 漏气
3.常见真空泵
TMP全称Turbo Molecular Pump分子泵
MBP全称Mechanical Booster Pump罗茨泵
CP 全称Cryo pump 低温泵
Compressor 压缩机
DP 全称diffusing pump 扩散泵
全称dry pump 干泵
RP Rotary Pump 旋片泵
RV Roughing Valve 粗抽阀
SRV Slow Roughing Valve 慢抽阀
FV Fore-line Valve 前级阀
VV Vent Valve 放气阀
Regen cryo sel 全称regeneration cryo-pump selection自动再生低温泵选择MFC全称mass flow controller 流量计
HIVAC VALVE 高真空阀
分子泵的几个状态
A Acceleration 加速
N Normal 正常
B braking 降速
F Failure 失败
4.报警信息
Fault reset 报警复位
Warning 警告
Alarm 报警
UW Tension Fault 放卷张力错误
RW Tension Fault收卷张力错误
Cathode Water Flow Sensor靶材冷却水流量传感器
Uw Rw DC BB Gun Water Flow Sensor 收放卷DC B/B冷却水流量传感器Turbo Pump Water Flow Sensor分子泵冷却水流量传感器
Dry Pump MF Power Water Flow Sensor干泵及中频电源冷却水流量传感器Alarm CryoPump21 stop 低温泵21高温高真空阀关闭报警
MF Voltage alarm中频电压报警
Auto Alarm Flg 自动抽气时腔室隔离阀门未关引起的报警
TMP2 Comm status 第2组分子泵部分断开通信报警。