离子风机测试操作指南

PQA Monitor组工作手册离子风机测试操作指南
MS Wang 10/05/2004
PQA Monitor/PQA /MPIE/DGN2
一、工作概述
离子风机和BAR是生产过程中消除静电的重要工具和设备之一.但由于离子风机本身结构设计上的局限,DC 和AC 类型的离子风机和BAR存在离子发射针氧化的问题,导
致正负离子数量不等,从而在其覆盖区域内产生了静电荷的积累,对产品优率产生不利
影响.为了保证所有的离子风机和BAR正常运行,就需要借助监控仪器CPM(Charged Plate Monitor)来测试它的性能.目前,我们主要测试它的两个性能参数:平衡电压和衰减时间即B-V(Balance Voltage) ,D-T(Decay Time).
二、测试仪器设备及使用方法
1.仪器设备名称：CPM-156A /157
2.仪器设备配件：CPM 机身、电荷平板、接地导线、配套电线、充电器等.
3. 测试仪器设备介绍(以CPM-156A为例)：
3.1仪器简介
The Trek Model 156A Charged-Plate 测试系统可在任何环境中提供定量准确的离子测试结果。

它使用一种新的charged-plate测试设计，利用一个高电阻和高电压跟随器来检测离子收集板
的平板电压。

这种方法使测试容量独立于外部平板的外形尺寸，离子收集板的测试容量及尺寸都可根据测试的实际需要来设置。

3.2仪器面板
3.2.1仪器前面板
1)FULL CHARGE 显示灯：充电指示灯。

当电池充满后，该指示灯将点亮。

充电完全的电池可以供仪器
工作8小时。

2)MODE Switch: 工作模式转换开关。

仪器提供三种模式。

正延迟模式、负延迟模式和漂移模式。

该转换开关与TEST/RESET 一起可以对仪器的起动电压和停止电压进行调节。

3)LOW BATTERY 指示灯：电池低压报警指示灯
当电池电量可供工作时间小于30min时，该指示灯将显亮。

4)POWER Switch:电源开关。

5)PLATE VOLTAGE Display: 平板电压显示屏
将粒子收集器上的电压以数字的形式显示。

6)DECAY TIME Display: 延迟时间显示屏
显示粒子收集器电压从起动电压下降到停止电压的延迟时间。

7)TEST/RESET Switch: 测试/设置按钮。

当仪器工作模式处于正延迟或负延迟模式时，该按钮设置的平板电压比起动电压高。

当仪器工作模式处于漂移模式时，平板电压为0V。

3.2.2仪器后面板
1)OFFSET ADJUST：偏移调节。

出厂已调好，用户不能自行调节。

2)CHARGER/SUPPLY Receptacle: 充电接口。

3)GROUND Jack: 接地点
4)OUTPUT MONITOR Connector:
带缓冲器的外部接口，它提供离子收集板的一个模拟的低电压场。

这个模拟电场电压为平板电压的1/200。

例如：如果平板电压为500V，那么OUTPUT MONITOR接口处的模拟电压为：
500V*1/200V=2.5V
5)ION COLLECTING PLATE Receptacle: 粒子收集器接口处。

3.3仪器调节与操作
3.3.1漂移模块操作
在FLOAT横式时，156A监测平板上空气粒子之间的非平衡电压
1、将粒子平板收集器放置于测试区。

2、将仪器工作模式置于FLOAT模式下
3、将按下TEST/RESET开关，平板电压为“0”。

将TEST/RESET转换开头放开后，平板电压将产生漂移，直到等于空气粒子非平衡电压。

3.3.2延迟模块操作
在处于(+)或(-)延迟模块时，156A显示粒子收集器从起动电压到程序设置的停止电压的放电
延迟时间。

1、将粒子平板收集器放置于测试区中
2、将仪器测试模式置于(-)或(+)延迟模块下
当处于(+)延迟模块时，平板电压为+，当处于(-)延迟模块时，平板电压为-。

3、按下TSET/RESET 开关。

粒子平板收集器上的电压将大于程序设置的起动电压。

当平板电压达到程序所设起动电压，延时器开始工作。

当平板电压达到程序所设停止电压时，延时器停止工作。

3.3.3设置操作
156A可工作在三种模式下：正延迟模式、负延迟模式和漂移模式。

3.3.3.1起动电压设置：
1、关掉仪器电源
2、将MODE置于FLOAT模式下。

3、按下并保持TEST/RESET按钮。

打开仪器电源。

4、此时在PLATE VOLTAGE显示屏上将显示字符“S”(表示起动电压START)
5、放开TEST/RESET按钮，在DECAY TIME显示屏上将显示此时的起动电压。

6、将MODE置于正延迟模式下。

起动电压将以每次1V的速度开始跳增。

当MODE置于钠延迟模式下时，起动电压将以每次1V的速度开始跳降。

当电压达到我们所需要的测试要求时，将MODE置于FLOAT模式下。

注意：起动电压不能超过1000V，也不能低于停止电压。

3.3.3.2停止电压的设置：
1、当起动电压设置好之后，按下TEST/RESET按钮，此时在PLATE VOLTAGE显示屏上将显示字符
“E”(表示停止电压END)
2、松开TEST/RESET按钮，在DECAY TIME显示屏上将显示此时的停止电压。

3、将MODE置于正延迟模式下。

停止电压将以每次1V的速度开始跳增。

当MODE置于钠延迟模式下时，停止电压将以每次1V的速度开始跳降。

当电压达到我们所需要的测试要求时，将MODE置于FLOAT模式下。

4、按下TEST/RESET按钮，在PLATE VOLTAGE显示屏上将显示字符“P”
释放TEST/RESET按钮时，新设置的起动/停止电压将生效并被存贮在156A的内存模块中。

3.4安全与维护
3.4.1常见安全
1)严禁移去仪器顶盖，操作仪器。

2)本仪器仅适用于室内使用。

3)为了避免电器损伤，严禁在潮湿的环境下使用本仪器。

4)不要在易燃易爆环境下使用本机，否则可能会引发爆炸
5)为了避免仪器过热，应保证仪器通风，严禁覆盖。

6)在电源开关打开或充电过程中，可能出现高压，严禁触摸测试平板和外部监视接口。

7)严禁使用非充电电池。

3.3.2日常检查与维护
1)外部检查
-指定专门的人员
-进行仪器的外部检测如：凹痕，刻痕，划伤，破损等。

外部损伤可能会导致其它比较严重的对仪器本身的损害。

-检查仪器联接口，如：有无松动
-进行仪器检测时，请关掉电源开关。

2)电池循环充电维护
156A提供一个可充电电池组。

定期的冲放电(满充满放)对于延长可充电电池使用时间是必要的。

-将充电插头插入156A充电接口处
-对156A进行充电，直至156A的“FULL CHARGE”显示灯点亮为止。

-拔下充电器
-打开156A电源，并保持至少12小时。

-将充电插头插入156A充电接口处
-直对156A的“FULL CHARGE”显示灯点亮为止。

三、离子风机和BAR测试程序
1.记录拉号,工序名称,离子风机和BAR的ID#以及型号
2.关闭同一位置的其它离子风机和BAR,防止互相干扰.
3.移走待测位置的货物,正确放置电荷平板.
4.CPM地线接地.
5.测试.
6.如果测试数据超SPEC,仅对于DC类型5810的边测试边调整,直到B-V达标为止.然后重新测试,并
记录调试好后的数据.
7.测试完毕,重新正确启动关闭的离子风机和BAR,并将货物归位.
8.分别备注离子风机或BAR的以下几种状态:
A.调不OK.
B.不能调.
C.亮红灯.
9.对于B-V超过20V的挂上PQA专用的标识牌.
四、离子风机&BAR的控制SPEC和测试频率(摘自EI-339)
1.B-V 0±5V
0±3V(alpha)
2.D-T ≤
3.0S
≤6.0S(60cm)
≤12.S(Ionizer BAR at 60cm)
3.测试频率 DC为Weekly
AC和alpha为Monthly
五、DATA处理
1.必须正确记录拉号,ID#.
2.原始数据必须真实有效。

3.输入电脑时要按照统一的格式。

4.数据输入电脑时，异常情况要正确标识。

5.数据输入要及时,不能超过一天。

6.超过SPEC的离子风机和BAR要同时输入文件<<ionizer timely feedback>>,并及时反
馈给相关部门.
六、注意事项
1．每天进工场测试前要先检查仪器是否完好.
2．每天测试完毕要及时充电,给下一班次做好准备.
3．测试时移开货物要小心,不要直接用手碰到产品.
4．测试平板要尽量置于工作台面,并正对离子风机的窗口.
5．测试时平板上部分不能碰到任何东西.
6．当用CPM-157测试数据超SPEC时,选择BALANCE TEST 档,记录平均值.。