国内MEMS研究实验室一揽

国内微纳机电系统MEMS/NEMS科研单位一览

北京：

北京大学微电子学院－微机电系统研究所

/mems/

北京大学微电子研究院微机电系统研究所成立于1995年，在王阳元院士和武国英教授领导下，从硅基加工技术的角度来开展微机电系统的研究。从1996年开始承担了"微米/纳米加工技术国家重点实验室"建设项目，以硅基MEMS加工和设计技术为主，同时承担多项ME MS研究课题。于1998年4月完成实验室建设项目验收，有工艺实验室900平米和具有国际先进水平的完善的MEMS加工设备，是国家微机电系统研究的重要加工基地和研究基地。

清华大学微电子技术研究所－－微纳器件与系统研究室

精密仪器与机械学系－－

http://dns.ime.tsinghu ... gk/qijian.htm

/

微纳器件与系统研究室主要研究各种新型微纳器件以及由它们构成的系统，研究范围是：新器件与系统、新技术与工艺、新电路与模型、新材料与结构、新概念与原理。目前有两个主要研究方向：新型微电子器件与系统，纳电子学。

仪器科学与技术研究所围绕现代科学仪器的研究领域，主要研究方向包括微米纳米技术、光存储技术、精密仪器和测试技术、导航与控制技术、传感技术与智能仪器、智能微系统及控制技术和生命科学仪器等，是一个多学科交叉的与校外企业和研究单位有广泛联系的以一级学科建立起来的教学研究单位。

中科院微电子所纳米加工与新器件集成技术实验室

/

中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室在国内最早开展亚微米微细加

工技术研究，该研究室同时也是国家纳米科学中心协作实验室。研究室拥有一个面积达50 0平方米，最高洁净度达100级的微纳米加工平台和电子束光刻公共平台。研究室主要研究方向是：下一代存储技术；衍射光学与纳米传感器；有机器件和电路；先进掩模制造与电子束光刻技术。

天津

天津大学精密仪器与光电子工程学院－－精密仪器工程系

http://202.113.13.67/colleges/precision/cn/

主要科研方向：

• 激光及光电测试技术

• 精密测控技术及仪器智能化

• 微纳加工与测试技术

• 微系统设计与制造

• 生物光学检测技术

• 现代传感与测试信息技术

上海：

中科院上海微系统与信息技术研究所－第一研究室传感技术联合国家重点实验室/微系统技术国家级重点实验室

上海交通大学微纳科学技术研究院

/

上海交通大学微纳科学技术研究院系学校直属研究院，是专门从事微米纳米科学与技术基础和应用基础研究，以原创性成果和经济建设为目标，开展以非硅微细加工与微机电系统（M EMS）、纳米生物医学、纳米电子学与器件的制造技术为主要研究方向的多学科研究平台。

华东师范大学电子科学系/微电子电路与系统研究所/集成微机电系统研究室

/

主要从事射频/微波MEMS 开关、移相器、可重构天线和滤波器；光通讯中MEMS 调制器、衰减器、均衡器等研制.

重庆：

重庆大学光电学院/微系统中心|新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室

/msc/

中心承担和完成了国家“863”MEMS重大专项、国家“973”“微光机电系统”、总装备部“微米/纳米专项”、国家自然科学基金委“重大项目”、国家“科技攻关”和重庆市“科技攻关”等国家和省部级项目40余项，经费近3500万元；和德国政府科教部已签订达1250万欧元的合作研究项目。研制出的“微型光谱分析系统”、“微型生化光谱分析仪器”达到国际先进水平，现在正在产业化研究开发和试生产。“基于MEMS的人体腔道诊疗系统”样机已完成动物实验，进入临床实验阶段。申请专利近40项，发表论文200余篇；已形成具有自身特色的研究方向、在国内外具有重要影响的微光机电系统技术研究和产业化的工程中心。

江苏：

东南大学电子科学与工程学院/MEMS教育部重点实验室

/

东南大学以电子科学与工程学院的《微电子学与固体电子学》学科为主题、结合工程力学系和机械工程学院相关课题组，组建了跨学科的研究结构，于1999年申请建立教育部重点实验室。实验室2000年6月通过教育部可行性论证、2001年9月通过教育部验收、2002年11月通过教育部评估。

南京理工大学机械工程学院/MEMS惯性技术研究中心

/

MEMS惯性技术研究中心

中国电子科技集团公司第55研究所南京电子器件研究所MEMS中心

/info/index.asp

南京电子器件研究所的MEMS研究始于2000年，以对硅基RF MEMS的研究为切入点，展

开MEMS的研究。2002年成立了MEMS科研中心，并开始筹建MEMS研发生产线。中心以硅基MEMS研究为主，拟建立集设计平台、工艺加工技术平台、测试分析技术平台、MEMS 高性能封装平台及可靠性试验平台一体化的MEMS工艺技术平台，以形成支撑MEMS研究和产业化发展的技术平台为目标，实现批量生产和提供MEMS技术服务，建立具有国际竞争力的MEMS研发体系和MEMS设计与生产基地。

安徽：

中国科学技术大学工程科学学院/微系统工程中心

... 7&postid=3262

微系统技术科学研究中心成立于2002年初，是工程科学学院内跨越精密仪器及机械、固体力学、流体力学和工程热物理等多个学科的研究机构。中心的研究方向包括：

1. 微尺度理论；

2. 微系统制造技术；

3. 微系统设计方法；

4. 应用微系统。

中国科学院合肥智能机械研究所仿生感知与控制研究中心/仿生MEMS实验室

/cbscr/default.asp

仿生感知与控制是我所仿生感知与智能学科的两大研究方向之一。本中心面向国家安全、社会稳定、经济发展的重大需求，以仿生学、物理、化学、生物学、力学、材料科学、信息论等理论为指导，以微纳米技术、传感技术、人机接触交互与遥操作技术、图像处理技术、网络控制技术为手段，研究和研制一些具有代表性的物理量和化学量敏感材料、器件、检测系统以及特种机器人，并开展相关的示范应用。

河北：

中国电子科技集团公司第十三研究所

/

中国电子科技集团公司第十三研究所（以下简称十三所）是在国家第一个“十二年科学发展规划”指导下于1956年建立的。专业方向主要涉及微电子、光电子和微机械电子系统（ME MS）等三大半导体技术领域。三所的MEMS技术研究起始于1990年前后，十三所和清华大学、北京大学被确定为国家发展MEMS技术的“金三角”。1996年，建立了全国最早的M