32超精密加工技术

一、减小机床热变形的措施 1）尽量减少机床中的热源； 2）采用热膨胀系数小的材料制造机床部件； 3）结构合理化使在同样的温度变化条件下，机床的热 变形最小； 4）使机床长期处在热平衡状态，使热变形量成为恒定； 5）使用大量恒温液体浇淋，形成机床附近局部地区小 环境的精密恒温。
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精度； 2）各接触面和联接面的接触良好，接触刚度高，
变形极小。
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第7节 机床的稳定性和减振隔振
二、提高机床结构的抗振性和消除减少机床内的振动
1、各运动部件都经过精密动平衡，消灭或 减少机床内部的振源。 2、提高机床结构的抗振性。 3、在机床结构的易振动部分，人为的加入 阻尼，减小振动。 4、使用振动衰减能力强的材料制造机床的 结构件。
32超精密加工技术
3.2.3.2 精密磨削
四、精密磨床
精密磨削要在精密磨床上进行。精密磨床应满足的要求： 1、高几何精度：主要有砂轮主轴回转精度和导轨平直度， 以保证工件的几何形状精度要求，主轴轴承一般采用动压和 动静压组合轴承。 2、低速进给运动的稳定性：要求无爬行和冲击现象，能平 稳工作。特殊设计液压系统，采取排除空气、低流量节流阀、 工作台导轨压力润滑。 3、减少振动 1）电动机的转子应进行动平衡，电动机与砂轮架之间进行 隔振； 2）砂轮要进行动平衡； 3）精密磨床最好安装在防振地基上。
LODTM车床除用带隔振沟的地基外，还将机床放置在带 隔振墙的房间。
3、使用空气隔振垫
Moore公司的M－18AG车床、Pneumo公司的MSG325车床、DTM－3机床和LODTM车床用空气隔振垫支承， 高20位21/1支/25承将使机床的抗振性提高，增加机床的稳定性。
第8节 减少热变形和恒温控制
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第6节 机床运动部件位移的 激光在线检测系统
四、LODTM大型光学金刚石车床激光测量系统
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第7节 机床的稳定性和减振隔振
一、机床的稳定性
1、各部件的尺寸稳定性好 1）采用尺寸稳定性好的材料制造机床部件； 2）各部件经过消除应力；
2、结构刚度高，变形小 1）结构刚度高、变形量极小，基本不影响加工
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第7节 机床的稳定性和减振隔振
三、隔离振源，使用隔振沟、隔振墙和 空气隔振垫以减少外界振动的影响
1、超精密机床应尽量远离振源；
LODTM大型超精密车床为避免恒温水的水泵的振动的影 响，水泵将恒温水打到水箱中，恒温水靠自重从水箱流到超 精密机床的各个部件。
2、超精密机床采用单独地基，隔振沟、隔振墙等；