重庆邮电大学半导体工艺实习报告

半导体工艺

认知

学院：重庆国际半导体学院

班级：*******

姓名：曾旭彬

学号：**********

半导体工艺认实实习实验课

——半导体工艺认知

一、前言：

经过四次八节半导体工艺认识实习课，在老师的积极指导和同学们配合下，我顺利的完成了本实验课程的学习，收获颇多。四次大课中我们初步完成了半导体工艺整个流程的参观和学习，并在实验过程中充分发挥了“中国西南最大微电子实验中心”的作用。

二、认知：据课程介绍及查阅资料，总结出半导体工艺流程大体如下：

●硅片制备: 在第一阶段，将硅从沙中提炼并纯化，经过特殊工艺产生适当直径的硅锭，然后将硅锭切割成用于制造芯片的薄硅片。

●芯片制造: 裸露的硅片经过各种清洗、成膜、光刻、刻蚀和掺杂步骤，加工完的硅片具有永久刻蚀在硅片上的一整套集成电路。

●硅片测试/拣选: 每个芯片要进行探测和电学测试，拣选出可接受和不可接受的芯片，并为有缺陷的芯片做标记。

●装配与封装: 将制作好集成电路的硅片分割成单个芯片，好的芯片被压焊后密封在塑料或陶瓷壳内。

●终测: 为确保芯片的功能，要对每一个被封装的集成电路进行测试，以满足制造商的电学和环境的特性参数要求。

在课程过程中，我们主要参观了硅片原片、光刻、清洗等步骤，并结合Intel 公司的宣传视频，对以上工艺流程有了清晰的认识，在老师结合自身经历，分析就业及考研等形式时，我们也对自己的专业有了更清晰的认识。

三、以下我将对学习过程中重点了解的项目进行相关总结：

1.硅片：硅片取材于大自然最最普通的沙子，资源丰富，价格低廉，但生

产出的多晶硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离

子注入等手段，可以制成各种半导体器件。用硅片制成的芯片有着惊人

的运算能力。科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算

机等技术发展，使硅片（集成电路）这种高技术产品的造价已降到十分

低廉的程度。这使得硅片已广泛应用于航空航天、工业、农业和国防，

甚至悄悄进入每一个家庭。

2.光刻：光刻是一种图象复印的技术，是集成电路制程中一项关键的工艺

技术。简单的说，光刻就是用照相复印的方法，将掩膜版上之图形精确

地复印到涂在硅片表面的光致抗蚀剂上面，然后在光刻胶的保护下对硅

片进行离子注入，刻蚀（干，湿法），金属蒸镀等。

3.清洗：集成电路生产过程中会有多次清洗流程，使用的水也是经过多道

工序生产制造出来的，虽然学校的设备有点老，但是我的感触还是非常

的深，出来的水只差没消毒了，其他绝对可以和我们喝的纯净水相媲美

了。绝对例如，光刻后要进行清洗，注铜后要进行清洗，封装前要进行

清洗等等。

曾旭彬

2014年12月10日