XL-30 激光干涉仪基本操作说明

XL-30 激光干涉仪基本操作说明
1、安装环境补偿单元：
（1）取出补偿单元，将材料温度传感器和环境温度传感器连接到补偿单元；
（2）将材料温度传感器放置到被测机床的工作台或导轨上，注意远离电机、排风扇等部位，将环境温度传感器放置到被测机床工作台或激光光路附近，利用安装磁力吸板，将环境补偿单元放置到激光光路附近。

2、安装激光头：
（1）取出三脚架，根据被测机床的高度，将三脚架调至适当的高度；
（2）将激光头安装到三脚架上，将水平调节、俯仰、扭摆等调节旋钮调至中间位置；
（3）将激光头调节与被测机床基本垂直或平行，用水平泡调整激光头至水平；
（4）连接匹配的电源至激光头；
（5）打开激光头电源开关，激光头预热。

3、安装测量镜组：
（1）根据需要测量的项目，用相应的镜组；
（2）根据需要测量的轴线，如X、Y、Z等，将安装组件和镜组进行相应的联结；
（3）根据测量内容，将镜组安装到被测机床上，安装镜组的位置要特别注意，移动镜组必须要安装到被测机床被测轴线的行程的极限位置，以保证即使在被测机床被测轴线全行程范围内移动时，镜组之间、镜组于被测机床不会产生碰撞，保护镜组的安全。

4、调光：
（1）口诀：近调镜组，远调激光；
（2）上述步骤完成后，测量光和参考光不一定重合，也不一定会回到激光头的接受孔内，所以需要微小调整镜组的位置和激光头左右、俯仰、扭摆的位置，保证测量光和参考光基本重合，同时都回到激光头接受孔内；
（3）镜组位置调整利用机床的移动或直接将镜组移动，激光头的调整利用激光头（云台）的相应调整旋钮进行；
（4）调整光路后，保证在被测机床被测轴的全行程范围内，回到激光头接受孔的激光强度足够。

5、激光头、补偿单元和电脑连接：
（1）用随机专用USB数据线将激光头、补偿单元和电脑连接上；
（2）打开相应的测量软件，确认激光头和补偿单元是否正确连接；
6、测量设置:
（1）上述步骤完成并无误后，根据测量要求，进行软件设置；、
（2）线性测量时首先要设置物体膨胀效应补偿系数，根据被测机床的基体材料和位置控制方式，输入相应的系数；
（3）根据测量的具体项目和要求，设置测量参数等内容。

7、实施测量：
（1）测量设置完成后，进行实际测量；
（2）测量前，要确保机床测量程序已经编制完成并按照规定的要求运行，如果不能确定测量程序是否合适，在安装激光干涉仪镜组之前，应该要试运行该程序，直到按照测量要求运行。

8、数据分析：
（1）测量完成后，利用测量软件的相应功能，对所测量的结果进行分析，出具相应的检测报告或其他工作。

9、结束：
测量结束后，关闭电源，将激光头、镜组、环境补偿单元等所有部件仔细收好，放回到存贮箱的相应位置。