WDI 自动聚焦
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WDI 自动聚焦原理
吴磊
2016.6.14
WDI
2016.06.14
wulei@
聚焦原理-ATF4
•焦点上方，激光光斑
呈现为右侧半圆形
•焦点处，激光束汇聚
为一点
•焦点下方，激光光斑WDI
呈现为左侧半圆形2016.06.14
wulei@
ATF4
ATF4的聚焦盲点
•部分刻蚀产品
•部分表面反光率差距较大
样品
单点聚焦完善方案-ATF6/7
2016.06.14
WDI wulei@
ATF6/7
WDI 基础产品一览
Bandwidth
ATF2-LV
ATF4ATF5ATF6ATF7785 nm 660 nm
510 nm; Optional Standard Optional
-Monocular triangulation principle
-Sensor projects structured laser light on target -True digital operation
-RT digital image processing -Adoptive laser power control -Autonomous focus control
2016.06.14
WDI wulei@
ATF 基础产品光斑形态
ATF4 离焦ATF5 离焦ATF6/7
离焦
ATF4 聚焦ATF5 聚焦ATF6/7 聚焦
特殊型号-Cell/Module
•显微镜自动聚焦在TFT array 的下表面
•聚焦不会被来自表面的反射光所影响（保护膜、偏光膜、表层玻璃等）
•聚焦时间< 0.4 sec.
•实时自动聚焦-Tracking Mode
Protective film
A c c e s s f o r r e p a i r
Cell聚焦原理
•Cell的上下表面由来自玻璃表面的反射光晕确认•光晕的方向指示上下表层的位置
不同倍率下对Cell 的识别
2016.06.14
WDI
wulei@