真空管膜层起雾
真空镀膜过程中常见问题分析
调整气压,涂料雾化充分,调整喷枪合适的距离
涂料的喷涂量过多
在遮盖的情况下尽量喷薄
真空镀膜底漆常见问题分析
底漆常见问题分析
1、干燥不良：涂料固化不充分出现发白或发彩现象
原
因
溶剂挥发
不完全
红外流平温度过低或时间不足
提高温度,降低速度
涂膜过厚
加入适量稀释剂或降低喷漆流量
溶剂挥发速度慢
调整溶剂的挥发速度
现场温度过高
除湿干燥
溶剂挥发过快导致水气凝露
调低溶剂挥发速率
镀膜层太薄,显示底色
加厚金属镀层
6、桔皮现象：镀膜层凹凸不平的现象
原
因
底漆粘度太高
调整涂料的粘度：增加稀释剂或涂料加温
IR段的温度和流平时间不足
增加IR的温度和流平时间
底材被污染
底材清洗或增加底漆润湿性
喷涂压力太低或太高
调整喷枪的压力~cm2和距离15~30cm
真空镀膜过程中常见问题分析
镀膜过程中常见问题分析
1、烧蚀现象：镀膜层被烧黑或变黄的现象
原
因
工件与钨丝的距离过近
根据工件调整与钨丝的距离
蒸发的发光时间过长
控制金属蒸发的时间
蒸发时的电力过高
控制蒸发时的电压
在真空度低的状态下作业
严格控制蒸发的真空度
铝丝被氧化
清洁铝丝或更高纯度的铝丝
2、失光现象：镀膜层颜色出现灰色,失去镜面效果的金属光泽
原
因
铝丝过薄地被蒸发
增加铝丝的用量
发光时间过短
控制金属蒸发的时间
在真空度低的状态下作业
严格控制蒸发的真空度
蒸发速率过慢
提高蒸发速率
真空镀铝膜生产过程中飞溅现象的探讨
二、镀膜铝线在真空蒸镀过程中中的物理变化
在真空镀膜机中，铝的熔化过程，是有送丝系统和蒸发舟的蒸发雾化总成来完成的，其中蒸发舟的电热温度可达到1800ºC ~2000ºC,当铝丝通过送丝系统，临近蒸发时，逐渐软化—熔化成流状滴入蒸发舟，在高温下形成小分之量的雾状，由于铝线表面的氧化膜，它的熔点和蒸发点与铝线基材不一样，要比基材的熔点和蒸发点高出一倍多，在没有完全熔化和雾化的情况下，夹杂在铝雾中，它的分子量要比铝雾化大的得多，而且大小不一，它的温度也高于铝雾的温度，这就是形成飞溅的原因。
三、氧化膜
这里我想介绍的是自然氧化膜，新鲜的铝材，在与空气与水分的自然接触过程中，会自然形成一簿层氧化膜，它的分子式是βAI2O3H2O在干燥空气中，这层膜大约在2.5~3.0nm，但在水中，或在潮湿的环境中，所产生的氧化膜是干燥中二倍，存放时间越长，膜的厚度增加（见表一）通常生成二层氧化膜，一层紧贴金属表面，另一层在固——气界面形成氧化合膜。
生产上述问题的原因，长期以来，都习惯性诊断为真空室内杂质太高，或者怀疑铝线材质量问题----Fe、Si含量过高。所以，用清理真空室、掉换铝线及掉换蒸发舟来解决。通过上述措施，确实有上面几方面的原因，也收到了一定的效果，但大部分企业采取以上措施后，飞溅现象依然存在，不能从根本上解决问题。笔者通过长期的观察、研究发现产生根本原因，是镀膜铝线表面氧化膜引起的。
防雾膜原理
防雾膜原理防雾膜是一种能够防止物体表面产生雾气的薄膜，它可以被广泛应用于汽车玻璃、眼镜、面罩、摄像头镜头等领域。
那么，防雾膜是如何实现防雾的原理呢？首先，我们需要了解什么是雾气。
雾气是由水蒸气在物体表面凝结形成的微小水滴，当温度低于物体表面的露点温度时，水蒸气会凝结成水滴，导致表面出现雾气。
因此，要防止物体表面产生雾气，就需要阻止水蒸气在表面凝结成水滴。
防雾膜的原理主要是通过改变表面能，使水蒸气无法在物体表面凝结成水滴。
一种常见的防雾膜是利用超疏水表面来实现防雾效果。
超疏水表面具有极低的表面能，水滴在其表面会呈现出极高的接触角，从而形成类似莲叶效应的特性。
当水滴在超疏水表面上滚动时，会带走表面上的灰尘和杂质，保持表面清洁，从而防止水滴在表面产生雾气。
另一种防雾膜的原理是利用亲水表面来实现防雾效果。
亲水表面具有良好的润湿性，水滴在其表面能够迅速展开并均匀分布，形成一层薄膜，从而防止水滴在表面凝结成雾气。
这种原理适用于一些需要清晰透视的场合，如眼镜、面罩等。
除了以上两种原理外，还有一些防雾膜是通过在表面形成微纳米结构，利用微纳米结构的特殊性能来实现防雾效果的。
这种防雾膜通常需要通过特殊的加工工艺来制备，具有较高的技术难度和成本。
总的来说，防雾膜的原理主要是通过改变物体表面的性质，使其具有超疏水或亲水的特性，从而阻止水蒸气在表面凝结成水滴，达到防雾的效果。
不同的防雾膜采用不同的原理，但其核心都是在表面形成一层特殊的薄膜，从而实现防雾的功能。
综上所述，防雾膜的原理是多种多样的，但都是基于改变表面性质的原理来实现防雾效果。
随着科技的不断进步，相信防雾膜会在更多领域得到应用，为人们的生活带来更多便利。
po膜雾度
po膜雾度
PO膜的雾度低，透明度较高。
这种特点使得早晨光线的透过率较高，散射率较低，从而使得早晨升温迅速。
另外，PO膜还具有超强的拉伸强度及抗撕裂强度。
PO膜雾度的产生也可能是由于膜的表面存在微小的颗粒或沉积物，这些可能是灰尘、油脂、污渍等，它们在擦拭或清洁时未能完全去除。
这些微小的颗粒或沉积物会反射或散射入射光线，导致视觉上的模糊和不透明。
PO膜雾度可能会对使用带来一些不便和影响。
例如，在眼镜等光学设备上，雾度会降低物体的透明度，影响观察效果。
对于电子设备如智能手机、平板电脑等，雾度会影响屏幕显示效果，使得图像变得模糊和不清晰，这不仅影响用户的视觉体验，也会导致眼睛疲劳和不适。
真空管掉膜的种种因素
真空管掉膜的种种因素生产过程当中，经常发现三靶镀膜机所生产三高管、紫金管容易出现脱膜的现象，经过长时间观察和实践，总结出如下原因会引起镀膜管掉膜。
1）镀膜前，内管不干净，有油渍会引起掉膜。
2）内管如果有塑料或线手套等烫焦的类似于胶性物质粘接在管壁上，清洗时很难清洗干净，而且这种物质极易引起掉膜。
3）下雨时，如果采用帆布遮盖毛管，雨水淋透帆布，其化学染料等物质粘附在管壁上，清洗不干净也极易形成掉膜。
4）内管未烘干，管口积水，会引起管口掉膜，这种情况一般都不用排气加热，直接封口就会在管口位置出现掉膜迹象。
5）工艺设置过程中，吸收层金属填充因子少，位于管口位置会出现水花纹迹象，但不会引起掉膜。
6）封口原因，由于封口时，水蒸汽过大，腐蚀膜层，要么会形成膜层斑纹，要么会引起掉膜。
7）夏天，由于天气炎热，操作者汗渍粘接在未镀膜的管壁上，极易引起掉膜现象。
因此要勤更换一次性手套和汗布手套，否则会得不偿失。
8）镀膜机本身设备问题，充气量过大，引起返油，会引起掉膜，这时掉膜位置一般会在管体位于光栏阀位置。
9）重镀管大部分会引起掉膜。
这是掉膜的最主要原因，因为铜的附着力比较低，生产过程当中，常常因为种种因素导致镀膜管达不到理想要求，往往关门重镀，如果镀膜管暴露大气的时间比较短，不会引起掉膜，但是时间过长，大气分子侵蚀到膜层当中，重镀就会引起掉膜。
即使排气后短时间内未掉膜，但流入市场后，也会出现掉膜的几率比较大，所以不要轻易冒险。
最好是腿模后再镀膜。
10）值得注意的是重镀管不但会引起掉膜，而且由于它的膜层比较厚，发射也相应比较大，热损就相应加大，管子会出现不保温的现象。
11）工艺问题，本地真空低，也会使膜层松散，粘结力不强，从而引起掉膜。
总之，在真空管镀膜掉膜的问题上，所有掉膜问题应该着重考虑的是镀膜前的种种因素，一旦镀膜完毕，即使手摸、粘油等引起掉膜的几率都非常小，这样的实验我做过不止一次。
光学仪器“镜面”起雾原因及预防措施
光学仪器“镜面”起雾原因及预防措施仪器设备的高负荷使用，往往简单发生意外故障，特殊是光学仪器若因维护和使用不当而起雾，就不能发挥仪器的正常作用，而带来工作上的障碍。
防止光学仪器生雾可以提升我们的试验效率。
目前国内企业设备维护管理一般还停留在被动的抢修作业模式，仪器设备的管理也应做好计划，同样设备维护管理也需要把非计划性的工作转化为计划性的工作。
假如我们定期的检查保养来减低故障的发生，特殊是做好仪器的“三防”工作，避免了抢修工作，保证仪器随时能投入正常的作用。
测绘仪器在使用和贮放中，除了有生霉现象外，往往还有光学零件的起雾，影响仪器的正常使用，故可针对光学信器起雾的主要因素，采取防止措施。
一、光学仪器起雾的原因及危害雾是指光学零件的抛光面上，呈现出“露水”似的物质，这些物质有的是油质点子构成的，称为油性雾，有的是由水珠或水与玻璃起化学反应形成积累物构成的，称为水性雾：有的光学零件上，两种雾都有，叫做水油混合雾，一般的都以“露水”状或干的积累物存在于玻璃表面上。
油性雾通常分布在圆形光学零件的边缘，并向中央伸延，有的则沿擦拭痕迹分布，油性雾的形成主要是油脂污染了玻璃表面，或是由于油脂的扩散，挥发在玻璃表面凝聚而造成的。
比如擦拭光学零件所用的辅料含脂量高，或者所用的工具带有油脂，用手指直接拿取和触及光学零件等，都会引起油性雾，或者是光学仪器上所用油脂的化学稳定性不好，产生扩散或使用方法不当涂油过多，油脂扩散到光学零件上而引起油性雾，或者是由于仪表油脂挥发性很大，会产生油质蒸气而形成油性雾。
水性雾是由于潮湿空气在温度变化下而形成，主要分布在零件的全面积上，产生原因主要是潮湿气体所致，但与仪器密封性能、光学玻璃的化学稳定性，以及玻璃表面的清洁程度有关，在较高的相对湿度下，霉菌易生长，有些霉菌生长状大后，便在菌丝体四周产生分泌物，这些分泌物有的是液状的，在液状分泌物外围便形成水性雾。
不管何种原因形成的雾，由于雾滴以曲率半径微小的球形分布于光学零件表面上、使入射光线产生散射现象，除了降低仪器的有效透光率外，并使成象质量差影响观测。
真空管膜层常见问题处理
常见问题处理一、颜色膜层颜色的变化主要是干涉效果的作用，主要是低吸收层和减反射层。
亮黄：最后一层电压过高，或时间太长；金黄：最后一层电压过低，时间太短；红、紫、蓝：最后一层时间太短；若电压、吸收层电压合适，颜色基本取决与减反射层的厚度，随时间的延长基本按以下顺序衍变：金黄--红--紫--蓝紫--蓝--亮蓝--亮黑--亮黄。
溅射过程无前面的变化，迅速由亮变化为黑、亮黄：低吸收层填充因子过低，吸收层渐变明显，无突变过程；可加大最后一层吸收层的填充因子，直至出现上面的衍变过程。
颜色不均匀：布气孔分布与磁场分布不协调，可以作紫或蓝紫管，按颜色差别进行调整，气量由大至小为：金黄--红--紫--蓝紫--蓝--亮蓝--亮黑--亮黄。
并检漏确认无漏点。
二、变色主要原因是膜系金属成分过少所致，直接有效的手段是增加减反层与低吸收层的电压跨度。
延长二、三层时间也可以，效果不如前者明显。
1）烤膜：用以上方法处理的同时，可以看烤后颜色进行不同处理。
变黄、红等：可以将最底部布气孔向上移动，或清理底部真空室、管托等；变白、雾状等：降低二、三层电流或减少时间（高填充因子层过厚）；烤掉铝层：提高纯铝层电流或延长时间。
2）真空烘烤后变色：延长二三层时间、加大倒数一二层电压跨度仍然是最有效手段仍需看所变颜色进行调整。
向红蓝方向变化：降低纯铝层与高吸收层、倒数一二层电压跨度；最后一层氮气流量降低；向黑色方向变化：加大倒数一二层电压跨度，加大减反层流量，并延长时间个别部位变色：气量由大至小为：金黄--红--紫--蓝紫--蓝--亮蓝--亮黑--亮黄。
并以此为依据调整布气孔。
三、脱膜（非清洗原因）使用过程曝气后脱膜：提高本低真空，净化膜层成分；排气后脱膜：降低膜层应力，加大溅射粒子能量；沉积完成后脱膜：降低膜层应力，加大溅射粒子能量，改变与基片附着方式；附着方式的改变：由玻璃/铜结构改为玻璃/钢/铜或玻璃/铝/铜结构；加大溅射粒子能量：加大电流、提高电压、降低溅射压强、加大电源输出总功率。
中空玻璃为什么会起雾
中空玻璃为什么会起雾随着人们对于住宅建设与装修的追求越来越高，中空玻璃的使用也愈发普遍。
随之而来的，中空玻璃起雾这个问题也成为了广大业主的关注焦点。
那么，为什么中空玻璃会起雾呢？中空玻璃结构首先，我们需要了解中空玻璃的结构，才能更好地解析其起雾原因。
中空玻璃是由两片玻璃之间留有一定空隙，将空隙封口成为一个密闭的玻璃腔室。
腔室内充填的是气体或保温材料，以提高玻璃的隔热性能。
这就是中空玻璃的基本构造。
中空玻璃起雾原因中空玻璃起雾与四季气温、湿度的改变有很大关系。
在寒冷季节，室内暖气开启，室内湿气十分重，而中空玻璃断热性能优异，导致室内雾气凝结在玻璃内部。
当气温降低时，由于体积减小，压力也会减小，从而导致室内的水蒸气自动进入玻璃中；当室外温度下降或室内温度上升时，玻璃腔室内的水蒸气就会冷凝为水滴。
这就是玻璃起雾的基本原理。
此外，腔室密封不好也是导致中空玻璃起雾的原因之一。
中空玻璃防止起雾的方法1. 合理通风在寒冷季节，适当通风可以将室内潮湿空气排到室外，减少了室内潮湿空气对中空玻璃的影响，有助于减少中空玻璃起雾的几率。
2. 中空玻璃间距据实验证明，当中空玻璃的间距再小一些，如果为5-10mm左右，若保证中间填充适量的惰性气体，其隔热、隔音性能将更佳，也有助于减少中空层降温结露、起雾。
3. 搭配合适的窗帘适当挂上窗帘，能够减少玻璃表面传热和热对流导致的玻璃结露和起雾。
4. 确保腔室密封性中空玻璃在安装或维护时需要保证密封。
如果腔室密封不好，就会导致中空层的一部分气体流入单向熔接条内而被吸附，这样就会导致中空层的压力变化，湿度增大，起雾的可能增大。
总结以上是中空玻璃起雾原因以及防止起雾的方法。
在使用中空玻璃时，特别是在寒冷季节，我们需要适当地通风、调整中空玻璃间距、搭配合适的窗帘，并保证中空玻璃的密封性，以减少中空玻璃起雾的几率。
引起钝化膜发雾的重要因素
引起钝化膜发雾的重要因素
锌层钝化后出现发雾的原因众多，常见的有以下几种:
(1)与镀锌层质量有关。
(2)浸亮溶液中锌含量过高。
(3)钝化溶液使用过久积聚过多的三价铬离子。
(4)浸亮溶液浓度过稀。
(5)前处理工艺不彻底。
与镀锌层质量有关。
当镀锌溶液中积聚过多的有机质时(多由添加剂的分解产物引起的)，镀出锌层易发雾，在此锌层上钝化，所获钝化膜必然会出现雾状。
浸亮溶液中锌含量过高。
这一现象在碱性镀锌工艺中尤为{多见，碱性镀锌溶液中碱含量高，工件表面残留溶液较难洗脱，较易带人到浸亮溶液中去，从而致使浸亮溶液中锌离子浓度过快积累。
钝化溶液使用过久积聚过多的三价铬离子。
钝化溶液中积聚一定量的三价铬离子时，钝化膜易出现雾状。
低铬钝化溶液中各组分浓度低，多次以补充材料方式来延长溶液的使用寿命，三价铬离子必然会越积越多，在这种情况下要定期用732阳树脂进行处理，使低铬钝化溶液长期保持鲜艳的、清澈的红色(溶液呈暗绿色说明三价铬已超标，不能再继续使用,应该更换)。
浸亮溶液浓度过稀。
碱性镀锌溶液中碱含量高，不易洗脱而带入浸亮溶液之中，结果浸亮溶液中的硝酸很快被中和，起不到浸亮作用，由于低铬钝化无抛光能力，从而出现钝化膜光泽性差，细瞧似呈雾状。
浸亮溶液的浓度也不宜过浓，否则锌层损耗过多，有必要时可选用氯化钾光亮镀锌来满足装饰上的要求。
BOPP薄膜的雾度影响因素
BOPP薄膜的雾度影响因素摘要：双向拉伸聚丙烯薄膜，简称BOPP薄膜，生产BOPP薄膜技术含量高，是一项很复杂的工作，而合理控制好薄膜的物理和机械性能的同时，不断提高薄膜的光学性能才能使企业获得最大的经济和社会效益。
本文重点讨论了结晶、原材料、防粘结剂对薄膜雾度的影响。
关键字：BOPP 双向拉伸聚丙烯薄膜雾度前言BOPP薄膜由于具有高透明度和光泽感，材料无毒、分子结构稳定、质量轻、透气性低，对气味及水分有一定的阻隔功能等优点，被广泛用于食品、医药、日用轻工、香烟等产品的包装，并大量用作复合膜的基材，双向拉伸聚丙烯薄膜有“包装皇后”的美称。
一、结晶对BOPP薄膜雾度的影响薄膜中聚丙烯的结晶度和晶体尺寸对BOPP薄膜的机械力学性能和光学性能有重要影响。
结晶度高则强度高，韧性差。
晶体尺寸小而均匀，有利于提高薄膜的力学强度，耐磨性、耐热性，提高薄膜的透明度和表面光泽度。
双向拉伸可以使聚丙烯中可能产生的较大颗粒晶体破碎，从而减小晶体尺寸，提高透光率，降低雾度。
如聚丙烯经双向拉伸后，雾度下降50% 。
从结晶的角度来看，要生产低雾度的BOPP薄膜，应尽量减小聚丙烯晶体的尺寸，一般可以调整工艺参数，如各段的冷却速度加快、低的加工温度、较大的拉伸比等，使得结晶细密且不形成大的晶体，这样薄膜即可获得良好的力学性能又能降低薄膜雾度。
结晶度太低也会导致薄膜机械性能下降，刚度变差。
一般来说，等规度较高的均聚PP这种结晶型高聚物的片材的结晶情况，与冷却的速度有密切的关系。
冷辊表面温度越低，热传导越快，或者片材贴附辊面越紧，熔体冷却速度越快，此时，片材结晶度小，有利于拉伸。
二、原材料对BOPP薄膜雾度的影响工业化生产BOPP薄膜用主料的主要成分是PP。
等规PP和间规PP具有不同的结晶结构，等规PP是以均相成核的三维生长方式进行结晶，而间规PP主要以均相成核的二维方式进行结晶，形成了外观尺寸不规则的小晶片，而且由于间规PP分子结构的规整度较低，使得间规PP具有较低的结晶速率和结晶度。
真空管膜层基础知识
真空管膜层基础知识太阳能真空管镀膜--膜层（一）基础知识热辐射基本概念热量传递的基本方式：导热，对流和辐射。
辐射是以物体通过电磁波传递能量的一种方式。
电磁波的波长从零到无穷大，传播速度真空中约为3X108m/s。
当辐射能量投射到物体表面时，会发生吸收，反射和透射。
三者遵循以下规律：αα+ρ+τ=1当物体的吸收比α=1时，该物体称为绝对黑体或黑体；当物体反射比ρ=1时该物体称为镜体；而反射比是漫反射比时，该物体称为绝对白体；当物体透射比τ=1时，称为绝对透明体或透明体。
黑体辐射的基本定律：光谱辐射岀射度随波长连续变化，先增大后减小，每条曲线只有一个最大值；曲线随黑体温度的升高而整体提高，曲线互不相交，最大值随温度的升高而向短波移动。
最大光谱岀射度的波长与温度的关系：=2897.8um·K实际物体发射率的一般变化规律：1）：对于黑体，发射率E=1,光谱发射率，法向发射率，方向发射率彼此相等。
2）：实际物体的方向发射率或法向发射率有一定变化，但对半球发射率无显著影响。
3）：金属材料的表面发射率一般都比较低，但随着温度升高都要增大，金属表面形成氧化层后，会成倍增大。
4）：非金属材料的表面发射率是较高的一般都在0.80以上，或者更高。
5）：发射率值的大小取决于物质的表面状态，涂层的发射率是涂层本身的特性，不是涂层基材的特性，但有例外，如：太阳能利用中的光谱选择性涂层Al-AlN/Al,SS-C/Cu膜层的发射率的高低在很大程度上取决于底层Al和Cu.基尔霍夫定律：物体处于热平衡时，任何物体对黑体投射辐射的吸收比等于同温度下该物体的发射率。
对于灰体不论投射辐射是否来自黑体，也不论是否处于热平衡状态，其吸收比等于同温度下的发射率。
太阳光谱选择性吸收膜系光学基础消光系数（k)描述电磁波在介质中传播时的衰减程度，是介质吸收电磁波能量的度量。
n表示折射率，其中（nx）称为光程，也叫光学距离或光学厚度。
在薄膜光学中，膜厚常以光学厚度来表示。
二中空玻璃雾化的主要原因及解决方法.
二中空玻璃雾化的主要原因及解决方法中空玻璃的基本制作工艺由玻璃的清洗、灌注分子筛、丁基密封胶的涂敷、合片、涂第二道密封胶等环节组成。
每一环节都与材料的选择及操作人员的熟练程度和加工质量有关。
1. 玻璃的清洗清洗玻璃是中空玻璃生产的第一个环节，也是保证中空玻璃密封的最重要的环节之一。
如果玻璃上的油渍和汗水不能彻底清洗掉，则密封胶对玻璃的粘合力就会大大削弱，从而降低中空玻璃的密封效果。
应该强调指出，我们选择干燥剂、密封胶和间隔条应考虑的因素，是以玻璃清洗干净为前提的，它对中空玻璃的密封在相当大的程度上是以玻璃清洗干净与否为转移的, 玻璃的清洁是外观质量的主要衡量标准。
但实践中，人们往往对清洗玻璃的重视程度不够，必须改正。
2. 干燥剂的选择干燥剂的作用主要有三种：吸附密封在空气层内的水份；吸附可挥发性有机溶剂和吸附在中空玻璃寿命期内进入空气层内的水汽。
其目的是保持中空玻璃有合格的初始露点，因此，选择适当的干燥剂的条件是必须同时满足干燥剂所应具有的三个功能。
如果干燥剂吸附能力差，不能有效地吸附通过扩散进入空气层的水分，就会导致水分在空气层中聚集，水份压提高，中空玻璃的露点上升，那么出现雾化的可能性极大，另外选择干燥剂时必须综合考虑它们各自的性质，干燥剂的选择与选用的何种中空玻璃胶有直接关系，必须结合起来考虑。
3. 双道中空密封胶的选用中空玻璃的边缘密封失败，意味窗户失去应有的功能，不但窗户的设计节能性能达不到，而且消费者也不能透过结雾的空气层看清外面，影响中空玻璃的透视度,并降低隔热效果,长时间的结雾会使玻璃的内表面发生霉变或析碱,产生白斑,严重影响中空玻璃的外观质量。
由此可见，选择高质量的中空玻璃密封胶是防止中空玻璃雾化的首要和关键。
选用的中空玻璃密封胶应符合国家或行业标准要求，并且双道中空玻璃的第一道和第二道密封胶应相适合，不能互溶或反应，否则有可能导致玻璃表面污染，甚至雾化。
4. 双道中空玻璃的涂敷-合片-涂胶合片是制作双道中空玻璃的中间一环，合片前的丁基密封胶的涂敷，决定着中空玻璃制品的综合质量。
LPCVD多晶硅薄膜发雾的形成与消除
LPCVD多晶硅薄膜发雾的形成与消除许帅;徐超;王新胜;刘国柱【摘要】The fogging of LPCVD poly Si films has great effects on properties of CMOS device, in this paper, the formation mechanism and influencing factors of fogging were analyzed, the solution of adopting low temperature, low pressure and keeping gas system clean to eliminate the fogging was suggested. According to the shape and location of fogging, the surface defects were classified, and the proposal were put forward in the aspects of clean process, contamination analysis and previous process to avoid fogging.%LPCVD多晶硅薄膜发雾对CMOS器件性能有重大影响,文章分析了多晶硅薄膜发雾的形成机理与影响因素,指出了低温、低压以及保持气路系统的清洁是消除多晶＂发雾＂的有效措施。
根据多晶硅薄膜雾状斑点的形状与分布位置,对硅片表面缺陷的来源进行了分类,并从清洗工艺、污染物成分分析、前道工序等方面提出了相应的解决措施。
【期刊名称】《电子与封装》【年(卷),期】2012(012)002【总页数】4页(P40-43)【关键词】LPCVD;多晶硅薄膜;发雾;表面缺陷【作者】许帅;徐超;王新胜;刘国柱【作者单位】中国电子科技集团公司第58研究所,江苏无锡214035;中国电子科技集团公司第58研究所,江苏无锡214035;中国电子科技集团公司第58研究所,江苏无锡214035;中国电子科技集团公司第58研究所,江苏无锡214035【正文语种】中文【中图分类】TN3051 引言随着集成电路的发展，多晶硅薄膜在CMOS器件、双极集成电路、微波器件和各种特殊功能的半导体器件中的应用也日益广泛，对于多晶硅薄膜的研究越来越引起人们的关注[1]。
镀膜机真空室内膜层的影响
镀膜机真空室内膜层的影响
当镀膜机起靶次数N次后，就会在真空镀室内形成一层较厚的镀层，由于镀层与衬壁的材质不符，就会出现起皮脱落的现象。
在真空溅射方面有着一些理论方面的解释，另初介入真空镀膜的初学者匪夷所思。
其实好多东西都是人为的把它搞复杂了，路绕来绕去就绕弯了。
思想也就被绕糊涂了。
我们何不简单化。
其实真空溅射我们可以这样来理解，镀膜机靶为阴极，外壳接地。
当真空达到溅射的本底真空时，通入惰性气体，阴极的靶与外壳导通。
阴极表面的原子，离开阴极向镀膜机壳体运动。
镀件在绕着靶做圆周运动时，把这部分原子中途拦截，附着在镀件表面，就形成了我们想要的膜层。
其余一部分未被拦截住的原子就会运动到衬壁上，由于镀件是常换的。
而衬壁是不换的，久而久之，衬壁的膜层就会越来越厚。
由于在真空管的镀膜过程中还参与了反应溅射。
反应溅射的产物附着在衬壁上，这样的膜层会降低原子向壳体运动的速度及能力。
我们在生产过程中，会常遇到起靶困难的现象，就是这个原因。
如果想顺利起靶，要么提高本底真空度，这样会花费较长的时间。
要么就需要清理膜层。
另外，镀膜机真空室内膜层起皮也能影响真空管的性能及膜色。
太阳能热水器的“三高”真空管与普通管及紫晶管的区别
太阳能热水器的三高真空管中“三高”是什么意思？“三高”指的是耐高温，抗高寒，高效吸收，一般只通过三靶干涉膜工艺的制成的真空管(一般的是渐变膜）太阳能三高真空管与普通真空管的区别三高“太阳芯”真空管与普通管的区别在于吸热膜层不一样（吸热膜层是真空管的关键部位）。
三高管是干涉膜，普通管是渐变膜。
它们的区别主要表现为干涉膜与渐变膜的区别。
１、根本区别：膜层结构不同，导致吸收太阳光线的原理不一样。
渐变膜，为多层膜，其吸收层一般是９层，它对太阳光线是逐层吸收的，而且其吸收光线的性能逐渐变高。
由于这种渐变结构，发射比随温度上升不断加大，以致工作温度在３００~５００℃时，发射比大大增加。
而且吸收层中的铝离子在高温状态下，活泼性大大增强，并发生漂移。
这样膜层的内部结构发生错乱，导致膜层开始老化。
长期处于这种高温状态下，膜层就会脱落，从而影响了真空管的集热效率和寿命。
干涉膜，其吸收层共２层，两层膜之间，因金属成份的配比不同而产生干涉作用，使吸收比增加，发射比降低。
再加上减反层减少反射的作用，从而实现更高的吸收比和更低的发射比，大大提高了集热效率。
２、特征：三高管的吸收比提高了１２％，发射比降低了３０％－４０％，超吸收，热损少，升温快。
高效管，超吸收，热效高，升温快，在同样的光照条件下，比普通管能出更多更高水温的热水；高寒管，因铜离子的发射比比铝离子低０．２，因此热损很少，在高寒环境下仍能正常工作，－３０℃照常出热水；高温特效管，因膜层中的不锈钢离子耐高温，抗空晒，膜层在４００℃条件下不老化、不衰减、不变色。
在相同光照条件下，普通管热吸收不如三高管高，甚至不能满足洗浴要求；在温度较低时，热损更大，集热效率下降，影响正常使用；尤其在空晒超过２７０℃时，膜层开始老化、脱落，吸收率快速降低，寿命大大缩短。
３、工艺：高温特效管、高寒管、高效管分别采用三靶、双靶、单靶磁控溅射工艺；普通管一般都采用单靶磁控溅射工艺。
４、外观：Ａ、管口，此处膜层在８００℃以上高温状态下封口时，脱落一部分是不可避免的。
真空镀膜膜层脱落原因
真空镀膜膜层脱落原因
真空镀膜的膜层脱落常见的原因有以下几种：
1.基材表面处理不当。
在真空镀膜之前，基材表面必须经过充分
清洗、去污、除油等处理工序，以保证膜层与基材之间的附着力。
如
果基材表面没有得到足够的清洁和处理，且未与薄膜材料良好结合，
则会导致膜层脱落。
2.薄膜材料本身质量差。
薄膜材料的选择也是影响膜层质量和脱
落的重要因素。
如果使用的薄膜材料质量差且与基材表面亲和力不强，则膜层易脱落或者在使用过程中容易受损。
3.运行条件控制不当。
真空镀膜在运行过程中需要控制承载基材
的温度、真空度、镀膜速度及镀膜气氛等多个参数，如果这些参数控
制不当，也会造成膜层脱落。
4.机器设备及工艺流程不足。
真空镀膜设备和工艺流程的选择和
控制，对于膜层质量和脱落问题也有很大影响。
如果设备和流程不足，可能会影响膜层粘附力和均匀性，造成膜层脱落的问题。
真空镀膜的常见问题和解决办法
真空镀膜机的一些常见问题与解决办法随着镀膜技术的快速增长，各种类型的真空镀膜机也开始逐渐出现。
但是论起薄膜的均匀性，恐怕所有的真空设备镀制的薄膜的均匀性都会受到某种因素影响，现在我们就溅控溅射镀膜机来看看造成不均匀的因素有哪些。
对此，真空镀膜机厂家指出，它的运作原理其实很简单。
就是通过真空状态下正交磁场使电子轰击氩气形成的氩离子再轰击靶材，靶材离子沉积于工件表面成膜。
如此车灯镀膜机厂家就该考虑与膜层厚度的均匀性有关的有真空状态、磁场、氩气这三个方面。
真空状态就需要抽气系统来控制的，每个抽气口都要同时开动并力度一致，这样就可以控制好抽气的均匀性，如果抽气不均匀，在真空室内的压强就不能均匀了，压强对离子的运动是存在一定的影响的。
另外抽气的时间也要控制，太短会造成真空度不够，但太长又浪费资源，不过有真空机的存在，要控制好还是不成问题的（1）真空镀膜对环境的要求。
加工真空镀膜工艺衬底(基片)表面的清洁处理很重要。
基片进入镀膜室前均应进行认真的镀前清洁处理，达到工件去油、去污和脱水的目的。
基片表面污染来自零件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等物;零件表面在潮湿空气中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的气体。
真空镀膜厂家这些污物基本上均可采用去油或化学清冼方法将其去掉。
对经过清洗处理的清洁表面，不能在大气环境中存放，要用封闭容器或保洁柜贮存，以减小灰尘的沾污。
用刚氧化的铝容器贮存玻璃衬底，可使碳氢化合物蒸气的吸附减至最小。
因为这些容器优先吸附碳氢化合物。
对于高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面，一般应贮存在真空干燥箱中。
清除镀膜室内的灰尘，设置清洁度高的工作间，保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。
空气湿度大的地区，除镀前要对基片、真空室内各部件认真清洗外，还要进行烘烤除气。
要防止油带入真空室内，注意油扩散泵返油，对加热功率高的扩散泵必须采取挡油措施。
（2）镀层与镀膜的基本原理A、原材料与基本原理：原材料都是树脂、聚合物、铁氟隆、硅酮、丙烯酸、硅酸盐等，辅料、配方与量度有所不同。
磁控溅射膜层发雾原因分析
15．磁控溅射膜层发雾原因分析牛通王从香胡永芳南京电子技术研究所南京210039(通信作者邮箱：nt3515@163．com)．nt3515@163．com 摘要：本文对溅射镀膜生产过程中，BeO基片上Ti-Cu-Ti膜层发雾的现象进行了分析。
分析结果表明，发雾区的粗糙度远大于正常处的粗糙度，扫描电镜下观察，发雾处有密密麻麻的凸起的直径约2微米的金属晶粒，这些晶粒产生的漫反射作用导致宏观上膜层表现出发雾的现象。
凸起的晶粒是由于溅射原子团在基片上没有充分的铺展、融合引起的，对此，笔者采取了提高基片温度的措施后，基片膜层发雾现象明显减少。
关键词：磁控溅射膜层发雾粗糙度晶粒Analysis of mag net ron sputtering film fogging surfaceN i u T ong Wang C ong xia ng Hu Yon gf ang(Nanjing Research I nsti tute ofElect ronics Te ch no lo g y,Na n ji ng 210039，China)Abstract：The fogging surf ace of Ti—Cu-Ti film sp utt ered on B e O Wa S investigated in thispaper．The result shows that surfac e roughnesses of fogging area outclass nor ma l area,andSEM．The diffuse reflection there are thickly dotted raised grains on fogging area observed byof grainsc au se fogging surf ace．The raised grains are caused by sputtered radicel on B e O without sufficientsprea d a nd crasis，therefore，the temperature on B e O dur ing m ag net ro n sputtering WaS advanced，as a result that fi lm s ur fac e w as improved obviously．Key words Magnetron sputtering，film，fogging surface，surface ro u g hn e ss，g r a in1引言溅射是物理气相沉积方法的一种，在溅射过程中，高能粒子撞击具有高纯度的靶材料，靶材料被撞出原子或原子团，这些原子或原子团穿过真空，最后沉积在基片上，磁控的目的是为了增加被撞靶材原子的产率，提高溅射效率n 3。
门窗知识科普中空玻璃为什么起雾？如何预防？
长沙圣博盾：门窗知识科普——中空玻璃为什么起雾？如何预防？门窗使用过程中遇到问题是最糟心，比如说窗扇松动、执手闭合不了、门窗变形.......这些问题都让业主一个头两个大。
那么今天来说一个门窗质量问题中非常棘手的问题——玻璃起雾。
（当然，质量好的门窗请忽略这个问题）首先，我们要清楚为什么中空玻璃会起雾？中空玻璃本身固有特性之一就是“密封耐久性”，这个质量特性的好坏直接决定了中空玻璃的“寿命”。
“起雾”往往是发生在中空玻璃腔体中间层，也是“是中空玻璃致命性的缺陷，发生这种现象的同时也许就意味着这些玻璃“寿命”到头了。
起雾的原因可以归为以下几个：1.主密封胶丁基胶的密封效果不良；2.分子筛的吸湿能力不足；3.间隔条质量影响因素；4.玻璃安装等外力破坏因素。
那么针对中空玻璃起雾这个致命的梗，又没有未雨绸缪的办法呢？答案是：肯定有！选择玻璃的时候一定要慎重！中空玻璃是否填充分子筛？分子筛有利于中空玻璃夹层气体中水分的吸附，并在中空玻璃寿命期内连续吸附进入间隔层内的水分。
中空玻璃即使在很低温度下仍然保持光洁透明，提高中空玻璃的保温隔音、隔热性能，从而降低能源消耗，充分延长中空玻璃的使用寿命。
选择干燥剂时必须综合考虑它们各自的性质，干燥剂的选择与所选用的中空玻璃胶类型有直接关系，必须结合起来考虑。
如果中空玻璃的边缘密封不严，那么我们的中空玻璃门窗就也可能“起雾”。
因此，在选购门窗时，密封胶要选高质量的，好的玻璃密封胶有幕墙专用的结构胶等。
玻璃是否充氩气？氩气作为惰性气体，自身所具有的特性，可以减慢中空玻璃内的热对流，同时也可以更大幅度地提高其隔音降噪效果，即可以使中空玻璃的保温，隔音效果更好。
玻璃铝条如何？中空铝条一体折弯成型，形成中空闭合环境，有效降低噪音。
双层中空玻璃涂敷合片是制作双层中空玻璃的中间一环。
合片前丁基胶的涂敷，决定着中空玻璃的综合质量。
如果两道密封胶之间存在缝隙，会引起漏气。
同时应注意涂抹过薄的第二道密封胶。
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真空管膜层起雾、发乌是何原因
生产过程当中，经常发现镀膜后的真空管出现发乌或者说雾蒙蒙的，有时还会伴有水纹出现等现象。
经过长时间研究和实践，总结出如下原因会造成此种现象产生。
1）本底真空低，如果一味的追求产量，减少抽真空的时间，利用大功率起靶，虽然能够生产，但这时的镀膜管，膜层不致密，松散。
如果镀膜机真空室刚清理过起雾的现象不会产生。
但如果是长时间未清理真空室，就会导致起靶困难，铝靶长时间维持在拐点以下就会导致溅射到镀件表面的红外发射层不是纯净的金
属层，会影响真空管的发射，以及热损，从而导致真空管热损高，出现不保温的现象。
也会使管子出现发乌的现象。
2）另外，真空管如果出现重镀现象，这种起雾现象就更明显，结合如上所诉第一条，在减反层上再铺一层不纯净的类似于“金属灰”的物质，管子发乌也就不难理解了。
3）真空镀膜管起雾、发乌大多会出现在普通的单靶管上，主要原因是铝靶的活泼性高，容易氧化，所以起靶就困难，如果本底真空低，会长时间维持在拐点
以下，会溅射出不纯净的“金属灰”物质，要想杜绝此类现象的发生，最好的办法就是增加抽真空时间，提高本底真空度，使铝靶能够在较短时间内顺利的升至高于400V以上，就会避免此类现象的发生；另外清理真空室膜层也是快速提高本底真空的有效措施，也能从根本上解决真空管膜层起雾、发乌的现象。
4）对于三靶镀膜机所生产的紫金管和三高管，此种现象一般不会产生，原因是，铜靶比较容易起靶，即使本底真空很低也能顺利的升至400V以上，加之吸收层又有钢靶的参与，铝靶也就很容易起靶，并顺利的维持在设定的电压。
但本底真空低会容易造成溅射的铜金属红外发射层不纯净，经过排气高温烘烤后，透过真空管管口可以发现，内管不红，略显黄色。
这种管子发射一般都会比较高，也会造成真空管热损大，不保温的现象。
另外，工艺运行到减反层后，由于只有铝靶参与，而且是维持在拐点附近，就会造成电压不稳，波动较大的现象。
通常解决的办法只有加大稳压参数，可是这时得到的又不是纯净的氮化铝，那么也就意味着位于镀膜管的表层不是纯净的减反层，管子的吸收效果就会大打折扣，也就得不到一个好的吸收膜系！
综上所述，真空管性能的好坏，不仅要建立一套好的工艺膜系，有了好的工艺膜系，本底真空还是尤为关键的。
本底真空的高低不仅影响真空管的吸收、发射，最重要的是会影响真空管的使用寿命，投入使用的真空管为什么会在1～2年后，膜层会变颜色，根本原因是镀膜的质量不好，其中尤为关键的是镀膜前的本底真空不好所致。