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fbar滤波器工艺

fbar滤波器工艺
Fbar滤波器工艺是一种高科技的电子器件制造技术。

它是利用MEMS（微电子机械系统）和封装技术实现的。

目前，Fbar滤波器广泛应用于移动通信、无线电、航空航天、医疗等领域。

下面我们来分步骤地阐述Fbar滤波器工艺。

1. 晶圆制备：Fbar滤波器制作的第一步是制备晶圆。

晶圆通常是采用硅材料制作的。

在晶圆上，先制备出Mesa结构，然后将金属电极沉积在Mesa结构上。

2. MEMS制造：MEMS制造是Fbar滤波器制造中的关键步骤。

MEMS是一种微型机械结构，其尺寸通常在10微米至1毫米之间。

MEMS 制造需要采用先进的光刻、蒸发和离子注入等工艺。

制备好的MEMS结构通常包括压电材料和衬底。

3. 生长压电薄膜：Fbar滤波器制造的另一个重要步骤是在MEMS 结构表面生长压电材料薄膜。

压电材料是一种特殊的晶体，可以在电场的作用下发生形变，从而产生机械波。

在生长压电薄膜时，需要考虑到压电材料的纯度、结晶度等因素。

4. 组装封装：Fbar滤波器制造的最后一步是进行组装封装。

对于MEMS结构和生长好的压电薄膜，需要采用粘贴和烘干等步骤进行组装，并将组装好的部件隔离和封装。

在Fbar滤波器制造的每个步骤中，都需要采用不同的工艺条件和工具，因此制造过程较为复杂。

不过，随着技术的不断发展，Fbar 滤波器制造工艺也在不断完善和优化。

同时，Fbar滤波器的应用领域也在逐步拓展，未来有望在更广泛的领域发挥重要作用。

美国钢铁产品的标准比较多

美国钢铁产品的标准比较多，主要有以下几种：美国钢铁产品的标准比较多，主要有以下几种：ANSI 美国国家标准AISI??美国钢铁学会标准ASTM 美国材料与试验协会标准ASME 美国机械工程师协会标准AMS 航天材料规格（美国航空工业最常用的一种材料规格，由SAE制定）API 美国石油学会标准AWS 美国焊接协会标准SAE 美国机动车工程师协会标准MIL 美国军用标准QQ 美国联邦政府标准A216:：WCB , WCCA217: WC6 , WC9 , C5 (ZGCr5Mo)A351: CF8 , CF3 , CF3 M , CF8C标准号? ? ? ? 标准中文名称? ? ? ? 标准英文名称ASTM A1-00 ? ? ? ? 碳素钢丁字轨? ? ? ? Standard Specification for Carbon Steel Tee Rails ASTM A2-02 ? ? ? ? 普通型,带槽和防护型碳素工字钢轨? ? ? ? Standard Specification for Carbon Steel Girder Rails of Plain, Grooved, and Guard TypesASTM A3-01 ? ? ? ? 低、中、高碳素钢鱼尾（连接）板? ? ? ? Standard Specification for Steel Joint Bars, Low, Medium, and High Carbon (Non-Heat-Treated)ASTM A6/A6M-04a ? ? ? ? 轧制结构钢板材、型材和薄板桩通用技术要求? ? ? ? Standard Specification for General Requirements for Rolled Structural Steel Bars, Plates, Shapes, and Sheet Piling ASTM A20/A20M-04a ? ? ? ? 压力容器用钢板材通用要求? ? ? ? Standard Specification for General Requirements for Steel Plates for Pressure VesselsASTM A27/A27M-03 ? ? ? ? 通用碳素钢铸件? ? ? ? Standard Specification for Steel Castings, Carbon, for General ApplicationASTM A29/A29M-04 ? ? ? ? 热锻及冷加工碳素钢和合金钢棒? ? ? ? Standard Specification for Steel Bars, Carbon and Alloy, Hot-Wrought, General Requirements forASTM A31-04 ? ? ? ? 钢铆钉及铆钉和压力容器用棒材? ? ? ? Standard Specification for Steel Rivets and Bars for Rivets, Pressure VesselsASTM A34/A34M-01 ? ? ? ? 磁性材料的抽样和采购试验的标准惯例? ? ? ? Standard Practice for Sampling and Procurement Testing of Magnetic MaterialsASTM A36/A36M-04 ? ? ? ? 碳素结构钢技术规范? ? ? ? Standard Specification for Carbon Structural SteelASTM A47/A47M-99 ? ? ? ? 铁素体可锻铁铸件? ? ? ? Standard Specification for Ferritic Malleable Iron CastingsASTM A48/A48M-03 ? ? ? ? 灰铁铸件? ? ? ? Standard Specification for Gray Iron CastingsASTM A49-01 ? ? ? ? 经热处理的碳素钢鱼尾（连接）板，微合金鱼尾板及锻制碳素钢异型鱼尾板? ? ? ? Standard Specification for Heat-Treated Carbon Steel Joint Bars, Microalloyed Joint Bars, and Forged Carbon Steel Compromise Joint BarsASTM A53/A53M-04 ? ? ? ? 无镀层热浸的、镀锌的、焊接的及无缝钢管的技术规范? ? ? ? Standard Specification for Pipe, Steel, Black and Hot-Dipped, Zinc-Coated, Welded and SeamlessASTM A65-01 ? ? ? ? 钢轨道钉? ? ? ? Standard Specification for Steel Track SpikesASTM A66-01 ? ? ? ? 钢质螺旋道钉? ? ? ? Standard Specification for Steel Screw SpikesASTM A67-00 ? ? ? ? 热加工低碳钢和高碳钢垫板技术规范? ? ? ? Standard Specification for Steel Tie Plates, Low-Carbon and High-Carbon Hot-WorkedASTM A74-04 ? ? ? ? 铸铁污水管及配件的技术规范? ? ? ? Standard Specification for Cast Iron Soil Pipe and FittingsASTM A82-02 ? ? ? ? 钢筋混凝土用无节钢丝? ? ? ? Standard Specification for Steel Wire, Plain, for Concrete ReinforcementASTM A90/A90M-01 ? ? ? ? 镀锌和镀锌合金钢铁制品镀层重量的试验方法? ? ? ? Standard Test Method for Weight [Mass] of Coating on Iron and Steel Articles with Zinc or Zinc-Alloy Coatings ASTM A99-03 ? ? ? ? 锰铁合金? ? ? ? Standard Specification for FerromanganeseASTM A100-04 ? ? ? ? 硅铁? ? ? ? Standard Specification for FerrosiliconASTM A101-04 ? ? ? ? 铬铁? ? ? ? Standard Specification for FerrochromiumASTM A102-04 ? ? ? ? 钒铁合金? ? ? ? Standard Specification for FerrovanadiumASTM A105/A105M-03 ? ? ? ? 管系部件用碳素钢锻件? ? ? ? Standard Specification for Carbon Steel Forgings for Piping ApplicationsASTM A106/A106M-04a ? ? ? ? 高温用无缝碳素钢管? ? ? ? Standard Specification for Seamless Carbon Steel Pipe for High-Temperature ServiceASTM A108-03 ? ? ? ? 优质冷加工碳素钢棒材技术规范? ? ? ? Standard Specification for Steel Bar, Carbon and Alloy, Cold-FinishedASTM A109/A109M-03 ? ? ? ? 冷轧碳素钢带技术规范? ? ? ? Standard Specification for Steel, Strip, Carbon (0.25 Maximum Percent), Cold-RolledASTM A111-99a(2004)e1 ? ? ? ? 电话和电报线路用镀锌"铁"丝规格? ? ? ? Standard Specification for Zinc-Coated (Galvanized) Iron Telephone and Telegraph Line WireASTM A116-00 ? ? ? ? 镀锌钢丝编织栏栅网? ? ? ? Standard Specification for Metallic-Coated, Steel Woven Wire Fence FabricASTM A121-99(2004) ? ? ? ? 镀锌刺钢丝? ? ? ? Standard Specification for Mettalic-Coated Carbon Steel Barbed WireASTM A123/A123M-02 ? ? ? ? 钢铁产品的锌镀层（热浸镀锌）技术规范? ? ? ? Standard Specification for Zinc (Hot-Dip Galvanized) Coatings on Iron and Steel ProductsASTM A125-96(2001) ? ? ? ? 热处理螺旋形钢弹簧? ? ? ? Standard Specification for Steel Springs, Helical, Heat-TreatedASTM A126-04 ? ? ? ? 阀门、法兰和管配件用灰铁铸件? ? ? ? Standard Specification for Gray Iron Castings for Valves, Flanges, and Pipe FittingsASTM A128/A128M-93(2003) ? ? ? ? 钢铸件,奥氏体锰? ? ? ? Standard Specification for Steel Castings, Austenitic ManganeseASTM A131/A131M-04 ? ? ? ? 海船用结构钢? ? ? ? Standard Specification for Structural Steel for ShipsASTM A132-04 ? ? ? ? 钼铁合金? ? ? ? Standard Specification for FerromolybdenumASTM A134-96(2001) ? ? ? ? 电熔(电弧)焊钢管(NPS为16英寸和16英寸以上)? ? ? ? Standard Specification for Pipe, Steel, Electric-Fusion (Arc)-Welded (Sizes NPS 16 and Over)ASTM A135-01 ? ? ? ? 电阻焊钢管? ? ? ? Standard Specification for Electric-Resistance-Welded Steel PipeASTM A139/A139M-04 ? ? ? ? 电熔(电弧)焊钢管(4英寸以上的)? ? ? ? Standard Specification for Electric-Fusion (Arc)-Welded Steel Pipe (NPS 4 and Over)ASTM A143/A143M-03 ? ? ? ? 热浸镀锌结构钢制品防脆裂措施和探测脆裂的程序? ? ? ? Standard Practice for Safeguarding Against Embrittlement of Hot-Dip Galvanized Structural Steel Products and Procedure for Detecting EmbrittlementASTM A144-02 ? ? ? ? 铁钨合金规范? ? ? ? Specification for FerrotungstenASTM A146-04 ? ? ? ? 氧化钼制品? ? ? ? Standard Specification for Molybdenum Oxide Products ASTM A148/A148M-03 ? ? ? ? 结构用高强度钢铸件? ? ? ? Standard Specification for Steel Castings, High Strength, for Structural PurposesASTM A153/A153M-04 ? ? ? ? 钢铁制金属构件上镀锌层(热浸)? ? ? ? Standard Specification for Zinc Coating (Hot-Dip) on Iron and Steel HardwareASTM A159-83(2001) ? ? ? ? 汽车用灰铁铸件? ? ? ? Standard Specification for Automotive Gray Iron CastingsASTM A167-99 ? ? ? ? 不锈钢和耐热铬镍钢板、薄板及带材? ? ? ? Standard Specification for Stainless and Heat-Resisting Chromium-Nickel Steel Plate, Sheet, and StripASTM A176-99 ? ? ? ? 不锈钢和耐热铬钢板、薄板及带材? ? ? ? Standard Specification for Stainless and Heat-Resisting Chromium Steel Plate, Sheet, and StripASTM A178/A178M-02 ? ? ? ? 电阻焊接碳素钢钢管及碳锰钢锅炉和过热器管的技术规范? ? ? ? Standard Specification for Electric-Resistance-Welded Carbon Steel and Carbon-Manganese Steel Boiler and Superheater TubesASTM A179/A179M-90a(2001) ? ? ? ? 热交换器和冷凝器用无缝冷拉低碳钢管? ? ? ? Standard Specification for Seamless Cold-Drawn Low-Carbon Steel Heat-Exchanger and Condenser Tubes ASTM A181/A181M-01 ? ? ? ? 普通锻制碳素钢管的规格? ? ? ? Standard Specification for Carbon Steel Forgings, for General-Purpose PipingASTM A182/A182M-02 ? ? ? ? 高温设备用锻制或轧制的合金钢管法兰、锻制管件、阀门及零件? ? ? ? Standard Specification for Forged or Rolled Alloy-Steel Pipe Flanges, Forged Fittings, and Valves and Parts for High-Temperature ServiceASTM A183-03 ? ? ? ? 钢轨用碳素钢螺栓和螺母? ? ? ? Standard Specification for Carbon Steel Track Bolts and NutsASTM A184/A184M-01 ? ? ? ? 混凝土加筋用变形钢筋编织网? ? ? ? Standard Specification for Fabricated Deformed Steel Bar Mats for Concrete ReinforcementASTM A185-02 ? ? ? ? 钢筋混凝土用焊接钢丝结构? ? ? ? Standard Specification for Steel Welded Wire Reinforcement, Plain, for ConcreteASTM A192/A192M-02 ? ? ? ? 高压用无缝碳素钢锅炉管? ? ? ? Standard Specification for Seamless Carbon Steel Boiler Tubes for High-Pressure ServiceASTM A193/A193M-04b ? ? ? ? 高温设备用合金钢和不锈钢螺栓材料? ? ? ? Standard Specification for Alloy-Steel and Stainless Steel Bolting Materials for High-Temperature ServiceASTM A194/A194M-04a ? ? ? ? 高温和高压设备用碳素钢与合金钢螺栓和螺母的规格? ? ? ? Standard Specification for Carbon and Alloy Steel Nuts for Bolts for High Pressure or High Temperature Service, or BothASTM A197/A197M-00 ? ? ? ? 化铁炉用可锻铸铁? ? ? ? Standard Specification for Cupola Malleable IronASTM A202/A202M-03 ? ? ? ? 压力容器用铬锰硅合金钢板? ? ? ? Standard Specification for Pressure Vessel Plates, Alloy Steel, Chromium-Manganese-SiliconASTM A203/A203M-97(2003) ? ? ? ? 压力容器用镍合金钢板? ? ? ? Standard Specification for Pressure Vessel Plates, Alloy Steel, NickelASTM A204/A204M-03 ? ? ? ? 压力容器用钼合金钢板? ? ? ? Standard Specification for Pressure Vessel Plates, Alloy Steel, MolybdenumASTM A209/A209M-03 ? ? ? ? 锅炉和过热器用无缝碳钼合金钢管? ? ? ? Standard Specification for Seamless Carbon-Molybdenum Alloy-Steel Boiler and Superheater TubesASTM A210/A210M-02 ? ? ? ? 锅炉和过热器用无缝中碳素管? ? ? ? Standard Specification for Seamless Medium-Carbon Steel Boiler and Superheater TubesASTM A213/A213M-04 ? ? ? ? 无缝铁素体和奥氏体合金钢锅炉、过热器和换热器管? ? ? ? Standard Specification for Seamless Ferritic and Austenitic Alloy-Steel Boiler, Superheater, andHeat-Exchanger TubesASTM A214/A214M-96(2001) ? ? ? ? 热交换器与冷凝器用电阻焊接碳素钢管? ? ? ? Standard Specification for Electric-Resistance-Welded Carbon Steel Heat-Exchanger and Condenser Tubes ASTM A216/A216M-93(2003) ? ? ? ? 高温下使用的适合于熔焊的碳素钢铸件规格? ? ? ? Standard Specification for Steel Castings, Carbon, Suitable for Fusion Welding, for High- Temperature ServiceASTM A217/A217M-02 ? ? ? ? 适合高温受压零件用合金钢和马氏体不锈钢铸件? ? ? ? Standard Specification for Steel Castings, Martensitic Stainless and Alloy, for Pressure-Containing Parts, Suitable for High-Temperature ServiceASTM A220/A220M-99 ? ? ? ? 珠光体可锻铁? ? ? ? Standard Specification for Pearlitic Malleable IronASTM A225/A225M-03 ? ? ? ? 压力容器用锰矾镍合金钢板? ? ? ? Standard Specification for Pressure Vessel Plates, Alloy Steel, Manganese-Vanadium-NickelASTM A227/A227M-99 ? ? ? ? 机械弹簧用冷拉钢丝? ? ? ? Standard Specification for Steel Wire, Cold-Drawn for Mechanical SpringsASTM A228/A228M-02 ? ? ? ? 乐器用优质弹簧钢丝? ? ? ? Standard Specification for Steel Wire, Music Spring QualityASTM A229/A229M-99 ? ? ? ? 机械弹簧用油回火的钢丝? ? ? ? Standard Specification for Steel Wire, Oil-Tempered for Mechanical SpringsASTM A230/A230M-99 ? ? ? ? 阀门用油回火优质碳素钢弹簧丝? ? ? ? Standard Specification for Steel Wire, Oil-Tempered Carbon Valve Spring QualityASTM A231/A231M-96(2002) ? ? ? ? 铬钒合金钢弹簧丝? ? ? ? Standard Specification for Chromium-Vanadium Alloy Steel Spring WireASTM A232/A232M-99 ? ? ? ? 阀门用优质铬钒合金钢弹簧丝? ? ? ? Standard Specification for Chromium-Vanadium Alloy Steel Valve Spring Quality WireASTM A234/A234M-04 ? ? ? ? 中温与高温下使用的锻制碳素钢及合金钢管配件? ? ? ? Standard Specification for Piping Fittings of Wrought Carbon Steel and Alloy Steel for Moderate and High Temperature ServiceASTM A239-95(2004) ? ? ? ? 用普力斯试验法(硫酸铜浸蚀)确定铁或钢制品上镀锌层最薄点的测试方法? ? ? ? Standard Practice for Locating the Thinnest Spot in a Zinc (Galvanized) Coating on Iron or Steel ArticlesASTM A240/A240M-04ae1 ? ? ? ? 压力容器用耐热铬及铬镍不锈钢板、薄板及带材? ? ? ? Standard Specification for Chromium and Chromium-Nickel Stainless Steel Plate, Sheet, and Strip for Pressure Vessels and for General ApplicationsASTM A242/A242M-04 ? ? ? ? 高强度低合金结构钢? ? ? ? Standard Specification for High-Strength Low-Alloy Structural SteelASTM A247-67(1998) ? ? ? ? 铁铸件中石墨显微结构评定试验方法? ? ? ? Standard Test Method for Evaluating the Microstructure of Graphite in Iron CastingsASTM A249/A249M-04 ? ? ? ? 锅炉、过热器、换热器和冷凝器用焊接奥氏体钢管? ? ? ? Standard Specification for Welded Austenitic Steel Boiler, Superheater, Heat-Exchanger, and Condenser TubesASTM A250/A250M-04 ? ? ? ? 锅炉和过热器用电阻焊铁素体合金钢管? ? ? ? Standard Specification for Electric-Resistance-Welded Ferritic Alloy-Steel Boiler and Superheater TubesASTM A252-98(2002) ? ? ? ? 焊接钢和无缝钢管桩? ? ? ? Standard Specification for Welded and Seamless Steel Pipe PilesASTM A254-97(2002) ? ? ? ? 铜焊钢管规格? ? ? ? Standard Specification for Copper-Brazed Steel TubingASTM A255-02 ? ? ? ? 测定钢淬透性用末端淬火试验的标准试验方法? ? ? ? Standard Test Method for Determining Hardenability of SteelASTM A262-03 ? ? ? ? 奥氏体不锈钢晶间浸蚀敏感性的检测? ? ? ? Standard Practices for Detecting Susceptibility to Intergranular Attack in Austenitic Stainless SteelsASTM A263-03 ? ? ? ? 耐腐蚀铬钢包覆板材,薄板材及带材技术规范? ? ? ? Standard Specification for Stainless Chromium Steel-Clad PlateASTM A264-03 ? ? ? ? 包覆的不锈铬镍钢板,薄板及带材规格? ? ? ? Specification for Stainless Chromium-Nickel Steel-Clad PlateASTM A265-03 ? ? ? ? 镍和镍基合金包覆钢板规格? ? ? ? Standard Specification for Nickel and Nickel-Base Alloy-Clad Steel PlateASTM A266/A266M-03a ? ? ? ? 压力容器部件用碳素钢锻件规格? ? ? ? Standard Specification for Carbon Steel Forgings for Pressure Vessel ComponentsASTM A268/A268M-04 ? ? ? ? 一般设备用无缝和焊接铁素体与马氏体不锈钢管? ? ? ? Standard Specification for Seamless and Welded Ferritic and Martensitic Stainless Steel Tubing for General ServiceASTM A269-04 ? ? ? ? 一般设备用无缝和焊接奥氏体不锈钢管? ? ? ? Standard Specification for Seamless and Welded Austenitic Stainless Steel Tubing for General ServiceASTM A270-03a ? ? ? ? 卫生设施用无缝钢和焊接奥氏体不锈钢管? ? ? ? Standard Specification for Seamless and Welded Austenitic Stainless Steel Sanitary TubingASTM A275/A275M-98(2003) ? ? ? ? 钢锻件的磁粉检查试验方法? ? ? ? Standard Test Method for Magnetic Particle Examination of Steel ForgingsASTM A276-04 ? ? ? ? 不锈钢棒材和型材? ? ? ? Standard Specification for Stainless Steel Bars and ShapesASTM A278/A278M-01 ? ? ? ? 适用于650F容压部件用灰铸铁件的技术规范? ? ? ? Standard Specification for Gray Iron Castings for Pressure-Containing Parts for Temperatures Up to 650°F (350°C) ASTM A283/A283M-03 ? ? ? ? 低和中等抗拉强度碳素钢板? ? ? ? Standard Specification for Low and Intermediate Tensile Strength Carbon Steel PlatesASTM A285/A285M-03 ? ? ? ? 压力容器用低和中等抗拉强度的碳素钢板? ? ? ? Standard Specification for Pressure Vessel Plates, Carbon Steel, Low- and Intermediate-Tensile StrengthASTM A288-91(2003) ? ? ? ? 涡轮发电机磁性定位环用碳素钢和合金钢锻件? ? ? ? Standard Specification for Carbon and Alloy Steel Forgings for Magnetic Retaining Rings for Turbine Generators标准号? ? ? ? 标准中文名称? ? ? ? 标准英文名称ASTM A289/A289M-97(2003) ? ? ? ? 发电机非磁性定位环用合金钢锻件的技术规范? ? ? ? Standard Specification for Alloy Steel Forgings for Nonmagnetic Retaining Rings for GeneratorsASTM A290-02 ? ? ? ? 减速器环用碳素钢和合金钢锻件? ? ? ? Standard Specification for Carbon and Alloy Steel Forgings for Rings for Reduction GearsASTM A291-03 ? ? ? ? 减速器小齿轮、齿轮和心轴用碳素钢和合金钢锻件? ? ? ? Standard Specification for Steel Forgings, Carbon and Alloy, for Pinions, Gears and Shafts for Reduction Gears ASTM A295-98 ? ? ? ? 高碳耐磨轴承钢技术规范? ? ? ? Standard Specification for High-Carbon Anti-Friction Bearing SteelASTM A297/A297M-97(2003) ? ? ? ? 一般用耐热铬铁与镍铬铁合金钢铸件规格? ? ? ? Standard Specification for Steel Castings, Iron-Chromium and Iron-Chromium-Nickel, Heat Resistant, for General ApplicationASTM A299/A299M-04 ? ? ? ? 压力容器用锰硅碳钢板? ? ? ? Standard Specification for Pressure Vessel Plates, Carbon Steel, Manganese-SiliconASTM A302/A302M-03 ? ? ? ? 压力容器用锰钼和锰钼镍合金钢板? ? ? ? Standard Specification for Pressure Vessel Plates, Alloy Steel, Manganese-Molybdenum and Manganese-Molybdenum-Nickel ASTM A304-04 ? ? ? ? 有末端淬火淬透性要求的合金钢棒材的技术规范? ? ? ? Standard Specification for Carbon and Alloy Steel Bars Subject to End-Quench Hardenability RequirementsASTM A307-04 ? ? ? ? 抗拉强度为60000psi的碳素钢螺栓和螺柱的技术规范? ? ? ? Standard Specification for Carbon Steel Bolts and Studs, 60 000 PSI Tensile StrengthASTM A308/A308M-03 ? ? ? ? 经热浸处理镀有铅锡合金的薄板材的技术规范? ? ? ? Standard Specification for Steel Sheet, Terne (Lead-Tin Alloy) Coated by the Hot-Dip ProcessASTM A309-01 ? ? ? ? 用三点试验法测定长镀锌薄钢板镀层的重量成分的试验方法? ? ? ? Standard Test Method for Weight and Composition of Coating on Terne Sheet by the Triple-Spot TestASTM A311/A311M-04 ? ? ? ? 有机械性能要求的消除应力的冷拉碳素钢棒? ? ? ? Standard Specification for Cold-Drawn, Stress-Relieved Carbon Steel Bars Subject to Mechanical Property Requirements ASTM A312/A312M-04a ? ? ? ? 无缝和焊接奥氏体不锈钢管? ? ? ? Standard Specification for Seamless, Welded, and Heavily Cold Worked Austenitic Stainless Steel PipesASTM A313/A313M-03 ? ? ? ? 不锈钢弹簧丝技术规范? ? ? ? Standard Specification for Stainless Steel Spring WireASTM A314-97(2002) ? ? ? ? 锻造用不锈及耐热钢坯及钢棒规格? ? ? ? Standard Specification for Stainless Steel Billets and Bars for ForgingASTM A319-71(2001) ? ? ? ? 高温无压部件用灰铁铸件? ? ? ? Standard Specification for Gray Iron Castings for Elevated Temperatures for Non-Pressure Containing PartsASTM A320/A320M-04 ? ? ? ? 低温用合金钢螺栓材料规格? ? ? ? Standard Specification for Alloy-Steel and Stainless Steel Bolting Materials for Low-Temperature ServiceASTM A321-90(2001) ? ? ? ? 经淬火和回火的碳素钢棒? ? ? ? Standard Specification for Steel Bars, Carbon, Quenched and TemperedASTM A322-91(2001)e1 ? ? ? ? 合金钢棒材.级别? ? ? ? Standard Specification for Steel Bars, Alloy, Standard GradesASTM A323-93(2000) ? ? ? ? 硼铁规格? ? ? ? Standard Specification for FerroboronASTM A324-73(2000) ? ? ? ? 钛铁合金? ? ? ? Standard Specification for FerrotitaniumASTM A325-04a ? ? ? ? 经热处理最小抗拉强度为120/105ksi的热处理钢结构螺栓? ? ? ? Standard Specification for Structural Bolts, Steel, Heat Treated, 120/105 ksi Minimum Tensile Strength ASTM A325M-04a ? ? ? ? 经热处理最小抗拉强度为830Mpa的热处理钢结构螺栓? ? ? ? Standard Specification for Structural Bolts, Steel, Heat Treated 830 Mpa Minimum Tensile Strength [Metric] ASTM A327-91(1997) ? ? ? ? 铸铁冲击试验方法? ? ? ? Standard Test Methods for Impact Testing of Cast IronsASTM A327M-91(1997) ? ? ? ? 铸铁冲击试验方法(米制)? ? ? ? Standard Test Methods for Impact Testing of Cast Irons (Metric)ASTM A328/A328M-03 ? ? ? ? 薄钢板桩? ? ? ? Standard Specification for Steel Sheet Piling ASTM A333/A333M-04a ? ? ? ? 低温用无缝与焊接钢管规格? ? ? ? Standard Specification for Seamless and Welded Steel Pipe for Low-Temperature ServiceASTM A334/A334M-04a ? ? ? ? 低温设备用无缝与焊接碳素和合金钢管? ? ? ? Standard Specification for Seamless and Welded Carbon and Alloy-Steel Tubes for Low-Temperature ServiceASTM A335/A335M-03 ? ? ? ? 高温用无缝铁素体合金钢管? ? ? ? Standard Specification for Seamless Ferritic Alloy-Steel Pipe for High-Temperature ServiceASTM A336/A336M-03a ? ? ? ? 压力与高温部件用合金钢锻件规格? ? ? ? Standard Specification for Alloy Steel Forgings for Pressure and High-Temperature PartsASTM A338-84(2004) ? ? ? ? 铁路,船舶和其他重型装备在温度达到650华氏度(345摄氏度)时使用的可锻铸铁法兰,管件和阀门零件? ? ? ? Standard Specification for Malleable Iron Flanges, Pipe Fittings, and Valve Parts for Railroad, Marine, and Other Heavy Duty Service at Temperatures Up to 650°F (345°C)ASTM A340-03a ? ? ? ? 有关磁性试验用符号和定义的术语? ? ? ? Standard Terminology of Symbols and Definitions Relating to Magnetic TestingASTM A341/A341M-00 ? ? ? ? 用直流磁导计和冲击试验法测定材料的直流磁性能的试验方法? ? ? ? Standard Test Method for Direct Current Magnetic Properties of Materials Using D-C Permeameters and the Ballistic Test MethodsASTM A342/A342M-99 ? ? ? ? 磁铁材料导磁率的试验方法? ? ? ? Standard Test Methods for Permeability of Feebly Magnetic MaterialsASTM A343/A343M-03 ? ? ? ? 在电力频率下用瓦特计-安培计-伏特计法(100-1000赫兹)和25 厘米艾普斯亭(EPSTEIN) 机架测定材料的交流电磁性能的试验方法? ? ? ? Standard Test Method forAlternating-Current Magnetic Properties of Materials at Power Frequencies UsingWattmeter-Ammeter-Voltmeter Method and 25-cm Epstein Test FrameASTM A345-98 ? ? ? ? 磁设备用平轧电炉钢? ? ? ? Standard Specification for Flat-Rolled Electrical Steels for Magnetic ApplicationsASTM A348/A348M-00 ? ? ? ? 用瓦特计--安培计--伏特计法(100-10000赫兹)和25厘米艾普斯亭框测定材料的交流磁性能的试验方法? ? ? ? Standard Test Method for Alternating Current Magnetic Properties of Materials Using the Wattmeter-Ammeter-Voltmeter Method, 100 to 10 000 Hz and 25-cm Epstein FrameASTM A350/A350M-04 ? ? ? ? 要求进行缺口韧性试验的管道部件用碳素钢与低合金钢锻件技术规范? ? ? ? Standard Specification for Carbon and Low-Alloy Steel Forgings, Requiring Notch Toughness Testing for Piping ComponentsASTM A351/A351M-03 ? ? ? ? 容压零件用奥氏体及奥氏体铁素体铸铁的技术规范? ? ? ? Standard Specification for Castings, Austenitic, Austenitic-Ferritic (Duplex), for Pressure-Containing PartsASTM A352/A352M-03 ? ? ? ? 低温受压零件用铁素体和马氏体钢铸件规格? ? ? ? Standard Specification for Steel Castings, Ferritic and Martensitic, for Pressure-Containing Parts, Suitable for Low-Temperature ServiceASTM A353/A353M-93(1999) ? ? ? ? 压力容器用经二次正火及回火处理的含9％镍的合金钢板? ? ? ? Standard Specification for Pressure Vessel Plates, Alloy Steel, 9 Percent Nickel,Double-Normalized and TemperedASTM A354-04 ? ? ? ? 淬火与回火合金钢螺栓,双头螺栓及其他外螺纹紧固件规格? ? ? ? Standard Specification for Quenched and Tempered Alloy Steel Bolts, Studs, and Other Externally Threaded FastenersASTM A355-89(2000) ? ? ? ? 渗氮用合金钢棒? ? ? ? Standard Specification for Steel Bars, Alloys, for NitridingASTM A356/A356M-98(2003) ? ? ? ? 蒸汽轮机用厚壁碳素钢、低合金钢和不锈钢铸件? ? ? ? Standard Specification for Steel Castings, Carbon, Low Alloy, and Stainless Steel, Heavy-Walled for Steam TurbinesASTM A358/A358M-04 ? ? ? ? 高温用电熔焊奥氏体铬镍合金钢管? ? ? ? Standard Specification for Electric-Fusion-Welded Austenitic Chromium-Nickel Stainless Steel Pipe for High-Temperature Service and General ApplicationsASTM A363-03 ? ? ? ? 地面架空线用镀锌钢丝绳? ? ? ? Standard Specification for Zinc-Coated (Galvanized) Steel Overhead Ground Wire StrandASTM A367-60(1999) ? ? ? ? 铸铁的激冷试验方法? ? ? ? Standard Test Methods of Chill Testing of Cast IronASTM A368-95a(2000) ? ? ? ? 不锈钢和耐热钢丝绳的标准? ? ? ? Standard Specification for Stainless Steel Wire StrandASTM A369/A369M-02 ? ? ? ? 高温用锻制和镗孔碳素钢管和铁素体合金钢管? ? ? ? Standard Specification for Carbon and Ferritic Alloy Steel Forged and Bored Pipe for High-Temperature ServiceASTM A370-03a ? ? ? ? 钢制品机械测试的标准试验方法和定义? ? ? ? Standard Test Methods and Definitions for Mechanical Testing of Steel Products标准号? ? ? ? 标准中文名称? ? ? ? 标准英文名称ASTM A372/A372M-03 ? ? ? ? 薄壁压力容器用碳素钢及合金钢锻件? ? ? ? Standard Specification for Carbon and Alloy Steel Forgings for Thin-Walled Pressure VesselsASTM A376/A376M-02a ? ? ? ? 高温中心站用无缝奥氏钢管? ? ? ? Standard Specification for Seamless Austenitic Steel Pipe for High-Temperature Central-Station ServiceASTM A377-03 ? ? ? ? 球墨铸铁压力管规范索引? ? ? ? Standard Index of Specifications for Ductile-Iron Pressure PipeASTM A380-99e1 ? ? ? ? 不锈钢零件、设备和系统的清洗和除垢? ? ? ? Standard Practice for Cleaning, Descaling, and Passivation of Stainless Steel Parts, Equipment, and SystemsASTM A381-96(2001) ? ? ? ? 高压输送用金属弧焊钢管? ? ? ? Standard Specification forMetal-Arc-Welded Steel Pipe for Use With High-Pressure Transmission SystemsASTM A384/A384M-02 ? ? ? ? 防止钢组件热浸镀锌时翘曲和扭曲用安全保护? ? ? ? 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Standard Specification for Zinc-Coated Steel Chain-Link Fence FabricASTM A394-04 ? ? ? ? 传动塔架用镀锌和裸露钢螺栓? ? ? ? Standard Specification for Steel Transmission Tower Bolts, Zinc-Coated and BareASTM A395/A395M-99e1 ? ? ? ? 高温用铁素体球墨铸铁受压铸件? ? ? ? Standard Specification for Ferritic Ductile Iron Pressure-Retaining Castings for Use at Elevated TemperaturesASTM A400-69(2000) ? ? ? ? 钢棒的成分及机械性能选择指南? ? ? ? Standard Practice for Steel Bars, Selection Guide, Composition, and Mechanical PropertiesASTM A401/A401M-03 ? ? ? ? 铬硅合金钢丝? ? ? ? Standard Specification for Steel Wire, Chromium-Silicon AlloyASTM A403/A403M-04 ? ? ? ? 锻制奥氏体不锈钢管配件? ? ? ? Standard Specification for Wrought Austenitic Stainless Steel Piping FittingsASTM A407-93(2004) ? ? ? ? 盘簧用冷拉钢丝? ? ? ? Standard Specification for Steel Wire, Cold-Drawn, for Coiled-Type SpringsASTM A409/A409M-01 ? ? ? ? 腐蚀场所或高温下使用的焊接大口径奥氏体钢管? ? ? ? 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Standard Specification for General Requirements for Carbon, Ferritic Alloy, and Austenitic Alloy Steel TubesASTM A451/A451M-02 ? ? ? ? 高温用离心铸造的奥氏体钢管? ? ? ? Standard Specification for Centrifugally Cast Austenitic Steel Pipe for High-Temperature ServiceASTM A453/A453M-03 ? ? ? ? 具有同奥氏体钢相类似的膨胀系数、屈服强度为50-120Ksi(345-827MPa)的耐高温螺栓材料? ? ? ? Standard Specification for High-Temperature Bolting Materials, with Expansion Coefficients Comparable to Austenitic Stainless SteelsASTM A455/A455M-03 ? ? ? ? 压力容器用高强度碳锰钢板? ? ? ? Standard Specification for Pressure Vessel Plates, Carbon Steel, High-Strength ManganeseASTM A456/A456M-99(2003) ? ? ? ? 大型曲轴锻件的磁粉检查? ? ? ? Standard Specification for Magnetic Particle Examination of Large Crankshaft ForgingsASTM A459-97(2003) ? ? ? ? 镀锌平轧扁钢铠装带? ? ? ? Standard Specification for Zinc-Coated Flat Steel Armoring TapeASTM A460-94(2004)e1 ? ? ? ? 包铜钢丝绳标准? ? ? ? Standard Specification for Copper-Clad Steel Wire StrandASTM A463/A463M-02a ? ? ? ? 热浸镀铝薄钢板? ? ? ? Standard Specification for Steel Sheet, Aluminum-Coated, by the Hot-Dip ProcessASTM A466/A466M-01 ? ? ? ? 非焊接碳素钢链? ? ? ? Standard Specification for Weldless Chain ASTM A467/A467M-01 ? ? ? ? 机器链和盘旋链? ? ? ? Standard Specification for Machine and Coil Chain标准号? ? ? ? 标准中文名称? ? ? ? 标准英文名称。

掩膜版制造工艺_迎接45和32nm节点新挑战

掩膜版制造工艺：迎接45和32nm节点新挑战whpzzseu123 发表于: 2007-7-06 10:18 来源: 半导体技术天地掩膜版制造工艺：迎接45和32nm节点新挑战随着集成电路制造工艺的飞速发展，45和32nm技术节点已成为近两年人们谈论的热点，作为集成电路制造工艺中最关键的光刻工艺首当其冲成为热点中的焦点。

浸入式光刻(Immersion)、两次曝光技术(Double Patterning)、超紫外光刻(EUV)反复被人们提及，而作为光刻工艺三要素之一的掩膜版却往往容易被人们忽略。

从概念上讲曝光系统的工作原理与相机类似，通过一系列光学系统将掩膜版上的图形按照4:1的比例投影在晶圆上的光刻胶涂层上。

从理论上讲，如果晶圆上的最小线宽(Critical Dimension)要达到45或32nm，掩膜版上的图形最小线宽(CD)只要达到180或128nm即可，与其他制作工艺相比，掩膜版的制造工艺相对要“容易”了很多。

但掩膜版如同投影用的电影胶片的底片一样，它的技术水平直接影响着光刻技术的发展，特别是随着最小线宽的逐渐缩小，投影到光刻胶涂层上的图形对比度和图形失真等问题将越演越烈，掩膜版制造将如何从设备、工艺、版图设计等多方面着手以应对45和32nm工艺节点的新挑战？掩膜版制造设备的最新进展谈到掩膜版，首先要谈到掩膜版制造设备——图形发生器(Pattern Generator)。

目前，掩膜版制造设备供应商主要有三家：Micronic、Jeol和NuFlare，制作工艺分为激光和电子束两种图形描绘方式，但两种方式各有利弊。

采用激光来描绘图形的优势是速度快、效率高，但精度不如电子束扫描方式；而采用电子束描绘图形，虽然精度高，但描绘速度慢、生产效率低。

由于两种方式的互补性，掩膜版制造商会分别购买两种设备，当制备线宽要求很高的电路图形时使用电子束扫描，对于线宽要求不是很高的电路图形则使用激光扫描，两种设备的交替使用既满足了精度要求，也大大提高了速度，同时也大大降低了制造商的投资成本。

先进的光刻机纳米级关键核心技术测试参数数据详解(一)

先进的光刻机纳米级关键核心技术测试参数数据详解(一)光刻机纳米级关键核心技术测试参数数据详解引言光刻技术是一种制造微电子器件的重要工艺之一，它通过光刻机将芯片图案投射到硅片上，实现微小结构的制造。

而光刻机的性能参数直接影响到芯片制造的精度和效率。

本文将详细解读光刻机纳米级关键核心技术测试参数，帮助读者更好地理解光刻技术。

探讨对象本文适用于对光刻技术有一定了解的专业人士，包括工程师、科研人员和相关领域的学者。

读者需要具备基本的微电子知识和相关设备的操作经验。

主要内容本文将通过如下列点来详细解释光刻机纳米级关键核心技术测试参数数据：1.分辨率：分辨率是指光刻机能够分辨的最小特征大小。

一般以最小线宽来衡量，例如40纳米。

分辨率越高，表示光刻机能够制造更小尺寸的微结构，提高芯片的集成度。

2.晶圆直径：晶圆直径是光刻机适用的硅片尺寸范围。

例如，300毫米直径的晶圆是目前主流的制造标准，而450毫米直径的晶圆则是未来的发展趋势。

3.感光剂类型：感光剂是导致光刻机曝光的关键材料，常见的有正胶和负胶两种。

正胶在曝光后可被溶剂溶解，通过显影工艺形成图案；负胶则相反，曝光后不能被溶解，通过显影工艺去除未曝光的部分。

4.曝光光源：曝光光源是光刻机中非常重要的部分，影响到图案的曝光质量和稳定性。

如今常见的曝光光源有紫外线（UV）和脉冲激光。

紫外线光源便宜且成熟，广泛应用；而脉冲激光光源具有更高的能量和调制特性，适用于更高分辨率的制造。

5.接触式和非接触式：光刻机可以分为接触式和非接触式两种。

接触式光刻机需要将掩膜与硅片紧密接触，使用接触式掩膜。

而非接触式光刻机则使用非接触式掩膜，无需和硅片直接接触，减少了硅片的损伤和精度误差。

6.生产能力：生产能力是光刻机的重要指标，表示每小时或每天能够制造的芯片数量。

该参数与光刻机的稳定性和效率密切相关，直接影响到芯片制造的成本和产量。

总结通过本文的详细解释，读者可以更加了解光刻机纳米级关键核心技术测试参数数据。

浅谈现代集成电路28nm芯片制造工艺A(前端FEOL)

浅谈现代集成电路28nm芯片制造工艺A(前端FEOL) 全球90%以上集成电路都是CMOS工艺制造的，经历了半个多世纪发展进化，芯片集成度从一个芯片包含几十个器件进化到几十亿个器件。

从上世纪60年代MOS器件采用铝栅工艺，70年代采用了硅栅工艺，铝线互连，进化到现代集成电路采用高K金属栅、超低k介质多层铜线互连，以及FD-SOI和FinFET立体结构。

制造工艺也越来越复杂。

下面就纳米级体硅平面型CMOS集成电路工艺流程，展现芯片先进制程不断丰富现代集成电路制造工艺。

1）现将几种先进制程工艺简介如下：50多年发展，集成电路制造过程工艺越来越复杂，先进制程不断完善。

首先为了抑制短沟道效应，提高栅极对沟道的控制能力，提高栅极电容，栅氧化层厚度不断减薄。

对于厚度大于4nm的栅氧化层，SiO2是理想的绝缘体，不会形成栅漏电流。

当纯二氧化硅厚度小于3nm时，衬底的电子以量子形式穿过栅介质进入栅极，形成栅极漏电流。

（量子隧穿）栅极漏电导致功耗增加，IC 发热且阈值电压飘移，可靠性降低。

为提高介质绝缘特性，当特征尺寸达到0.18μm时采用氮氧化硅代替二氧化硅。

特征尺寸进入90nm节点，单纯缩小厚度不能满足器件性能的要求了，于是采用提高氮氧化硅含氮量以增加介电常数k，但SiON厚度低于14Å会严重遂穿，栅极漏电剧增。

45nm节点之后氮氧化硅已经不能满足mos器件正常工作的要求，开始使用高k介质HfO2代替SiON来改善栅极漏电问题，同时采用金属栅解决费米能级钉扎和多晶硅栅耗尽问题。

尽管在0.35μm技术节点开始采用掺杂多晶硅与金属硅化物（WSi）鈷（镍）多晶硅化物栅叠层代替多晶硅栅，降低了多晶硅栅的电阻。

但金属栅电阻要比金属硅化物还要小。

高k金属栅HKMG.采用高k介质材料替代SiO2。

二氧化硅k=3.9,氮氧化硅k=4~7，高K介质(HfO2和,HfSiON）=15~25。

同样等效氧化层厚度时，高k材料的物理厚度是SiO2的3~6倍。

45nm铜工艺面临的挑战

45nm铜工艺面临的挑战作者:Peter Singer, Semiconductor International主编摘要：本文综述了铜工艺即将面临的各种变化，包括扩散阻障层（barrier）、电镀添加剂、覆盖层以及与多孔超低k电介质之间的整合等。

随着半导体向45nm工艺的深入发展，铜工艺技术不可避免地要发生一些变化。

TaN扩散阻障层物理气相沉积（PVD）技术可能将被原子层沉积（atomic layer deposition，ALD）技术所取代，之后可能还会引进钌阻障层技术。

钌阻障层技术不再需要电镀种子层，但是其发展状况将取决于研究结果的进展程度。

电镀槽中的有机“添加剂”也可能会有所变化，因为有些添加剂最终会被包埋在铜中。

尽管有机添加剂的使用可以使沉积得到的铜填充没有任何缝隙，同时在密集区不会产生沉积过度的情况，因此不会给CMP带来额外负担，从而减小了CMP难度，但是包埋在铜里的杂质会提高电阻系数，并且使铜在退火时不太容易形成大金属颗粒。

铜工艺也有电致迁移这个严重的可靠性问题，它通常发生在铜导线顶部与电介质相接的交界处。

可能的解决办法是在铜表面选择性地沉积上一层钴钨磷化物（cobalt tungsten phosphide，CoWP）或钴钨硼化物（cobalt tungsten boride，CoWB），最终取代Si(C)N覆盖层，使铜原子迁移受到限制。

金属颗粒边界、缺陷和表面造成的电子散射问题也会逐渐突显出来，因为导线尺寸很小时电子散射效应会使电阻升高。

解决办法包括增大金属颗粒、减少缺陷数量和增加金属表面光滑度等。

当然，我们还需要将铜和多孔超低k介电材料整合在一起，该需求会进一步增加铜工艺的复杂度。

其中一个问题是这些多孔材料需要一些孔洞密封工艺，人们对其与沉积在上面的扩散阻障碍层之间的相互作用感到担心，不知道两者之间是否能够相互兼容。

铜工艺基础自1990年代中期IBM、Intel、AMD和其他IC制造商决定用铜制工艺取代铝工艺以来，铜工艺的主要优点基本保持不变。

STW45NM50中文资料

STW45NM50 N-CHANNEL 550V @ Tjmax - 0.08Ω - 45A TO-247MDmesh™ MOSFET Table 1: General Featuress TYPICAL R DS(on) = 0.08Ωs HIGH dv/dt AND AVALANCHE CAPABILITIES s100% AVALANCHE TESTEDs LOW INPUT CAPACITANCE AND GATE CHARGEs LOW GATE INPUT RESISTANCEs TIGHT PROCESS CONTROL AND HIGH MANUFACTURING YIELDSDESCRIPTIONThe MDmesh™is a new revolutionary MOSFET technology that associates the Multiple Drain pro-cess with the Company’s PowerMESH™ horizon-tal layout. The resulting product has an outstanding low on-resistance, impressively high dv/dt and excellent avalanche characteristics. The adoption of the Company’s proprietary strip tech-nique yields overall dynamic performance that is significantly better than that of similar competi-tion’s products.APPLICATIONSThe MDmesh™ family is very suitable for increas-ing power density of high voltage converters allow-ing system miniaturization and higher efficiencies.Table 2: Order CodesTYPE V DSS(@Tjmax)R DS(on)I DSTW45NM50550V< 0.1Ω45 ASALES TYPE MARKING PACKAGE PACKAGINGSTW45NM50W45NM50TO-247TUBERev. 21/9 March 2005STW45NM502/9Table 3: Absolute Maximum ratings(*)Pulse width limited by safe operating area(1)I SD ≤45A, di/dt ≤400A/µs, V DD ≤ V (BR)DSS , T j ≤ T JMAX.Table 4: Thermal DataTable 5: Avalanche CharacteristicsELECTRICAL CHARACTERISTICS (T CASE =25°C UNLESS OTHERWISE SPECIFIED)Table 6: On/OffSymbol ParameterValue Unit V GS Gate- source Voltage±30V I D Drain Current (continuous) at T C = 25°C 45A I D Drain Current (continuous) at T C = 100°C 28.4A I DM (*)Drain Current (pulsed)180A P TOT Total Dissipation at T C = 25°C 417W Derating Factor2.08W/°C dv/dt (1)Peak Diode Recovery voltage slope 15V/ns T stg Storage Temperature–65 to 150°C T jMax. Operating Junction Temperature150°CRthj-case Thermal Resistance Junction-case Max 0.3°C/W Rthj-ambThermal Resistance Junction-ambient Max 30°C/W T lMaximum Lead Temperature For Soldering Purpose300°CSymbol ParameterMax ValueUnit I AR Avalanche Current, Repetitive or Not-Repetitive (pulse width limited by T j max)20A E ASSingle Pulse Avalanche Energy(starting T j = 25 °C, I D = I AR , V DD = 35 V)810mJSymbol ParameterTest ConditionsMin.Typ.Max.Unit V (BR)DSS Drain-sourceBreakdown Voltage I D = 250 µA, V GS = 0500V I DSS Zero Gate VoltageDrain Current (V GS = 0)V DS = Max Rating10µA V DS = Max Rating, T C = 125 °C 100µA I GSS Gate-body Leakage Current (V DS = 0)V GS = ±30 V±100nA V GS(th)Gate Threshold Voltage V DS = V GS , I D = 250 µA 345V R DS(on)Static Drain-source On ResistanceV GS = 10 V, I D = 22.5 A0.080.1Ω3/9STW45NM50ELECTRICAL CHARACTERISTICS (CONTINUED)Table 7: DynamicTable 8: Source Drain Diode(2)Pulsed: Pulse duration = 300 µs, duty cycle 1.5 %.(3)C oss eq. is defined as a constant equivalent capacitance giving the same charging time as C oss when V DS increases from 0 to 80% V DSS .Symbol ParameterTest ConditionsMin.Typ.Max.Unit g fs (2)Forward Transconductance V DS > I D(on) x R DS(on)max,I D = 22.5A 20S C iss C oss C rss Input Capacitance Output Capacitance Reverse Transfer Capacitance V DS = 25V, f = 1 MHz, V GS = 0370061080pF pF pF C oss eq. (3)Equivalent Output CapacitanceV GS = 0V, V DS = 0V to 400V 325pF R GGate Input Resistancef=1 MHz Gate DC Bias = 0Test Signal Level = 20mV Open Drain1.7Ωt d(on)t r Turn-on Delay Time Rise TimeV DD = 250V, I D = 24 A R G =4.7Ω V GS = 10 V (see Figure 14)4035ns ns t d(off)t f t c Turn-off Delay Time Fall TimeCross-over Time V DD = 400 V, I D = 45 A, R G = 4.7Ω, V GS = 10 V (see Figure 14)182344ns ns ns Q g Q gs Q gdTotal Gate Charge Gate-Source Charge Gate-Drain ChargeV DD = 400V, I D = 45 A,V GS = 10V(see Figure 18)872342117nC nC nCSymbol ParameterTest ConditionsMin.Typ.Max.Unit I SD Source-drain Current 45A I SDM (3)Source-drain Current (pulsed)180A V SD (2)Forward On Voltage I SD = 45 A, V GS = 0 1.5V t rr Q rr I RRM Reverse Recovery Time Reverse Recovery Charge Reverse Recovery Current I SD = 40 A, di/dt = 100A/µs,V DD = 100 V, T j = 25°C (see Figure 16)5207.830ns µC A t rr Q rr I RRMReverse Recovery Time Reverse Recovery Charge Reverse Recovery CurrentI SD = 40 A, di/dt = 100A/µs,V DD = 100 V, T j = 150°C (see Figure 16)68011.233ns µC ASTW45NM504/9Figure 3: Safe Operating AreaFigure 6: Thermal ImpedanceSTW45NM50Figure 9: Gate Charge vs Gate-source VoltageFigure 12: Capacitance Variations5/9STW45NM50Figure 14: Unclamped Inductive Load Test Cir-cuitFigure 15: Switching Times Test Circuit For Resistive Load Figure 16: Test Circuit For Inductive Load Switching and Diode Recovery TimesFigure 17: Unclamped Inductive WafeformFigure 18: Gate Charge Test CircuitSTW45NM507/9STW45NM50Table 9: Revision HistoryDate Revision Description of Changes 30/Mar/20052Modified value in table 78/9STW45NM50 Information furnished is believed to be accurate and reliable. However, STMicroelectronics assumes no responsibility for the consequencesof use of such information nor for any infringement of patents or other rights of third parties which may result from its use. No license is granted by implication or otherwise under any patent or patent rights of STMicroelectronics. Specifications mentioned in this publication are subject to change without notice. This publication supersedes and replaces all information previously supplied. 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日本开发成功45nm晶圆洗净技术

● 使用线控耳机（．”插头）赏，使用线２５欣可控耳机上的 “ 捷点歌 ” 完成点歌，快键长按此键可以
程较长，互动性较强，选出歌曲后，先会播报但在首
歌曲名称，并询问正确与否，回答正确则立即播放该
“ 选 ” ，自动播放下一首备选歌曲。备键会四
ｈｔ／ｔ／ｐ：ｗｗｗ，ｉｍａｃｍｃｃｇ．ｏ
２．选择点歌的方式
● 使用普通耳机（．”插头）家庭音响欣３５或赏，应使用机身右侧的 “ 歌 ”和 “ 点备选 ”键来完成
点歌。 “ 按点歌 ” 后不到１键秒会听到 “ 嘟”的一声，
或听到 “ ” 后回答 “ 嘟声错误 ”，择下一首备选歌选曲直到正确。如没有正确备选，再按 “ 歌键 ” 可点进
行新一轮的点歌。 ● 简洁方式（音提示关）语：直接播放歌曲，如果不是想听的歌曲，直接按
表示系统已经准备好了，此时可以说出想听歌曲的名称，系统将会在不到１的时间内选出歌曲。 “ 秒备选 ”键用于在４首备选歌曲中选择歌曲，每按一下
播放歌曲，如果不正确，可按备选键选择下一首备选
歌曲
播放歌曲名，问 “ 询正确还是错误 ”，户直接用按 “ 播放 ”键或听到 “ ” 后回答 “ 嘟声正确 ”，入歌进

45nm晶体管

45nm晶体管摘要：1.45nm 晶体管简介2.45nm 晶体管的优势3.45nm 晶体管在计算机领域的应用4.45nm 晶体管的发展趋势正文：1.45nm 晶体管简介45nm 晶体管是一种采用45 纳米工艺制程的半导体器件，它的出现标志着集成电路技术的又一次重大突破。

45nm 晶体管相较于之前的工艺技术，具有更小的尺寸、更高的集成度和更低的功耗，为我国信息技术产业的发展提供了强大的技术支持。

2.45nm 晶体管的优势45nm 晶体管相较于之前的工艺技术，具有以下优势：（1）更小的尺寸：45nm 晶体管的尺寸比65nm 晶体管减小了约30%，这使得芯片面积得以进一步缩小，从而提高了集成度。

（2）更高的集成度：在45nm 工艺制程下，晶体管数量可达到每平方毫米数亿个，为集成电路提供了更高的集成度和运算速度。

（3）更低的功耗：45nm 晶体管采用了新的材料和制造工艺，使得晶体管的漏电流得到显著降低，从而降低了功耗，实现了更高的能效比。

3.45nm 晶体管在计算机领域的应用45nm 晶体管在计算机领域的应用非常广泛，主要用于CPU、GPU 等高性能处理器芯片的制造。

采用45nm 工艺制程的处理器具有更高的性能和更低的功耗，可以满足用户对于高性能计算和节能环保的需求。

此外，45nm 晶体管还广泛应用于通信、消费电子等领域，推动了我国电子信息产业的发展。

4.45nm 晶体管的发展趋势随着半导体工艺技术的不断进步，45nm 晶体管将会逐渐被更先进的工艺技术所取代。

目前，半导体行业已经进入了32nm、22nm 甚至16nm 工艺制程的阶段，未来还有可能进入10nm 甚至7nm 工艺制程。

45nm CPU？只有发丝的十万分之一!

４５ｎｍＣＰＵ？只有发丝的十万分之一！作者：来源：《电脑爱好者》2008年第12期现在一提到买处理器，JS一张口就是“这CPU是XX纳米的，先进着呢！”可这纳米啊、制程的，让老百姓可是糊涂到家了，究竟这意味着什么呢？其实，要想搞明白这个问题并不难，只要记住现在的CPU内部晶体管都是以纳米为单位制造的，至于大小—不过是头发丝的十万分之一“而已”！连鞋垫都用的纳米科技当国人第一次接触纳米这个名词的时候，不少人都开始把这个当做一项新科技大肆炒作，甚至连制造鞋垫的厂商都说自己的产品是纳米科技的。

且不说这是真是假，但至少说明，纳米这个名词已经与我们密不可分了，这在像CPU这样的高科技领域更是如此。

在CPU制造过程中，以蚀刻芯片形成电路时所采用激光光源的波长来表示，这里提到的纳米概念又有所不同：它是指芯片上晶体管和晶体管之间导线连线的宽度，简称线宽。

半导体业界习惯上用线宽这个工艺尺寸来代表硅芯片生产工艺的水平，所以也有就了“XXnm的处理器”。

45纳米没我不行！现在Intel已经推出了45nm制程的处理器，而AMD也将在今年步入45nm产品，但是想要实现用45nm制程工艺制造CPU，那可不是直接提高生产工艺就可以的。

关键在于想要缩小CPU内部各晶体管间连线的宽度，就必须考虑到“漏电”问题，这就需要科学家们找到一种更好的材料、更好的制造技术来解决。

最后，Intel的科学家发明了一种名为“高K金属栅极”的制造技术来解决这个问题。

拥有了这项制造技术就可以在缩短晶体管之间间距的同时又能保证没有漏电情况发生，从而才能将制程工艺由原来的65nm提高的45nm，如此一来，你才能从JS口中听到“45nm”处理器这样的名词。

想想这样一个由沙子生产出来的高科技玩意，放在掌心都撑不满的小东西，竟然需要这么多高科技技术来制造，怎么能不叫人敬佩呢？小知识：什么是制程越来越高的工艺制程可以提高芯片的集成度，增加晶体管的数量，扩展新的功能。

IPC出版物目录

索引IPC-0040 ..................................................9 光电组装与封装技术共163页，2003年5月发布。

IPC-1065 ................................................26 材料声明手册共72页，2005年1月发布。

IPC-1071 ................................................24 印制板制造知识产权保护最佳行业惯例该标准协助印制板制造商为他们在商业、工业、军事以及其他高可靠性市场的客户提供知识产权保护要求。

标准重点保护印制板设计的固有知识产权，确保知识产权从客户流向印制板制造商时印制板中的知识产权受到保护。

制成品的专利和其他这样的“永久保护”不在本文件的范围内。

共15 页，2010年12月发布。

IPC-1331 ................................................26 电加热工艺设备自愿安全标准共11页，2000年3月发布。

IPC-1601 ................................................14 印制板操作和贮存指南这是业界唯一的印制板操作、包装和贮存的指南。

IPC-1601为用户提供指南，保护印制板避免污染、物理损伤、可焊性降低和吸潮。

同时还给出了以下需考虑的因素：包装材料类型和方法、生产环境、产品操作和运输、建立推荐的湿度水平、建立除湿的烘烤曲线以及烘烤对印制板可靠性的影响。

共18页，2010年8月发布。

语言：英语、中文和德语。

IPC-1710A .............................................24 OEM厂商对印制板制造商的资质评定纲要(MQP)IPC-1720A .............................................24 组装资质评定纲要，语言：英语和中文IPC-1730A .............................................24 层压板商的资质评定纲要IPC-1731 ................................................24 战略性原材料提供商资质评定纲要IPC-1751A .............................................26 声明流程管理的通用要求—含修订本1IPC-1751A及修订本1为供应链合作关系的成员间必要的声明提供原则和细节。

ARM发布45纳米SOI测试芯片结果.

ARM发布45纳米SOI测试芯片结果ARM公司近日在于加州福斯特市举行的IEEE SOI大会上发布了一款绝缘硅（silicon-on-insulator，SOI）45纳米测试芯片的测试结果。

结果表明，相较于采用传统的体效应工艺（bulk process）进行芯片制造，该测试芯片显示出最高可达40%的功耗节省的可能性。

这一测试芯片是基于ARM1176™ 处理器，能够在SOI和体效应微处理器实施之间进行直接的比较。

此次发布的结果证实了在为高性能消费设备和移动应用设计低功耗处理器时，SOI是一项取代传统体效应工艺的可行技术。

ARM和Soitec联合制造了这款测试芯片，在采用了一个著名的、行业标准的内核的实际芯片实施中显示出功耗节省的可能性。

其目的是对用于同一产品的45纳米SOI高性能技术和体效应CMOS 45纳米低功耗技术作出比较。

ARM公司物理IP部门副总裁Tom Lantzsch表示：“作为物理IP和处理器技术领域的领导者，ARM一直以来都积极倡导SOI可能会给我们客户的产品带来的益处。

通过对体效应和SOI的比较投入资源，我们得以提供有用的数据来验证之前的推测论断，证明SOI的确能够在提供性能的同时实现功耗节省。

”这一芯片测试结果显示，与以同样速度运行的体效应CMOS低功耗技术相比，45纳米高性能SOI技术能够提供高达40%的功耗节省以及7%的电路面积减小。

在某些特定的测试应用中，该芯片测试结果还显示，当以比体效应技术高出20%的运行频率工作时，该芯片能够实现30%的整体功耗节省。

IBM公司半导体产品和服务部门副总裁Mark Ireland表示：“这一由ARM和Soitec共同完成的评测标尺清楚地显示了我们的第六代45纳米SOI技术能够带来的性能功耗比方面的益处。

该技术目前已可向ASIC和代工厂客户提供。

采用一个行业标准的ARM处理器来验证SOI的功耗优势，表明了数字消费电子产品领域采用SOI的可能性。

集成电路制造工艺45nm技术节点

45nm远不是极限！神秘的处理器制程工艺王璐烽《微型计算机》2009年3月下2009-04-16“1965年，我为《电子学》撰写文章。

那时我预见到，我们将制造出更复杂的电路从而降低电器的成本—根据我的推算，10年之后，一块集成电路板里包含的电子元件会从当时的60个增加到6万多个，那是个大胆的推断。

1975年，我又对它做了修正，把每一年翻一番的目标改为每两年翻一番。

” —戈登·摩尔(Gordon Moore)摩尔定律指导集成电路(IC，Integrated Circuit)工业飞速发展到今天已经40多年了。

在进入21世纪的第8个年头，各类45nm芯片开始批量问世，标志着集成电路工业终于迈入了低于50nm的纳米级阶段。

而为了使45nm工艺按时“顺产”，保证摩尔定律继续发挥作用，半导体工程师们做了无数艰辛的研究和改进—这也催生了很多全新的工艺特点，像大家耳熟能详的High-K、沉浸式光刻等等。

按照业界的看法，45nm工艺的特点及其工艺完全不同于以往的90nm、65nm，反而很多应用在45nm制程工艺上的新技术，在今后可能贯穿到32nm 甚至22nm阶段。

今天就让我们通过一个个案例，来探索一下将伴随我们未来5年的技术吧。

你能准确说出45nm是什么宽度吗？得益于厂商与媒体的积极宣传，就算非科班出身，不是电脑爱好者的大叔们也能知道45nm比65nm更加先进。

但如果要细问45nm是什么的长度，估计很多人都难以给出一个准确的答案。

而要理解这个问题，就要从超大规模集成电路中最基本的单元—MOS(Metal Oxide Semiconductor金属氧化物半导体)晶体管说起。

我们用半导体制作MOS管就是利用其特殊的导电能力来传递0或者1的数字信号。

在栅极不通电的情况下，源区的信号很难穿过不导电的衬底到达漏区，即表示电路关闭(数字信号0)；如果在栅极和衬底间加上电压，那么衬底中的电荷就会在异性相吸的作用下在绝缘氧化层下大量聚集，形成一条细窄的导电区，使得源区和漏区导通，那么电流就可以顺利从源区传递到漏区了(信号1)。