高纯气体参数
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*若有特殊要求，可专门设计制造*流量20~200立方*最小流量是保证满足出口气纯度时的最低速
*若有特殊要求，可专门设计制造*流量0~50立方*最小流量是保证满足出口气纯度时的最低速*不具备除氪、氦
*若有特殊要求，可专门设计制造*流量0~20立方*最小流量是保证满足出口气纯度时的最低速不具备除氖
*若有特殊要求，可专门设计制造*流量0~200立方*最小流量是保证满足出口气纯度时的最低速
*若有特殊要求，可专门设计制造*流量0~100立方*最小流量是保证满足出口气纯度时的最低速。