大族固晶机保养说明书

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大族固晶机保养建议书
设备保养是首位的,换句话说,如果设备处于理想的状态,那么我们的坏品率也将是最低的。

但在大部分厂家,这种概念并不被重视,生产是第一的,保养为生产让路,可以任意取消。

殊不知这种做法在很大程度上缩短了设备的寿命,增加了设备的部件的负担,远一点说降低了设备的精确度。

为了延长机器使用寿命,为了保持机器精度,所以我们提出如下建议:
一。

车间环境:要求是洁净室,当然无尘室最好。

车间的门平时关闭,不可有空隙,窗户不可打开,这样做是尽量减少灰尘进入车间。

车间每天清理,保持车间整洁。

二.车间温度:一般控制在18—24℃,湿度40—60%。

三.导轨的保养:要保持工作台和晶圆台的X、Y导轨(总共有八个导轨)上面一直有润滑油,和没有杂物在上面。

有的话要及时清理。

润滑油不是要求很多,上面有薄薄一层就可以了。

具体操作如下:用布把导轨上面的旧的润滑油擦干净,再加上新润滑油。

推荐用NSK品牌的,如NSK NSL润滑油。

一般三个月保养一次。

如果平时发现上面有杂物,就要及时清理干净,加一点润滑油。

工作台(WH)的导轨,中间盖板下面是丝杆
晶圆台(WF)的导轨。

四.丝杆的保养:丝杆上面有一块板挡住,相对导轨来说要干净一点。

但我们也要定时加油。

推荐使用NSK PS2润滑油。

一般三个月保养一次。

具体操作如下:用布把丝杆上面
的旧的润滑油擦干净,再加上新润滑油。

五.机器表面清洁:每天都要清理一下机器表面的杂物,保持机器表面整洁。

晶圆台上面的盖板
机器显示器下面的机壳
六.机器里面可以半年清理一次。

尤其是机器里面,灰尘太多了会影响电路的正常使用。

因为里面电路板都是裸露的。

机器表面可以用布沾酒精擦就可以了,机器里面要用吸尘机清理没有板的地方,气枪清理电路板上的灰尘,注意气枪不能有水。

这里需要注意一下,
有电路板的地方,用气枪清理干净就可以了,气不要太大。

机器里面的电路板
七.电脑通风口过滤棉清理:电脑打开面板,可以看见左边有一个可以拉出来的活动小盒子(如下图),拉出来后,里面有一个过滤棉,可以拿出来用水冲洗干净,拎干再放回
去。

这个最好每个星期清理一次。

工控机的过滤棉(白色的)。

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