纳米材料的物理合成法全解
纳米的制作方法
纳米的制作方法什么是纳米？纳米（Nanometer）指的是长度或尺寸在1到100纳米之间的物质。
纳米级别的物质往往具有特殊的性质和行为，与其在大尺寸下的情况有着显著的差异。
纳米科学和纳米技术是研究和应用纳米级别物质的学科和技术领域，已经在各个领域展现出巨大的潜力。
纳米的制备方法纳米材料的制备方法多种多样，常见的制备方法包括物理方法、化学方法和生物方法等。
1. 物理方法物理方法是一种经典的纳米制备方法，包括以下几种：1.1 球磨法球磨法是一种通过机械碾磨将大颗粒物质转化为纳米颗粒的方法。
其原理是通过高能的碰撞和摩擦使粒子尺寸逐渐减小，最终达到纳米级别。
球磨法具有简单、经济的优点，适用于制备晶体材料、陶瓷材料等。
1.2 溅射法溅射法是一种利用高能粒子轰击靶材表面，使靶材表面原子迅速挥发形成纳米颗粒的方法。
这种方法能够制备出均匀、纯净的纳米材料，适用于制备金属、合金和氧化物纳米材料等。
1.3 热蒸发法热蒸发法是一种利用热源将物质蒸发后在冷凝器上沉积成薄膜或纳米颗粒的方法。
这种方法制备的纳米材料具有均匀性好、结晶度高的特点，适用于制备金属纳米材料和薄膜材料。
2. 化学方法化学方法是制备纳米材料的常用方法之一，常见的化学方法有以下几种：2.1 水热法水热法是将反应体系加热至高温高压条件下进行反应，以形成纳米材料的方法。
水热法具有反应温度低、反应时间短的优点，适用于制备金属氧化物、碳纳米管等材料。
2.2 沉淀法沉淀法是通过控制反应条件，在溶液中形成沉淀，进而得到纳米颗粒的方法。
这种方法制备材料的尺寸和形貌可以通过调节反应条件得到，可用于制备金属、合金、非金属氧化物等纳米材料。
2.3 微乳液法微乳液法是利用乳化剂将两种互不溶的液体通过乳化作用形成微乳液，从而得到纳米颗粒的方法。
这种方法具有水溶液中制备纳米颗粒的优势，适用于制备金属、合金和多组分纳米材料。
3. 生物方法生物方法是一种利用生物体或其衍生物合成纳米材料的方法，包括以下几种：3.1 微生物法微生物法是利用微生物合成纳米材料的方法。
纳米材料的制备方法与技巧
纳米材料的制备方法与技巧纳米材料是一种具有纳米级尺寸（1纳米=10^-9米）的材料，在材料科学和纳米技术领域有着广泛的应用。
制备纳米材料的方法有很多种，下面将介绍几种常用且重要的纳米材料制备方法与技巧。
1. 物理法物理法是通过物理手段实现纳米材料的制备，其中包括热蒸发法、磁控溅射法和高能球磨法等。
热蒸发法是将材料在高温条件下蒸发，并通过凝结形成纳米材料。
磁控溅射法是将材料置于惰性气体环境下，利用高能离子撞击材料表面产生离子化原子或离子，并通过表面扩散形成纳米材料。
高能球磨法是通过球磨机将原料粉末进行机械剪切和冲击，使其粒度减小到纳米级别。
2. 化学合成法化学合成法是通过化学反应合成纳米材料，其中包括溶液法、气相法和电化学法等。
溶液法是将金属盐或金属有机化合物溶解在溶剂中，通过控制反应条件和添加适当的保护剂或模板剂制备纳米材料。
气相法是在控制的气氛和温度下通过气相反应合成纳米材料，例如化学气相沉积法。
电化学法是通过利用电化学原理，在电解质溶液中施加电压或电流，使材料在电极表面形成纳米颗粒。
3. 生物法生物法是利用生物体或其代谢物合成纳米材料，其中包括生物模板法、生物还原法和植物提取法等。
生物模板法是使用生物体或其组织的特殊形态或功能作为模板，在其表面合成纳米材料。
生物还原法是利用生物体或其细胞酶的还原活性将金属离子还原为金属纳米团簇。
植物提取法是通过植物提取物作为还原剂和模板，在其作用下合成纳米材料。
4. 加工法加工法是通过物理或化学加工手段制备纳米材料，其中包括机械法、电化学法和光电化学法等。
机械法是通过机械加工方式如研磨、切割等将材料分解成纳米颗粒。
电化学法是通过在电解质中施加电压或电流，使材料在电极表面形成纳米结构。
光电化学法是通过光催化反应，在光照条件下制备纳米材料。
在纳米材料的制备过程中，还需要注意一些技巧和注意事项。
首先，要精确控制反应条件，包括温度、压力和pH值等。
不同条件对于纳米材料的形成过程和性能具有重要影响。
纳米材料的合成和表征方法技巧
纳米材料的合成和表征方法技巧纳米材料是一种尺寸在1到100纳米之间的材料，具有独特的物理、化学和生物学性能。
纳米材料的合成和表征方法对于研究其性质和应用具有重要意义。
本文将探讨几种常见的纳米材料合成和表征方法技巧。
一、溶剂热法溶剂热法是一种常用的纳米材料合成方法，通过在高温、高压条件下进行反应，使反应物溶解在溶剂中，并逐渐形成纳米颗粒。
该方法具有反应温度和时间可控、纳米颗粒尺寸可调的优点。
在合成纳米材料的过程中，选择合适的溶剂是关键。
通常选择的溶剂应具有较高的沸点和相对较低的相对极性，具有适当的溶解性和稳定性。
常用的溶剂有乙二醇、正庚烷、N,N-二甲基甲酰胺等。
在溶剂热法中，合成剂和溶剂必须在密封容器中加热。
在合成过程中，根据不同的反应需求，可采用不同的加热方式，如水浴加热、电子源加热或高压反应釜。
二、溶胶凝胶法溶胶凝胶法是一种通过溶胶的凝胶化过程得到纳米材料的方法。
其基本原理是先制备溶胶，然后使其凝胶化。
凝胶形成后，通过干燥、热处理等方法，可以得到纳米颗粒。
在凝胶制备过程中，常用的溶胶剂有水、醇类、酸、氨等。
通过调节溶胶剂的性质和浓度，可以控制纳米颗粒的形貌和尺寸。
需要注意的是，溶胶凝胶法中的凝胶化过程对于纳米颗粒的形成至关重要。
凝胶化一般通过化学反应或物理交联实现，如水解反应、凝胶离子交换等。
三、X射线衍射（XRD）表征X射线衍射是一种常用的纳米材料表征方法，可用于分析物质的结晶性和晶格参数。
通过测量材料对入射X射线的散射角度和强度，可以推断出材料的晶体结构和晶粒尺寸。
X射线衍射实验通常使用X射线衍射仪进行。
在实验过程中，需调整X射线的入射角度和测量角度，使得出射光束和检测器的位置最佳。
同时，需选取合适的X射线波长和强度，以提高衍射信号的强度和质量。
通过对X射线衍射谱的分析，可以得到纳米材料的结晶度、晶粒尺寸、晶面方位和晶格畸变等信息。
这些信息有助于了解纳米材料的物理性质和结构特征。
四、透射电子显微镜（TEM）表征透射电子显微镜是一种常用的纳米材料表征方法，可提供纳米级别的材料结构、形貌和晶体结构等信息。
第三章纳米材料的制备方法
第三章纳米材料的制备方法纳米材料的制备方法可以分为物理方法、化学方法和生物方法三类。
物理方法包括机械法、气相法和溶液法等；化学方法包括沉淀法、溶胶-凝胶法、化学气相沉积法等；而生物方法主要是利用生物体或生物分子在生物环境下合成纳米材料。
机械法是指通过力的作用将宏观材料制备成纳米尺寸的材料，常见的方法有高能球磨法和挤压法。
高能球磨法是通过高能球磨机将粗颗粒材料和球磨介质一起置于球磨罐中进行强烈碰撞实现的。
挤压法则是将粗颗粒材料置于特定的装置中，通过外力作用使材料变形而制备纳米材料。
气相法是通过气相反应将气态物质制备成纳米材料，常见的方法有气相沉积法和气溶胶法两种。
气相沉积法是将气态前体输送到反应器中，在特定温度和压力条件下发生化学反应，生成纳米颗粒。
气溶胶法则是将气态前体生产成准稳态悬浮液，再经过控制条件使气溶胶中的颗粒在特定条件下成长。
溶液法是通过将溶液中溶解的化合物沉淀出来形成纳米颗粒的方法，常见的方法有沉淀法和溶胶-凝胶法。
沉淀法是将两种反应物溶解在溶液中，然后通过添加沉淀剂使沉淀物形成纳米颗粒。
溶胶-凝胶法则是将溶胶转变成凝胶，在适当条件下控制凝胶的形成和热处理过程，最终制备成纳米材料。
化学气相沉积法是通过在可控的气相条件下，将气态前体沉积在衬底上生成纳米颗粒的方法，主要应用于金属和半导体纳米材料的制备。
该方法需要控制反应气体的成分和温度，以及反应时间和衬底的性质。
生物方法是指利用生物体或生物分子在生物环境下合成纳米材料，包括微生物法和生物模板法两种。
微生物法是利用微生物在代谢过程中产生的酶或其他生物分子对金属离子进行还原或沉淀，形成金属纳米材料。
生物模板法则是利用生物体的分子结构作为模板，在其表面沉积纳米材料，通过控制反应条件可以得到不同形状和尺寸的纳米材料。
总结而言，纳米材料的制备方法多种多样，从物理方法到化学方法再到生物方法，每种方法都有其独特的优势和适用范围。
在制备纳米材料时，需要考虑材料性质、制备条件以及后续应用等因素，以选择最适合的制备方法。
纳米材料制备技术
纳米材料制备技术1.物理制备技术：(1)气相法：通过热分解或还原反应，在载气中使金属或化合物气态原料形成纳米粒子，然后冷凝得到纳米材料。
(2)溶液法：通过溶液中的溶质以浓集、析出的方式实现纳米材料的制备，如化学还原法、溶胶-凝胶法、沉积-沉淀法等。
(3)粉末冶金法：将金属或化合物原料粉末经过混合、压制和烧结等工艺步骤制备成纳米颗粒。
(4)电化学法：通过电解沉积、阳极氧化等电化学方法，以金属离子或化合物为原料，制备纳米结构的材料。
2.化学制备技术：(1)水热合成法：将溶液经过加热和加压处理，在高温高压环境下合成纳米材料。
(2)碳量子点法：将含有碳源的溶液进行热处理或光照处理，通过裂解和组装作用制备纳米尺寸的碳材料。
(3)真空蒸发法：将金属或化合物原料放置在真空腔中，通过蒸发和冷凝等过程制备纳米材料，如蒸发凝聚法和磁控溅射法等。
3.生物制备技术：(1)微生物法：利用一些特殊的微生物（如细菌、真菌、植物等），通过它们的代谢产物或细胞外酶的作用，合成得到纳米材料。
(2)生物矿化法：利用生物体内的一些有机分子作为模板，通过加入金属或化合物源，通过生物矿化作用，形成纳米尺度的晶体。
4.机械制备技术：(1)高能球磨法：用高能球磨机对粉末材料进行高强度球磨，使粉末颗粒碰撞、摩擦、破碎等过程，最终得到纳米颗粒。
(2)电压脉冲法：利用电脉冲的能量作用于材料表面，产生高温、高压等效应，从而制备纳米材料。
纳米材料制备技术的选择取决于所需纳米材料的特性和应用需求。
以上是常见的几种制备技术，但仍有更多新颖的技术不断涌现。
纳米材料的制备过程也需要考虑如材料成本、制备规模、可扩展性等因素，以实现纳米材料的可持续发展和产业应用。
典型无机纳米材料制备
典型无机纳米材料制备无机纳米材料是指在纳米尺度范围内具有特殊性质和应用的无机材料。
其制备方法多种多样，包括物理方法、化学方法和生物合成法等。
本文将主要介绍一些典型的无机纳米材料制备方法。
1.物理方法物理方法是通过物理手段来制备无机纳米材料。
最常见的物理方法包括溅射法、蒸发法、磁控溅射法和高能球磨法等。
（1）溅射法：溅射法是利用惰性气体离子轰击固体靶材的表面，使其材料原子或原子团簇从靶表面脱落，并在基底上凝聚成薄膜或纳米结构。
这种方法制备的材料具有较好的薄膜结晶度和纳米晶粒的均匀性。
（2）蒸发法：蒸发法是利用热量将固体材料加热，使其表面原子或离子脱离固体表面，并在基底上沉积成薄膜或纳米结构。
这种方法制备的材料晶粒大小和结晶度较差，但制备过程简单。
（3）磁控溅射法：磁控溅射法是在溅射法基础上加入磁场，使得离子的运动轨迹受到磁场的约束，从而得到具有较高纯度和较好结晶度的材料。
（4）高能球磨法：高能球磨法通过高能冲击和摩擦力将粉末原料进行球磨，使其晶粒尺寸减小到纳米尺度。
这种方法简单易行，但制备的材料晶粒尺寸不均匀。
2.化学方法化学方法是通过化学反应来制备无机纳米材料。
最常见的化学方法包括溶胶-凝胶法、气相沉积法和水热法等。
（1）溶胶-凝胶法：溶胶-凝胶法是将适当的化合物溶解在溶剂中形成溶胶，然后通过化学反应或物理方法使其凝胶。
随后将凝胶加热并干燥，得到无机纳米材料。
这种方法制备的材料具有较好的纯度和较高的孔隙度。
（2）气相沉积法：气相沉积法是将气相中的材料原子或离子通过物理或化学反应沉积在基底上，形成纳米尺度的薄膜或纤维。
这种方法制备的材料薄膜结晶度高，但制备条件较为复杂。
（3）水热法：水热法是在高温高压的水溶液中，通过溶剂热和压力调节来促进反应进行，得到纳米材料。
水热法具有简便、环境友好等优点，适用于制备很多纳米材料。
3.生物合成法生物合成法是利用微生物、植物或其他生物体合成纳米材料。
最常见的生物合成方法包括微生物发酵法和植物提取法等。
纳米材料的合成与制备技术介绍
纳米材料的合成与制备技术介绍纳米材料的合成与制备技术是纳米科学与纳米技术的基础和核心，也是纳米材料研究与应用的关键。
纳米材料具有特殊的物理、化学和生物学性质，广泛应用于能源、环境、医药、电子等领域。
本文将介绍几种常见的纳米材料的合成与制备技术，包括溶剂热法、水热法、沉积法和等离子体法。
溶剂热法是一种常用的纳米材料合成技术。
它通过在高温高压和特定溶剂条件下，在溶液中反应初体材料，产生纳米材料。
这种方法可用于合成金属、氧化物、氮化物等纳米材料。
在溶剂热法中，溶液中的反应快速进行，能够得到均匀分散、粒径小的纳米材料。
此外，溶剂热法还可控制材料的形貌、尺寸和结构，实现定制化的制备。
水热法是一种基于水为溶剂的纳米材料制备技术。
该方法利用水的特殊性质，在高温高压条件下，通过溶解、溶聚和析出反应，合成纳米材料。
水热法具有简单、快速、低成本的特点，常用于合成金属氧化物、金属硫化物、金属硫酸盐等纳米材料。
通过调控反应温度、时间和溶液成分，可以控制纳米材料的形貌和尺寸分布。
沉积法是一种通过基底表面沉积纳米材料的技术。
它可以在固体基底上直接合成纳米材料，并且能够控制纳米材料的形态和取向。
沉积法包括物理气相沉积、化学气相沉积、溅射沉积等多种方法。
其中，化学气相沉积是最常用的一种方法，它通过在气相中将前驱体物质分解和沉积在基底表面，形成纳米材料。
沉积法制备的纳米材料通常具有高纯度、较大尺寸和良好的结晶性能。
等离子体法是一种利用等离子体激发材料生成纳米颗粒的方法。
等离子体是一种带电粒子和分子的高能态物质，能够刺激原子和分子发生化学反应，并促进纳米材料的形成。
等离子体法可分为热等离子体法和非热等离子体法。
热等离子体法通过高温等离子体的作用，控制纳米材料的形貌和尺寸。
非热等离子体法则利用电磁场、激光等方式激发等离子体来合成纳米材料。
此外，还有很多其他的纳米材料合成与制备技术，如溶胶-凝胶法、微乳液法、电化学沉积法等。
不同的纳米材料合成与制备技术具有不同的优势和适用范围，可以根据具体材料的要求选择合适的方法。
纳米材料的合成和表征方法
纳米材料的合成和表征方法纳米材料在当今科技领域发挥着重要作用，它们具有特殊的物理、化学和电子性质，可广泛应用于能源、生物医学、光电子等领域。
然而，纳米材料的制备和表征一直是研究人员面临的挑战。
本文将重点讨论纳米材料的合成方法和表征手段。
合成方法是纳米材料研究的基础，不同的合成方法会得到不同尺寸、形状和结构的纳米材料。
目前，最常用的纳米材料合成方法包括溶剂热法、溶胶凝胶法和物理气相沉积法等。
溶剂热法是一种通过控制溶液条件合成纳米材料的方法。
研究人员将金属或化合物前体溶解在有机溶剂中，然后加热溶液，通过调节温度、时间和溶剂浓度等参数，使溶液中的前体通过核心-壳结构生长的方式形成纳米颗粒。
该方法可以灵活调控纳米颗粒的形貌和尺寸。
溶胶凝胶法是一种通过溶胶胶凝转化合成纳米材料的方法。
研究人员首先将金属或化合物前体溶解在溶剂中，形成溶胶。
随后，通过调控前体浓度、溶剂蒸发速率和凝胶成型温度等参数，使溶胶逐渐凝胶化成为固体胶体，最终通过热处理转化为纳米材料。
这种方法具有简单、经济的特点，适用于大规模制备。
物理气相沉积法是一种通过气相反应合成纳米材料的方法。
研究人员在高温下将金属前体或气体反应物注入反应室中，通过化学反应使反应物在载体表面或气相条件下形成纳米颗粒。
这种方法可以制备出高纯度、均匀尺寸的纳米材料。
纳米材料的表征是研究其性质和结构的关键。
常用的表征手段包括透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和傅里叶变换红外光谱(FTIR)等。
TEM是观察纳米材料形貌和尺寸的重要手段。
通过电子束的透射，可以得到高分辨率的图像，从而观察纳米颗粒的晶体结构和形貌特征。
此外，TEM还可以通过能谱分析技术获得元素成分和化学状态信息。
SEM是观察纳米材料表面形貌和结构的常用手段。
通过扫描电子束与样品表面的相互作用，可以获得高分辨率的图像。
SEM还可以结合能谱分析技术，得到元素成分和形貌特征的信息。
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1.1.9、爆炸丝法
原理:先将金属丝固定在一个充满惰 性气体(50bar)的反应室中，丝的两 端卡头为两个电极，它们与一个大 电容相联结形成回路，加15kV的高 压、金属丝500一800kA下进行加 热．融断后在电流停止的一瞬间， 卡头上的高压在融断处放电，使熔 融的金属在放电过程中进一步加热 变成蒸汽，与惰性气体碰撞形成纳 米粒子沉降在容器的底部，
1.1.1、电阻加热法
原理:物质(金属离子化合物等) 置于柑蜗内．通过电阻等加热装置加热蒸发，产生蒸发 质烟雾，由于惰性气体的对流，烟雾向上移动，并接近充液氮的冷却棒)。在蒸发过程 中，元物质的原子与惰性气体原子碰撞而冷却，在接近冷却棒的过程中，元物质蒸汽首 先形成原子簇．然后形成单个纳米微粒。最后在冷却棒表面上积聚起来，刮下并收集起 来获得纳米粉。 特点:加热方式简单,工作温度受坩埚材料的限制,还可能与坩埚反应。所以一般用来制 备Al、Cu、Au等低熔点金属的纳米粒子。
激光束
激光挡板
氩气8、 化学蒸发凝聚法(CVC)
工作室
炉子 气体
衬底 刮刀
漏斗
原理:用高纯惰性气作为载气，携带 有机高分子原料，例如六甲基二硅 烷．进入钼丝炉，温度为1100～ 1400 ℃、气氛的压力保持在低气压 状态，在此环境下原料热解形成团 簇进一步凝聚成纳米级颗粒．最后 附着在一个内部充满液氮的转动的 衬底上, 经刮刀刮下进行纳米粉体 收集，示意图如图所示。这种方法 优点足产量大，颗粒尺寸小，分布 窄。 。
磁控溅射法
磁控溅射是一种溅射镀膜法，它对阴极溅射中电子使基片温度上升过快的缺 点加以改良，在被溅射的靶极（阳极）与阴极之间加一个正交磁场和电场，电 场和磁场方向相互垂直。
溅射镀膜机
1.1.4、流动液面真空蒸镀法
原理:在高真空中蒸发的金属 原子在流动的油面内形成极超 微粒子，产品为含有大量超微 粒的糊状油, 高真空中的蒸 发是采用电子束加热, 当水冷 铜坩埚中的蒸发原料被加热蒸 发时，打开快门，使蒸发物镀 在旋转的圆盘表面上形成了纳 米粒子。含有纳米粒子的油被 甩进了真空室沿壁的容器中， 然后将这种超微粒含量很低的 油在真空下进行蒸馏．使它成 为浓缩的含有纳米粒子的糊状 物。
1.2、激光聚集原子沉积法
• 用激光控制原子束在 纳米尺度下的移动， 使原子平行沉积以实 现纳米材料的有目的 的构造。激光作用于 原子束通过两个途径， 即瞬时力和偶合力。 在接近共振的条件下， 原子束在沉积过程中 被激光驻波作用而聚 集，逐步沉积在衬底 （如硅）上，形成指 定形状，如线形。
1.3、非晶晶化法 液态金属
1.1.7、激光诱导化学气相沉积 (LICVD)
往捕集装置 反应焰
原理:激光束照在反应气体上形成了 反应焰，经反应在火焰中形成微粒， 由氩气携带进入上方微粒捕集装置。 特点:该法具有清洁表面、粒子大小 可精确控制、无粘结、粒度分布均 匀等优点，并容易制备出几纳米至 几十纳米的非晶态或晶态纳米微粒。
1.5、离子注入法
用同位素分离器使具有一定能量的离子硬 嵌在某一与它固态不相溶的衬底中，然后 加热退火，让它偏析出来。它形成的纳米 微晶在衬底中深度分布和颗粒大小可通过 改变注入离子的能量和剂量，以及退火温 度来控制。比如利用离子注入法可对金刚 石表面进行改性.
特点﹕工艺较简单, 化学成分准确。
非晶条带 热处理
1.4、机械球磨法
机械球磨法以粉碎与研磨为主体来实现粉末 的纳米化，可以制备纳米纯元素和合金。 该法工艺简单，制备效率高，能制备出常 规方法难以获得的高熔点金属合金纳米材 料。近年来，发展出助磨剂物理粉碎法及 超声波粉碎法，可制得粒径小于100nm的 微粒。
纳米材料的物理合成法
1、物理合成法的定义
• 采用光、电技术使材料在真空或惰性气氛 中蒸发，然后使原子或分子形成纳米颗粒， 以及球磨、喷雾等以力学过程为主的制备 技术。
1.1、蒸发-冷凝法
• 蒸发冷凝法是指在高真空的条件下，金属 试样经蒸发后冷凝。试样蒸发方式包括电 弧放电产生高能电脉冲或高频感应等以产 生高温等离子体，使金属蒸发。蒸发冷凝 法制备的超微颗粒具有如下特征：①高纯 度；②粒径分布窄；③良好结晶和清洁表 面；④粒度易于控制等。在原则上适用于 任何被蒸发的元素以及化合物。
非晶晶化法: 采用快速凝固法将液态 金属制备非晶条带,再将非晶条带 经过热处理使其晶化获得纳米晶 条带的方法。用非晶晶化法制备 的纳米结构材料的塑性对晶粒的 粒径十分敏感、只有晶粒直径很 小时，塑性较好．否则材料变得 很脆。因此，对于某些成核激活 能很小，晶粒长大激活能大的非 晶合金采用非晶晶化法，才能获 得塑性较好的纳米晶合金。
1.1.5、通电加热蒸发法
原理:通过碳棒与金属相接触， 通电加热使金属熔化．金属与 高温碳棒反应并蒸发形成碳化 物超微粒子。
用此种方法还可以制备Cr, Til, V, Zr、Hf, Mo, Nb, Ta和W等 碳化物超微粒子。
1.1.6、混合等离子法
原理:此制备方法是采用RF(射频)等 离子与DC直流等离子组合的混合方 式来获得纳米粒子,由图的感应线圈 产生高频磁场(几MHz)将气体电离 产生RF等离子体．内载气携带的原 料经等离子体加热、反应生成纳米 粒子并附着在冷却壁上。 DC(直流) 等离子电弧束用来防止RF等离子弧 受干扰，因此称为‘混合等离子” 法。 特点: ①纯度较高；②反应物质在等 离子空间停留时间长、物质可以充 分加热和反应； ③可使用非惰性的 气体(反应性气体)，因此．可制备化 合物超微粒子。
1.1.2、高频感应法
原理:以高频感应线圈为热源,使坩埚内的导电物质在涡流作 用下加热，在低压惰性气体中蒸发,蒸发后的原子与惰性气体 原子碰撞冷却凝聚成纳米颗粒。 特点：采用坩埚，一般也只是制备象低熔点金属的低熔点物 质。
高频感应的加热原理
感应加热是利用导体在高频磁场作用下 产生的感应电流(涡流损耗)。以及导体内磁 场的作用(磁滞损耗)引起导体自身发热而进 行加热的。
1.1.3、溅射法
原理: 用两块金属板分别作为阳极 和阴极，阴极为蒸发用的材料，在 两电极间充入Ar气(40～250Pa)，两 电 极 问 施 加 的 电 压 范 围 为 0.3 ～ 1.5kv。由于两极间的辉光放电使Ar 离子形成，在电场的作用下Ar离子 冲击阴极靶材表面，使靶材原子从 其表面蒸发出来形成超微粒子．并 在附着面上沉积下来 特点:(1) 可制备多种纳米金属，包 括高熔点和低熔点金属。常规的热 蒸发法只能适用于低熔点金属； （2)能制备多组元的化合物纳米微 粒，如A152Ti48、Cu91Mn9及ZrO2等； (3) 通过加大被溅射的阴极表面可 提高纳米微粒的获得量。