LED芯片制造工艺基础培训电子教案

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《LED技术培训》课件

《LED技术培训》课件
LED在家居照明中具有低功耗、高 亮度和长寿命等优势,广泛应用 于室内和室外照明。
商业照明
商业场所如商店、办公楼等,采 用LED照明可以提高照明效果、节 能降耗并降低维护成本。
汽车照明
LED在汽车照明中具有高亮度、低 能耗和长寿命的特点,逐渐取代 传统的车灯。
舞台照明
LED舞台照明具有丰富的颜色变换 效果、高亮度和灵活性,成为现 代舞台演出的重要组成部分。
发光原理
发光是由LED中的电子与空穴复合时所释放的能量 产生的结果,这个过程称为发光原理。
制作原理
LED是由半导体材料制成,通过PN结的电子结构实 现电流通过时的电子重新组合释放光能。
LED的发展历程
从最初的红色LED发展到今天的多彩LED,经历了多 年的技术进步和创新。
2. LED的应用
家居照明
包括确定电源、选择元 件、绘制电路图、进行 仿真和布局设计等。
LED常用的控制 方法
常见的控制方法包括 PWM调光、单色和多 色LED的控制、远程控 制等。
4. LED的光学设计
1 LED光学元件的种类
包括透镜、反射杯、光管等,用于控制和调节 LED的光束和光通量。
2 LED光束角度的控制
通过选择透镜的形状和尺寸,可以控制LED的光 束角度,实现不同照明需求。
2
LED故障分析流程
通过故障现象的观察和测量,进行问题定位和故障解决的流程,确保设备的正常使用。

芯片制造基础知识学习教案

芯片制造基础知识学习教案
芯片制造材料
包括硅晶圆、光刻胶、掩模版、靶材等关键材料的特性和应用。
行业前沿动态关注
先进制程技术
关注3纳米及以下制程技术的 研发和应用,如极紫外光刻技 术(EUV)、全环绕栅极技术
(GAA)等。
新型芯片技术
关注生物芯片、光芯片、量子 芯片等新型芯片技术的研发和
应用。
智能制造与数字化
关注芯片制造过程中的智能制 造和数字化技术应用,如工业 互联网、大数据、人工智能等。
封装工艺
严格控制封装工艺,包括清洗、 烘干、焊接、检测等步骤,确保 每一步都符合相关标准和要求。
质量控制
建立完善的质量控制体系,对封 装过程进行全程监控和记录,及 时发现并处理潜在问题。
测试方法与技术应用
测试方法
常见的芯片测试方法包括功能测试、性能测试、可靠性测试等,每 种测试方法都有其特定的目的和步骤。
THANKS
感谢观看
芯片制造基础知识学习教案
contents
目录
• 芯片制造概述 • 原材料与辅助材料 • 制造工艺流程详解 • 芯片封装与测试技术 • 设备与生产线管理优化 • 质量管理与可靠性保障措施 • 总结回顾与展望未来发展趋势
01
芯片制造概述
芯片定义与分类
芯片定义
芯片,又称微电路、微芯片、集成 电路,是指内含集成电路的硅片, 体积很小,常常是计算机或其他电 子设备的一部分。

led基础知识培训手册

led基础知识培训手册

led基础知识培训手册

一、LED概述

LED,即发光二极管,是一种固态的半导体器件,能够直接将电能转化为光能。其基本结构是一块电致发光的半导体材料,置于一个有引线的架子上,然后四周用环氧树脂密封,起到保护内部芯线的作用。LED的抗震性能好,寿命长,色彩丰富,节能环保。

二、LED的发光原理

LED的发光原理是基于半导体材料中的电子和空穴对的复合。当电流通过LED时,电子和空穴对在半导体材料中相遇并复合,释放出能量,以光的形式表现出来。LED的发光颜色取决于其使用的半导体材料和制造工艺。

三、LED的应用领域

1. 显示器:LED显示器具有高亮度、长寿命、低能耗等优点,广泛应用于各种显示设备,如电视、电脑显示器、手机屏幕等。

2. 照明:LED灯具有高效、节能、环保等优点,广泛应用于室内外照明、舞台灯光等领域。

3. 汽车:LED在汽车领域的应用也越来越广泛,如尾灯、刹车灯、转向灯等。

4. 其他领域:除了以上应用领域,LED还广泛应用于医疗设备、航空航天等领域。

四、LED的优点

1. 高效节能:LED的发光效率高,能够将电能直接转化为光能,相比传统光源更加节能。

2. 长寿命:LED的使用寿命长,一般可达数万小时以上,减少了更换灯泡的频率和成本。

3. 环保:LED不含有害物质,对环境无污染。

4. 色彩丰富:LED可以发出各种颜色的光,可以组合成各种色彩和图案。

5. 抗震性能好:由于LED的结构特点,其抗震性能较好,能够在恶劣环境下正常工作。

五、LED的分类

1. 按发光颜色分类:LED可以根据发光颜色分为红、绿、蓝、黄等不同颜色的LED。

《LED基础知识培训》课件

《LED基础知识培训》课件
随着技术和市场的不断成 熟,LED的发展前景非常 广阔,有着巨大的商业潜 力。
3 LED的应用前景
LED在各个领域的应用将 日益广泛,为社会的发展 和改善提供了无限可能。
八、参考资料
• 《百度百科》 • 《LED菜鸟入门》 • 《LED灯具技术百科全书》
3 发光原理
当电子通过PN结时,会与空穴重新结合,释放出能量并发出光子,从而实现LED的发光 效果。
三、LED的结构
LED的芯片
芯片是LED的核心,由半导体材料构成,通过激活 电流使其发光。
LED的封装
封装是将LED芯片保护起来的外壳,同时也起到散 热和集流作用。
四、LED的性能参数
发光效率 光谱特性 亮度等级
2
技术创新趋势
LED技术不断创新,光效提高、颜色显示更准确、封装更小型化,满足不同应用 的需求。
3
市场应用趋势
LED在智能照明、汽车、电子产品等领域的应用将持续扩展,带动产业发展。
七、结
1 LED的优势
LED具有节能、环保、寿 命长、色彩丰富等优势, 是未来照明和电子产品的 主流技术。
2 LED的发展前景
汽车照明
LED应用于汽车前照灯、雾灯等位置,提供更亮、 更节能的照明效果。
数码产品显示屏
LED显示屏广泛应用于电视、电脑显示器和手机屏 幕,具有高亮度和高对比度。

led的工艺培训教材

led的工艺培训教材

3).解冻时间30min以上。解冻过程中不打开瓶装盖子,避免水珠掉 入,打开盖子之前必须将瓶子表面的水珠擦拭干净。
4).搅拌:84-1LM与F1000瓶装胶水使用前要充分搅拌,使胶水充分混 合均匀。搅拌时按顺时针搅拌大约5-10分钟。 5) .换胶时间:84-1LM与F1000每使用8小时后必须换胶一次,HD20A/B胶水每使用4小时后必须换胶
9. 配好的一杯胶水必须在两个小内使用完,注胶必须打开加热装 置,
10.沾胶作业时必须调整好支架与滚轮之间的距离,距离过远支架沾不 到胶,距离过近支架会压变形。调整好滚轮转速及胶量。沾胶胶量参 照以下图示:
11.沾好胶的支架用显微镜检验,如有汽泡必须再次抽真空,所有沾好 胶的支架必须在半个小时内作业完成,以防止支架流胶.
一.LED封装流程 芯片扩晶

排支架 固晶
出烤
短烤 手动焊线 领料

烘烤 自动焊线 胶解冻

上胶 上芯片、支架 自动固晶

配粉
配胶 沾胶 灌胶
插支架 长烤
短烤
白光
烘烤 点粉
单色光
包装பைடு நூலகம்分光分色 后切 测试 长烤 前切
LED封装工艺
离模
二.LED原材料介绍
1.芯片 我司生产用芯片按发光颜色分可分为红光、黄光、绿光、蓝光芯
12.加同一批次同一剂量的色剂,但做出的产品颜色不一样。 1.色剂浓度不均;或色剂沉淀。

LED基础知识培训教程_教学课件

LED基础知识培训教程_教学课件
7、 00年日亚报道了15lm/W白光LED, 8、 03年日亚报道的光效达到60lm/W, 2006年3月,其光效达到100lm/W, 9、 06年7月Cree公司报道了130lm/W白光LED, 10、06年11月日亚报道的光效达到150lm/W,其效率已经超过节能灯,实现了
真正意义上的照明。 11 、07年3月,美国CREE公司光效达到157lm/W,目前LED的效率向200Lm/W前进
自由电子从P型层通过二极管落入空的电子空穴。这包含从传导带跌落到一个更低的轨函数,所 以电子就是以光子形式释放能量。这在任何二极管里都会发生的,当二极管是由某种物质组成的时候, 你只是可以看见光子。在标准硅二极管的原子,比如说,当电子跌落到相对短距离原子是以这样的方 式排列。结果,由于电子频率这么低的情况下人的眼睛是无法看得到的。
LED的原理 司
广州众恒光电科技有限公
LED的发展 司
广州众恒光电科技有限公
1、1965年,全球第一款商用化发光二极管诞生 ,效率0.1lm/W,比白炽灯 低100倍,售价45$/只。
2、1968年,LED的研发取得了突破性进展,利用氮掺杂工艺使GaAsP器件 的效率达到了1流明/瓦,并且能够发出红光、橙光和黄色光。
0
Vf(V)
1.8 2.2
2.6
3.0
3.4 3.8
Fig.1 Forward Current vs. Forward Voltage

LED电子料基础知识培训

LED电子料基础知识培训
显色性:光源对物体呈现的程度,即颜色的逼真程度。常称“显 色指数”单位:Ra。
色 温:光源发射光的颜色与黑体在某一温度下辐射光色相同 时,黑体的温度称为该光源的色温。单位:开尔文(k)。
光束角:通常称角度,指于垂直光束中心线之一平面上,发光强 度等于50%最大发光强度的二个方向之间的夹角 。
LED的电参数
近红外线光:(780~740nm)
颜色和波长
红色光: 正常红:620nm - 630nm 穿孔灯串:637.5-645nm
橙色光: 603nm -609
绿 色: 520nm - 530纯绿色
蓝 色: 460nm - 470nm-鲜亮蓝色
UV-A型紫外线光: 370nm -几乎是不可见光,受木质玻璃滤光时显现出一个暗深紫色
Βιβλιοθήκη Baidu色和波长
光的颜色是否可以看见是由它的波长决定,光的波长是以纳 米(nm)为单位。发光二极管发出的光几乎都是一致的也就是说 它几乎都是在一个波长,发出非常纯的颜色。可见光的波长范围 为380nm~800nm,以下是光的颜色和它的波长:
中红外线红光: 4600nm - 1600nm --不可见光
低红外线红光: 1300nm - 870nm --不可见光 850nm - 810nm -几乎不可见光
颜色和波长
LED器件封装形式
为满足不同产品的需要,LED的封装形式也出现了多样化,下面简 单介绍一下:

《led培训资料》课件

《led培训资料》课件

LED趋势与展望
LED技术发展趋势 LED市场前景展望 LED新应用的探索
了解LED技术的未来发展方向,如更高的亮度、更低 的成本和更广泛的应用领域。
探索全球LED市场的发展前景和增长趋势。
了解未来可能出现的创新LED应用,如柔性显示屏和 智能照明系统。
LED设计
1 LED灯具设计
了解如何设计高效、可靠且美观的LED照明灯具。
2 LED驱动电路设计
探索如何设计符合LED器件特性的电源驱动电路。
3 LED光学设计
学习如何设计透镜和光散射器以提高LED的光效和视觉效果。
LED测试
1
LED测试原理
了解LED测试的基本原理和方法,包括光通
LED测试仪器
LED照明应用
探索LED在家居照明、 商业照明和街道照明等 领域的应用。
LED显示应用
了解LED在室内显示屏、 户外广告牌和汽车显示 仪表盘中的广泛应用。
LED广告应用
发现LED在宣传广告、 户外大屏幕和橱窗展示 中的创新应用。
其他LED应用
了解LED技术在农业、 医疗和舞台灯光等领域 的其他应用。
2
量、色温和色彩一致性测试。
介绍常用的LED测试仪器,如光谱仪和电流
测试仪。
3
LED测试方法
探索LED测试的步骤和准确性要求,以确保 质量和性能。

led电子课程设计

led电子课程设计

led电子课程设计

一、课程目标

知识目标:

1. 让学生掌握LED电子电路的基本原理,理解电路中各个元件的功能和作用。

2. 使学生了解并掌握LED灯的颜色、亮度与电流、电压之间的关系。

3. 帮助学生了解电子制作过程中的注意事项,培养学生安全意识。

技能目标:

1. 培养学生动手操作能力,能够正确组装和调试LED电子电路。

2. 培养学生运用所学知识解决实际问题的能力,能够独立设计和制作简单的LED电子作品。

3. 提高学生的团队协作能力,学会在小组合作中分享、交流和共同进步。

情感态度价值观目标:

1. 激发学生对电子技术的兴趣,培养他们探索科学奥秘的精神。

2. 培养学生热爱生活、珍惜资源、保护环境的意识,引导他们关注绿色环保的LED技术。

3. 培养学生具有创新思维,敢于尝试、勇于挑战的精神风貌。

课程性质:本课程属于实践性较强的电子技术课程,注重理论联系实际,强调学生的动手操作能力。

学生特点:六年级学生具有较强的求知欲,动手能力强,但安全意识相对薄弱。

教学要求:结合学生特点,课程设计应注重理论与实践相结合,强调学生在实践中掌握知识,提高技能,培养正确的情感态度价值观。通过分解课程目标为具体的学习成果,为教学设计和评估提供明确方向。

二、教学内容

1. 理论知识:

- 电路基础知识:电流、电压、电阻的概念及其关系。

- LED基本原理:LED的结构、发光原理及分类。

- 电路图的识别与绘制:掌握电路图的基本符号,能识别并绘制简单的LED电路图。

2. 实践操作:

- 电路元件的认识与使用:了解电阻、电容、二极管、LED等元件的功能,掌握其正确使用方法。

led培训计划及方案

led培训计划及方案

led培训计划及方案

第一章前言

随着科技的不断进步,LED(发光二极管)技术在各个领域得到了广泛应用,比如照明、显示屏、汽车行业等。为了适应市场的需求,提升公司员工的技术水平,我们制定了LED 培训计划及方案,旨在帮助员工深入了解LED技术,并掌握相关的操作和维护技能。

第二章培训目标

1. 培养员工对LED技术的兴趣和理解,提升员工对LED的技术认知和应用能力;

2. 培养员工的操作和维护技能,使员工能够熟练地操作LED设备,并进行日常维护;

3. 培养员工的团队合作意识和沟通能力,提升员工的综合素质。

第三章培训内容

1. LED基础知识

a. LED工作原理和结构

b. LED分类和特性

c. LED应用的主要领域

2. LED设备操作与维护

a. LED设备的基本操作

b. LED设备的常见故障及维护方法

c. LED设备的安全操作规范

3. LED技术应用案例分析

a. LED照明应用案例分析

b. LED显示屏的应用案例分析

c. LED汽车照明应用案例分析

第四章培训方式

1. 理论授课

通过讲师进行LED技术的理论授课,让员工了解LED工作原理、分类特性等知识。

2. 实操演练

让员工亲自操作LED设备,学习LED设备的操作和维护技能,提高实际操作能力。

3. 案例分析

分析LED技术在不同领域的应用案例,让员工了解LED技术的实际应用。

第五章培训计划及方案

1. 培训对象

公司所有与LED相关工作的员工。

2. 培训时间

本次培训计划历时3个月,每周培训2天,每次培训3小时,共计72小时。

3. 培训地点

公司内部培训室及实验室。

LED培训课件

LED培训课件

05
led技术的发展趋势与展望
led技术的发展趋势
LED技术不断创新和发展
随着科技的不断进步,LED技术也在不断创新和发展,包括 芯片制造技术、封装技术、驱动技术等方面,不断提高LED 产品的性能和降低成本。
LED智能化和物联网化趋势
随着智能化和物联网化的发展,LED照明产品也呈现出智能 化和物联网化的趋势,实现了远程控制、节能环保、高效可 靠等功能,为人们的生活带来了便利和舒适。
led技术的展望
LED技术的未来发展方向
未来LED技术的发展方向是多元化、智能化、高效化、环保化等。LED技术将不 断拓展应用领域,如汽车照明、医疗照明、植物照明等,同时还将不断推出新的 产品和技术,如Micro LED、柔性LED等。
LED技术的市场前景
随着LED技术的不断发展和应用,LED市场的规模也将不断扩大。未来几年,LED 照明产品将逐渐替代传统照明产品,市场前景广阔,具有巨大的发展潜力。
led照明产品的特点
长寿命
LED照明产品的寿命一般可达到5万 小时以上,是普通灯泡的几倍甚至 几十倍。
节能
LED照明产品的功耗较低,相比传 统照明产品能够节省80%以上的能 源。
环保
LED照明产品不含有汞、铅等有害 物质,对环境和人体健康没有危害 。
易维护
LED照明产品一般采用模块化设计 ,维护和更换方便。

LED芯片制造的工艺流程课件

LED芯片制造的工艺流程课件
加强质量检测和控制,确保产品合格 率。
实施效果:经过优化后,该公司LED芯 片制造的生产效率提高了30%,产品良 率达到了99.9%,生产成本降低了20%。
案例二:某公司LED芯片制造关键技术突破
总结词
关键技术突破
高效散热技术
采用新型散热材料和结构设计,有效提高了LED芯片的散 热性能。
详细描述
某公司在LED芯片制造领域取得了一系列关键技术突破, 包括高亮度LED芯片的研发、高效散热技术的实现以及小 尺寸LED芯片的量产等。这些技术突破为该公司带来了竞 争优势和市场地位的提升。
LED芯片发出的光线无辐射性,对人体的健康没有负面影响。
便于医疗操作
LED灯光能够提供足够的照明,方便医生进行各种医疗操作。
有利于伤口愈合
特定波长的LED灯光能够促进伤口愈合和缓解疼痛,在医疗中有广 泛的应用。
06
LED芯片制造案例研究
案例一:某公司LED芯片制造工艺流程优化
总结词
工艺流程优化
详细描述
自动化生产
引入自动化生产线和设备,减少人工干预,提高生产效率。
优化生产流程
对生产流程进行优化,减少不必要的环节和时间,提高生产效率。
强化设备维护与管理
定期对设备进行维护和保养,确保设备稳定、高效运行。
优化封装与测试技术
选用合适的封装材料
01

LED制造工艺培训课件(PPT 29页)

LED制造工艺培训课件(PPT 29页)
LED制造工艺
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固体类型
晶界
单晶区域
无定形(非晶)、多晶、(晶单粒晶)
晶体的特点:
• 组成晶体的原子按一定方式有规则排列
• 有固定的熔点 Si(硅): 1420℃ Ge(锗):941℃
1. 单晶具有方向性:各向异性 4
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三种方法 生长结法, 合金法 和平面工艺。
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前段工序的第一步是制造半导体晶圆。 发光二极管所用的材料决定了发射光的颜 色。
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(1)用CZ法直拉单晶制造法得到掺有杂 质的所选材料的硅锭
直拉单晶制造法(Czochralski,CZ法) 是把原料多硅晶块放入石英坩埚中,在单 晶炉中加热融化 ,再将一根直径只有10mm 的棒状晶种(称籽晶)浸入融液中。在合 适的温度下,融液中的硅原子会顺着晶种 的硅原子排列结构在固液交界面上形成规 则的结晶,成为单晶体。
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ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
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(4)晶圆(或称衬底材料)制造完成后,进行外延生 长。外延就是在衬底上淀积一层薄的单晶层,新 淀积的这层称为外延层。
以GaAs为例,根据制程的不同,外延可分为 液相外延(LPE)、有机金属气相外延(MOCVD)以及 分子束外延(MBE)。LPE的技术层次较低,主要用 于一般发光二极管的外延生长,而MBE的技术层 次较高,容易生长极薄的外延层,且纯度高、平 整性好,但量产能力低,外延生长速度慢。 MOCVD除了纯度高、平整性好,量产能力及外 延生长速度都比MBE快,因此现在大都以 MOCVD生产。

LED基础知识培训教程1

LED基础知识培训教程1

与行业有关的常用术语
• 亮度(照度) – 为被照物第单位面积在某一方向上 所发出或反射的发光强度,用以显 示被照物的明暗差异。其公制单位 为CD/m2,或尼特(nit)
与行业有关的常用术语
• 照度(luminance) – 受照平面上接受光通量的密度,可用每 一单位面积的光通量来测量。1lm的光 通量均匀分布在1m2的表面,即产生1 勒克司(Lux,lx)的照度。
– 错误检测 – 亮度或电流调节
驱动芯片主要类型
• 74HC595 非恒流 Motorola(ONSEMI),Philips,ST
• 恒流源 – SONY CXA3281N,CXA3596R – TOSHIBA TB62705,TB62706,TB62726, TB62727 – MBI 5001,5016,5026,5027,5028 – SiTI ST2221A,ST2221C,DM135, DM134,DM133 – TI TLC5921,TLC5902
达到 110 度。 • 视距可通过选择不同直径与不同点距的产品来调整,
小到几十厘米,大到几百米均可满足要求。 • 组态灵活,简单到数码显示,复杂到全彩色视屏都
有不同种类的产品可以满足要求,室内室外都有相 应的产品。 • 寿命长,能达到十万小时,基本不需要维修。 • 易与计算机接口,支持软件丰富。
LED显示屏基本原理 及常用名词解释

《LED工艺制程》课件

《LED工艺制程》课件
《LED工艺制程》PPT课 件
通过本PPT课件,您将了解LED工艺制程的基本原理、生产流程、质量控制 以及未来发展趋势。
I. 介绍LED工艺制程
LED工艺制程是指LED芯片的生产过程,涵盖了衬底生长、晶圆切割、荧光 粉涂敷、封装、热处理等关键技术。
II. LED基本原理
LED通过半导体材料的载流子复合释放能量,ຫໍສະໝຸດ Baidu电能转化为可见光。了解LED基本原理是理解工艺制程 的基础。
VIII. 热处理技术
热处理技术主要用于提高LED晶片的结晶质量和提高发光效率。了解热处理 的原理和方法对于优化工艺制程非常重要。
III. LED生产流程概述
1
衬底生长技术
介绍衬底生长技术,如金属有机化合物气相沉积(MOCVD)。
2
晶圆切割技术
探讨LED晶圆的切割方法,如激光切割和研磨切割。
3
荧光粉涂敷技术
说明荧光粉的涂敷过程,以提高LED的发光效率。
IV. 衬底生长技术
衬底生长技术是生产LED晶片的关键步骤。常用技术包括金属有机化合物气相沉积(MOCVD)和分子 束外延(MBE)。
V. 晶圆切割技术
晶圆切割技术对于生产高效可靠的LED至关重要。常用方法有激光切割和研 磨切割,以获取所需的芯片大小。
VI. 荧光粉涂敷技术
荧光粉涂敷技术是改善LED发光效率的关键步骤。了解不同涂敷方法和材料将帮助提高LED的色彩还原 度和亮度。
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N2

N2

高温

Frenkel缺陷

熔合

线l缺陷

完整晶格

综合站 黄光站 化学站 综合站 化学站

前处理
1去铟球 2外延清洗

Mesa工艺
3Mesa光刻
4Mesa刻蚀 5去胶、清洗

ITO工艺 6ITO蒸镀 7ITO光刻 8ITO蚀刻、去胶 9ITO熔合

P/N Pad工艺 10 P/N Pad光刻

SiO2工艺

检测

去膜剂

刻蚀深度测试

综合站 黄光站 化学站 综合站 化学站

前处理
1去铟球 2外延清洗

Mesa工艺 3Mesa光刻

ITO工艺 6ITO蒸镀

4Mesa刻蚀 5去胶、清洗

P/N Pad工艺

SiO2工艺

检测

为了电流更好地扩展到芯片的整个面域,增加发光区,并且不能挡住光的射出,需要 蒸镀一层导电且透光的薄膜——ITO.

ITO蒸镀机

ITO为以掺Sn的In2O3材料,属于N型氧化物半导体材料,通常Sn2O3:In2O3=1:9。 监控参数: 面电阻、透光率、膜厚、蚀刻率,整体评价ITO膜质量。 熔合后合格透光率>92%,面租值5~35Ω,膜厚:2400A
ITO靶材
E-beam

透光率、面阻测试

综合站 黄光站 化学站 综合站 化学站

加厚产品剖面1

加厚产品剖面2

1、负胶与正胶相反,被紫外照射的 区域,经后烘后交联,不能被显影

Cr/Pt/Au PR

2、负胶显影后形成倒八字的图形, 有利于Lift-off工艺(如右图)
3、负胶工艺及其重要,直接影响到 残金、残胶、掉电极等致命问题!
LED芯片制造工艺基础培训

LED种类

LED构造

去胶、清洗、 湿法腐蚀

认识制造二部
化学站

产品光电参数、 外观、打线、推 力、热膜等测试

综合站

黄光站

综合测试

合格品





制 造

磨三





薄膜、干 刻、熔合

在外延片表面形 成指定图形的光 刻胶保护膜

综合站 黄光站 化学站 综合站 化学站

前处理 1去铟球 2外延清洗

检测
18电性 19打线 20推力 21拉膜 22外观

p MQW
N 衬底
实 物 图

EPI

EPI

EPI

EPI

注:以上制程适合部分版型,实际已制程单为准

综合站 黄光站 化学站 综合站 化学站

前处理
1去铟球 2外延清洗

Mesa工艺

ITO工艺

P/N Pad工艺

SiO2工艺

检测

为了确保ITO薄膜与外延片的充分接触,在镀膜前需要进行铟球剔除与一系列的清洗作业

前处理
1去铟球 2外延清洗

匀胶台

Mesa工艺 3Mesa光刻

ITO工艺 6ITO蒸镀 7ITO光刻

4Mesa刻蚀 5去胶、清洗
曝光台

P/N Pad工艺

SiO2工艺

软烤、坚膜

检测

365nm紫外光

匀正胶

软烤

曝光

显影

坚膜

综合站 黄光站 化学站 综合站 化学站

前处理
1去铟球 2外延清洗

Mesa工艺
3Mesa光刻

通过ICP(感应耦合等离子体)干刻,去除不需要的P-GaN和MQW,露出N-GaN。

检测

离子化Cl2+BCl3

综合站 黄光站 化学站 综合站 化学站

前处理
1去铟球 2外延清洗

Mesa工艺
3Mesa光刻
4Mesa刻蚀 5去胶、清洗

ITO工艺

P/N Pad工艺

SiO2工艺

检测

去胶、清洗

去胶后每批抽1片进行刻蚀深度测试,确保已经刻到NGaN重掺层,刻蚀过深或过浅都会影响到芯片的多项光 电参数(Vf1等)。

i-Line PR Photo reaction
hv

黄光站湿度、温度 的重要性

in PR/air
H2O

OH-

ketene

Carboxylic Acid

前处理

Mesa工艺

ITO工艺

P/N Pad工艺

SiO2工艺

综合站

黄光站

3Mesa光刻

化学站 1去铟球

综合站

4Mesa刻蚀

化学站 2外延清洗

ICP刻蚀
4Mesa刻蚀 5去胶、清洗

ITO工艺 6ITO蒸镀 7ITO光刻 8ITO蚀刻、去胶

P/N Pad工艺

SiO2工艺

检测

该步的目的是:通过化学腐蚀方法,清除因ICP刻蚀所溅出 的ITO残粉, 避免MQW处因ITO残粉粘附而导致漏电或者 ESD不良。

Mesa侧壁残留

ITO蚀刻液

去膜剂

综合站 黄光站 化学站 综合站 化学站
光刻胶的主要成分: •Resin : Film material (Polymer) :酚醛树脂,提供光刻胶的粘附性、 化 学抗蚀性,当没有溶解抑制剂存在时,线性酚醛树脂会溶解在 显影液中的 •PAC : Photo Active Compound,光敏化合物,最常见的是重氮萘醌 (DNQ),在曝光前,DNQ是 一种强烈的溶解抑制剂,降低树脂 的溶解速度。在紫外曝光后,DNQ在光刻胶中化学 分解,成为溶 解度增强剂,大幅提高显影液中的溶解度因子至100或者更高。这 种曝光反应会在DNQ中产生羧酸,它在显影液中溶解度很高。 •Solvent ::醋酸溶剂,提高流动性
Hale Waihona Puke Baidu
效 果 图

LED芯片制程简表

Mesa工艺
3Mesa光刻
4Mesa刻蚀 5去胶、清洗

ITO工艺 6ITO蒸镀 7ITO光刻 8ITO蚀刻、去胶 9ITO熔合

P/N Pad工艺
10 P/N Pad光刻 11Plasma清洗 12 P/N Pad蒸镀 13金属剥离去胶

SiO2工艺 14SiO2沉积 15光刻SiO2 16 SiO2蚀刻、去胶 17金属熔合

(1)ITO蚀刻液去除铟球 (2)511具有极强的氧化性,能够有效去除外延表面的有机杂质与金属离子

点有铟球的外延片

(3)稀HCl外延表面去除金属离子

冲水 甩干

外延清洗不干净导致缺陷

ITO蚀刻液

去膜剂

511

稀HCl

外延清洗干净与否直接影响到ITO与外延的粘附力!及其关键!

综合站 黄光站 化学站 综合站 化学站

前处理
1去铟球 2外延清洗

匀胶台

Mesa工艺 3Mesa光刻

ITO工艺

曝光台

P/N Pad工艺

SiO2工艺

软烤、坚膜

检测

365nm紫外光

匀正胶

软烘

曝光

显影

坚膜

综合站 黄光站 化学站 综合站 化学站

前处理
1去铟球 2外延清洗

Mesa工艺 3Mesa光刻

ITO工艺

P/N Pad工艺

SiO2工艺

检测

光刻知识:

前处理
1去铟球 2外延清洗

Mesa工艺
3Mesa光刻
4Mesa刻蚀 5去胶、清洗

ITO工艺 6ITO蒸镀 7ITO光刻 8ITO蚀刻、去胶 9ITO熔合

P/N Pad工艺

SiO2工艺

ITO熔合炉

检测

E-Gun蒸镀出来的ITO薄膜存在晶格缺陷,在N2气保护下进行高温退 火处理,可有效修复ITO薄膜中的晶格缺陷,消除内应力,改善膜的 透光率与面阻值
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