仪器分析-第六章 原子发射光谱-zcq-3
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2020/11/20
（二）低压交流电弧光源
工作原理： 工作电压：220 V、50Hz交流电。 为了维持交流电弧放电，采用高频引燃电路（Ⅰ）、低压电 弧电路（Ⅱ），通过高频变压器 L1 和 L2 耦合构成。
2020/11/20
（1）接通电源，由变压器 B1升压至2.5～3kV，电容器 C1充 电；达到一定值时，放电盘 G1击穿；G1-C1-L1 构成振荡回路，
（1）光栅的理论分辨率是多少（一级光谱）
（2）一级光谱中波长为3100.30 Å和3100.66Å的双线是 否能分开？
解：
R K N 1 6 0 0 5 0 3 1 0 4
R n N
1（ 3100.303100.66）
2
0.103
30000
Å
3 1 0 0 . 6 6 3 1 0 0 . 3 0 0 . 3 6 Å 此双线能被分开
第三节
原子发 射光谱仪器
instrument of AES
一、仪器类型与流程
types and process of AES
二、激发光源
laser source
三、光谱仪
spectrophotometer
一、仪器类型与流程
原子发射光谱仪的类型：电弧光谱仪、电火花发射光谱仪、 电感耦合等离子体光谱仪、光电光谱仪、摄谱仪等； 原子发射光谱仪构成：
(3) ICP中电子密度大，碱金属电离造成的影响小；
(4) Ar气体产生的背景干扰小； (5) 无电极放电，无电极污染； ICP焰炬外型像火焰，但不 是化学燃烧火焰，气体放电； 缺点：对非金属测定的灵敏度低，仪器昂贵，操作费用高。
2020/11/20
对比
2020/11/20
三、光谱仪（摄谱仪）
作用：将激发试样所获得的不同波长的光，色散为按波长顺 序排列的单色光。 按仪器分光系统分：棱镜摄谱仪、光栅摄谱仪、光栅光谱仪； 按接受光谱方式分：看谱法、摄谱法、光电法；
产生高频振荡；
（2）振荡电压经 B2的次级线圈升压到10kV，通过电容器C2
将电极间隙 G的空气击穿，产生高频振荡放电；
（3）当G 被击穿时，电
源的低压部分沿着已造 成的电离气体通道，通
过G进行电弧放电；
（4）在放电的短暂瞬 间，电压降低至电弧熄 灭，在下半周高频再次 点燃，重复进行；
2020/11/20
对于不同材料的棱镜（A. B不同），其折射率各不相同
2020/11/20
棱镜的特性与参数
（1）色散率
角色散率：用dθ/dλ表示，偏向角θ对波长的变化率；
d d
2sin
2
dn
1n2 sin2 d
2
棱镜的顶角越大或折射率越大，角色散率越大，分开两
条相邻谱线的能力越强，但顶角越大，反射损失也增大，通
2020/11/20
（3）闪跃光栅
光栅刻痕成一定的形状，使在每刻痕的小反射面与光 栅平面成一定角度，使衍射光强主最大从原来不分光的零 级主最大重合方向转移至由刻痕形状决定的反射光方向， 结果使反射光方向光谱变强，这种现象称为闪耀。辐射能 最大的波长称为闪耀波长。
2020/11/20
光栅的分辨率R
光栅的分辨率R 等于光谱级次（n）与光栅刻痕条数（N）
的乘积：
R n N
光栅越宽、单位刻痕数越多、R 越大。
宽度50mm，N=1200条/mm， 一级光谱的分辨率： R=1×50×1200=6×104
2020/11/20
例题：某光栅光谱仪，光栅刻数为600条/mm，光栅面积 5×5 cm2,试问：
常为60度角；
线色散率：用dl /dλ表示，两条相邻谱线在焦面上被分开
的距离对波长的变化率；
倒线色散率：用dλ/dl 表示，
2020/11/20
（2）分辨率
相邻两条谱线分开程度的度量：
R b dn d
： 两条相邻谱线的平均波长；△λ：两条谱线的波长差； b：棱镜的底边长度；n：棱镜介质材料的折射率。
（3）稳定性好，重现性好，自 吸小，适用定量分析；
缺点：背景大，不适合微量分析
2020/11/20
（四）电感耦合等离子体光源＊
原子发射光谱在50年代发展缓慢； 1960年，工程热物理学家 Reed ，设计了电感耦合等离子体 炬，指出可作为原子发射光谱分析中的激发光源；
光谱学家法塞尔和格伦菲尔 德用于发射光谱分析，建立了 电感耦合等离子体光谱仪 (ICP-AES);
不同位置上（对于给定的级次，衍射角随波长的增长而增大），这 就是光栅分光的依据 。 当K1λ1=K2λ2 ，就会出现谱线重叠现象，如λ1=600nm的一级光谱线， 就会与λ２=300nm的二级光谱线在同一个方向上．
2020/11/20
2、光栅光谱仪的光学特性
（1）色散率
由光栅方程： d(s i n sin ) k
棱镜的分辨能力取 决于棱镜的几何尺寸和 材料；
棱镜的光学特性可 用色散率和分辨率来表 征；
2020/11/20
• 棱镜的色散原理
柯希公式
BC
B
nA 24.•• •A 2
n 为材料的折射率，λ—波长， A、B、C棱镜材料有关的 常数
若A. B为定值（固定棱镜）波长不同，其折射率各不相同， 波长越短，折射率越大。
此光源适于金属、合金中低含量元素的定量分析。
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（三）高压火花光源
工作原理：线路组成和工作过程与交流电弧引燃电路相似， 主要区别是：电容量更大，放电时间极短 10-7～10-8s 分析间隙电流密度大，弧温＞10000K，∴放电具有火花性质 分析性能： （1）电流密度大，温度高，激 发能力强，有利于难激发元素， 如：C、P、S、X等； （2）间歇性，电极温度低，有 利于低熔点元素；
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（一）棱镜摄谱仪 • 组成
1、照明系统 2、准光系统３、色散系统 ４、记录系统
2020/11/20
棱镜
棱镜对不同波长的光具有不同的折射率，波长长的光， 折射率小；波长短的光，折射率大。
平行光经过棱镜后按波长顺序排列成为单色光；经聚焦 后在焦面上的不同位置上成像，获得按波长展开的光谱；
k d d cos d
d
d k
d
d d cos
dl f d f k
d
d
d cos
dl
d
角色散率： dβ/dλ为反射角
对波长的变化率，即光栅的角 色散率
线色散率：具有单位波长差 的两条谱线在焦平面上分开 的距离
角色散率只与色散元件的性能有关，当β很小，且变化不大 时，cosβ ≈1，光栅的角色散率决定于光栅常数 d 和光谱级
dl f
k
d
d cos
8
cos 1
dl kf
d
d
倒线色散率 d d
dl kf
2020/11/20
(2)分辨率
光栅的分辨能力根据 Rakleigh准则来确定。
等强度的两条谱线（I，II）中，一条（II）的衍射最大 强度落在另一条的第一最小强度上时，两衍射图样中间的 光强约为中央最大的80%，在这种情况下，两谱线中央最大 距离即是光学仪器能分辨的最小距离（可分离的最小波长 间隔）；
内层Ar：载气 将试样雾化形成气溶 胶引入ICP
2020/11/20
当高频发生器接通电源后，高 频电流 I 通过感应线圈产生交变 磁场(绿色)。
开始时，管内为Ar气，不导电, 需要用高压电火花触发，使气体电 离，在高频交流电场的作用下，带 电粒子高速运动，碰撞，形成雪崩 式放电，产生等离子体气流在垂直 于磁场方向产生感应电流（涡电流 ，粉色），其电阻很小，电流很大 ，产生高温。将气体加热、电离， 在管口形成稳定的等离子体焰炬。
（二）光栅摄谱仪
2020/11/20
1、光栅的色散原理
透射光栅，反射光栅； 光栅光谱的产生是多狭缝干 涉与单狭缝衍射共同作用的结果 ，前者决定光谱出现的位置，后 者决定谱线强度分布；
2020/11/20
ABCDE表示平面光栅的一段；
光线L在AJF处同相，到达AKI平面 ，光线L2M2要比光线L1M1多通过JCK 这段距离。FEI=2JCK，其后各缝隙的 光程差将以等差级数增加，3JCK 、 4JCK等。
等离子体中包含分子、原子、离子、电子等各种粒子， 它具有电中性和导电性。
等离子体光源：将高频电能通过电感，耦合到等离子体，使 等离子体放电的一种装置。
2020/11/20
1、 ICP-AES的结构
structure of ICP-AES
1. 高频发生器和感应圈 由高频发生器产生高频
振荡电流：通过感应线圈耦 合到等离子体炬管上，产生 交变磁场。
分辨率与波长有关，长波的分辨率要比短波的分辨率小， 棱镜分离后的光谱属于非均排光谱。
2020/11/20
• 记录系统
（１）感光板与谱线黑度
t
H 0 Edt Et KIt
H 曝光量 E - 照度
谱线的黑度（S)
slog1 logi0
T
i
2020/11/20
（２）乳剂特征曲线
2020/11/20
数n ，常数，不随波长改变，均排光谱（优于棱镜之处）。 ；线色散率还与仪器的焦距有关。
2020/11/20
• (a)物镜焦距f越大,线 色散率也越大.f=1m 的光栅光谱仪,称为 一米光栅光谱仪.
• (b) 光谱级次越高,线 色散率越大,实际工 作中,习惯采用倒线 色散率表示.
• © 光栅色散率不随波 长而改变,光栅光谱 为均匀色散光谱
70年代 ICP-AES 发展迅速。
2020/11/20
等离子体光源的形成类型
等离子体焰作为发射光谱的激发光源主要的三种形式： (1)直流等离子体喷焰(direct currut plasmajet，DCP)
弧焰温度高 8000-10000K，精密度接近 ICP；
(2)电感耦合等离子体( inductively coupled plasma， ICP ) ICP的性能优越，已成为最主要的应用方式 ；
当光线M1、M2、M3到达焦点时， 如果他们沿平面波阵面AKI同相位， 他们就会产生一个明亮的光源相，只 有JCK是光线波长的整数倍时才能满 足条件。 相干原理：其光程差为波长的整数倍 时（两束光位相相同并在反射角的方 向干涉加强.
2020/11/20
光栅的特性：
如果： d =AC=CE
JC+CK=d (sinα+sinθ)=Kλ
即光栅公式：d (sinα+sinθ)=Kλ
•α、θ分别为入射角和反射角；整数K为光谱级次； d为光栅常数； α角规定取正值，如果θ角与α角在光栅法线同侧， θ角取正值，反之
区负值； • k=0 零级光谱，衍射角与波长无关，不起色散作用，即零级光谱无
分光作用。 • k≠0，反射而随波长而异，即不同波长的辐射经光栅反射后将分散在
(3) 微波感生等离子体(microwave induced plasma, MIP) 温度5000-6000K，可激发许多很难激发的非金属元素：
C、N、F、Br、Cl、C、H、O 等，可用于有机物成分分析， 测定金属元素的灵敏度不如 DCP和 ICP。
2020/11/20
等离子体：把电离度(α)大于 0.1％，其正负电荷相等的电 离气体称为等离子体(Plasma)。
激发光源 分光系统 检测系统
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二、激发光源
作用：提供使试样蒸发、解离和激发的能量，产生辐射信号。 要求：（1）提供能量足够大，以提高仪器灵敏度；
（2）元素含量变化时，谱线强度变化大， （3）要有良好的稳定性和重现性； （4）结构简单、操作方便、安全耐用、适应性强。 类型：直流电弧、低压交流电弧、高压电容火花、ICP＊。
分析性能：
（1）交变性：M、Mn+在间隙滞留时间长，激发机会多； 脉冲性：高、低频叠加，形成脉冲，瞬时弧温高；
检出限低、相对灵敏度高。
（2）交流电弧：弧焰移动困难，弧焰稳定性好，分析重现性 好，适用于定量分析。
（3）电极温度较低，蒸发温度低，绝对灵敏度比直流电弧低；
（4）瞬时电流密度大，电弧温度高（6000～8000K），适于 难激发元素。
当载气+试样,通过中间通道时,被 加热、解离、激发,产生发射光谱。
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3、ICP-AES 分析性能 feature of ICP-AES
(1)温度高，惰性气氛，原子化效率高，有利于难熔化合物 的分解和难激发元素的激发，有很高的灵敏度和稳定性；
(2)“趋肤效应”，涡电流在外表面处密度大，使表面温度高 ，轴心温度低，中心通道进样使等离子的稳定性好。也有效 消除自吸现象，线性范围宽（4～5个数量级）；
2. 等离子体炬管和供气系统 三层同心石英玻璃管
3. 试样雾化器
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2、 IC P的工作ห้องสมุดไป่ตู้理
三层同心石英玻璃 炬管置于高频感应线圈 中，Ar气从管内通过， 外层Ar:冷却气 ①冷却作用，保护石英管 ②离心作用，利于进样 ③参与放电,维持ICP工作
中层Ar：工作气 点燃并维持等离子体；
（二）低压交流电弧光源
工作原理： 工作电压：220 V、50Hz交流电。 为了维持交流电弧放电，采用高频引燃电路（Ⅰ）、低压电 弧电路（Ⅱ），通过高频变压器 L1 和 L2 耦合构成。
2020/11/20
（1）接通电源，由变压器 B1升压至2.5～3kV，电容器 C1充 电；达到一定值时，放电盘 G1击穿；G1-C1-L1 构成振荡回路，
（1）光栅的理论分辨率是多少（一级光谱）
（2）一级光谱中波长为3100.30 Å和3100.66Å的双线是 否能分开？
解：
R K N 1 6 0 0 5 0 3 1 0 4
R n N
1（ 3100.303100.66）
2
0.103
30000
Å
3 1 0 0 . 6 6 3 1 0 0 . 3 0 0 . 3 6 Å 此双线能被分开
第三节
原子发 射光谱仪器
instrument of AES
一、仪器类型与流程
types and process of AES
二、激发光源
laser source
三、光谱仪
spectrophotometer
一、仪器类型与流程
原子发射光谱仪的类型：电弧光谱仪、电火花发射光谱仪、 电感耦合等离子体光谱仪、光电光谱仪、摄谱仪等； 原子发射光谱仪构成：
(3) ICP中电子密度大，碱金属电离造成的影响小；
(4) Ar气体产生的背景干扰小； (5) 无电极放电，无电极污染； ICP焰炬外型像火焰，但不 是化学燃烧火焰，气体放电； 缺点：对非金属测定的灵敏度低，仪器昂贵，操作费用高。
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对比
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三、光谱仪（摄谱仪）
作用：将激发试样所获得的不同波长的光，色散为按波长顺 序排列的单色光。 按仪器分光系统分：棱镜摄谱仪、光栅摄谱仪、光栅光谱仪； 按接受光谱方式分：看谱法、摄谱法、光电法；
产生高频振荡；
（2）振荡电压经 B2的次级线圈升压到10kV，通过电容器C2
将电极间隙 G的空气击穿，产生高频振荡放电；
（3）当G 被击穿时，电
源的低压部分沿着已造 成的电离气体通道，通
过G进行电弧放电；
（4）在放电的短暂瞬 间，电压降低至电弧熄 灭，在下半周高频再次 点燃，重复进行；
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对于不同材料的棱镜（A. B不同），其折射率各不相同
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棱镜的特性与参数
（1）色散率
角色散率：用dθ/dλ表示，偏向角θ对波长的变化率；
d d
2sin
2
dn
1n2 sin2 d
2
棱镜的顶角越大或折射率越大，角色散率越大，分开两
条相邻谱线的能力越强，但顶角越大，反射损失也增大，通
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（3）闪跃光栅
光栅刻痕成一定的形状，使在每刻痕的小反射面与光 栅平面成一定角度，使衍射光强主最大从原来不分光的零 级主最大重合方向转移至由刻痕形状决定的反射光方向， 结果使反射光方向光谱变强，这种现象称为闪耀。辐射能 最大的波长称为闪耀波长。
2020/11/20
光栅的分辨率R
光栅的分辨率R 等于光谱级次（n）与光栅刻痕条数（N）
的乘积：
R n N
光栅越宽、单位刻痕数越多、R 越大。
宽度50mm，N=1200条/mm， 一级光谱的分辨率： R=1×50×1200=6×104
2020/11/20
例题：某光栅光谱仪，光栅刻数为600条/mm，光栅面积 5×5 cm2,试问：
常为60度角；
线色散率：用dl /dλ表示，两条相邻谱线在焦面上被分开
的距离对波长的变化率；
倒线色散率：用dλ/dl 表示，
2020/11/20
（2）分辨率
相邻两条谱线分开程度的度量：
R b dn d
： 两条相邻谱线的平均波长；△λ：两条谱线的波长差； b：棱镜的底边长度；n：棱镜介质材料的折射率。
（3）稳定性好，重现性好，自 吸小，适用定量分析；
缺点：背景大，不适合微量分析
2020/11/20
（四）电感耦合等离子体光源＊
原子发射光谱在50年代发展缓慢； 1960年，工程热物理学家 Reed ，设计了电感耦合等离子体 炬，指出可作为原子发射光谱分析中的激发光源；
光谱学家法塞尔和格伦菲尔 德用于发射光谱分析，建立了 电感耦合等离子体光谱仪 (ICP-AES);
不同位置上（对于给定的级次，衍射角随波长的增长而增大），这 就是光栅分光的依据 。 当K1λ1=K2λ2 ，就会出现谱线重叠现象，如λ1=600nm的一级光谱线， 就会与λ２=300nm的二级光谱线在同一个方向上．
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2、光栅光谱仪的光学特性
（1）色散率
由光栅方程： d(s i n sin ) k
棱镜的分辨能力取 决于棱镜的几何尺寸和 材料；
棱镜的光学特性可 用色散率和分辨率来表 征；
2020/11/20
• 棱镜的色散原理
柯希公式
BC
B
nA 24.•• •A 2
n 为材料的折射率，λ—波长， A、B、C棱镜材料有关的 常数
若A. B为定值（固定棱镜）波长不同，其折射率各不相同， 波长越短，折射率越大。
此光源适于金属、合金中低含量元素的定量分析。
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（三）高压火花光源
工作原理：线路组成和工作过程与交流电弧引燃电路相似， 主要区别是：电容量更大，放电时间极短 10-7～10-8s 分析间隙电流密度大，弧温＞10000K，∴放电具有火花性质 分析性能： （1）电流密度大，温度高，激 发能力强，有利于难激发元素， 如：C、P、S、X等； （2）间歇性，电极温度低，有 利于低熔点元素；
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（一）棱镜摄谱仪 • 组成
1、照明系统 2、准光系统３、色散系统 ４、记录系统
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棱镜
棱镜对不同波长的光具有不同的折射率，波长长的光， 折射率小；波长短的光，折射率大。
平行光经过棱镜后按波长顺序排列成为单色光；经聚焦 后在焦面上的不同位置上成像，获得按波长展开的光谱；
k d d cos d
d
d k
d
d d cos
dl f d f k
d
d
d cos
dl
d
角色散率： dβ/dλ为反射角
对波长的变化率，即光栅的角 色散率
线色散率：具有单位波长差 的两条谱线在焦平面上分开 的距离
角色散率只与色散元件的性能有关，当β很小，且变化不大 时，cosβ ≈1，光栅的角色散率决定于光栅常数 d 和光谱级
dl f
k
d
d cos
8
cos 1
dl kf
d
d
倒线色散率 d d
dl kf
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(2)分辨率
光栅的分辨能力根据 Rakleigh准则来确定。
等强度的两条谱线（I，II）中，一条（II）的衍射最大 强度落在另一条的第一最小强度上时，两衍射图样中间的 光强约为中央最大的80%，在这种情况下，两谱线中央最大 距离即是光学仪器能分辨的最小距离（可分离的最小波长 间隔）；
内层Ar：载气 将试样雾化形成气溶 胶引入ICP
2020/11/20
当高频发生器接通电源后，高 频电流 I 通过感应线圈产生交变 磁场(绿色)。
开始时，管内为Ar气，不导电, 需要用高压电火花触发，使气体电 离，在高频交流电场的作用下，带 电粒子高速运动，碰撞，形成雪崩 式放电，产生等离子体气流在垂直 于磁场方向产生感应电流（涡电流 ，粉色），其电阻很小，电流很大 ，产生高温。将气体加热、电离， 在管口形成稳定的等离子体焰炬。
（二）光栅摄谱仪
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1、光栅的色散原理
透射光栅，反射光栅； 光栅光谱的产生是多狭缝干 涉与单狭缝衍射共同作用的结果 ，前者决定光谱出现的位置，后 者决定谱线强度分布；
2020/11/20
ABCDE表示平面光栅的一段；
光线L在AJF处同相，到达AKI平面 ，光线L2M2要比光线L1M1多通过JCK 这段距离。FEI=2JCK，其后各缝隙的 光程差将以等差级数增加，3JCK 、 4JCK等。
等离子体中包含分子、原子、离子、电子等各种粒子， 它具有电中性和导电性。
等离子体光源：将高频电能通过电感，耦合到等离子体，使 等离子体放电的一种装置。
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1、 ICP-AES的结构
structure of ICP-AES
1. 高频发生器和感应圈 由高频发生器产生高频
振荡电流：通过感应线圈耦 合到等离子体炬管上，产生 交变磁场。
分辨率与波长有关，长波的分辨率要比短波的分辨率小， 棱镜分离后的光谱属于非均排光谱。
2020/11/20
• 记录系统
（１）感光板与谱线黑度
t
H 0 Edt Et KIt
H 曝光量 E - 照度
谱线的黑度（S)
slog1 logi0
T
i
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（２）乳剂特征曲线
2020/11/20
数n ，常数，不随波长改变，均排光谱（优于棱镜之处）。 ；线色散率还与仪器的焦距有关。
2020/11/20
• (a)物镜焦距f越大,线 色散率也越大.f=1m 的光栅光谱仪,称为 一米光栅光谱仪.
• (b) 光谱级次越高,线 色散率越大,实际工 作中,习惯采用倒线 色散率表示.
• © 光栅色散率不随波 长而改变,光栅光谱 为均匀色散光谱
70年代 ICP-AES 发展迅速。
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等离子体光源的形成类型
等离子体焰作为发射光谱的激发光源主要的三种形式： (1)直流等离子体喷焰(direct currut plasmajet，DCP)
弧焰温度高 8000-10000K，精密度接近 ICP；
(2)电感耦合等离子体( inductively coupled plasma， ICP ) ICP的性能优越，已成为最主要的应用方式 ；
当光线M1、M2、M3到达焦点时， 如果他们沿平面波阵面AKI同相位， 他们就会产生一个明亮的光源相，只 有JCK是光线波长的整数倍时才能满 足条件。 相干原理：其光程差为波长的整数倍 时（两束光位相相同并在反射角的方 向干涉加强.
2020/11/20
光栅的特性：
如果： d =AC=CE
JC+CK=d (sinα+sinθ)=Kλ
即光栅公式：d (sinα+sinθ)=Kλ
•α、θ分别为入射角和反射角；整数K为光谱级次； d为光栅常数； α角规定取正值，如果θ角与α角在光栅法线同侧， θ角取正值，反之
区负值； • k=0 零级光谱，衍射角与波长无关，不起色散作用，即零级光谱无
分光作用。 • k≠0，反射而随波长而异，即不同波长的辐射经光栅反射后将分散在
(3) 微波感生等离子体(microwave induced plasma, MIP) 温度5000-6000K，可激发许多很难激发的非金属元素：
C、N、F、Br、Cl、C、H、O 等，可用于有机物成分分析， 测定金属元素的灵敏度不如 DCP和 ICP。
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等离子体：把电离度(α)大于 0.1％，其正负电荷相等的电 离气体称为等离子体(Plasma)。
激发光源 分光系统 检测系统
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二、激发光源
作用：提供使试样蒸发、解离和激发的能量，产生辐射信号。 要求：（1）提供能量足够大，以提高仪器灵敏度；
（2）元素含量变化时，谱线强度变化大， （3）要有良好的稳定性和重现性； （4）结构简单、操作方便、安全耐用、适应性强。 类型：直流电弧、低压交流电弧、高压电容火花、ICP＊。
分析性能：
（1）交变性：M、Mn+在间隙滞留时间长，激发机会多； 脉冲性：高、低频叠加，形成脉冲，瞬时弧温高；
检出限低、相对灵敏度高。
（2）交流电弧：弧焰移动困难，弧焰稳定性好，分析重现性 好，适用于定量分析。
（3）电极温度较低，蒸发温度低，绝对灵敏度比直流电弧低；
（4）瞬时电流密度大，电弧温度高（6000～8000K），适于 难激发元素。
当载气+试样,通过中间通道时,被 加热、解离、激发,产生发射光谱。
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3、ICP-AES 分析性能 feature of ICP-AES
(1)温度高，惰性气氛，原子化效率高，有利于难熔化合物 的分解和难激发元素的激发，有很高的灵敏度和稳定性；
(2)“趋肤效应”，涡电流在外表面处密度大，使表面温度高 ，轴心温度低，中心通道进样使等离子的稳定性好。也有效 消除自吸现象，线性范围宽（4～5个数量级）；
2. 等离子体炬管和供气系统 三层同心石英玻璃管
3. 试样雾化器
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2、 IC P的工作ห้องสมุดไป่ตู้理
三层同心石英玻璃 炬管置于高频感应线圈 中，Ar气从管内通过， 外层Ar:冷却气 ①冷却作用，保护石英管 ②离心作用，利于进样 ③参与放电,维持ICP工作
中层Ar：工作气 点燃并维持等离子体；