浅谈电子洁净厂房中的新风系统设计
电子车间净化工程装修方案
电子车间净化工程装修方案一、项目背景电子车间是电子产品制造过程中非常重要的一个环节，它在生产过程中需要保持环境的洁净度和无尘状态，以确保产品的质量和可靠性。
为了满足这一需求，净化工程装修成为电子车间建设中不可或缺的一部分。
本文将围绕电子车间净化工程装修的各个方面，提出完善的装修方案。
二、净化等级要求根据电子产品制造行业的特点，电子车间的净化等级通常要求达到普通净化或超净化级别。
普通净化要求室内空气中的颗粒物浓度控制在一定的范围内，而超净化要求则更加严格，要求室内空气中的颗粒物浓度几乎为零。
三、空调系统设计1. 为了满足电子车间的净化要求，需要设计高效的空调系统。
该系统应该具有良好的过滤和排风功能，以净化室内环境，保证室内空气的洁净度。
2. 空调系统的布局应该合理，并且要有备用系统，以备系统出现故障时能够快速响应并保证车间生产的正常进行。
3. 考虑到电子产品制造过程中产生的热量，空调系统的设计应该具有良好的散热和降温功能，以确保车间内温度的稳定。
四、地面和墙面装修1. 电子车间的地面和墙面装修应该选用防尘、耐腐蚀、易清洗的材料，以方便车间的日常清洁和维护。
2. 在地面和墙面装修中，应该考虑使用防静电材料，以防止静电对电子产品的影响。
3. 同时，地面和墙面的颜色应该选择浅色系为主，以减少尘埃的显著度，从而清洁工作更加方便。
五、过滤设备的安装1. 在车间内需要安装合适的过滤设备，以过滤和清洁室内空气。
这些过滤设备应该能够有效地去除室内空气中的颗粒物和细菌等。
2. 过滤设备的选择应该能够满足车间的净化等级要求，根据需要选择不同级别的过滤器。
六、照明系统设计1. 电子车间的照明系统应该具有良好的亮度和均匀性，以确保工作人员在操作过程中能够清晰地看清细节，提高生产效率。
2. 同时，照明系统的设计应该避免出现闪烁和眩光，以减少对工作人员的不良影响。
3. 考虑到电子产品对光线的敏感性，照明系统的设计应该避免紫外线和红外线的辐射。
厂房新风系统技术方案
厂房新风系统技术方案1. 简介厂房是工业生产的重要场所，为了提高生产效率和员工工作环境的舒适性，厂房需要安装新风系统。
本文将介绍一种适用于厂房的新风系统技术方案。
2. 方案概述厂房新风系统的目标是将室外新鲜空气引入厂房内部，同时排出污浊空气，以维持良好的空气质量和舒适的工作环境。
本方案采用集中式通风系统，配备风机、空气处理设备、送风管道和排风口等关键组件。
3. 技术流程3.1 室外新鲜空气引入系统通过室外风机将新鲜空气引入厂房内部。
风机应根据厂房的面积和通风需求确定，通常选用容量较大的风机以确保充足的空气供应。
3.2 空气处理引入厂房的新鲜空气需要经过空气处理设备进行过滤和调湿处理。
空气处理设备通常包括过滤器、加湿器和除湿器等。
过滤器能够去除空气中的颗粒物和污染物，确保供应给厂房的空气清洁；加湿器和除湿器能够调节空气的湿度，以适应不同季节和工艺的需求。
3.3 气流分布为了确保空气能够均匀分布到各个区域，需要设计合理的送风管道和排风口布局。
送风管道应从空气处理设备出口引出，经过合理的分支和弯曲，将风量均匀导入各个房间和工作区域。
同时，在厂房的不同区域设置排风口，将污浊空气排出室外。
4. 技术要点4.1 风机选择根据厂房的面积和人员密度确定风机的容量，以保证充足的新风供应。
同时，应选择能够满足厂房噪音要求的低噪音风机。
4.2 空气处理设备选择选择能够满足厂房空气质量要求的空气处理设备，例如高效过滤器、湿度调节器等。
对于特殊行业或有特殊要求的厂房，还需要考虑空气净化等附加功能。
4.3 送风管道布局合理设计送风管道的布局，根据厂房的结构特点和工作区域的需求确定管道的走向和分支，确保风量能够均匀分布到各个房间和工作区域。
4.4 排风口设置在厂房的不同区域设置合适的排风口，根据空气流动特点和情况确定排风口的位置和数量，以实现污浊空气的有效排出。
5. 功能优势•提供新鲜空气供给，改善厂房的空气质量。
•调节室内空气湿度，适应不同季节和工艺的需求。
机房新风系统设计方案(四)
机房新风系统设计方案一、实施背景随着信息技术的快速发展，机房作为数据存储和处理的核心场所，其运行稳定性和安全性对整个企业的运营至关重要。
机房内部设备产生大量的热量和湿度，如果不及时处理，会导致设备故障和性能下降。
为了保障机房的正常运行，提高设备的使用寿命和稳定性，需要设计一套新风系统来解决机房内部的温度和湿度问题。
二、工作原理新风系统通过引入新鲜空气，将机房内部的热量和湿度排出，从而保持机房内的温度和湿度在一个合适的范围内。
系统由新风机、风管、过滤器、空调设备等组成。
新风机将新鲜空气吸入系统，经过过滤器过滤后，通过风管输送到机房内部。
同时，系统会将机房内部的热量和湿度排出，保持机房内部的环境稳定。
三、实施计划步骤1.需求分析：了解机房的实际需求，包括温度和湿度的要求，以及机房的面积和设备数量等。
2.设计方案：根据需求分析结果，设计合适的新风系统方案，包括新风机的选择、风管的布置、过滤器的选型等。
3.设备采购：根据设计方案，采购所需的新风机、风管、过滤器、空调设备等。
4.安装调试：将新风系统的各个组件进行安装和调试，确保系统正常运行。
5.运行监测：对新风系统进行运行监测，包括温度和湿度的监测，以及系统的运行状态监测。
6.维护管理：定期对新风系统进行维护和管理，包括清洁过滤器、检查风管是否有损坏等。
四、适用范围该新风系统适用于各种规模的机房，包括企业机房、数据中心、服务器机房等。
根据实际需求，可以进行相应的调整和改进。
五、创新要点1.新风系统采用高效过滤器，可以有效过滤空气中的颗粒物和污染物，提供洁净的新鲜空气。
2.新风系统采用智能控制技术，可以根据机房的实际情况进行自动调节，提高系统的运行效率。
3.新风系统采用节能设计，通过合理的风管布局和空调设备的选择，减少能源消耗，降低运行成本。
六、预期效果1.提供稳定的温度和湿度环境，保障机房设备的正常运行。
2.提高设备的使用寿命和稳定性，减少故障发生的概率。
洁净室新风系统工作原理
洁净室新风系统工作原理一、引言洁净室是一种具有特殊空气洁净度要求的工作环境，它在许多行业中都起着重要的作用，如医药、电子、食品等。
而洁净室的工作原理主要依赖于新风系统的运作。
本文将详细介绍洁净室新风系统的工作原理。
二、洁净室新风系统的组成洁净室新风系统主要由送风机组、初效过滤器、中效过滤器、高效过滤器、风管系统、调节阀和排风系统等组成。
其中，过滤器是洁净室新风系统的核心部件，负责过滤空气中的颗粒物和微生物，确保洁净室内的空气质量。
三、工作原理1. 空气净化洁净室新风系统首先将室外空气经过初效过滤器进行过滤，去除大颗粒物和灰尘等杂质。
然后，空气经过中效过滤器和高效过滤器进一步净化，去除微小颗粒物和微生物。
最后，净化后的空气通过风管系统送入洁净室内，保证室内空气的洁净度。
2. 温湿度调节洁净室新风系统还需对空气进行温湿度调节，以满足洁净室内的工作环境要求。
系统通过送风机组将室外空气吸入，并经过空气处理设备进行加热或降温。
同时，系统还通过湿帘等装置进行加湿或除湿处理，确保室内空气的温湿度达到要求。
3. 风速调节洁净室新风系统需要根据洁净室的使用情况和要求，调节送风风速。
通过调节送风机组的转速、风管系统的阻力以及调节阀的开度等方式，控制送入洁净室的空气流量和风速。
这样可以确保洁净室内的空气流动均匀，并达到所需的风速要求。
4. 负压控制洁净室新风系统还需要控制洁净室与其周围环境之间的压差，保持洁净室的负压状态。
通过排风系统将洁净室内的空气排出，使室内的空气压力低于周围环境，防止外界空气污染物进入洁净室。
四、总结洁净室新风系统通过空气净化、温湿度调节、风速调节和负压控制等工作原理，确保洁净室内的空气质量达到要求。
这些工作原理的协同作用使得洁净室能够提供一个洁净、稳定、舒适的工作环境，满足各行业对洁净度要求越来越高的需求。
洁净室新风系统的工作原理的理解和应用对于洁净室的设计、建设和运营都具有重要意义。
电子厂房洁净工程方案
电子厂房洁净工程方案引言随着科技的不断发展，电子产品在我们生活中所占的比重越来越大。
而电子产品的生产离不开一个洁净的生产环境。
因此，洁净工程对于电子厂房来说是非常重要的一部分。
本文将围绕电子厂房洁净工程展开详细的方案设计和实施计划。
一、洁净工程概述洁净工程是指通过不同的技术手段，将环境中的污染物尽量降低到较低水平的工程。
在电子厂房中，洁净工程的主要目的是防止外部污染物的进入，保证生产环境的洁净度，提高生产效率和产品质量。
在实际应用中，洁净工程主要包括空调系统、洁净室、过滤器、洁净设备等。
二、洁净工程设计原则1.符合相关标准规定：洁净工程的设计应符合国家相关标准和规定，保证生产环境的洁净度和安全性。
2.合理布局：根据生产流程和工艺要求，合理布局洁净室和洁净设备，保证生产流畅不受影响。
3.选材节能：选择符合洁净环境要求的建筑材料和设备，提高能源利用效率。
4.可维护性：洁净设备应容易维护和清洁，保证设备正常运转。
5.系统集成：各洁净设备之间应根据工艺要求进行集成，保证整个洁净工程系统的协调运行。
三、洁净工程方案设计1.洁净室设计（1）洁净室分类：根据生产需求和洁净度要求，电子厂房的洁净室可以分为一级、二级、三级和其他级别。
（2）洁净室布局：根据生产流程和工艺要求，合理设置洁净室的位置和大小，保证生产流畅。
（3）洁净室装修：使用符合洁净环境标准的建筑材料，进行合理的装修设计，保证洁净室的洁净度和安全性。
2.空调系统设计（1）空调系统选型：根据洁净室的面积和洁净度要求，选择适合的空调设备，保证室内空气的洁净度和温湿度稳定。
（2）空调系统布局：合理设置空调设备的位置和数量，进行合理布局，保证整个厂房内的空气流通和循环。
（3）空调系统调节：对空调系统进行定期调节和维护，保持系统的高效运行，保证洁净室内空气的洁净度和稳定性。
3.过滤器设计（1）过滤器选择：根据生产环境和洁净度要求，选择适合的过滤器类型和规格，保证室内空气中的微粒物质得到有效过滤。
净化车间原理的新风和排风
净化车间原理的新风和排风净化车间的新风和排风是非常重要的部分，对于保持车间内空气质量起着核心作用。
下面我将详细介绍净化车间新风和排风的工作原理。
一、净化车间新风的工作原理净化车间的新风系统是通过新风机将新鲜空气引入车间，以替换原有车间内的污浊空气，从而保持车间内的空气质量。
新风系统的工作原理如下：1. 新风机引入新鲜空气：新风机采用机械通风的原理，通过设置外墙或屋顶上的进气口，将新鲜空气吸入车间。
通常情况下，新风机还带有过滤装置，可以对空气中的灰尘、颗粒物等进行过滤，确保引入车间内的空气质量。
2. 新风送风至车间：新风机将新鲜空气经过管道输送至车间各个区域。
为了保证新风的均匀分布，通常需要在管道上设置调节装置，如阀门、调节风门等，以调整送风量和风速。
3. 新风混合循环：为了满足车间内的温度要求，在送风过程中，新风通常还需要与车间内的室内空气进行混合。
这样可以避免新风直接进入车间带来的温度变化过大，影响生产过程或者造成能源浪费。
混合循环可以通过设置回风装置来实现，将部分车间内的空气回收再利用。
4. 实时监测和控制：为了保证新风系统的正常运行以及车间内的空气质量，通常需要设置空气质量监测仪器，可以实时监测空气中的各项指标，如PM2.5浓度、CO2含量等。
同时，还需要设置相应的控制系统，根据监测结果对新风系统进行自动调节，保持车间内的空气质量在合理范围内。
二、净化车间排风的工作原理净化车间排风系统是通过排风机将车间内的污浊空气排出，以确保车间内的空气质量。
排风系统的工作原理如下：1. 车间内的污浊空气收集：车间内的污浊空气通常通过安装在天花板或者墙壁上的吸风口收集。
这些吸风口通常需要设置在车间内的污染源附近，以便迅速收集到产生的污浊空气。
2. 污染空气经过管道输送：污染空气通过管道输送至排风机所在的排风管道。
为了满足车间内不同区域的排风需求，通常会设置多条排风管道，以便将污染空气从各个区域都排出。
3. 排风机排出污染空气：排风机是排风系统的核心部分，它通过旋转的风叶将污染空气排出车间，并排放到室外。
浅谈电子洁净厂房中的新风系统设计
浅谈电子洁净厂房中的新风系统设计摘要：本文以电子洁净厂房为例，对洁净厂房新风系统中新风量的计算原理和方法进行了系统的分析，并利用空气焓湿图对空气处理的整个流程进行了分析，并对典型的新风系统处理单元的运行和控制方式进行了介绍，这对于同类电子洁净厂房的新风单元的功能段选择和单元的控制具有重要的借鉴意义。
关键词：洁净厂房；新风；空气处理1引言最近几年，我国一直在大力扶持和发展半导体技术，与此同时，我国也在不断地发展着与半导体产品相关的洁净工厂，并且建造的洁净工厂的规模和室内的洁净程度也在不断地提高，而某些生产和制造设备在工艺过程中，必然会产生污染的空气或尾气，在排放尾气的过程中，要保持洁净厂房的正压环境，本文并结合该工程实例，对该工程的新风系统的设计与运行进行了详细的分析。
2新风量的确定根据GB50073 （《洁净厂房设计规范》）和GB50472 （《电子工业洁净厂房设计规范》），可以看出，洁净厂房的新风量 Gs的取值，可以从以下两个方面来考虑：（1）洁净厂房的新风量Gs是用于对洁净厂房的工艺排风量 Gp的补充和维持洁净厂房的正压所需的风量 Gz的叠加值，也就是 Gs= Gp+ Gz。
(2)同时，在洁净车间中，还应保证新风流量，新风流量 Gr，每个人的新风流量不得小于40立方米/小时，Gr= N×40，其中 N为洁净车间中工人的数量。
首先，在设计阶段，由制造流程根据设备的运转情况，对洁净厂房内部的工艺排气（包括酸、碱和挥发性有机物排气）进行了设定，并通过换气率和缝隙率两种方法，其中，换气率的计算值依据《全国民用建筑工程设计技术措施/暖通空调·动力》（2003）中的表格3.3.13，缝隙率的计算值依据《全国民用建筑工程设计技术措施/暖通空调·动力》（2009）中的表格5.4.17，进行了设定。
在进行了具体的计算之后，将（1）、（2）两种情况下的计算得到的 Gs、 Gr中的最大值，作为洁净厂房的新风量 G。
电子洁净厂房空调系统设计
电子洁净厂房空调系统设计摘要：通过介绍某电子洁净厂房净化空调系统设计，阐述了电子洁净厂房空调设计的主要系统，介绍了洁净室新风空调箱的控制原理，并总结出实际工程设计中应注意的问题，并提出此类设计对日后施工、运行和管理的要求。
关键词：电子洁净厂房净化空调新风空调机组干盘管1.工程概况本电子洁净厂房净化空调系统设计为某光工厂研发生产项目，工程建设地点位于湖北省武汉市，丙类，77905.86m2，层数：-1/3，建筑高度29.75m，地面建筑共分三层：地下一层为水泵提升站，一层为辅助动力区、下夹层区，二层为洁净生产区、MOCVD区、辅助动力区+辅助办公区，三层为洁净钢屋架层、洁净预留区。
本文主要介绍二层洁净生产区的净化车间的空调系统设计。
具体平面布置图详见以下附图1：图1 二层洁净生产区平面布置图2.工程设计参数按工艺生产要求及工艺专业提供的设计条件，并按照GB50073-2013《洁净厂房设计规范》及GB50472-2008《电子工业洁净厂房设计规范》的要求，净化车间室内设计参数如下表1：表1 通风设备设计参数表3.净化空调系统设计3.1 冷热源系统本项目生产区净化空调冷源采用6℃/12℃低温冷冻水及13℃/19℃中温冷冻水，由动力站房供给；热源采用38℃/28℃中温热水及80℃/60℃高温热水，接自动力站房。
3.2 洁净室空气循环系统电子洁净厂房中，工艺设备散热量大，造成空调冷负荷较大，并且按照设计规范要求，洁净等级较高的区域或房间换气次数高达50~60 次[1]。
为满足负荷和换气次数的要求，必须保证足够的送风量，而送风量的加大又使净化空调机组、风机及风管的尺寸的偏大，加之吊顶上空间的限制，给设计和施工带来了很多困难。
“新风处理机组（MAU）+ 风机过滤单元（FFU）+ 干盘管（DCC）” [2]的空调形式是电子净化厂房空调设计中经常采用的一种空调系统。
在该系统中，MAU 处理新风负荷：夏季冷却新风并除湿，冬季加热新风并加湿；DCC 处理室内负荷，一般为全年供冷；FFU 用来循环空气从而达到洁净度要求的换气量。
电子厂房净化暖通工程方案
电子厂房净化暖通工程方案一、前言电子厂房是生产电子产品的车间，为了保证电子产品的生产质量和员工的健康，必须进行厂房的净化和暖通工程。
本文将针对电子厂房净化暖通工程展开详细的方案设计，讨论在厂房内使用的空气净化设备、空调系统和供暖系统。
二、厂房净化方案1. 空气过滤设备电子厂房需要在生产过程中排除空气中的尘埃和微粒物质，以保证产品的生产质量。
因此，在厂房内需要安装空气过滤设备，以保证空气的净化效果。
建议采用高效过滤器，包括初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器，以确保过滤效果和长期的使用寿命。
2. 净化空调系统在电子厂房内，空调系统必须具备较高的空气净化效果，能够有效消除空气中的有害气体和微粒物质。
建议采用带有多重过滤功能的净化空调系统，能够有效过滤空气中的灰尘、细菌和病毒，并保持室内空气的清洁和新鲜。
3. 净化通风系统为了保持厂房内的空气质量，需要安装净化通风系统，对室内空气进行循环和净化。
建议采用静电净化器和臭氧发生器等设备，能够有效杀灭空气中的细菌和病毒，保持空气的清新和卫生。
4. 定时清洁工作为了保证空气净化设备和系统的长期有效运行，需要定时对设备进行清洁和维护。
定期更换过滤器，清洁空气管道和通风口，以确保设备的正常工作和净化效果。
5. 室内净化环境监控为了保证室内空气的净化效果和员工的健康，需要进行室内净化环境监控。
通过安装空气质量检测仪器和监控系统，监测室内空气中的有害气体和微粒物质的浓度，及时发现和处理问题，并确保室内空气的净化质量。
三、厂房暖通方案1. 供暖系统选择电子厂房的供暖系统需要保证室内温度的舒适性，为了达到这一目的，需要选择合适的供暖设备。
建议采用热水供暖或地暖系统，能够提供均匀的供暖效果，不仅能够满足厂房内的供暖需求，还能够提高供暖效率。
2. 供暖管道设计在电子厂房内，为了保持供暖效果和节能，需要合理设计供暖管道。
建议采用优质的保温材料，安装在供暖管道上，减少热量的散失，并能够节约能源，提高供暖效益。
洁净车间装修公司排风系统
净化厂房中的排风设计主要内容：在工业厂房特别是制药类厂房的设计中，都是采用大空间加隔断的方法来将大跨度的厂房划分成若干功能间，同时为了防止室外的空气污染室内的环境，较多的采用了相对密闭的房间设置，特别是在有净化级别要求的厂房的设计中。
这样对于大部分的房间都会出现设备的热湿无法及时排出的现象，这样对于设置排风系统就是相当必要的。
排风系统的分类：在药品生产用洁净室中，常常在产品生产过程中使用或生产各种酸性和碱性物质、有机溶剂和一般气体、特种气体；在致敏性药物、某些甾体药物、高活性、有毒性药物生产过程还会有相应的有害物质排出或泄露入洁净室内，为此对于上述产品用洁净室内可能排出各种有害物质、气体或粉尘的生产工艺设备或工序设置局部排风装置或全室排风装置，按生产工艺过程排出的废气的类型可将排风系统大体划分为下列几种类型。
1一般排风系统：生产辅助用室、生活用室等排出的一般废气，一般不需要处理直接排入大气。
2有机气体排风系统：在生产中使用各类有机物质作为原辅材料时，将会在相关场所或设备处散发有机物质的气体，对于这类场所或设备均应设置排风装置。
排风系统中的有机气体要进行相应的处理，再排入大气。
3酸性气体排风系统：在产品生产中时有酸性气体排出，在这类排风系统通常设置湿式洗气吸收塔，处理后排入大气。
4 碱性气体排风系统：在产品生产中时有碱性气体排出，在这类排风系统通常设置湿式洗气吸收塔，处理后排入大气。
5 热气体排风系统：对生产过程中的各种炉子、高温灭菌设备等均有热气排出，由于排气温度较高，有时可采用热回收等方式进行处理，若排气量较小或不便进行处理时，在采取必要的隔热措施后直接排入大气。
6含粉尘的排风系统：不同的生产工艺过程中，排气中的粉尘性质、浓度均不同。
对于某些含尘浓度很高时，则要使用除尘设备对排气进行过滤，满足要求后排入大气。
7特殊气体排气系统：对于产生特殊气体（属于易燃易爆或有毒甚至剧毒或有腐蚀性的气体）要防止排气系统中产生化学反应，要划分排气系统，选用专用的废气处理装置，达到排放标准后排入大气。
电子洁净厂房的空调系统设计
２ ． ２ ． ２空调 形 式
１ ） １ ０ ０ 级净 化 间 采用 Ｆ Ｆ Ｕ 送 风 单 元送 风 垂 直 层 流 ，穿 孔 高 架 地 板 回 风 。 Ｆ Ｆ Ｕ 送风 单元 额 定风 量 为８ ４ ８ ． ５ ｍ Ｖ ｈ ， 超 高效 过 滤器 效 率 为９ ９ ． ９ ９ ９ ％（ ＼ ０ ． １ “ｍ） ， 满 布 率 为９ ０ ％， 净 化 间的 总送 风 量 为３ ７ ２ ０ ０ ｍ ３ ／ ｈ ， 折 合换 气 次数 为 ３ ７ ０ ０ Ｕｄ ＂ 时，
布高效送风 口１ ６ １ 个， 每只风 口额定风量为１ ４ ０ ０ ｍ Ｖ ｈ ， 净化间换气次数为３ ０ 次／
小时 ， 总送 风量 为 ２ ２ ５ ４ ０ ０ ｍ３ ／ ｈ ， 回风 ｔ ￣４ ｏ ５ － ， 共设 空 调机 组 ｌ ５ 台。
２ ． ２ ． ３空 气处理 过 程
２ 系统 设计
２ ） 循 环风 处理
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２ ６ ． ７
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净 化 问 内人员 的 操作 是产 尘 的主 要原 因 ， 除一 部 分尘 粒 由真 空 吸尘 系 统
２ １室 内主要 功 能 区域的 分布 及设 计 参数 功 能 区域分 布 如 图１ 所示 ， 室内 主要 设计 参数 见 表 １ 。
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竣
１ ） 新 风 的处 理
净 化间 新风 由净 化 新风 机组 集 中处 理 ， 夏 季首 先 室 外新 风 通过 新 风 入 口 处 的无 纺 布初 效 过滤 器 滤 除大 颗 粒尘 粒 ， 经 纯净 水 喷 淋 室 除尘 ， 由离 心 式通
电子工业洁净厂房净化空调系统设计
电子工业洁净厂房净化空调系统设计摘要：近年来，国内大力支持和发展半导体技术，而半导体产品生产所需要的洁净厂房在国内同步地得到发展，洁净厂房兴建的规模和室内的洁净等级越来越高，而一些生产制造设备在工艺制程中，不可避免地产生污浊的空气或者废气的排放，在排放废气的同时，为了维持洁净厂房的正压环境，则需要向厂房内不断输送新鲜的室外空气，用以弥补因废气排放导致的洁净厂房正压失衡。
关键词：电子工业；洁净厂房；净化空调；系统设计1溶液空调系统与传统空调的对比溶液空调与水冷式、风冷式传统空调相比，其优点尤为明显。
从系统构成来看，传统空调需要设置的设备较为复杂，如水冷式空调包括冷水机组、冷却水系统、冷冻水系统、蒸汽锅炉净化空调箱等；风冷式空调系统由风冷热泵、冷冻水系统、净化空调箱和排风机组成，这两种传统空调在运行管理中不够灵活，对分区控制的实现十分不利。
溶液空调机组自带热泵系统，在独立运行中可以实现冷却、除湿、加热、加湿等功能，对分区控制、独立启停等运行管理十分有利，并能达到很好的节能效果。
同时，传统空调除湿效果不佳，其原理主要为冷凝除湿，除湿后相对湿度达90%～95%，不能满足实验动物环境对空调系统所需送风相对湿度的要求，需要电或蒸汽加热对冷凝除湿，再热则会因冷热抵消使空调能耗加大。
溶液空调则是利用溶液特性，通过调节溶液浓度来控制相对湿度，符合实验动物环境要求，并能避免系统过度冷却后再热的能源消耗。
此外，传统空调系统如用在实验动物室采用全新风系统会增加交叉污染的风险，通常不设置全热回收装置，因此会产生巨大的新风能耗；溶液空调系统新风和排风不是直接接触，溶液具有杀菌功能，可设置全热回收能量，避免交叉污染，使新风处理能耗大大降低。
在最初投资和运行成本上，传统空调投资成本较低，运行成本较高；溶液空调在最初投资上会有较高成本，但由于其运行成本低，一般可在三年后收回成本。
2洁净厂房正压控制在厂房内，洁净环境与非洁净环境之间必须维持一定的正压值，相邻的不同级别的洁净厂房之间也需要维持一定的正压梯度，设计规范中明确规定，相邻的洁净区与非洁净区，以及级别不同的洁净厂房压差数值不小于5Pa，同样洁净区与室外环境的压差数值也不应小于10Pa。
某电子半导体洁净厂房空调系统设计简介
某电子半导体洁净厂房空调系统设计简介摘要：介绍某电子洁净厂房净化空调系统的设计，阐述了净化空调系统的形式及净化空调系统的控制原理。
关键词：电子洁净厂房净化空调设计自动控制1.概况本项目电子洁净厂房主要生产工艺为半导体产品的封装后测试。
生产厂房为地上三层（局部设夹层）为丙类二项多层厂房，建筑面积约43643.44平米，建筑高度约23.09米。
生产工艺段为一层上芯、压焊、塑封，二层晶圆库、切筋打印、锡化，三层测试及各生产辅助用房等组成。
随着半导体产业的发展，相关产品对半导体产品生产环境的要求也越来越高，半导体生产厂房的洁净度和洁净系统的运行状态对产品品质及通过率有着至关重要的影响。
因此洁净厂房空调系统的设计就显得尤为关键。
1.室内外设计计算参数2.1室外计算参数夏季：空调干球温度：30.8℃；湿球温度：21.8℃；通风干球温度：26.9℃；冬季：空调干球温度：-5.7℃；相对湿度：62%；通风干球温度：-2.0℃；2.2室内设计参数主要房间室内设计参数：上芯/晶圆库/减划/压焊：温度（23±1）℃；相对湿度（50±5）％；洁净度1K；正压值20Pa；塑封/锡化/测试：温度（23±1）℃；相对湿度（50±5）％；洁净度10K；正压值15Pa；1.净化空调系统设计3.1冷热源系统本项目空调系统低温冷媒为7~12°C冷水，中温冷媒为13~18°C冷水，热媒为45~40°C热水。
热、冷水、中温水系统供水压力为0.7MPa，空调加湿采用0.2MPa蒸汽。
冷水、热水、中温水均接自厂区原有动力站房管网。
3.2净化空调系统电子洁净厂房最大的特点是热湿比大（热负荷极大、而散湿量小）、回风量大、大面积的净化区域。
要达到净化要求房间的换气次数则高达50~60次/h，为满足负荷和换气次数要求必须保证足够的送风量。
设计采用“新风处理机组（MAU）+ 风机过滤单元（FFU）+ 干盘管（DC）”的空调形式，这也是电子净化厂房中常用的一种空调系统。
电子洁净厂房建设设计方案
电子洁净厂房建设设计方案1. 引言本文档旨在提供一份关于电子洁净厂房建设设计方案的综合性指南。
电子洁净厂房是为了满足电子行业对洁净环境的要求而设计的专用场所，以确保在制造和处理电子产品时的高度洁净和无尘环境。
本方案将详细介绍电子洁净厂房的必要性、设计原则、空气处理系统、洁净室分类和布局等关键要点。
2. 电子洁净厂房的必要性电子洁净厂房在电子行业中的应用越来越广泛，原因如下：- 确保电子产品制造和处理中的高质量和可靠性；- 防止灰尘和污染物对电子产品的损害；- 降低产品制造过程中的次品率；- 提高产品的性能和寿命。
3. 设计原则在设计电子洁净厂房时，应遵循以下原则：- 最小化外部环境对洁净室的影响；- 构建合适的空气处理系统以维持洁净室的洁净度；- 合理选择洁净室的材料和设备；- 优化洁净室的空间布局。
4. 空气处理系统电子洁净厂房的空气处理系统是保持洁净度的关键。
以下是一个典型的空气处理系统的组成部分：- 高效过滤器：用于过滤空气中的颗粒物；- 风机和风道：用于循环和分配洁净空气；- 温湿度控制系统：维持洁净室的恒温恒湿；- 排风系统：排除洁净室内产生的污染物。
5. 洁净室分类和布局根据对洁净度要求的不同，洁净室可以分为多个等级。
洁净室的布局应根据工艺流程和设备要求来进行规划，以最大程度地提高生产效率和洁净度。
以下是常见的洁净室布局类型：- 直线流洁净室布局：适用于工艺流程简单、生产线直线排布的场景；- U型流洁净室布局：适用于中等复杂度的工艺流程，以U字形布局提高生产效率；- 列流洁净室布局：适用于对生产线的高洁净度要求，要求空气流向保持直线排布。
结论电子洁净厂房的建设设计是确保电子产品质量和可靠性的重要环节。
通过遵循设计原则、合理构建空气处理系统、精心规划洁净室布局，可以实现洁净环境下的高效电子产品制造和处理。
本文档提供了一个综合性的建设设计方案指南，可供参考和实施。
电子洁净车间空调通风现状
浅谈电子洁净厂房空调通风与净化系统现状1 前言随着中国经济的发展，电子产品的生产步伐加快，伴随着大规模的电子洁净厂房的建设项目也日益增加。
另一方面，电子产品自身的生产技术也在加速升级换代，如集成电路生产基本以2-3年的时间或更短的时间段就会提升一代，以TFT-LCD为代表的显示器生产工艺以正在快速取代传统上彩色显像管为主导的生产工艺[1]。
在如此快速的产品升级换代中，对加工环境的要求也日益严格，生产车间呈现出较高的洁净度要求，因此，对于电子生产车间的室内环境保障工作的重要性日益突出。
此外，为保障车间良好的空气环境，通常需要较大的空调制冷量、通风量以及采用多级的净化过滤器，在该保障过程中往往存在着很多的耗能环节，这极大的增加了电子产品的生产成本，对国家的节能减排工作也造成了较大的负担。
本文将对目前电子洁净厂房的现有空调通风系统、净化系统形式进行介绍，对其中存在的问题进行分析，并进一步提出几点可能改善提高的建议。
2 电子洁净厂房空调系统现状及问题2.1 厂房内的空气参数要求由于电子洁净厂房属于工艺生产车间，其保障的对象首先是工艺流程，其次才是室内的工作人员，因此为保障工艺需求，往往空气参数要求很高。
表1列举了不同功能的车间内部的温湿度要求。
表1 电子洁净厂房的温湿度要求温度（℃）相对湿度（%）房间类别冬季夏季冬季夏季生产工艺有要求的洁净室按具体生产工艺要求确定生产工艺无要求的洁净室≤22~24 30~50 40~70人员净化及生活用室~18 ~28在洁净度的保障方面，依据不同的生产工艺流程，洁净度的要求并不相同。
电子生产有不同的产品分类，如集成电路、集成电路、TFT-LCD薄膜晶体管液晶显示器、半导体加工、光纤生产、制片业、贴片业、印刷电路板、光电子生产、微硬盘驱动器生产（HDD）、等离子显示器生产（PDP）、磁头和磁带生产等。
表2列举了目前一些有代表性的工艺流程的洁净度等级要求，通过该表，可以看到不同工艺具有不同的洁净度要求，因此对于实际空间保障时，应采取不同的送风方案来实现不同的洁净度保障。
洁净室新风集中处理系统
洁净室新风集中处理系统洁净厂房集中新风处理系统2015-07-14张逸翔暖通南社系统概述OAC是洁净厂房的集中新风处理的系统，也叫新风处理装置；欧美叫做MAU:Make-upair unit新风机组；日本叫做OAC：outdoorair conditioner外气处理机组。
一般有3个作用：1、去除室外空气中的灰尘颗粒和有毒有害气状物。
2、对送入洁净室的新风进行集中处理，以达到FAB所需的具有一定温湿度和洁净度的补充空气－－洁净室的湿度一般就是由MAU来控制。
3、根据室内正压压差计控制送入一定量的新风，以维持洁净厂房的正压值。
某项目OAC布局图OAC处理外气流程概述外界新风→无纺布→初效过滤器→中效过滤器→预热/冷处理（冬季工况下要求水喷淋前温度达到18℃→水喷淋将新风温度降至12.7度，湿度为100%RH）→再冷/热处理（将送风温度调节至22℃，湿度为45%RH）→化学过滤器→高效过滤器→送至洁净室回风夹道上方。
夏季OAC设计外气入口工况为夏季：39℃ DB、31.8℃ WB，处理流程如下：1.经过预处理段和水喷淋将较热的新风处理为22℃、100%RH。
2.根据出风温湿度设定值22℃、45%，此时露点温度为10.3℃、100%，所以经过再冷盘管后，将新风温度降为10.3℃（100%）。
3.经过再热盘管，将出风温度升至22℃。
冬季OAC设计外气入口工况为夏季：-10℃ DB, -20℃ DP，处理流程如下：1.经过预处理段将较冷较干的新风升温至18℃。
2.经过水喷淋段将新风处理为12.7℃、100%RH，利用水喷淋送水温度，减小了再冷盘管除湿时的负荷，根据水喷淋段的换热效率，设计预处理段19℃，经过水喷淋的热交换，使其喷淋后温度控制在12.7℃。
3.经过再冷盘管将送风温度降至OAC送风露点温度10.3℃、100%。
4.经过再热盘管，将出风温度升至22℃。
新风空调系统及其组成新风空调的组成1.初效过滤器、中效过滤器、化学过滤器、超高效过滤器。
电子洁净厂房中暖通空调的设计探讨
电子洁净厂房中暖通空调的设计探讨摘要：本文主要简单介绍了加强电子洁净厂房暖通空调设计的必要性，通过分析电子洁净厂房对选址及平面布置的要求，来探讨电子洁净厂房中暖通专业设计的要求，基于实例来进行研究和讨论，以便于加强对电子洁净厂房中暖通空调设计的研究，不断地创新暖通空调设计，满足电子洁净厂房建设的需求，完善电子洁净厂房暖通空调系统，从而提高电子洁净厂房暖通空调设计水平。
关键词：电子洁净厂房；暖通空调；设计要求；自控控制近年来，随着我国社会经济的高速发展，电子工业也随之蓬勃发展，取得了不错的成绩，受到人们的广泛关注，其对生产环境的要求逐渐增高，促使洁净室设计技术快速发展，这也对电子洁净室环境质量提出了更高的要求，需要提升洁净室设计水平。
在电子洁净厂房设计过程中，暖通空调设计是其中重要组成部分，厂房内的洁净程度、温度、湿度都会影响产品的成品率，必须根据实际要求来进行相应的设计。
基于此，要加强对电子洁净厂房的研究，科学布置相关空间，严格按照国家规范要求来进行设计，需满足安全、消防等方面的要求，从而保障电子洁净厂房环境质量。
1加强电子洁净厂房暖通空调设计的必要性在电子洁净厂房建设中，进行科学的暖通空调设计十分重要，其有利于保障洁净厂房的环境质量。
相较于普通厂房、写字楼来说，洁净厂房中的暖通空调系统需要承担的冷负荷更多，空调换气次数也表多，送风量大。
这样一来，需要耗费较多的电能。
为了降低系统设计成本，充分发挥暖通空调系统作用，应当进行科学设计[1]。
2电子洁净厂房对选址及平面布置的要求不同于普通工业厂房，电子洁净厂房对环境的要求更高，需要达到一定的洁净等级。
基于此，为有效控制厂房中的含尘量，则需要科学选择电子洁净厂房的建设地址，一般要选择浓度低、含尘量少、有害物质少的位置，比如说周围没有污染源的郊区。
在确定好厂房位置之后，要科学布置总平面，需设计好生产区、生活区，合理安排洁净厂房、非洁净厂房。
通常来说洁净厂房需布置在环境干净、人流、物流较少的区域，要合理设置动力站房的位置，尽量使之靠近主厂房，以节约能源。
洁净室送风系统
洁净室送风系统（1）集中送风方式这种送风方式一般是数台大型新风处理机组和净化循环机组集中设置在空调机房内，空调机组可位于洁净室的侧面或顶部。
经过温湿度处理和过滤后的空气由离心风机或轴流风机加压后通过风道送入送风静压箱，再由高效空气过滤器或超高效空气过滤器过滤后送入洁净室。
回风经格栅地板系统，流入回风静压箱再回到净化循环系统，如此反复循环运行。
集中送风方式的结构形式如图5-8和图5-9所示。
（2）隧道洁净室送风方式这种送风方式一般将洁净室划分为生产核心区和维护区，生产核心区要求高洁净度和严格的温湿度控制，设在单向流送风区内；维护区要求较低，设置在生产辅助设备或无洁净要求的生产设备的尾部或配管配线等。
生产区为送风区，维护区为回风区，构成空气循环系统。
一般隧道式送风是由多个空气循环系统组成，所以其中一台循环机组出现故障不会影响其他区域生产环境的洁净度，并且各个循环系统可根据生产需要进行分区调控。
隧道送风方式结构形式如图5-10所示。
（3）风机过滤单元送风方式在洁净室的吊顶上安装多台风机过滤单元（FFU）机组，构成循环系统，不需要配置净化循环空调机房，送风静压箱为负压。
空气由FFU送到洁净室，从回风静压箱经两侧夹道回至送风静压箱。
根据洁净室的温度调节需要，一般在回风夹道设干式表冷器。
新风处理机可集中设在空调机房内，处理后的新风直接送人送风静压。
因送风静压箱为负压，有利于高效空气过滤器顶棚的密封；但由于FFU机组台数较多，在满布率较高时，一般投资较大，运行费用也高。
有些FFU噪声较大，选用时需要注意。
FFU送风方式如图5-11所示。
（4）模块式风机单元送风方式它是送风机安装在高效空气过滤器（High Efficiency Particulate Air Filter,HEPA）或超高效空气过滤器（Ultra Low Penetration Air Filter,ULPA）之上，1台送风机可配置数台过滤器的空气循环系统。
净化工程排风系统设计原则
除尘器的安装，应符合下列要求： 1 型号、性能参数、进出接管方向应符合设计要求； 2 除尘器的基础，其表面水平度不应大于2/1000；除尘器 壳体垂直度不应大于1/1000； 3 现场组装的除尘器应作漏风量检测，在1500Pa压力下允 许漏风量为3%；
4 采用过滤元件的过滤除尘装置时，应按产品说明书要求 进行安装和气密性检测； 5 布袋除尘器、电除尘器的壳体及辅助设备接地应可靠， 并符合相关标准的规定。 通风排风系统的安装完成还需要对其设备进行单机调试和 整个系统联合调试。
3 排风风管内严禁其他管线穿越； 4 室外排风立管固定拉索，严禁与避雷针或避雷网连接。 设备的搬运、吊装应符合下列要求： 1 设备的搬运吊装应符合产品说明书的有关要求，并做好 相关保护工作，防止设备损伤或处理性能降低；
2 大、中型设备的搬运、吊装前，应根据设备外形尺寸、 重量和产品说明书要求、安全生产要求等，制订安全、可 行的搬运、吊装方案，经建设单位、工程监理认可后实施。
吸附式废气处理设备的安装，应符合下列要求：
1 直接安放整体废气处理设备的基础，其表面水平度不应 大于2/1000； 2 吸附装置本体的垂直度不应大于2/1000；
3 应将选定的主管口中心与安装基准线、基础面对准，其 允许偏差不应大于3㎜； 4 装填吸附剂前，应对设备内部以清净空气进行吹扫，去 除杂物等； 5 装填吸附剂前应按设备技术文件的规定，核查吸附剂的 有效活性； 6 装填、安装完成后应按设计要求进行气密性试验，试验 压力宜为1000Pa，保压时间10~30min，经检查应无泄漏和 异常现象。
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净化工程排风系统设计原则
净化工程排风系统的设计和安装直接影响到整个无尘车间 内的空气流动通风排风系统的合理设计有效提高和保证无 尘车间内的生产和生活环境。因此，通排风系统的设计在 净化工程施工是重要的环节。 洁净厂房中排风管道的制作，应符合下列规定：
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浅谈电子洁净厂房中的新风系统设计
摘要：随着工业社会的发展，洁净空调应用于社会广泛领域，包括电子工业，
航天工业，制药工业，医疗，纺织工业等等，而新风在洁净空调中扮演着重要角色。
在电子洁净厂房中，洁净等级基本涵盖了30万级到100级，甚至更高，因
而要求空调送风换气次数从几十次到几百次不等，是一个能耗很高的行业。
通过
近几年具体设计中发现，新风集中预处理在节能、控制、管理等方面上具有许多
优势。
本文将简要阐述电子洁净厂房中新风量的计算，新风集中预处理优势及其
空气热湿处理和控制方案。
关键词：电子厂房；新风；系统设计
一、新风量计算
1.1在洁净空调中，新风对于生产安全，产品质量起着举足轻重的作用。
由于新陈代谢的需要，人体需要不断吸入氧气，呼出二氧化碳，如果在没有新风的环
境中工作会有缺氧的现象如：头晕、恶心、烦燥、工作效率低等。
所以空调净化
系统中满足人员卫生要求的新风量一般为不小于40m3/（h*人）。
1.2洁净空间一般都伴有工艺需求的排风，为了平衡这部分排至室外的空气量，净化系统需要补偿相应的新风量。
1.3为防止室外或相邻的其他用途房间的空气渗入空调净化车间，干扰其洁净度或温、湿度，这类应维持正压的空气量将由新风来补充，这部分新风量计算主
要有缝隙法及换气次数法，这里不做具体介绍。
1.4满足相当于总风量一定比例的新风量，根据经验，考虑到洁净空调系统中空调机组和送风管道内正压较高，沿程将有可能有较大的漏损，为了安全起见，
特别是在医药等行业，新风量的比例应满足非单向流洁净室总风量的10%-30%单
向流洁净室总风量的2%-4%。
这时候如果洁净室人员少，工艺排风少，正压也足够，按比例计算的新风量大于系统的需求时，就应该增加洁净空调的排风量来作
为应对措施。
1.5以下用一个图表来表示洁净空调系统中新风量的确定：
二、新风净化及热湿处理：
2.1、对于洁净室来说，新风是空调系统中一个主要的污染源；不经过过滤的
新风会使表冷器堵死，使表冷器的传热系数下降，而且有害的化学颗粒对表冷器
具有腐蚀性，大量的细菌又在其附近繁殖，降低了表冷器及高效空气过滤器的使
用寿命。
为了保证洁净室的洁净度要求，室外新风必须经过多级过滤后才能送往
洁净室。
2.2、在洁净空调系统中，因为室外新风焙值与室内空气焙值往往差别很大，
新风的热湿负荷在净化空调系统中占有很大的比例。
如果新风不经热湿处理直接
送入洁净房间，是无法满足洁净房间的温湿度要求的。
2.3、一般情况下，大部分洁净空调系统均设计为经典的一次回风系统，室外
新风与室内回风直接混合后再进行过滤及热湿处理，这种空调方式是最常见方式。
在电子洁净厂房中，大部分房间的室内产湿量很小，而设备发热量很大，室内空
气热湿比无穷大，在焙湿图中为一条竖直的线；因而从投资、管理、节能等方面
考虑，建议采用新风集中预处理与循环空调机组相组合的方式（MAU+RCAU）。
在“MAU十RCAU'，系统中，新风集中预处理空气流程为：新风入口→粗效过
滤器→中效过滤器→加热器→加湿→表冷器→送风机→送风管→各循环空调机组
（RCAU）；循环空气处理机组空气流程为：新回风混合（新风接自MAU→表冷器→加热器→送风机→中效过滤器→送风管。
高效过滤器送风口→洁净区→百叶回风口→回风管→新回风混合；各功能段的具体布置详见图二，其空气热湿处理过程见图（1）。
图1MAU+RCAU空气处理过程
三、“MAU+RCAU”系统的优势：
3.1、在一些温湿度控制精度较高的的洁净车间，每个车间需要独立设置空调机组，这些空调机组都需设置新风处理功能段等完整的功能段，这样意味着所有空调箱五脏俱全，如果厂房内洁净车间较多时，空调箱数量就很多，会造成空调机房偏大，投资增加，维护工作量加大等不利因素。
如果采用新风集中处理，再分配给各个空调净化系统，这样虽然增加了一台新风机组（MAU），但是其他循环空调箱（RCAU）均减少了很多功能段，节省了设备投资也节省了空调机房面积及机房外墙新风百叶开口数量。
3.2、在冬季室外气温较低的北方地区新风往往要预热，不然与一次回风直接混合的时候很有可能产生冷凝水；洁净车间一般都有湿度要求，冬季处理过程往往需要加湿空气，因此白白加大了加湿负荷。
夏季新风含湿量高，温度也高，与回风直接混合后，有可能需要多级多排的表冷器来处理，大大加大了空调机组表冷器负担。
然而新风集中处理后再送入循环空调箱与回风混合，减少了循环空调箱的功能段及过滤器的更换频率，降低了循环空调箱的风机压头，避免了能源的浪费。
3.3、新风作为洁净室控制的重要污染源，集中预处理可以强化新风的过滤和便于管理，为洁净室运行提供更安全的保障。
3.4、采用“MAU+RCAU”方式中，新风处理到室内送风露点，以满足洁净室的湿度要求。
处理后新风通过风管送至各循环空调箱，经与回风混合后再通过表冷或者加热处理来满足洁净室的温度要求。
这样使洁净空调系统的湿度和温度分别由新风处理机组和空调循环机组来负责，使温度和湿度控制具有独立性及可操作性，尤其是在洁净室内新风量变化时其优越性体现得更为明显。
四、"MAU+RCAU”系统的控制方案
4.1、新风机组（MAU）采用变频风机，由总送风管上的静压传感器来控制变频器。
在接入循环机组（RCAU）的新风支管上均设置电动调节阀，由各洁净室的正压值来调节电动调节阀的开度，使洁净室的正压值不随生产设备的排风量的变化而变化，电动调节阀的开度变化引起总送风管上的静压变化，根据其设定值调节（MAU）的风机频率，来控制新风机组的总送风量；其原理见图二。
4.2、控制新风机组（MAU）送风状态点，使其与洁净房间的送风露点相同，这样就可以保证净化车间的湿度要求。
根据送风状态设定值来调节加湿器的电动执行机构和表冷器及加热器回水管上的电动二通阀的开度；露点温度“DPT'，由检查室内湿度敏感元件“HE'，连续整定。
4.3、净化生产车间的温度是由循环机组（RCAU）来保证的，经新风处理机处理后的空气状态为洁净房间的送风露点，新回风混合点一定在该洁净房间的热湿比线上，根据室内温度来调节表冷器和加热器回水管上的电动二通阀的开度。
一般情况下，在电子洁净厂房中，大部分洁净室温湿度要求基本都相同而且也允许一定范围的波动，这些车间都可以使用“MAU+RCAU'，系统。
但在某些车间具有很大的室内产湿量，其热湿比线并不是一条竖直的直线，采用新风集中预处理系统就无法满足要求，应该考虑独立的空气处理方式；还有就是当RCAU系统的新
风比均比较大的时候，使用“MAU十RCAU'，系统也很难体现其优势。
结束语
在电子洁净厂房空调设计中，正确的新风量的计算，有效的过滤及合理的热湿处理方案是洁净车间能否成功的重要因素之一；不同建筑布局，不同工艺需求就应该要有不同的洁净空调方案；“MAU+RCAU”，系统在节能，控制，管理方面有诸多优势，建议设计时优先考虑。
参考文献：
[1]《洁净技术与工程应用》冯树根编著，机械工业出版社
[2]《实用供热空调设计手册（第二版）》陆耀庆主编，中国建筑工业出版社
[3]《洁净厂房设计规范》GB20073-2001。