膜厚仪应用问题及解决建议(1)晶振失效
膜厚仪应用问题及解决建议(2)速率不稳
硫的空气中 (生锖效应 )
1. 最长寿命的材料, 用于光学 膜层 (介质镀层) 或用于高应力 半导体材料
1. 合金电极将氧化, 与金相比搁置 期较短
温度影响
温度影响
晶振片温度曲线
减小温度影响的参数
Control Delay 用于减小打开源挡板瞬间晶片 温度变化造成的控制不稳定性
参数设置原因
•有潜在规律的不稳定性
镀膜速度不稳定—电干扰测试 出厂测试 • 膜厚仪自身信号波动<0.05A/s 或 0.005Hz/s
实际应用 待机情况下信号跳动应<=0.1A/S
防止电干扰
为所有连接采用屏蔽的同轴电缆或双绞线. 最小化电缆长度. 避免布线电缆靠近可能产生高电平干扰的区域. 例如, 大功
率电源, 如用于电子束枪或溅射源的电源, 快速交变的电磁 场. 将电缆远离这些有问题区域 1 呎以外可 大大地减少噪 声的拾取. 确保良好的接地系统和接地带状线.
大多情况下, 编织型接地带已足够. 然而, 有些情况下, 由于它的RF阻抗低, 需用 实心的铜条 (0.030"厚x1"宽).
建立接地
接地原因
接地范例
晶振片的原因 晶片工作特性
晶片原因的解决建议
• 尽量减小应力影响 • 尽量减小温度影响
减小应力影响一
探头安装位置选择：尽量减小热影响 探头到源的距离要大于25cm：减小热影响 晶片中心面与源连线垂直：成膜均匀性 选择合适的工艺参数：高温低速 选择合适的晶振片
系统延迟时间
速 率
功 率
提高功率 速率上升
时间
参数优化设定
SQC310：旋转（回转）速率（Slew Rate）
旋转速率： 一般与镀膜 速率相当
镀膜机常见故障及分析解决预防措施
镀膜机常见故障及分析解决预防措施一.常见故障,问题及解决方法下表对一些镀膜时常见的故障、真空度问题、及掉膜和膜质问题做了一些简单分析,并给予解决方案及预防措施.12346二.一些基础知识及注意事项和应急措施1. 膜厚控制仪控制参数Soak power1----预熔功率1 约为蒸发功率的一半Soak power2----预熔功率2 也称预蒸镀功率略小于最大功率Maxpower ----最大功率Dep Rate ----蒸发速率Final Thk ----膜厚（波长）Soak time----预熔时间Rise time ----功率上升时间Density ----材料密度检测膜厚原理通过改变探头上晶片的频率（由于膜的蒸发改变了其重量，所以其震动频率发生变化）来计算膜厚，而探头所处的位置和工具因数的设置都影响到测试精度，探头的位置和测试膜厚的关系如小：(1).探头高了,测试得到的厚度<实际得到的膜厚(玻片上厚度)(2).探头低了,测试得到的厚度>实际得到的膜厚(玻片上厚度)(3).工具因数调高,相当于探头位置降低,所以膜厚要增加2. 膜和材料间的关系2.1.U5吸收杂光,影响膜质和亮度.镀的过多,膜会发银;镀的过少,膜发黑,不亮泽,有银色;没镀上,则为银白2.2.U3脱膜剂,影响膜质.镀的过多,膜质稀烂,易脱落;镀的过少,膜会打卷,发硬2.3.SiO2决定颜色2.4.U6基层,影响膜的鲜艳度和亮度3. 均匀性3.1.径向均匀性:同一玻片上部与下部的不均匀,与光斑的调节、材料的料面、坩埚转速和转向、玻片的曲率有关3.2.重复均匀性:同一锅膜的每一套间的不均匀,与真空度的高低、操作者看颜色有关3.3.整体均匀性:同一套膜四块玻片上的均匀性,与光斑的稳定性、工转的转速和蒸发速率的匹配、真空度的高低、径向均匀性有关4. 灯丝问题4.1.放气时要记住关灯丝电源,以免氧化灯丝4.2.初次使用或更换新灯丝,应进行灯丝预热定型处理,以防灯丝加热过快变形.预热时,高压关闭,直接加热灯丝,缓慢加灯丝电流,由几安培加至15A时,维持3-5分钟4.3.灯丝安装a.灯丝不宜太高或太低:太高会造成光斑不可调,容易打烂栅极和阳极片;太低会造成光斑能量太散,不易蒸发b.栅极片应略低于阳极片c.各个压块、引线的接触面应清洗干净避免造成接触不良d.打紧螺钉时应松紧适当，太松会接触不良，太紧会造成“滑丝”5. 轰击条件：真空度4.0Pa到8.0Pa之间时间:20到30分钟轰击棒应用240#砂纸砂干净再用酒精擦一遍再装入真空室轰击完后关闭轰击开关,取轰击棒时应带手套或用包住轰击棒以免被烫伤6. 换机械泵油将油放干净,把出气口的盖板取下,然后取下挡油板,用布将机械泵油腔内擦干净(特别注意死角地方),擦干净后倒点新油盖住出气口开机械泵运行20秒将油放出,这样反复做两到三次,洗干净后即可加油.加油应加到观察油窗伤两条红线之间(油加少了会造成机械泵的抽气性能下降,油加多了会造成抽气时油喷出来).油加好后将挡油板,盖板依次装好.7. 应急措施7.1. 突然停电首先将设备总电源开关关闭(防止突然恢复电力所有用电设备工作造成电流冲击过大),然后将所有开关复位,处在关的状态(开关弹起为关的状态),等待电力恢复如果长时间电力无法恢复应将扩散泵电炉盘取下,用湿布放在扩散泵四周使其冷却.设备循环水关小,防止停电时间过长导致循环水无法循环使水流失7.2.停水首先应关闭扩散泵,将扩散泵电炉盘取下,用湿布放在扩散泵四周使扩散泵冷却关闭各阀门及机械泵,不能让其长时间在无冷却水的状态下工作导致设备损坏7.3.停气气压低于0.43Mpa时阀门会自动关闭,此时应将各阀门开关复位处在关的状态(开关弹起为关).如果长时间无法恢复供气,则将扩散泵,机械泵等运作的设备关闭,关扩散泵15分钟后打开扩散泵快冷冷却扩散泵。
涂层测厚仪操作时注意的五个点 测厚仪常见问题解决方法
涂层测厚仪操作时注意的五个点测厚仪常见问题解决方法涂层测厚仪操作时注意的五个点1.不要使用劣质的电池，硬度计以免造成漏液，便携式粗糙度仪导致主机主板腐蚀。
一旦发觉漏液请立刻送修晚了的话主机直接报废掉了。
长时间不用请将电池拿掉。
2.插拔探头的时候须先关闭主机电源后再进行插拔。
不然很简单造成探头里面的集成块烧掉。
3.在测量的时候探头要平稳放置气力不宜过大不能速度特别快的点测；测试的时候探头不要在被测表面划来划去这样很简单造成4.涂层未干时不能进行测量这一点特别紧要很多客户常常在涂层未干的时候进行测量探头粘上油漆后再用香蕉水或者二甲苯之类的清洗掉后接着使用。
假如这样操作的话严重的探头直接报废即使没报废探头的灵敏度也降低了同时也会降低探头的使用寿命。
5.选择涂层测厚仪的时候尽量选择分体式的仪器。
由于探头是易损件有确定的使用寿命也是耗材。
一体机的探头无法维护和修理，烟气分析仪更换探头的价格特别的高接近一个新机的价格。
而分体机只需更换探头。
在测量的时候探头要平稳放置气力不宜过大不能速度特别快的点测；测试的时候探头不要在被测表面划来划去这样很简单造成探涂层未干时不能进行测量这一点特别紧要很多客户常常在涂层未干的时候进行测量探头粘上油漆后再用香蕉水或者二甲苯之类的清洗掉后接着使用。
假如这样操作的话严重的探头直接报废即使没报废探头的灵敏度也降低了同时也会降低探头的使用寿命。
选择涂层测厚仪的时候尽量选择分体式的仪器。
由于探头是易损件有确定的使用寿命也是耗材。
一体机的探头无法维护和修理，烟气分析仪更换探头的价格特别的高接近一个新机的价格。
而分体机只需更换探头。
涂层测厚仪故障原因分析1、附着物质的影响。
本仪器对那些阻拦探头与覆盖层表面紧密接触的附着物质敏感。
因此必需清除附着物质，以保证探头与覆盖层表面直接接触。
在进行系统校按时，选择的基体的表面也必需是暴露的、光滑的。
2、强磁场的干扰。
我们曾做过一个简单试验，当仪器在1万V左右的电磁场相近工作时，测量会受到严重的干扰。
膜厚仪应用问题及解决建议(4)测量误差及重复性
膜厚仪应用问题及解决建议四. 重复性差五. 测量偏差大于录英福康中国维修经理误差大、重复性差常见原因▪速率不稳定▪温度不稳定▪探头接触电阻问题▪仪器原因▪探头安装原因检查建议1. 镀膜速度是否稳定检查建议2. 镀膜控制过程中温度是否稳定▪对于1gm/cm3的材料，1 摄氏度温度变化对应大约7A的厚度变化▪镀膜过程中速度一定要稳定晶振片温度曲线镀膜过程中水温检查▪保证冷却水足够流量，▪若需要，单独冷却检测方法：测量探头出水温度，整个工艺过程中水温稳定，如果升高，则水量过小典型故障：重复性差温度影响减小温度影响的参数Control Delay用于减小打开源挡板瞬间晶片温度变化造成的控制不稳定性3.检查探头连接标准探头探头连接方面的原因探头维护清洁该表面，不许有镀膜残渣簧片调整陶瓷座簧脚调整为45度，陶瓷边缘变黑后要更换簧片调整探头备件更换卡簧007-007，4000次换片后要更换探头备件更换750-171-P1，4000次换片后要更换4.检查探头位置探头定位：晶片中心与源中心连线，晶片的表面应与该线垂直>= 25 cm>= 25 cm晶振片与晶振座接触面因材料进入造成接触问题.材料进入晶片与晶片座缝隙造成偏心镀膜材料偏心，厚度不均匀，近厚远薄.造成速率不稳，重复性，测量精度，晶片寿命问题Master tooling 及Sensor tooling系统及探头系数系数直接显示了显示厚度与实际厚度的比例关系.例如.: 基片上的实际测量厚度比IC/5 显示的厚度多10%，则提高该系数10%。
系数范围：10% 到400%.（密度与显示的速率及厚度成反比）获得系数值1. 安装测试基片到系统的基片架上.2. 执行镀膜，测量实际厚度.3. 利用下面的关系式计算系数:Tooling (%) = TF I * ( T M / T x )其中TF I = 初始系数T M = 基片上的实际厚度T x = 仪器显示的厚度读数.仪器方面的原因多层膜，厚膜，应力大的膜需选择合适的膜厚仪器Z 比率---测量误差AUTO Z的优点膜厚仪功能。
涂层测厚仪的常见故障解决
涂层测厚仪的常见故障解决涂层测厚仪是一种常用于检测金属表面涂层厚度的仪器，广泛应用于建筑、汽车、航空航天、机械等行业。
但是，在使用过程中，涂层测厚仪也会遇到各种故障。
本文将针对涂层测厚仪的常见故障进行分析，并提供相应的解决方法。
一、涂层测厚仪不能工作如果涂层测厚仪不能正常工作，通常有以下原因：1.电池电量不足：涂层测厚仪通常采用电池供电，如果电池电量不足，仪器无法正常工作。
此时，需要更换电池或者充电。
2.接触不良：如果仪器的测量探头与被测物体的接触不良，涂层测厚仪也无法正常工作。
此时，可以将测量探头清洁干净，再重新接触测量。
3.软件故障：涂层测厚仪的软件也可能出现故障，导致仪器无法正常工作。
此时，可以尝试重启软件或者重新安装软件。
二、涂层测厚仪测量不准确如果涂层测厚仪的测量结果不准确，通常有以下原因：1.测量探头接触不紧密：如果测量探头与被测物体的接触不紧密，涂层测厚仪会出现测量结果不准确的情况。
此时，需要重新调整测量探头，确保其与被测物体的接触紧密。
同时，还可以尝试在不同的位置测量，以提高测量准确度。
2.仪器漂移：涂层测厚仪的测量结果受到环境变化的影响，如温度、湿度等。
如果仪器发生漂移，就会出现测量结果不准确的情况。
此时，需要将仪器放置在恒温、恒湿的环境中，等待一段时间后重新进行测量。
3.仪器校准不当：涂层测厚仪需要进行定期校准，如果校准不当，也会导致测量结果不准确。
此时，可以重新进行仪器校准，确保仪器的测量准确度。
三、涂层测厚仪显示屏故障如果涂层测厚仪的显示屏出现故障，通常有以下原因：1.显示屏累积灰尘：长时间使用后，显示屏可能会累积灰尘，导致显示屏变得模糊或者无法显示。
此时，可以使用清洁液或者干净的软布等清洁显示屏。
2.电池电量不足：涂层测厚仪的电池电量不足也会导致显示屏出现故障，此时需要更换电池或者充电。
3.显示屏内部故障：如果涂层测厚仪的显示屏内部出现故障，无法正常显示，需要联系售后服务进行维修或更换。
膜厚仪在不同环境下影响因素有哪些 膜厚仪常见问题解决方法
膜厚仪在不同环境下影响因素有哪些膜厚仪常见问题解决方法膜厚仪在不同环境下影响因素有哪些1、基体金属磁性质磁性法测厚受基体金属磁性变化的影响（在实际应用中，低碳钢磁性的变化可以认为是细小的），为了避开热处理和冷加工因素的影响，应使用与试件基体金属具有相同性质的标准片对仪器进行校准；亦可用待涂覆试件进行校准。
2、基体金属电性质基体金属的电导率对测量有影响，而基体金属的电导率与其材料成分及热处理方法有关。
使用与试件基体金属具有相同性质的标准片对仪器进行校准。
3、基体金属厚度每一种仪器都有一个基体金属的临界厚度。
大于这个厚度，测量就不受基体金属厚度的影响。
4、边缘效应本仪器对试件表面形状的陡变敏感。
因此在靠近试件边缘或内转角处进行测量是不牢靠的。
5、曲率试件的曲率对测量有影响。
这种影响总是随着曲率半径的削减明显地增大。
因此，在弯曲试件的表面上测量是不牢靠的。
6、试件的变形测量头会使软覆盖层试件变形，因此在这些试件上测出牢靠的数据。
7、表面粗糙度基体金属和覆盖层的表面粗糙程度对测量有影响。
粗糙程度增大，影响增大。
粗糙表面会引起系统误差和偶然误差，每次测量时，在不同位置上应加添测量的次数，以克服这种偶然误差。
假如基体金属粗糙，还必需在未涂覆的粗糙度相像佛的基体金属试件上取几个位置校对仪器的零点；或用对基体金属没有腐蚀的溶液溶解除去覆盖层后，再校对仪器的零点。
8、磁场四周各种电气设备所产生的强磁场，会严重地干扰磁性法测厚工作。
9、附着物质本仪器对那些阻拦测量头与覆盖层表面紧密接触的附着物质敏感，因此，必需清除附着物质，以保证仪器测量头和被测试件表面直接接触。
10、测量头压力测量头置于试件上所施加的压力大小会影响测量的读数，因此，要保持压力恒定。
11、测量头的取向测量头的放置方式对测量有影响。
在测量中，应当使测量头与试样表面保持垂直。
膜厚仪在不同环境下影响因素的有关说明膜厚仪是一种比较精密的监测设备，它在平常的使用中对于精准度的要求很高，但是还是会有误差的现象发生，除了仪器本身的一些故障以外，环境因素也是造成误差的一大“元凶”，本文就介绍一下膜厚仪在不同环境下影响因素的有关说明：1、基体金属磁性质磁性法测厚受基体金属磁性变化的影响（在实际应用中，低碳钢磁性的变化可以认为是细小的），为了避开热处理和冷加工因素的影响，应使用与试件基体金属具有相同性质的标准片对仪器进行校准；亦可用待涂覆试件进行校准。
涂层测厚仪常见故障及处理方法
涂层测厚仪常见故障及处置方法很多金属制品以及合金饰品都会进行电镀，但是对于电镀的厚度是需要用镀层测厚仪器进行测量的，合格的产会被销往市场上，目前国产镀层测厚仪已经进展的比较完很多金属制品以及合金饰品都会进行电镀，但是对于电镀的厚度是需要用镀层测厚仪器进行测量的，合格的产会被销往市场上，目前国产镀层测厚仪已经进展的比较完善，现在国产镀层测厚仪的种类也是特别多的，那么国产镀层测厚仪使用时需要注意什么？1.基体金属特性：对于磁性方法，国产镀层测厚仪的标准片应当与试件基体金属的磁性和表面粗糙度相像，所以在使用的时候国产镀层测厚仪的标准片应当具备基体金属特性这个方面；2.基体金属厚度：国产镀层测厚仪在使用之前要检查基体金属厚度是否超出临界厚度，假如没有，进行校准后可以测量；3.边沿效应：不应在紧靠试件的突变处，使用国产镀层测厚仪的时候不应当在边沿、洞和内转角等处进行测量；4.曲率：对于曲率的测量，不应在试件的弯曲表面上测量，使用国产镀层测厚仪的时候这一点是特别紧要的，曲率的测量并不是简单的弯曲表面测量；5.读数次数：通常国产镀层测厚仪器的每次读数并不完全相同，因此必须在每一测量面积内取几个读数，覆盖层厚度的局部差异，也要求国产镀层测厚仪在任一给定的面积内进行多次测量，表面粗造时更应如此。
另外测量的时候还需要注意被测量物品的表面清洁度，测量前，应清除表面上的任何附着物质，如灰尘、油脂及腐蚀产物等，保证国产镀层测厚仪测量时四周没有任何的磁场干扰，由于磁场的干扰程度也会影响国产镀层测厚仪的时候，另外还应当注意国产都城测厚仪的测头取向，测头的放置方式对测量有影响，在测量时应当与工件保持垂直。
,试验室仪器设备交易网,仪器行业专业网络宣扬媒体。
相关热词：等离子清洗机,反应釜,旋转蒸发仪,高精度温湿度计,露点仪,高效液相色谱仪价格,霉菌试验箱,跌落试验台,离子色谱仪价格,噪声计,高压灭菌器,集菌仪,接地电阻测试仪型号,柱温箱,旋涡混合仪,电热套,场强仪万能料子试验机价格,洗瓶机,匀浆机,耐候试验箱,熔融指数仪,透射电子显微镜。
膜厚仪应用问题及解决建议(5)
膜厚仪应用问题及解决建议
功率方面的问题
于录
英福康中国维修经理
功率方面常见现象及建议
▪功率加上了，束流加不上
检查：直接测量源输出电压是否与功率匹配
▪功率与束流匹配，但镀膜速度与以往不一致▪功率跳跃过大
检查：1. 参数设置
2. 外部原因
英福康于录
膜厚仪应用问题及解决建议
坩埚转位方面的问题
坩埚方面故障现象与检查建议
现象：坩埚不转位或转动位置不对或一直转位中
检查：1. 坩埚转位控制的设置
2.直接测量坩埚转位对应的继电器是否断开或闭合
3.检查到位信号
英福康于录
膜厚仪应用问题及解决建议
通讯方面的问题
通讯方面的问题及检查建议现象：无通讯
检查：1 端口设置：通讯口波特率，校验位
2 使用RS232 loopback 测试
3 更换USB转RS232线
4 使用端口测试软件测试电脑端口
英福康于录
膜厚仪应用问题及解决建议
参数丢失的问题
主板电池使用寿命8-10年
强烈建议参数备份。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
膜厚仪应用问题及解决建议
一. 晶振片失效
于录
英福康中国维修经理
晶振片失效—现象
1.安装新晶振片后立即失效
2.系统抽空后失效
•膜厚仪或软件显示“XTAL Fail”•膜厚仪或软件显示“晶片失效”
晶振片失效—可能原因
•探头或连线接触问题
•主机主板、电源板、
测量板故障
•振荡器故障
晶振片失效—检测建议
1.判断探头问题VS主机和振荡器
•使用探头模拟器
•使用XIU自检功能
（IC6/XTC3）
探头模拟器连接
探头连接
XIU test 需从此处断开连接
晶振片失效—检测建议
2. 主机故障VS振荡器故障
•检测探头连线的
+5V电压是否正常，
以此判断是振荡器
故障还是主机故障
晶振片失效—检测建议
3. 探头问题
•检测短路还是断路
晶振片失效—检测建议—短路断路
检查断路或短路
电阻值，应〈1欧姆
万用表针一端测此簧脚
万用表另一端测此接
头内电缆芯
检测短路或断路
短路或断路
拆接。