共聚焦拉曼光谱仪ppt课件
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◆拉曼光谱系统的组成和任务原理 ◆拉曼光谱仪的操作
激光器〔514.5nm〕 样品台 光路系统 探测器 计算机控制部分
标本 物镜
针孔
狭缝 E4
1.氩离子激光器;2.激光衰减器;3.物镜〔凸透镜〕;4.反射镜;5.全息滤光片 (全息陷 波滤波器);6.光学显微镜;7.机械平台;8.半波片;9.偏振片;10.狭缝;11.等边棱镜; 12.衍射光栅 (反射光栅);D检测器 (紫外/可见加强型CCD);14.尼克尔棱镜;15. 衍射光栅。
1.灵敏度高 2.快速分析,鉴别各种资料的特性与构造 3.微量样品分析,样品可小于2微米 4.对样品无接触,无损伤,样品无需制备 5.适宜黑色和含水样品 6.高、低温及高压丈量 7.光谱成像快速、简便,分辨率高 8.仪器稳定,体积适中,维护本钱低,运用
简单。
由于拉曼信号搜集的主要困难在于与激光 同频率的瑞利散射比拉曼散射要强10 个数量 级以上,而拉曼峰又离激光很近。这种窄带的 陷波滤光片(Notch) 的特点是,能针对性地将以 激光波长为中心的几个纳米的波长范围内的瑞 利散射光能量有效地滤除达5到6 个数量级之 多,而让该波长范围之外的光信号顺利经过
校准硅片 首先采用自然光并调理样品台聚 焦,直到视野中看到明晰的正八边形为止。 改用激光丈量硅片的拉曼信号,拟合并查看 峰位能否为520±0.02cm-1 ,如不是那么用软 件调理校准直到丈量信号在520±0.02cm-1 。
丈量 反复上述聚焦步骤并设置相应参数开场 丈量样品。
共聚焦拉曼光谱仪的特点:
传统的共焦光路的设计有一个针孔,作为 空间Байду номын сангаас波器。而Renishaw运用新的共焦设计经 过狭缝对焦平面的一维限制和经过对最终在
CCD 上的读取信号时对另一维度的信号的限制 ,同样到达选择样品上相应的小体积的信号。 其共焦效果:完全可以到达横向小于1μm ,深度 分辨率约2μm 的空间分辨率。并且由于这样 的光路比针孔式(pinhole) 共焦光路中少两透镜 一个针孔,信号损失减少。
激光器〔514.5nm〕 样品台 光路系统 探测器 计算机控制部分
标本 物镜
针孔
狭缝 E4
1.氩离子激光器;2.激光衰减器;3.物镜〔凸透镜〕;4.反射镜;5.全息滤光片 (全息陷 波滤波器);6.光学显微镜;7.机械平台;8.半波片;9.偏振片;10.狭缝;11.等边棱镜; 12.衍射光栅 (反射光栅);D检测器 (紫外/可见加强型CCD);14.尼克尔棱镜;15. 衍射光栅。
1.灵敏度高 2.快速分析,鉴别各种资料的特性与构造 3.微量样品分析,样品可小于2微米 4.对样品无接触,无损伤,样品无需制备 5.适宜黑色和含水样品 6.高、低温及高压丈量 7.光谱成像快速、简便,分辨率高 8.仪器稳定,体积适中,维护本钱低,运用
简单。
由于拉曼信号搜集的主要困难在于与激光 同频率的瑞利散射比拉曼散射要强10 个数量 级以上,而拉曼峰又离激光很近。这种窄带的 陷波滤光片(Notch) 的特点是,能针对性地将以 激光波长为中心的几个纳米的波长范围内的瑞 利散射光能量有效地滤除达5到6 个数量级之 多,而让该波长范围之外的光信号顺利经过
校准硅片 首先采用自然光并调理样品台聚 焦,直到视野中看到明晰的正八边形为止。 改用激光丈量硅片的拉曼信号,拟合并查看 峰位能否为520±0.02cm-1 ,如不是那么用软 件调理校准直到丈量信号在520±0.02cm-1 。
丈量 反复上述聚焦步骤并设置相应参数开场 丈量样品。
共聚焦拉曼光谱仪的特点:
传统的共焦光路的设计有一个针孔,作为 空间Байду номын сангаас波器。而Renishaw运用新的共焦设计经 过狭缝对焦平面的一维限制和经过对最终在
CCD 上的读取信号时对另一维度的信号的限制 ,同样到达选择样品上相应的小体积的信号。 其共焦效果:完全可以到达横向小于1μm ,深度 分辨率约2μm 的空间分辨率。并且由于这样 的光路比针孔式(pinhole) 共焦光路中少两透镜 一个针孔,信号损失减少。