一种离子注入提速的新方法

一种离子注入提速的新方法
顾炜
【期刊名称】《电子与封装》
【年(卷),期】2007(7)2
【摘要】文章介绍的有效化扫描是不改变工艺参数,仅改变机械运动就能缩短注入时间的方法.传统注入工艺中,扫描往返运动会产生大量的额外注入时间.有效化扫描通过数字信号处理器检测和分析,找到圆片脱离束流的瞬间(此时
dIB/dt=0;d2IB/dt2＜0,且检测出的点与标准扫描时的一致),改变扫描运动方向,通过缩短扫描往返路程来减少实际注入时间.
【总页数】4页(P34-37)
【作者】顾炜
【作者单位】上海交通大学,上海,200030
【正文语种】中文
【中图分类】TN820.2
【相关文献】
1.确定小剂量离子注入均匀性的新方法——多探针C—V法 [J], 陈之昀;李同合
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