光刻胶行业现状分析
光刻技术的现状和发展
光刻技术的现状和发展近两年来,芯片制造成为了半导体行业发展的焦点。
芯片制造离不开光刻机,而光刻技术则是光刻机发展的重要推动力。
在过去数十载的发展中,光刻技术也衍生了多个分支,除了光刻机外,还包括光源、光学元件、光刻胶等材料设备,也形成了极高的技术壁垒和错综复杂的产业版图。
光刻技术的重要性据华创证券此前的调研报道显示,半导体芯片生产的难点和关键点在于将电路图从掩模上转移至硅片上,这一过程通过光刻来实现,光刻的工艺水平直接决定芯片的制程水平和性能水平。
芯片在生产中需要进行20-30次的光刻,耗时占到IC生产环节的 50%左右,占芯片生产成本的1/3。
但光刻产业却存在着诸多技术难题有待解决。
西南证券的报告指出,光刻产业链主要体现在两点上,一是作为光刻核心设备的光刻机组件复杂,包括光源、镜头、激光器、工作台等组件技术往往只被全球少数几家公司掌握,二是作为与光刻机配套的光刻胶、光刻气体、光掩膜等半导体材料和涂胶显影设备等同样拥有较高的科技含量。
这些技术挑战,也为诸多厂商带来了发展机会。
时至今日,在这些细分领域当中,也出现了很多优秀的企业,他们在科技上的进步,不仅促进了光刻技术产业链的发展,也影响着半导体行业的更新迭代。
光源可靠性是光刻机的重要一环众所周知,在光刻机发展的历史当中,经过了多轮变革,光刻设备所用的光源,也从最初的g-line,i-line发展到了KrF、ArF,如今光源又在向EUV方向发展。
Gigaphoton是在全球范围内能够为光刻机提供激光光源的两家厂商之一(另外一家是Cymer,该公司于2012年被ASML收购)。
Gigaphoton的Toshihiro Oga认为,光源是一项专业性较强的领域,并需要大规模的投资去支撑该技术的发展,而光源又是一个相对小众的领域,尤其是用于光刻机的光源有别于用于其他领域的光源——其他领域所用光源多为低频低功率,而光刻机所用光源则为高频高功率,这也让许多企业对该领域望而却步。
光刻胶行业行业痛点与解决措施ppt
07
结论
行业痛点的持续影响与挑战
要点一
技术突破困难
要点二
资金投入巨大
目前国内光刻胶行业面临技术壁垒, 高端光刻胶国产化率较低,关键核心 技术受制于人。
光刻胶的研发和生产需要大量的资金 投入,很多中小企业难以承受。
要点三
市场推广难度大
由于客户对国内产品的信任度不高, 国产光刻胶在市场上的竞争力较弱。
03
解决措施一:提升产品质量与性能
优化原料采购与配方
严格筛选原料来源,采用高品质化学原料,保证产品的一 致性和可靠性。
不断优化配方设计,加入高性能添加剂,提高光刻胶的各 项性能指标。
加强生产过程控制与检测
完善生产流程和操作规程,确保生产过程中的温度、压力、时间等参数得到精确 控制。
加强产品出厂检测与质量把控,采用先进检测设备和仪器,确保产品各项指标符 合要求。
解决措施的实践应用与推广价值
加强研发投入
政府和企业应加大对光刻胶研发的投入,通过技术攻关和产学研合作,突破关键核心技术。
拓展融资渠道
企业可以通过上市、寻求风险投资等方式拓展融资渠道,以支持光刻胶的研发和生产。
提高产品质量和品牌知名度
通过提高产品质量和品牌知名度,增加客户对国内产品的信任度,从而推动国内光刻胶行业的发展。
对未来的展望与建议
加强国际合作
通过国际合作,共同推进光刻胶技术的发展,提高国内光刻胶行 业的国际竞争力。
拓展应用领域
积极拓展光刻胶在新能源、5G等领域的应用,进一步扩大市场规 模。
政策支持和引导
政府应加大对光刻胶行业的政策支持和引导力度,鼓励企业加大 研发投入,加快技术突破和市场推广。
THANKS
引入自动化和智能化设备
中国光刻机行业市场现状、行业格局及发展趋势分析
中国光刻机行业市场现状、行业格局及发展趋势分析光刻技术指利用光学-化学反应原理,将电路图转移到晶圆表面的工艺技术,光刻机是光刻工序中的一种投影曝光系统。
其包括光源、光学镜片、对准系统等。
在制造过程中,通过投射光束,穿过掩膜板和光学镜片照射涂敷在基底上的光敏性光刻胶,经过显影后可以将电路图最终转移到硅晶圆上。
一、市场现状及行业格局光刻机分为无掩模光刻机和有掩模光刻机。
(1)无掩模光刻机可分为电子束直写光刻机、离子束直写光刻机、激光直写光刻机。
电子束直写光刻机可以用于高分辨率掩模版以及集成电路原型验证芯片等的制造,激光直写光刻机一般是用于小批量特定芯片的制造。
(2)有掩模光刻机分为接触/接近式光刻机和投影式光刻机。
接触式光刻和接近式光刻机出现的时期较早,投影光刻机技术更加先进,图形比例不需要为1:1,减低了掩膜板制作成本,目前在先进制程中广泛使用。
随着曝光光源的改进,光刻机工艺技术节点不断缩小。
光刻设备从光源(从最初的g-Line,i-Line发展到EUV)、曝光方式(从接触式到步进式,从干式投影到浸没式投影)不断进行着改进。
目前光刻机主要可以分为IC前道制造光刻机(市场主流)、IC后道先进封装光刻机、LED/MEMS/PowerDevices制造用光刻机以及面板光刻机。
其中IC前道光刻机需求量和价值量都最高,但是技术难度最大。
而封装光刻机对于光刻的精度要求低于前道光刻要求,面板光刻机主要用在薄膜晶体管制造中,与IC前道光刻机相比技术难度更低。
IC前道光刻机技术最为复杂,光刻工艺是IC制造的核心环节也是占用时间比最大的步骤,光刻机是目前晶圆制造产线中成本最高的半导体设备。
光刻设备约占晶圆生产线设备成本27%,光刻工艺占芯片制造时间40%-50%。
高精度EUV光刻机的使用将使die和wafer的成本进一步减小,但是设备本身成本也会增长。
光刻设备量价齐升带动光刻设备市场不断增长。
一方面,随着芯片制程的不断升级,IC前道光刻机价格不断攀升。
中国光刻胶市场发展前景分析
中国光刻胶市场发展前景分析光刻胶主要用于图形转移用耗材。
光刻胶是一种胶状的物质,可以被紫外光、深紫外光、电子束、离子束、X射线等光照或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料,是光刻工艺中的关键材料,主要应用于集成电路和半导体分立器件的细微图形加工。
具体流程如在光刻工艺中,光刻胶被均匀涂布在衬底上,经过曝光(改变光刻胶溶解度)、显影(利用显影液溶解改性后光刻胶的可溶部分)与刻蚀等工艺,将掩膜版上的图形转移到衬底上,形成与掩膜版完全对应的几何图形。
根据在显影过程中曝光区域的去除或保留可分为正性光刻胶和负性光刻胶。
正性光刻胶之曝光部分发生光化学反应会溶于显影液,而未曝光部分不溶于显影液,仍然保留在衬底上,将与掩膜上相同的图形复制到衬底上。
而负性光刻胶之曝光部分因交联固化而不溶于显影液,而未曝光部分溶于显影液,将与掩膜上相反的图形复制到衬底上。
1、中国半导体材料市场稳步增长《2020-2026年中国光刻胶行业市场深度监测及投资战略决策报告》数据显示:中国半导体材料市场稳步增长。
2018年全球半导体材料销售额达到519.4亿美元,同比增长10.7%。
其中中国销售额为84.4亿美元。
与全球市场不同的是,中国半导体材料销售额从2010年开始都是正增长,2016年至2018年连续3年超过10%的增速增长。
而全球半导体材料市场受周期性影响较大,特别是中国台湾,韩国两地波动较大。
北美和欧洲市场几乎处于零增长状态。
而日本的半导体材料长期处于负增长状态。
全球范围看,只有中国大陆半导体材料市场处于长期增长窗台。
中国半导体材料市场与全球市场形成鲜明对比。
全球半导体材料逐步向中国大陆市场转移。
从各个国家和地区的销售占比来看,2018年排名前三位的三个国家或地区占比达到55%,区域集中效应显现。
其中,中国台湾约占全球晶圆的23%的产能,是全球产能最大的地区,半导体材料销售额为114亿美元,全球占比为22%,位列第一,并且连续九年成为全球最大半导体材料消费地区。
光学光刻技术现状及发展趋势
光学光刻技术现状及发展趋势光学光刻技术是一种通过光学照射和化学反应的方法,在物体表面形成微细图案的技术。
它是微电子制造过程中最关键的工艺之一,被广泛应用于集成电路制造、光学器件制造、微纳加工等领域。
本文将从技术现状和发展趋势两个方面进行探讨。
光刻技术的发展历史可以追溯到二十世纪五十年代初。
那时,人们使用投影对位技术将大尺寸照片转移到硅片上,形成微细图案。
随着摄影技术及光学设备的逐渐进步,光刻技术也得到了快速发展。
目前,传统的光刻技术已经相对成熟,能够实现亚微米以上的分辨率。
然而,随着集成电路线宽的持续缩小,传统光刻技术已经无法满足其要求,因此,迫切需要改进现有技术或者开发新的光刻技术。
在现有技术改进方面,主要有以下几个发展方向:一是改善光源的特性。
目前,光源主要采用紫外激光器,但是其发射功率受到限制,无法实现更高的分辨率。
因此,改进光源是解决分辨率问题的关键。
例如,使用更短波长的极紫外光源可以显著提高分辨率,但是该技术仍然在研发中。
二是改进照明系统。
照明系统是影响光刻分辨率的另一个重要因素,其设计需要充分考虑光束的传播衍射。
因此,改进照明系统可以提高光刻分辨率。
三是改进投影光学系统。
投影光学系统是光刻技术中最核心的部分,其质量将直接影响光刻图案的质量。
因此,改进投影光学系统可以进一步提高分辨率。
此外,改进光刻材料、光刻胶和光刻模板等方面也是技术改进的重要方向。
除了技术改进,还有一些新的光刻技术正在发展中。
其中包括多重光刻技术、电子束光刻技术、原子力显微镜光刻技术等。
多重光刻技术是通过多次光刻和对位操作实现更高分辨率的技术,已经在一些先进的制程工艺中得到应用。
电子束光刻技术使用电子束曝光物体表面,可实现更高分辨率。
原子力显微镜光刻技术利用原子力显微镜扫描和控制分子位置,能够实现纳米级别的图案制作。
这些新技术在实际应用中还存在一些问题,需要进一步改进和研究。
综上所述,光学光刻技术在过去几十年中取得了巨大的进展。
2023年光刻胶用光引发剂行业分析报告及未来五至十年行业发展报告
光刻胶用光引发剂行业分析报告及未来五至十年行业发展报告目录申明 (4)一、光刻胶用光引发剂行业政策背景 (4)(一)、政策将会持续利好光刻胶用光引发剂行业发展 (4)(二)、光刻胶用光引发剂行业政策体系日趋完善 (5)(三)、光刻胶用光引发剂行业一级市场火热,国内专利不断攀升 (5)(四)、宏观经济背景下光刻胶用光引发剂行业的定位 (6)二、光刻胶用光引发剂行业政策环境 (6)(一)、政策持续利好光刻胶用光引发剂行业发展 (6)(二)、行业政策体系日趋完善 (7)(三)、一级市场火热,国内专利不断攀升 (7)(四)、宏观环境下光刻胶用光引发剂行业定位 (8)(五)、“十三五”期间光刻胶用光引发剂业绩显著 (8)三、光刻胶用光引发剂行业财务状况分析 (9)(一)、光刻胶用光引发剂行业近三年财务数据及指标分析 (9)(二)、现金流对光刻胶用光引发剂业的影响 (12)四、光刻胶用光引发剂业发展模式分析 (12)(一)、光刻胶用光引发剂地域有明显差异 (12)五、2023-2028年宏观政策背景下光刻胶用光引发剂业发展现状 (13)(一)、2022年光刻胶用光引发剂业发展环境分析 (13)(二)、国际形势对光刻胶用光引发剂业发展的影响分析 (14)(三)、光刻胶用光引发剂业经济结构分析 (15)六、宏观经济对光刻胶用光引发剂行业的影响 (16)(一)、光刻胶用光引发剂行业线性决策机制分析 (17)(二)、光刻胶用光引发剂行业竞争与行业壁垒分析 (18)(三)、光刻胶用光引发剂行业库存管理波动分析 (18)七、光刻胶用光引发剂业的外部环境及发展趋势分析 (19)(一)、国际政治经济发展对光刻胶用光引发剂业的影响 (19)(二)、国内政治经济发展对光刻胶用光引发剂业的影响 (19)(三)、国内突出经济问题对光刻胶用光引发剂业的影响 (20)八、光刻胶用光引发剂产业投资分析 (20)(一)、中国光刻胶用光引发剂技术投资趋势分析 (20)(二)、大项目招商时代已过,精准招商愈发时兴 (21)(三)、中国光刻胶用光引发剂行业投资风险 (21)(四)、中国光刻胶用光引发剂行业投资收益 (22)九、光刻胶用光引发剂行业企业差异化突破战略 (23)(一)、光刻胶用光引发剂行业产品差异化获取“商机” (23)(二)、光刻胶用光引发剂行业市场分化赢得“商机” (24)(三)、以光刻胶用光引发剂行业服务差异化“抓住”商机 (24)(四)、用光刻胶用光引发剂行业客户差异化“抓住”商机 (24)(五)、以光刻胶用光引发剂行业渠道差异化“争取”商机 (25)十、光刻胶用光引发剂行业风险控制解析 (25)(一)、光刻胶用光引发剂行业系统风险分析 (25)(二)、光刻胶用光引发剂业第二产业的经营风险 (26)申明中国的光刻胶用光引发剂业在当前复杂的商业环境下逐步发展,呈现出一个积极整合资源以提高粘连性的耐寒时代。
光刻胶当前行业现状与技术挑战
光刻胶行业与技术分析光刻工艺约占整个芯片制造成本的35%,耗时占整个芯片工艺的40-50%,是半导体制造中最核心的工艺。
而光刻胶是光刻工艺中不可或缺的核心材料,在半导体制造环节有着重要作用,并被誉为“半导体材料皇冠上的明珠”。
SEMI数据显示,2021年全球半导体光刻胶市场约为24.71亿美元,同比增速达19.49%,中国大陆市场保持最快增速,达4.93亿美元,同比增长43.69%。
近些年来,由于叠加产业转移因素,中国光刻胶市场的增长速度超过了全球平均水平。
根据中商产业研究院数据,2021 年中国光刻胶市场达93.3 亿元,16-21 年CAGR 为11.9%,21 年同比增长11.7%,高于同期全球光刻胶增速5.75%。
一、国内外行业现状(1)全球光刻胶供给高度集中,海外龙头已实现高端制程量产。
光刻胶属于技术和资本密集型行业,目前核心技术主要掌握在日、美等国际大公司手中,全球供应市场高度集中,日本JSR 等五家龙头企业占据全球光刻胶市场87%的份额。
同时,海外龙头已实现高端制程量产,其中日本主要厂商已实现领域内最先进的EUV光刻胶的量产,以陶氏、德国默克、锦湖石化为代表的其他光刻胶厂商也已实现ArF光刻胶的量产。
(2)国内光刻胶以中低端产品为主,高端领域逐步突破我国光刻胶行业起步较晚,生产能力主要集中在PCB光刻胶、TN/STN-LCD光刻胶等中低端产品,其中PCB光刻胶占比达94%。
先进制程半导体光刻胶方面,g/i线胶自给率约10%,KrF胶自给率不足5%,ArF胶基本依靠进口,而EUV胶还仍处研发阶段。
(3)国内企业产能持续扩张目前,光刻胶专用电子化学品主要被日本、欧美企业占据较大市场份额。
但经过多年技术积累,国内已形成一定光刻胶用电子化学品产能,国内相关公司市场份额逐步提升,国产替代正持续进行。
作为支撑5600多亿美元芯片市场的重要耗材,光刻胶市场规模仅占芯片市场的1%左右,却是实施芯片制裁的最佳工具。
光刻胶原材料国内外研究现状和发展趋势
光刻胶原材料国内外研究现状和发展趋势光刻胶原材料,这个名字听起来有点晦涩,乍一听可能你会想:“这是什么高科技东西啊?”其实它就是我们日常生活中离不开的一些微电子产品背后的“秘密武器”。
说到这,很多人可能会皱眉,觉得这和自己的生活有啥关系?嘿,别急,听我慢慢道来。
光刻胶,简单来说,就是在半导体芯片制造过程中,用来“雕刻”微小图案的材料。
你能想象没有它,芯片得多难做吗?就像你做个蛋糕,如果没有模具,蛋糕上怎么可能有精致的花纹和图案?光刻胶在半导体生产中可不只是个装饰品,它可是决定着整个芯片性能的关键之一。
国内外的研究和发展动向,一直是科学家们争论的热点,而我们也可以从这个“芯片”背后窥探出不少精彩故事。
国内的光刻胶研究,近年来可是越来越火了,简直像是一个“小太阳”,在全球的半导体大舞台上越来越亮眼。
我们都知道,芯片技术一直被一些大国垄断,尤其是光刻技术,它几乎掌控了全球半导体产业的“脉搏”。
这些年,咱们国家可不甘落后。
国内的科研团队,像极了一个个不懈奋斗的“工匠”,努力在这条技术创新的道路上攻坚克难。
光刻胶的研究就像是修仙,你得一步步提升自己的“内力”,每一个细节都要精准到位。
别看光刻胶只是个小小的“辅助角色”,它的研发过程可是千头万绪,每一个小小的进步都能带来巨大的变化。
比如,早期的光刻胶只能在某些特定的条件下发挥作用,而现在,通过技术突破,光刻胶的稳定性和抗干扰能力大幅提升,极大地提升了芯片的精度和性能。
这种技术上的不断攀升,恰恰是中国半导体产业“逆袭”的力量之一。
不过,说到这里,不得不提国外的光刻胶技术。
毕竟,全球科技的格局可不是一朝一夕能改变的。
你知道,光刻胶的研发技术,尤其是在高端材料方面,欧美的科研团队已经领先了一段时间。
日本、美国,甚至是欧洲的几家公司,他们的技术已经走在了世界的前端。
特别是日本的几个光刻胶制造商,他们在细化材料的层次感和降低材料缺陷方面做得可谓是精益求精,堪称“无可挑剔”。
2024年光刻胶树脂市场发展现状
光刻胶树脂市场发展现状1. 引言光刻胶树脂是一种特殊的化学材料,用于光刻技术中的光刻工艺。
光刻胶树脂的市场发展与半导体行业的快速发展密不可分。
本文将对光刻胶树脂市场的现状进行分析,并展望未来的发展趋势。
2. 光刻胶树脂的定义和分类光刻胶树脂是一种具有光敏性的高分子材料,它可以通过光刻工艺进行图案转移。
根据化学组成和性质的不同,光刻胶树脂可以分为正胶、负胶和超分辨率胶等多种类型。
正胶在光刻后图案显影出来,负胶在光刻后图案显影被去除,而超分辨率胶能够实现更高分辨率的图案转移。
3. 光刻胶树脂市场规模和增长趋势随着消费电子产品市场的不断发展和半导体芯片需求的增加,光刻胶树脂市场呈现出快速增长的趋势。
根据市场研究数据显示,光刻胶树脂市场在过去几年中保持了两位数的年均增长率。
预计在未来几年内,光刻胶树脂市场规模仍将保持稳定增长。
4. 光刻胶树脂市场的主要应用领域光刻胶树脂主要应用于半导体芯片制造、平板显示器制造、光学器件制造等领域。
其中,半导体芯片制造是光刻胶树脂市场的主要驱动力。
随着半导体技术的不断进步,新一代的光刻胶树脂在高分辨率、高精度等方面具有更好的性能,为半导体芯片的制造提供了更大的可能性。
5. 光刻胶树脂市场的竞争格局光刻胶树脂市场存在着一些主要的竞争企业,如日本东京电子化学(Tokyo Ohka Kogyo,TOK)、美国杜邦(DuPont)等。
这些企业在技术研发、生产能力、市场份额等方面具有竞争优势。
同时,新兴企业也在不断涌现,进一步增加了市场竞争的激烈程度。
6. 光刻胶树脂市场的发展趋势随着微纳米技术的不断发展和应用需求的增加,光刻胶树脂市场将出现以下几个发展趋势:6.1 新一代高分辨率胶的应用增加:随着电子产品的不断发展,对芯片分辨率的要求也越来越高。
新一代高分辨率胶的开发和应用将成为光刻胶树脂市场的重要发展方向。
6.2 环保型光刻胶树脂的需求增加:随着环保意识的提高,环保型光刻胶树脂的需求也在不断增加。
我国光刻胶技术现状与问题
23、紫外正型光刻胶
紫外正型光刻胶(根据曝光波长的不同分为g线正胶和i线正胶,其中:g线曝 光波长为436nm,i线曝光波长为365nm)中以邻重氮萘醌系正胶为主,它与 负胶相比,具有分辨率高、抗干法蚀刻性强、耐热性好和去胶方便等优点;
其缺点是感光速度慢、粘附性及机械强度较差。 紫外正型光刻胶被广泛应用于分立器件、大规模及超大规模集成电路等的制作
它与紫外光刻胶技术相比有以下主要优点: ①基片上无衍射效应; ②能被聚焦在非常小的点上(0.1)或更小; ③在静电场或磁场作用下移动,很容易在计算机的控制下进行扫描,这一点是现
代技术必需的; ④电子束光刻胶无需使用掩膜版,可在计算机控制下进行“直写”。
33、分子光刻胶的概念
34、我国光刻胶研发历程
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按曝光光源和辐射源的不同,又分为紫外光刻胶(包括紫外正型光刻胶、紫外负型 光刻胶)、深紫外光刻胶(包括248nm光刻胶和193nm光刻胶)、极紫外光刻胶 (157nm)、电子束胶、X—射线胶、离子束胶等。
在紫外正型光刻胶中又根据曝光波长的不同分为g线正胶和i线正胶。
215、国内光刻胶产业化存在的问题
成膜树脂的合成及纯化技术 成膜树脂是光刻胶的主体成分,其生产技术是光刻胶实现产业化的核心技术。目
前国所生产的各种光刻胶的成膜树脂主要来源是进口。现有的合成技术合成的树 脂只能满足低档光刻胶的配制,高档树脂及单体的合成及纯化技术是国内光刻胶 发展的瓶颈之一。
36、国内光刻胶产业化存在的问题2
7、国际上光刻技术与光刻胶发展技术路线图
8、国际上光刻技术与光刻胶发展技术路线图2
9、国际上光刻技术与光刻胶发展技术路线图3
10、ArF浸入式光刻
11、浸入式光刻的原理和效果
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光刻胶行业现状分析▌国产光刻胶现状光刻胶是国际上技术门槛最高的微电子化学品之一,按应用领域可分为PCB(线路板)用、平板显示(LCD、LED)用和半导体用三类,目前国内市场上绝大多数厂商生产的产品为前两者。
在大规模集成电路的制造过程中,光刻和刻蚀技术是精细线路图形加工中最重要的工艺,占芯片制造时间的40%~50%,光刻胶是光刻工艺得以实现选择性刻蚀的关键材料。
为适应集成电路线宽不断缩小的要求,光刻胶的波长由紫外宽谱向g线(436nm)→i线(365nm)→KrF(248nm)→ArF(193nm)→F2(157nm)的方向转移,并通过分辨率增强技术不断提升光刻胶的分辨率水平。
目前半导体市场上主要使用的光刻胶包括g线、i线、KrF、ArF四类光刻胶,其g线和i线光刻胶是市场上使用量最大的光刻胶。
半导体用光刻胶技术壁垒较高、市场高度集中,日美企业基本垄断了g/i线光刻胶、KrF/ArF光刻胶市场,生产商主要有JSR、信越化学工业、TOK、陶氏化学等。
国产光刻胶发展起步较晚,与国外先进光刻胶技术相比国内产品落后4代,目前主要集中在PCB光刻胶、TN/STN-LCD 光刻胶等中低端产品,虽然PCB领域已初步实现进口替代,但LCD 和半导体用光刻胶等高端产品仍需大量进口,正处于由中低端向中高端过渡阶段。
随着国家层面对半导体在资金、政策上的大力支持,国内光刻胶企业正在努力追赶,企业数量从2012年的5家增长到2017年15家,少数企业在中高端技术领域已取得一定突破。
其中半导体用光刻胶领域代表性企业有苏州瑞红和北京科华,两者分别承担了02专项i线(365nm)光刻胶和KrF线(248nm)光刻胶产业化课题。
目前,苏州瑞红实现g/i线光刻胶量产,可以实现0.35μm的分辨率,248nm光刻胶中试示范线也已建成;北京科华KrF/ArF光刻胶已实现批量供货。
如今国际半导体产能正在逐渐向国内转移,受益于产业大趋势,国产光刻胶需求将日益提升,随着苏州瑞红、北京科华等企业在技术上的不断突破,国产化替代趋势愈加明显。
近年来,受益于光电产业、半导体产业及国内电子化学品产业向我国的逐步转移,微细加工技术的关键性材料——光刻胶发展迅速,但国内自给率仍然很低,核心技术仍掌握在日、美等国际大公司手中,在LCD、半导体等应用领域基本被国外厂商垄断。
当前我国光刻胶主要应用领域PCB产业已占据全球半壁江山,LCD面板关键生产技术突破、产能扩张迅速,近年来国家大力扶持集成电路产业、半导体行业高歌猛进,国内光刻胶需求快速增长,进口替代成为趋势,国产化成为必然。
整体来看,我国进口光刻胶占据国内87%的市场份额,自给率低。
而国内光刻胶受益于半导体产业转移及国内电子化学品的迅速发展,需求增速远高于全球,国内从事光刻胶研发和生产的单位主要有北京科华微电子材料有限公司和苏州瑞红电子化学品有限公司,上市公司中飞凯材料、强力新材等企业将有望率先实现技术突破,抓住历史发展机遇。
全球光刻胶市场规模及结构(亿美元)我国光刻胶市场规模及增速(亿元)光刻胶进口替代空间巨大一、光刻胶概述1.1 概述光刻胶又称光致抗蚀剂,是由光引发剂(包括光增感剂、光致产酸剂)、光刻胶树脂、单体(活性稀释剂)、溶剂和其他助剂组成的对光敏感的混合液体,是利用光化学反应经曝光、显影、刻蚀等光刻工艺将所需要的微细图形从掩模版转移到待加工基片上的图形转移介质,被广泛应用于光电信息产业的微细图形线路的加工制作,是微细加工技术的关键性材料。
光引发剂是光刻胶感光特性的关键组成部分,对光刻胶的适用光源、感光度、分辨率等起决定性作用,光刻胶树脂是构成光刻胶的基本骨架,主要决定曝光后光刻胶的硬度、柔韧性、附着力、曝光前和曝光后对特定溶剂的溶解度产生变化、光学性能、耐老化性、耐蚀刻、热稳定性等基本性能。
在光刻工艺中,光刻胶被均匀涂布在硅片、玻璃和金属等不同的衬底上,经曝光、显影和蚀刻等工序将掩膜版上的图形转移到薄膜上,形成与掩膜版完全对应的几何图形,其中曝光过程是利用紫外光、电子束、准分子激光束、X射线、离子束等曝光源的照射或辐射,改变光刻胶的溶解度。
光刻胶专用化学品是电子化学品,就生产工艺属性而言,属于精细化工行业;就产品用途而言,属于电子材料行业。
1.2 工作原理光刻胶工作原理:光刻胶具有光化学敏感性,在特定的紫外光、深紫外光和极紫外光曝光后,其溶解度会发生变化,通过显影液处理后在掩模版上形成所需的微细图形,然后进行刻蚀工艺将细微图形从掩模板转移到待加工基片上。
光刻技术工艺流程为:镀膜—清洗—涂胶、预烘—曝光—显影—蚀刻—光刻胶剥离。
1.3 分类光刻胶是PCB、LCD 和半导体等各应用行业的上游材料,光刻胶经过几十年不断的发展和进步,应用领域不断扩大,衍生出非常多的种类:按显示的效果,光刻胶可分为正性光刻胶和负性光刻胶,如果显影时未曝光部分溶解于显影液,形成的图形与掩膜版相反,称为负性光刻胶;如果显影时曝光部分溶解于显影液,形成的图形与掩膜版相同,称为正性光刻胶。
基于感光树脂的化学结构,光刻胶可以分为三种类型:光聚合型,即采用烯类单体,在光作用下生成自由基,自由基再进一步引发单体聚合,最后生成聚合物,具有形成正像的特点;光分解型,即采用含有叠氮醌类化合物的材料,经光照后,会发生光分解反应,由油溶性变为水溶性,可以制成正性胶;光交联型,即采用聚乙烯醇月桂酸酯等作为光敏材料,在光的作用下,其分子中的双键被打开,并使链与链之间发生交联,形成一种不溶性的网状结构,而起到抗蚀作用,这是一种典型的负性光刻胶。
按应用领域,光刻胶可以划分为以下类型:其中,半导体用光刻胶、LCD用光刻胶对技术要求较高,为中高端产品。
二、光刻胶发展现状2.1 光刻胶发展历程光刻胶自1959年被发明以来就成为半导体工业最核心的工艺材料。
随后光刻胶被改进运用到印制电路板的制造工艺,成为PCB生产的重要材料。
二十世纪九十年代,光刻胶又被运用到LCD器件的加工制作,对LCD面板的大尺寸化、高精细化、彩色化起到了重要的推动作用。
在微电子制造业精细加工从微米级、亚微米级、深亚微米级进入到纳米级水平的过程中,光刻胶起着举足轻重的关键性作用,目前全球光刻胶供应市场高度集中,核心技术被美、日等公司垄断。
2.1.1 半导体用光刻胶半导体光刻胶随着市场对半导体产品小型化、功能多样化的要求,而不断通过缩短曝光波长提高极限分辨率,从而达到集成电路更高密度的集积,集成电路的制程工艺水平已由微米级、亚微米级、深亚微米级进入到纳米级阶段。
为适应集成电路线宽不断缩小的要求,光刻胶的波长由紫外宽谱向g线(436nm)→i线(365nm)→KrF(248nm)→ArF(193nm)→F2(157nm)的方向转移,并通过分辨率增强技术不断提升光刻胶的分辨率水平,具体的演进过程如下:(资料来源:晶瑞股份招股说明书)目前,半导体市场上主要使用的光刻胶包括g线、i线、KrF、ArF四类光刻胶,其中g 线和i线光刻胶是市场上使用量最大的光刻胶。
市场上正在使用的KrF和ArF光刻胶核心技术基本被日本和美国企业所垄断,包括陶氏化学、JSR、信越化学、东京应化等企业。
2.1.2 LCD用光刻胶平板显示器中TFT-LCD是市场的主流,彩色滤光片是TFT-LCD实现彩色显示的关键器件,占面板成本的14-16%;彩色光刻胶和黑色光刻胶是制备彩色滤光片的核心材料,占彩色滤光片成本的27%左右。
彩色光刻胶和黑色光刻胶的技术壁垒高,全世界的生产几乎被日本、韩国厂商所垄断,彩色光刻胶的主要生产商有JSR、住友化学、三菱化学等公司,黑色光刻胶主要生产商有东京应化、新日铁化学、三菱化学等公司,占全球产量约90%。
2.1.3 PCB用光刻胶PCB 光刻胶主要包括干膜光刻胶、湿膜光刻胶和光成像阻焊油墨。
2006 年开始,我国成为PCB的最大生产国,也是PCB光刻胶的最大使用国。
目前国内的光刻胶生产厂家主要为合资的涂膜工厂,核心技术仍然掌握在国际大公司手中。
2.2 发展现状国内光刻胶市场增速远高于全球增速,光刻胶行业供应集中,严重依赖进口。
我国光刻胶2007-2015 年均复合增长率达17.2%,但国产化率不足20%,我国光刻胶多依赖进口,光刻胶专用化学品长期被日本、欧美的公司垄断,随着我国PCB产业、LCD产业、半导体产业快速增长,光刻胶需求大增,光刻胶自主化需求迫切;该细分行业经过多年发展,积累了一定人才,同时国家在资金、政策方面大力扶持,技术突破、进口替代趋势加快。
2.2.1 光刻胶供给高度集中光刻胶是精细化工行业技术壁垒最高的材料,具有生产工艺复杂、生产及检测等设备投资大、技术积累周期长等特征,长期以来被日本、欧美的专业公司所垄断,日本的企业占据80%的全球市场,主要企业包括日本的TOK、JSR、富士、信越化学和住友化学,美国的陶氏化学、欧洲的AZEM 和韩国的东进世美等,市场集中度非常高。
我国光刻胶行业发展起步较晚,产品主要集中于PCB 光刻胶、TN/STN-LCD 光刻胶等中低端产品,而LCD 和半导体用光刻胶等高端产品仍需大量进口。
2.2.2 国内需求增长迅速随着全球光电产业、消费电子产业、半导体产业逐步向我国转移,光刻胶下游产业PCB、LCD、半导体等产业发展迅速,对光刻胶需求大增。
我国PCB产能已占据全球半壁江山,PCB光刻胶专用化学品传统业务增长稳健;随着我国面板生产技术取得巨大突破,国内LCD 面板产能扩增迅速,液晶面板市场需求持续领跑全球;政府大力扶持集成电路产业,设立多只产业基金支持集成电路产业发展,集成电路产值增速高于全球。
国内下游市场需求大增,促使光刻胶市场规模持续增长。
2.2.3 PCB光刻胶产品进口替代逐步推进PCB行业经过近20年的迅猛发展,中国已经成为全球最大的PCB生产国,2016年行业产值在全球占比超一半,与此同时我国PCB光刻胶全球产值占比已超过我国PCB的全球产值占比,我国光刻胶已迈入出口国行列,但主要是以在华外资企业供给为主。
PCB光刻胶主要为中低端产品,技术壁垒相对较弱,随着PCB光刻胶技术、市场的成熟、稳定,国内中资企业已逐步消化、吸收相关技术、工艺,中资企业市场份额逐步扩大,进入国产化阶段。
国内厂商开始在光刻胶领域加速布局,预计到2020年左右,初步实现光刻胶部分品种的进口替代,国内企业未来有很大的市场突破空间。
与此同时,在LCD与半导体光刻胶领域,国内企业也开始布局生产,目前北京科华、苏州瑞红、强力新材可以生产部分彩色光刻胶,晶瑞股份、苏州瑞红实现g/i线光刻胶量产,北京科华KrF/ArF光刻胶实现批量供货。
2.2.4 高端产品技术差距大在LCD、半导体光刻胶应用领域,国内起步较晚,行业技术壁垒较高,中资企业技术远落后于日、美等国际大厂,在重点技术领域与国外先进技术有2-3代差距,同时我国在行业人才储备方面也凸显不足。